JP2014212306A - 電子構成要素又は光学構成要素を基板上に組み付ける方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
A)接合頭部に組み付けた吸着部材により構成要素を受け取るステップであって、接合頭部は、平面にかかる第1の移動軸及び第2の移動軸により基板に対して変位可能であり、接合頭部及び/又は吸着部材は、上述の面に直角に延在する第3の移動軸により変位可能である、ステップ;
B)構成要素を基板上の標的位置に位置決めするために、前記第1の移動軸及び前記第2の移動軸により接合頭部を変位させるステップ;
C)構成要素が基板に接触するまで第3の移動軸により吸着部材を下げ、所定接合力を生成するステップであって、この所定接合力を用いて吸着部材は構成要素を基板に押し付ける、ステップ;及び
D)接合力が蓄積される間に生じた吸着部材の傾斜位置を補正するために、第1移動軸により補正値W1だけ、及び/又は第2の移動軸により補正値W2周りに接合頭部及び/又は基板を変位させるステップ
を含む第1の方法であって、補正値W1及びW2は、
−保存較正データによって決定するか、若しくは
−センサによって供給される測定値、及び保存較正データから決定するか、又は
−センサによって供給される測定信号に基づく閉ループ制御により生成される、第1の方法によって行われる。
D)吸着部材(3)の起こり得る傾斜位置、又は吸着部材(3)の起こり得る傾斜位置に依存する物理量をセンサにより測定するステップ;
E)センサによって供給される測定値を記録するステップ、及び任意選択で
F)センサによって供給される測定値が、吸着部材の傾斜位置が所定の限界値を超えたという結果をもたらしたときに工程を終了するステップ
を含む。
D)接合頭部から吸着部材に作用する力の結果として存在する少なくとも1つのせん断力をセンサにより測定するステップ、及び
E)少なくとも1つのアクチュエータを作動させるステップ
を含む第3の方法によって行い、少なくとも1つのアクチュエータを用いて、測定した少なくとも1つのせん断力を補償又は低減するために、接合頭部の所定方向に作用する力を生成することができる。
D)センサによって第1のせん断力及び第2のせん断力を測定するステップ、及び
E)第1のアクチュエータ及び/又は第2のアクチュエータを作動させるステップ
であり、測定した1つ又は複数のせん断力を補償又は低減するために、接合頭部の第1の方向に作用する力は、第1のアクチュエータによって生成することができ、接合頭部の第2の方向に作用する力は、第2のアクチュエータによって生成することができる。
E)センサによって供給される測定値を記録するステップ、及び任意選択で
F)センサによって供給される測定値が、測定した少なくとも1つのせん断力が所定限界値を超えたという結果をもたらしたときに工程を終了するステップ
を含む。
−吸着部材3により構成要素を受け取るステップ;
−基板6上の標的位置に構成要素を位置決めするために、第1の移動軸及び第2の移動軸により接合頭部2を変位させるステップ;
−構成要素が基板6に接触するまで第3の移動軸により吸着部材3を下げ、所定接合力を生成するステップであって、この所定接合力を用いて吸着部材3は構成要素を基板6に押し付けなければならない、ステップ、及び
−接合力の蓄積の間生じた吸着部材3の縦軸の傾斜位置を補正するために、第1の移動軸により補正値W1周りに、及び/又は第2の移動軸により補正値W2周りに接合頭部2を変位させるステップ
を含む。
1)保存較正データにより決定するか、又は
2)センサ14によって供給される測定値、及び保存較正データから決定するか、又は
3)センサ14によって供給される測定信号により制御回路で生成する。
半導体チップ4を組み付ける間、接合頭部2を基板6の上のそれぞれのX、Y位置に移動する。次に、この位置に割り当てた補正値W1及びW2をルックアップ・テーブルに記憶したときの較正データにより、必要な場合は補間により決定する。したがって、較正データは、接合頭部2のX、Y位置(及び任意選択で接合力等の更なるパラメータ)と、補正値W1及びW2との関係を表す。
この変形形態は、変形形態1と同様であるが、センサ14が基板ベース5又は吸着部材3若しくは接合頭部2に永続的に設置されるという点で異なる。半導体チップ4を組み付ける間、接合頭部2を基板6上のそれぞれのX、Y位置に移動し、接合力が蓄積されるまで接合頭部2を下げる。次に、補正値W1及びW2をセンサ14によって供給される測定値に割り当て、ルックアップ・テーブルに記憶したときの較正データにより、必要な場合は補間により決定する。したがって、較正データは、センサ14の測定信号と補正値W1及びW2との関係を表す。
