JPH1195140A - マルチビーム露光装置 - Google Patents

マルチビーム露光装置

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JPH1195140A
JPH1195140A JP9257350A JP25735097A JPH1195140A JP H1195140 A JPH1195140 A JP H1195140A JP 9257350 A JP9257350 A JP 9257350A JP 25735097 A JP25735097 A JP 25735097A JP H1195140 A JPH1195140 A JP H1195140A
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JP
Japan
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light
light beams
sub
scanning direction
deflecting
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Application number
JP9257350A
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English (en)
Inventor
Takashi Shiraishi
貴志 白石
Masao Yamaguchi
雅夫 山口
Yasuyuki Fukutome
康行 福留
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/123Multibeam scanners, e.g. using multiple light sources or beam splitters

Abstract

(57)【要約】 【課題】複数のビームを走査する露光装置において、各
ビーム相互のずれを低減して画像を正確に重ね合わせ、
色ずれまたは線間間隔の変動の生じない露光装置を提供
する 【解決手段】この発明の露光装置1は、m=3で規定さ
れる三角形の各頂点位置に配置された発光点を有する光
源3と、光源からの光ビームLの像面での副走査方向ビ
ーム間隔を一括して調整する機構11とを含む偏向前光
学系5と、回転可能に形成された反射面を有し、反射面
を所定速度で回転させることにより、偏向前光学系から
の光ビームを所定方向に偏向する偏向装置7と、偏向装
置により偏向されたm本の光ビームを連続して像面に結
像する偏向後光学系9と、を有することから、3本のレ
ーザの副走査方向の間隔を概ね等しくできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、複数ドラム方式
カラープリンタ装置、複数ドラム方式カラー複写機、多
色カラープリンタ、多色カラー複写機、単色の高速レー
ザプリンタ、単色の高速デジタル複写機等に使用され、
複数の光ビームを走査するマルチビーム露光装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】例えば、複数の感光体ドラムを含む画像
形成ユニットを用いたカラープリンタ装置またはカラー
複写装置などの画像形成装置では、色分解された色成分
に対応する複数の画像データすなわち少なくとも画像形
成ユニットの数に等しい複数の光ビームを提供する露光
装置が利用されている。
【0003】この種の露光装置は、色分解された色成分
毎の画像データに対応する所定数の光ビームを放射する
複数の半導体レーザ素子、各半導体レーザ素子を放射さ
れた光ビームの断面ビーム径を所定の大きさおよび形状
に絞り込む第1のレンズ群、第1のレンズ群により所定
の大きさおよび形状に絞り込まれた光ビーム群を、各光
ビームにより形成された画像を保持する記録媒体が搬送
される方向と直交する方向に連続的に反射することで偏
向する偏向装置、偏向装置により偏向された光ビームを
記録媒体の所定の位置に結像させる第2のレンズ群など
を有している。
【0004】上述した露光装置は、適用される画像形成
装置に合わせ、各画像形成ユニットのそれぞれに対応し
た複数の露光装置を用いる例と複数の光ビームを1つの
露光装置で提供可能なマルチビーム露光装置を用いる例
とに分類されている。なお、今日、画像形成速度の高速
化および解像度の向上のために、同一色の画像データを
並列に露光することで、高解像度の画像を形成可能でし
かも高速度の画像形成が可能な高速プリンタ装置も提案
されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した露
光装置において、画像形成装置の高速化および解像度を
向上するために偏向装置の反射面の回転数を増大させる
