JP5347235B2 - 基板接合装置および基板接合方法 - Google Patents
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- 第1の組の基板および第2の組の基板を接合させる基板接合装置であって、
前記第1の組の基板を保持する第1の基板保持手段と、
前記第2の組の基板を保持する第2の基板保持手段と、
前記第1および第2の組の基板を接合させるように、前記第1および第2の基板保持手段に力を作用させる加圧手段と、
前記第1および第2の基板保持手段に作用させる前記力を制御する制御手段と、
前記第1の基板保持手段および前記第2の基板保持手段の少なくとも一方の位置を検出する位置検出手段と、を備え、
前記第1および第2の基板保持手段の少なくとも一方は、基板を保持する面の周縁部の少なくとも一部を除く領域に凸の部分を有し、前記第1および第2の組の基板を接合させる際に、前記凸の部分に対応する基板の部分が最初に接触し、次第に基板の接触面積が広がるように構成されており、
前記制御手段は、前記位置検出手段の位置測定値により基板の接触面積を推定し、推定された前記接触面積にしたがって前記第1および第2の基板保持手段に作用させる前記力を制御することを特徴とする基板接合装置。 - 前記第1および第2の基板保持手段の少なくとも一方の基板を保持する面の中央部分が凸であることを特徴とする請求項1に記載の基板接合装置。
- 前記第1および第2の基板保持手段の少なくとも一方が、弾性材料を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の基板接合装置。
- 前記第1および第2の基板保持手段の少なくとも一方が、気体または液体を充填した、中空部を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の基板接合装置。
- 前記第1の組の基板および前記第2の組の基板の少なくとも一方は、単一の基板または既に接合された複数の基板からなることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の基板接合装置。
- 第1の組の基板および第2の組の基板を、それぞれ第1の基板保持手段および第2の基板保持手段に保持させ、
前記第1および第2の基板保持手段に力を作用させて、前記第1の組の基板および前記第2の組の基板を接合させる基板接合方法であって、
前記第1および第2の基板保持手段の少なくとも一方は、基板を保持する面の周縁部の少なくとも一部を除く領域に凸の部分を有し、前記第1および第2の組の基板を接合させる際に、前記凸の部分に対応する基板の部分が最初に接触し、次第に基板の接触面積が広がるように構成されており、
前記第1および第2の基板保持手段の少なくとも一方の位置を検出し、検出した位置によって前記接触面積を推定し、
推定された前記接触面積にしたがって前記第1および第2の基板保持手段に作用させる力を制御することを特徴とする基板接合方法。 - 前記第1および第2の基板保持手段の少なくとも一方の、基板を保持する面の中央部分が凸であることを特徴とする請求項6に記載の基板接合方法。
- 前記第1および第2の基板保持手段の少なくとも一方が、弾性材料を備えたことを特徴とする請求項6または7に記載の基板接合方法。
- 前記第1および第2の基板保持手段の少なくとも一方が、気体または液体を充填した、中空部を備えたことを特徴とする請求項6または7に記載の基板接合方法。
- 前記第1の組の基板および前記第2の組の基板の少なくとも一方は、単一の基板または既に接合された複数の基板からなることを特徴とする請求項6から9のいずれか一項に記載の基板接合方法。
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