この変形形態では、センサ14は、基板ベース5又は吸着部材3若しくは接合頭部2に永続的に設置する。センサ14の測定信号は、トルクが消失するように第1の移動軸が取る接合頭部2のX位置、及び第2の移動軸が取る接合頭部2のY位置を制御するために使用する。このように、閉ループ制御は、補正値W1及びW2に必要な補正によって接合頭部2のX位置及びY位置の補正をもたらす。
3 吸着部材
6 基板
14 センサ
16 アクチュエータ
Claims (10)
- 基板(6)上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける方法であって、
接合頭部(2)に組み付けた吸着部材(3)により前記構成要素を受け取ることであって、前記接合頭部(2)は、平面にかかる第1の移動軸及び第2の移動軸により前記基板(6)に対して変位可能であり、前記接合頭部(2)及び/又は前記吸着部材(3)は、前記面に直角に延在する第3の移動軸により変位可能である、受け取ること;
前記構成要素を前記基板(6)の上の標的位置に位置決めするために、前記接合頭部(2)を前記第1の移動軸及び前記第2の移動軸により変位させること;
前記構成要素が前記基板(6)に接触するまで前記第3の移動軸により前記吸着部材(3)を下げ、所定接合力を生成することであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材(3)が前記構成要素を前記基板(6)に押し付ける、生成すること;及び
前記接合力が蓄積される間に生じた前記吸着部材(3)の傾斜位置を補正するために、第1の方向に沿って補正値W1だけ、及び/又は第2の方向に沿って補正値W2だけ前記接合頭部(2)及び/又は前記基板(6)を変位させること
を含む方法であり、前記補正値W1及びW2は、
保存較正データによって決定するか、又は
センサ(14)によって供給される測定値、及び前記保存較正データから決定するか、又は
前記センサ(14)によって供給される測定信号に基づく閉ループ制御により生成される、方法。 - 基板(6)上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける方法であって、
接合頭部(2)に組み付けた吸着部材(3)により前記構成要素を受け取ることであって、前記接合頭部(2)は、平面にかかる第1の移動軸及び第2の移動軸により前記基板(6)に対して変位可能であり、前記接合頭部(2)及び/又は前記吸着部材(3)は、前記面に直角に延在する第3の移動軸により変位可能である、受け取ること;
前記構成要素を前記基板(6)の上の標的位置に位置決めするために前記第1の移動軸及び前記第2の移動軸により前記接合頭部(2)を変位させること;
前記構成要素が前記基板(6)に接触するまで前記第3の移動軸により前記吸着部材(3)を下げ、所定接合力を生成することであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材(3)が前記構成要素を前記基板(6)に押し付ける、生成すること;及び
前記接合頭部(2)から前記吸着部材(3)に作用する力の結果として存在する少なくとも1つのせん断力を測定すること;及び
少なくとも1つのアクチュエータ(16)を作動させること
を含み、前記少なくとも1つのアクチュエータ(16)を用いて前記測定した少なくとも1つのせん断力を補償又は低減するように、前記接合頭部(2)に所定方向で作用する力を生成することができる、方法。 - 基板(6)上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける方法であって、
接合頭部(2)に組み付けた吸着部材(3)により前記構成要素を受け取ることであって、前記接合頭部(2)は、面にかかる第1の移動軸及び第2の移動軸により前記基板(6)に対して変位可能であり、前記接合頭部(2)及び/又は前記吸着部材(3)は、前記面に直角に延在する第3の移動軸により変位可能である、受け取ること;
前記構成要素を前記基板(6)上の標的位置に位置決めするために、前記第1の移動軸及び前記第2の移動軸により前記接合頭部(2)を変位させること;
前記構成要素が前記基板(6)に接触するまで前記第3の移動軸により前記吸着部材(3)を下げ、所定接合力を生成することであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材(3)が前記構成要素を前記基板(6)に押し付ける、生成すること;及び
センサにより、前記吸着部材(3)の起こり得る傾斜位置、又は前記吸着部材(3)の傾斜位置に依存する物理量、及び/又は前記接合頭部(2)によって前記吸着部材(3)に作用する力の結果として存在する少なくとも1つのせん断力を少なくとも測定し、記録すること
を含む方法。 - 測定したトルクが限界値を超えたとき、又は測定したせん断力が限界値を超えたときに前記工程を停止すること
を更に含む、請求項3に記載の方法。 - 前記センサ(14)は、2軸力トルクセンサ又は多軸力トルクセンサである、請求項4に記載の方法。