と、反射面を回転可能に保持する軸受け機構に、高価な
空気軸受けが必要となる。また、モータの回転数にも上
限が存在するとともに、高速回転可能なモータは、単体
のコストが大きくしかもモータを回転させるための駆動
回路も高価であり、コストの増大に見合う回転数の増加
が見込めない問題がある。なお、反射面の回転数を増大
することは、反射面の風損を加速するとともに、風切り
音が増大される問題がある。
【0006】これに対して、反射面の数を増大させると
モータの回転数の増加を抑えることができるが、画像周
波数が増大されることから、画像信号(画像データ)に
重畳される虞れの高いノイズ成分が増大する問題があ
る。また、画像周波数を高めることは、制御回路の回路
設計あるいは実装において、さまざまな制約をもたらす
問題がある。
【0007】このため、複数の光ビームを一度に偏向
(走査)することで、反射面の回転数および画像周波数
のそれぞれを低減することのできる上述したマルチビー
ム露光が既に提案されているが、マルチビーム露光を用
いた場合にも、以下に説明するさまざまな問題がみられ
る。
【0008】すなわち、光源として発光点が1つの半導
体レーザを複数用いると、(n本×m)本の光ビームを
一括して偏向するためには、半導体レーザと第1のレン
ズ群がn×m組、n本の光ビームをm本にまとめたのち
さらに1まとめにするために利用されるハーフミラーが
n×m−1個必要となり、結果として、部品点数が増大
され、コストが上昇する。
【0009】また、カラー複写装置等への利用のため
に、色成分毎の画像データに対応する複数の画像形成ユ
ニットを用意する場合、一般には、各ユニットが例えば
k=4で示される複数箇所に配置されることから、上述
した個数の半導体レーザと第1のレンズ群とハーフミラ
ーは、それぞれ、kセット必要となる。従って、装置の
大きさも増大される。この場合、さらに全ての要素を配
列することのできる空間を確保しなければならない問題
がある。
【0010】一方、発光点をm個有する半導体レーザア
レイを使用することで半導体レーザと第1のレンズ群の
個数を低減することが可能となるが、光ビームが偏向装
置により偏向される方向と直交する方向において、隣接
するあるいは次に偏向される光ビームとの間の間隔の制
御が複雑になる問題がある。なお、隣接するあるいは次
に偏向される光ビームとの間の間隔が僅かに変化するこ
とにより、光ビームが偏向される方向と直交する方向に
おいて複数の光ビームが完全に重なり合わずに投影され
ることに起因して解像度が低下するジッタが増大される
問題がある。
【0011】発光点をk個有する半導体レーザアレイを
使用することは、さらに光ビームを平行光または収束光
に変換するレンズを通過する一部の光ビームに対し、レ
ンズの中心以外の部分を通過させることになるため、す
べての光ビームに対する収差を同一に補正することがで
きない問題がある。すなわち、同一の補正において、す
べての光ビームの収差を均一化することは困難であり、
上述した隣接するあるいは次に偏向される光ビームとの
間の間隔を制御可能な範囲は、ある範囲を限度として制
限されることとなる。
【0012】なお、上述した隣接するあるいは次に偏向
される光ビームとの間の間隔のばらつきは、ジッタを増
大するのみならず、画像の濃度むらを生じることにな
る。また、このことは、カラー複写装置における色むら
および色ずれを引き起こすことになる。
【0013】この発明の目的は、複数のビームを走査す
る露光装置において、各ビーム相互のずれを低減して画
像を正確に重ね合わせ、色ずれまたは線間間隔の変動の
生じない露光装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】この発明は、上述した問
題点に基づきなされたもので、m(mは、2以上の整
数)個の発光点を有するn(nは、2以上の整数)群で
あって、像面で副走査方向にそれぞれnドットの間隔の
複数の光ビームを提供可能な光源と、この光源により提
供されるm×n本の光ビームの像面での副走査方向ビー
ム間隔を上記m本のビーム毎に一括して調整するn組の
機構と、少なくともn−1組の、上記m本毎の光ビーム
の像面でのビーム位置を一括して調整する機構と、n−
1個設けられ、上記m本×n群の光ビームを、概ね同一
の光路を通過する1つの光束にまとめる所定の割合を反
射し、所定の割合を透過する第1の合成用ミラーと、を
含む第1の光学手段と、回転可能に形成された反射面を
有し、上記反射面を所定速度で回転させることにより、
前記第1の光学手段からの光ビームを所定方向に偏向す
る偏向手段と、この偏向手段により偏向された上記m×
n本の光ビームを連続して像面に結像する第2の光学手
段と、を有するマルチビーム露光装置を提供するもので
ある。
【0015】また、この発明は、m=3で規定される三
