JP4280169B2 - 平行調整装置及び平行調整方法、ボンディング装置 - Google Patents
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Description
上記保持面に対向する面に開口形成された複数の圧力検出孔と、
各圧力検出孔内の圧力を減圧或いは加圧する圧力調整手段と、
上記ボンディングヘッドを下降させてその保持面を上記圧力検出孔が開口した面に接近させたときに上記各圧力検出孔内の圧力差を検出する検出手段と、
この検出手段が検出する各圧力検出孔内の圧力差に基いて上記載置面と上記保持面のどちらか一方の水平方向の傾きを制御する制御手段を具備し、
上記保持面に対向する面には、この面の所定方向の一端部と他端部及びこの所定方向と交差する方向の一端部と他端部とにそれぞれ上記圧力検出孔が開口形成されていて、
上記所定方向の一端部と他端部とに設けられる一対の圧力検出孔は、上記所定方向と交差する方向に沿って細長く開口形成され、上記所定方向と交差する方向の一端部と他端部とに形成される一対の圧力検出孔は、上記所定方向に沿って細長く開口形成されていることを特徴とする平行調整装置にある。
上記載置面に上記保持面を接近させたときに、この保持面に対向する面の複数箇所の圧力を減圧或いは加圧する工程と、
上記載置面に上記保持面が接近したときに上記保持面に対向する面の減圧或いは加圧された複数箇所の圧力変動を検出する工程と、
この圧力変動に基いて上記載置面と上記保持面のどちらか一方の水平方向の傾きを制御する工程を具備し、
上記複数箇所の圧力変動を検出する工程は、上記保持面に対向する面に、この面の所定方向の一端部と他端部に上記所定方向と交差する方向に沿って細長く開口形成された一対の圧力検出孔及びこの所定方向と交差する方向の一端部と他端部とに上記所定方向に沿って細長く開口形成された一対の圧力検出孔の圧力変動を検出することを特徴とする平行調整方法。
保持面を有するボンディングヘッドと、
上記載置面と保持面とのどちらか一方の傾きを調整してこれら載置面と保持面とを平行に設定する平行調整装置とを備え、
上記平行調整装置は、
上記保持面に対向する面に開口形成された複数の圧力検出孔と、
各圧力検出孔内の圧力を減圧或いは加圧する圧力調整手段と、
上記ボンディングヘッドを下降させてその保持面を上記圧力検出孔が開口した面に接近させたときに上記各圧力検出孔内の圧力差を検出する検出手段と、
この検出手段が検出する各圧力検出孔内の圧力差に基いて上記載置面と上記保持面のどちらか一方の水平方向の傾きを制御する制御手段と
を具備したことを特徴とするボンディング装置にある。
上記設定治具21には図2、図3に示すように複数、この実施の形態では第1乃至第4の4つの圧力検出孔23a〜23dが形成されている。各圧力検出孔23a〜23dは、一端を設定治具21の4つの側面にそれぞれ開口させ、他端を設定治具の上面21bに形成された第1乃至第4の長溝22a〜22dの長手方向中途部にそれぞれ開口させている。
なお、上記制御装置28は、上記Z駆動源6と上記真空ポンプ27の駆動も制御するようになっている。
Claims (5)
- ボンディングステージの載置面と、ボンディングヘッドの保持面とのどちらか一方の傾きを調整して上記載置面と上記保持面とを平行に設定する平行調整装置において、
上記保持面に対向する面に開口形成された複数の圧力検出孔と、
各圧力検出孔内の圧力を減圧或いは加圧する圧力調整手段と、
上記ボンディングヘッドを下降させてその保持面を上記圧力検出孔が開口した面に接近させたときに上記各圧力検出孔内の圧力差を検出する検出手段と、
この検出手段が検出する各圧力検出孔内の圧力差に基いて上記載置面と上記保持面のどちらか一方の水平方向の傾きを制御する制御手段を具備し、
上記保持面に対向する面には、この面の所定方向の一端部と他端部及びこの所定方向と交差する方向の一端部と他端部とにそれぞれ上記圧力検出孔が開口形成されていて、
上記所定方向の一端部と他端部とに設けられる一対の圧力検出孔は、上記所定方向と交差する方向に沿って細長く開口形成され、上記所定方向と交差する方向の一端部と他端部とに形成される一対の圧力検出孔は、上記所定方向に沿って細長く開口形成されていることを特徴とする平行調整装置。 - 上記載置面には、この載置面に載置される下面と、上記保持面が接する上面とが平行平面に形成された設定治具が設けられ、この設定治具の上面に上記複数の圧力検出孔が開口形成されていることを特徴とする請求項1記載の平行調整装置。
- 複数の圧力検出孔は、上記ボンディングステージの載置面に開口形成されていることを特徴とする請求項1記載の平行調整装置。
- ボンディングステージの載置面と、ボンディングヘッドの保持面とのどちらか一方の傾きを調整して上記載置面と上記保持面とを平行に設定する平行調整方法において、
上記載置面に上記保持面を接近させたときに、この保持面に対向する面の複数箇所の圧力を減圧或いは加圧する工程と、
上記載置面に上記保持面が接近したときに上記保持面に対向する面の減圧或いは加圧された複数箇所の圧力変動を検出する工程と、
この圧力変動に基いて上記載置面と上記保持面のどちらか一方の水平方向の傾きを制御する工程を具備し、
上記複数箇所の圧力変動を検出する工程は、上記保持面に対向する面に、この面の所定方向の一端部と他端部に上記所定方向と交差する方向に沿って細長く開口形成された一対の圧力検出孔及びこの所定方向と交差する方向の一端部と他端部とに上記所定方向に沿って細長く開口形成された一対の圧力検出孔の圧力変動を検出することを特徴とする平行調整方法。 - 載置面を有するボンディングステージと、
保持面を有するボンディングヘッドと、
上記載置面と保持面とのどちらか一方の傾きを調整してこれら載置面と保持面とを平行に設定する平行調整装置とを備え、
上記平行調整装置は請求項1に記載された構成であることを特徴とするボンディング装置。
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