- 基板(6)上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける装置であって、
接合頭部(2)に組み付けた吸着部材(3)により前記構成要素を受け取るステップであって、前記接合頭部(2)は、平面にかかる第1の移動軸及び第2の移動軸により前記基板(6)に対して変位可能であり、前記接合頭部(2)及び/又は前記吸着部材(3)は、前記面に直角に延在する第3の移動軸により変位可能である、ステップ;
前記構成要素を前記基板(6)上の標的位置に位置決めするために、前記第1の移動軸及び前記第2の移動軸により前記接合頭部(2)を変位させるステップ;
前記構成要素が前記基板(6)に接触するまで前記第3の移動軸により前記吸着部材(3)を下げ、所定接合力を生成するステップであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材(3)が前記構成要素を前記基板(6)に押し付ける、ステップ;及び
前記接合力が蓄積される間に生じた前記吸着部材(3)の傾斜位置を補正するために、第1の方向に沿って補正値W1だけ、及び/又は第2の方向に沿って補正値W2だけ前記接合頭部(2)及び/又は前記基板(6)を変位させるステップ
を実施するように構成し、前記補正値W1及びW2は、
保存較正データによって決定するか、又は
センサ(14)によって供給される測定値、及び前記保存較正データから決定するか、又は
前記センサ(14)によって供給される測定信号に基づく閉ループ制御により生成される、装置。 - 基板(6)上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける装置であって、
接合頭部(2)に組み付けた吸着部材(3)により前記構成要素を受け取るステップであって、前記接合頭部(2)は、平面にかかる第1の移動軸及び第2の移動軸により前記基板(6)に対して変位可能であり、前記接合頭部(2)及び/又は前記吸着部材(3)は、前記面に直角に延在する第3の移動軸により変位可能である、ステップ;
前記構成要素を前記基板(6)上の標的位置に位置決めするために、前記第1の移動軸及び前記第2の移動軸により前記接合頭部(2)を変位させるステップ;
前記構成要素が前記基板(6)に接触するまで前記第3の移動軸により前記吸着部材(3)を下げ、所定接合力を生成するステップであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材(3)が前記構成要素を前記基板(6)に押し付ける、ステップ;及び
前記接合頭部(2)から前記吸着部材(3)に作用する力の結果として存在する少なくとも1つのせん断力を測定するステップ;及び
少なくとも1つのアクチュエータ(16)を作動させるステップ
を実施するように構成し、前記少なくとも1つのアクチュエータ(16)を用いて前記測定した少なくとも1つのせん断力を補償又は低減するように、前記接合頭部(2)に所定方向で作用する力を生成することができる、装置。 - 基板(6)上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける装置であって、
接合頭部(2)に組み付けた吸着部材(3)により前記構成要素を受け取るステップであって、前記接合頭部(2)は、平面にかかる第1の移動軸及び第2の移動軸により前記基板(6)に対して変位可能であり、前記接合頭部(2)及び/又は前記吸着部材(3)は、前記面に直角に延在する第3の移動軸により変位可能である、ステップ;
前記構成要素を前記基板(6)上の標的位置に位置決めするために、前記第1の移動軸及び前記第2の移動軸により前記接合頭部(2)を変位させるステップ;
前記構成要素が前記基板(6)に接触するまで前記第3の移動軸により前記吸着部材(3)を下げ、所定接合力を生成するステップであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材(3)が前記構成要素を前記基板(6)に押し付ける、ステップ;及び
センサにより、前記吸着部材(3)の可能性のある傾斜位置、又は前記吸着部材(3)の前記傾斜位置に依存する物理量、及び/又は前記接合頭部(2)によって前記吸着部材(3)に作用した力の結果として存在する少なくとも1つのせん断力を少なくとも測定し、記録するステップ
を実施するように構成した装置。 - 測定したトルクが限界値を超えたとき、又は測定したせん断力が限界値を超えたときに前記工程を停止する
ように更に構成した、請求項8に記載の装置。 - 前記センサ(14)は、2軸力トルクセンサ又は多軸力トルクセンサである、請求項8に記載の装置。
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