角形の各頂点位置に配置された発光点を有する光源と、
この光源からの光ビームの像面での副走査方向ビーム間
隔を一括して調整する機構と、を含む第1の光学手段
と、回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を
所定速度で回転させることにより、前記第1の光学手段
からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、この
偏向手段により偏向された上記m本の光ビームを連続し
て像面に結像する第2の光学手段と、を有するマルチビ
ーム露光装置を提供するものである。
【0016】さらに、この発明は、m(mは、2以上の
整数)個の発光点を有するn1 +n2 +・・・nk (n
1 、n2 ・・・nk およびkは、1以上の整数)群設け
られ、m×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを
提供する光源と、この光源の各群にそれぞれに設けら
れ、前記光源を放射された光ビームを上記各群毎の像面
での副走査方向ビーム間隔を一括して調整する機構と、
k−1個設けられ、上記m×(n1 +n2 +・・・
k )本の光ビームを、概ね同一の光路を通過する1つ
の光束にまとめる第2の合成用ミラーと、を含む第1の
光学手段と、回転可能に形成された反射面を有し、上記
反射面を所定速度で回転させることにより、前記第1の
光学手段からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手段
と、この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n
2 +・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像す
る第2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置を
提供するものである。
【0017】またさらに、この発明は、m=3で規定さ
れる三角形の各頂点位置に配置された発光点をn(n
は、2以上の整数)群有し、像面で副走査方向にそれぞ
れnドットの間隔を有するm本の光ビームをn組提供可
能な光源と、この光源により提供される3n本の光ビー
ムの像面での副走査方向ビーム間隔を上記m本のビーム
毎に一括して調整するn組の機構と、少なくともn−1
組設けられ、前記光源から放射されたm本毎のビームの
像面でのビーム位置を一括して調整する機構と、n−1
個設けられ、上記3n本の光ビームを、概ね同一の光路
を通過する1つの光束にまとめる所定の割合と反射し、
所定の割合を透過する第1の合成用ミラーと、を含む第
1の光学手段と、回転可能に形成された反射面を有し、
上記反射面を所定速度で回転させることにより、前記第
1の光学手段からの光ビームを所定方向に偏向する偏向
手段と、この偏向手段により偏向された上記3n本の光
ビームを連続して像面に結像する第2の光学手段と、を
有するマルチビーム露光装置を提供するものである。
【0018】さらにまた、この発明は、m(mは、2以
上の整数)個の発光点を有するn1+n2 +・・・nk
(n1 、n2 ・・・nk およびkは、1以上の整数)群
設けられ、像面で各m個の発光点の像が副走査方向にn
1 +n2 +・・・nk ドットの間隔となるm×(n1
2 +・・・nk )群の光ビームを提供する光源と、こ
の光源の各群にそれぞれに設けられ、前記光源を放射さ
れた光ビームを上記各群毎の像面での副走査方向ビーム
間隔を一括して調整する機構と、少なくともn1 +n2
+・・・nk-k 組の上記m本の光ビームの像面でのビー
ム位置を一括して調整する機構と、k−1個設けられ、
上記m×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを、
概ね同一の光路を通過する1つの光束にまとめる第2の
合成用ミラーと、を含む第1の光学手段と、回転可能に
形成された反射面を有し、上記反射面を所定速度で回転
させることにより、前記第1の光学手段からの光ビーム
を所定方向に偏向する偏向手段と、この偏向手段により
偏向された上記m×(n1+n2 +・・・nk )本の光
ビームを連続して像面に結像する第2の光学手段と、を
有するマルチビーム露光装置を提供するものである。
【0019】さらにまた、この発明は、m=3で規定さ
れる三角形の各頂点位置に配置されたn1 +n2 +・・
・nk (n1 、n2 ・・・nk およびkは、1以上の整
数)個の発光点を有する光源と、m×(n1 +n2 +・
・・nk )本の光ビームの像面での副走査方向ビーム間
隔をm本のビーム毎に一括して調整する機構と、k−1
個設けられ、上記m×(n1 +n2 +・・・nk )本の
光ビームを、概ね同一の光路を通過する1つの光束にま
とめる第2の合成用ミラーと、を含む第1の光学手段
と、回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を
所定速度で回転させることにより、前記第1の光学手段
からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、この
偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2 +・・
・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第2の
光学手段と、を有するマルチビーム露光装置を提供する
ものである。
【0020】またさらに、この発明は、m=3で規定さ
れる三角形の各頂点位置に配置されたn1 +n2 +・・
・nk (n1 、n2 ・・・およびnk は、2以上の整
数、kは1以上の整数)個の発光点を有する光源と、こ
の光源の各群にそれぞれに設けられ、前記光源を放射さ
れた光ビームを上記各群毎の像面での副走査方向ビーム
間隔をm本のビーム毎に一括して調整する機構と、n1
+n2 +・・・nk-k 個の、入射光の所定の割合を反射
し、所定の割合を透過する第1の合成ミラーと、k−1
個設けられ、上記m×(n1 +n2 +・・・nk )本の
光ビームを、概ね同一の光路を通過する1つの光束にま
とめる第2の合成用ミラーと、を含む第1の光学手段
と、回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を
所定速度で回転させることにより、前記第1の光学手段
からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、この
偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2 +・・
・nk)本の光ビームを連続して像面に結像する第2の
光学手段と、を有するマルチビーム露光装置を提供する
ものである。
【0021】さらにまた、この発明は、複数の発光点を
有し、複数の光ビームを放射する光源と、この複数の光
ビームの像面での副走査方向ビーム間隔を一括して調整
する機構と、を含む第1の光学手段と、回転可能に形成
された反射面を有し、上記反射面を所定速度で回転させ
ることにより、前記第1の光学手段からの光ビームを所
定方向に偏向する偏向手段と、前記偏向手段により偏向
されたビームを連続して像面に結像する2枚の回転対称
軸を含むレンズ面を持たないレンズを含む第2の光学手
段と、を有するマルチビーム露光装置を提供するもので
ある。
【0022】またさらに、この発明は、m(mは、1以
上の整数)個の発光点を有するn1+n2 +・・・nk
(n1 、n2 ・・・およびnk は、1以上の整数で、そ
のうち少なくとも1つは2以上の整数およびkは1以上
の整数)群設けられ、像面で各m個の発光点の像が副走
査方向にnドットの間隔となる(n1 +n2 +・・・n
k )群の光ビームを提供する光源と、この光源からのm
×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを、概ね同
一の光路を通過する1つの光束にまとめるn1+n2
・・・nk-k 個の、入射光の所定の割合を反射し、所定
の割合を透過する第1の合成用ミラーと、この第1の合
成用ミラーを副走査方向に傾ける機構とを含む第1の光
学手段と、回転可能に形成された反射面を有し、上記反
射面を所定速度で回転させることにより、前記第1の光
学手段からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手段
と、この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n
2 +・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像す
る第2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置を
提供するものである。
【0023】さらにまた、この発明は、m(mは、1以
上の整数)個の発光点を有するn1+n2 +・・・nk
(n1 、n2 ・・・およびnk は、1以上の整数で、そ
のうち少なくとも1つは、2以上の整数およびkは1以
上の整数)群設けられ、像面で各m個の発光点の像が副
走査方向にnドットの間隔となる(n1 +n2 +・・・
k )群の光ビームを提供する光源と、この光源からの
m×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを、概ね
同一の光路を通過する1つの光束にまとめるn1 +n2
+・・・nk-1 個の、入射光の所定の割合を反射し、所
定の割合を透過する第1の合成用ミラーと、この合成用
ミラーを主走査方向に傾ける機構とを含む第1の光学手
段と、回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面
を所定速度で回転させることにより、前記第1の光学手
段からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、こ
の偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2 +・
・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第2
の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置を提供す
るものである。
【0024】またさらに、この発明は、m(mは、1以
上の整数)個の発光点を有するn1+n2 +・・・nk
(n1 、n2 ・・・およびnk は、1以上の整数、kは
2以上の整数)群設けられ、像面で各m個の発光点の像
が副走査方向にnドットの間隔となる(n1 +n2 +・
・・nk )群の光ビームを提供する光源と、この光源か
らのm×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを、
概ね同一の光路を通過する1つの光束にまとめるk−1
個の第2の合成用ミラーと、この第2の合成用ミラーを
副走査方向に傾ける機構とを含む第1の光学手段と、回
転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定速
度で回転させることにより、前記第1の光学手段からの
光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、この偏向手
段により偏向された上記m×(n1 +n2 +・・・
k )本の光ビームを連続して像面に結像する第2の光
学手段と、を有するマルチビーム露光装置を提供するも
のである。
【0025】さらにまた、この発明は、m(mは、1以
上の整数)個の発光点を有するn1+n2 +・・・nk
(n1 、n2 ・・・およびnk は、1以上の整数および
kは2以上の整数)群設けられ、像面で各m個の発光点
の像が副走査方向にnドットの間隔となる(n1 +n2
+・・・nk )群の光ビームを提供する光源と、この光
源からのm×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビーム
を、概ね同一の光路を通過する1つの光束にまとめるk
−1個の第2の合成用ミラーと、この第2の合成用ミラ
ーを主走査方向に傾ける機構とを含む第1の光学手段
と、回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を
所定速度で回転させることにより、前記第1の光学手段
からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、この
偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2 +・・
・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第2の
光学手段と、を有するマルチビーム露光装置を提供する
ものである。
【0026】またさらに、この発明は、複数の発光点を
有し、複数の光ビームを放射する光源と、この複数の光
ビームの像面での副走査方向ビーム間隔を一括して調整
する機構と、を含む第1の光学手段と、回転可能に形成
された反射面を有し、上記反射面を所定速度で回転させ
ることにより、前記第1の光学手段からの光ビームを所
定方向に偏向する偏向手段と、前記偏向手段により偏向
されたビームを連続して像面に結像する2枚の回転対称
軸を含むレンズ面を持たないレンズを含む第2の光学手
段と、を有し、前記第1の光学手段は、上記複数の光ビ
ームを一括して平行光もしくは収束光ヘ変換するコリメ
ータレンズもしくは有限焦点レンズと、上記複数の光ビ
ームを一括して副走査方向にさらに収束させるシリンダ
レンズと、を含み、前記光源、上記コリメータレンズも
しくは有限焦点レンズは、一体として移動可能であり、
上記シリンダレンズも光軸方向へ移動可能であることを
特徴とするマルチビーム露光装置を提供するものであ
る。
【0027】さらにまた、この発明の光ビームの副走査
方向間隔を一括して調整する機構は、光源と偏向装置と
を結ぶ光軸に沿った副走査断面において光軸と副走査方
向の像高の中心とが交わる点を回転中心として回転可能
なプリズムであることを特徴とする。
【0028】またさらに、この発明の光ビームの副走査
方向間隔を一括して調整する機構は、光源を光軸を中心
として回転可能とする構造を有することを特徴とする。
【0029】さらにまた、この発明の光ビームの副走査
方向間隔を一括して調整する機構は、ドーフェプリズム
を含むことを特徴とする。
【0030】またさらに、この発明の光源を放射された
m×n本の光ビームの像面における最大ビーム間隔は、
n×m−1走査ピッチであることを特徴とする。
【0031】さらにまた、この発明の第1の光学手段
は、m×n本の光ビームをm本単位で平行光もしくは収
束光ヘ変換するn個のコリメータレンズもしくは有限焦
点レンズと、m×n本の光ビームをm本単位で副走査方
向にさらに収束させるn個のシリンダレンズと、を含む
ことを特徴とする。
【0032】またさらに、この発明の第1の光学手段
は、m本の光ビームをm本単位で平行光もしくは収束光
ヘ変換するn1 +n2 +・・・nk 個のコリメータレン
ズもしくは有限焦点レンズと、m×(n1 +n2 +・・
・nk )本の光ビームをm×n1 、m×n2 、・・・m
×nk 本単位で副走査方向にさらに収束させるk個のシ
リンダレンズと、を含むことを特徴とする。
【0033】さらにまた、この発明の第1の光学手段
は、m×k本の光ビームをm本単位で平行光もしくは収
束光ヘ変換するk個のコリメータレンズもしくは有限焦
点レンズと、m×k本の光ビームをm本単位で副走査方
向にさらに収束させるk個のシリンダレンズと、を含む
ことを特徴とする。
【0034】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態を詳細に説明する。
【0035】図1には、この発明の実施の実施の形態で
あるマルチビーム露光装置が組み込まれるカラー画像形
成装置が示されている。なお、この種のカラー画像形成
装置では、通常、減法混色により任意の色を表示するた
めに、Y(イエロー)すなわち「黄」、M(マゼンタ)
すなわち「深紅」、C(シアン)すなわち「青紫」およ
びB(ブラック)すなわち「黒」(但し、黒は、イエロ
ー、マゼンタおよびシアンのそれぞれが重なり合って黒
を表示する画像領域を単色で置き換える墨入れと文字原
稿などの黒色単色画像の形成のために利用される)の各
色成分ごとに色分解された4種類の画像データと、Y,
M,CおよびBのそれぞれに対応して各色成分ごとに画
像を形成するさまざまな装置が4組利用されることか
ら、各参照符号に、Y,M,CおよびBを付加すること
で色成分ごとの画像データとそれぞれに対応する装置を
識別することとする。また、色分解された色成分の数を
示すkを、「k=4」と定義する。
【0036】図1に示されるように、画像形成装置10
0は、色分解された色成分毎に画像を形成する第1ない
し第4の画像形成部50Y,50M,50Cおよび50
Bを有している。
【0037】それぞれの画像形成部50(Y,M,Cお
よびB)は、図2および図3を用いて後段に詳述するマ
ルチビーム光走査装置1の第1の折り返しミラー33B
および第3の折り返しミラー37Y,37Mおよび37
Cにより各色成分の画像情報を露光するためのレーザビ
ームL(Y,M,CおよびB)が出射される位置のそれ
ぞれに対応する光走査装置1の下方に、50Y,50
M,50Cおよび50Bの順で直列に配置されている。
【0038】各画像形成部50(Y,M,CおよびB)
の下方には、それぞれの画像形成部50(Y,M,Cお
よびB)を介して形成された画像を転写される転写材を
搬送する搬送ベルト52が配置されている。
【0039】搬送ベルト52は、図示しないモータによ
り、矢印の方向に回転されるベルト駆動ローラ56なら
びにテンションローラ54に掛け渡され、ベルト駆動ロ
ーラ56が回転される方向に所定の速度で回転される。
【0040】各画像形成部50(Y,M,CおよびB)
は、矢印方向に回転可能な円筒状に形成され、光走査装
置1により露光された画像に対応する静電潜像が形成さ
れる感光体ドラム58Y,58M,58Cおよび58B
を有している。
【0041】各感光体ドラム58(Y,M,Cおよび
B)の周囲には、各感光体ドラム58(Y,M,Cおよ
びB)表面に所定の電位を提供する帯電装置60Y,6
0M,60Cおよび60B、各感光体ドラム58(Y,
M,CおよびB)の表面に形成された静電潜像に対応す
る色が与えられているトナーを供給することで現像する
現像装置62Y,62M,62Cおよび62B、各感光
体ドラム58(Y,M,CおよびB)との間に搬送ベル
ト52を介在させた状態で搬送ベルト52の背面から各
感光体ドラム58(Y,M,CおよびB)に対向され、
搬送ベルト52により搬送される記録媒体すなわち記録
用紙Pに、各感光体ドラム58(Y,M,CおよびB)
のトナー像を転写する転写装置64Y,64M,64C
および64B、各転写装置64(Y,M,CおよびB)
による用紙Pへのトナー像の転写の際に転写されなかっ
た感光体ドラム58(Y,M,CおよびB)上の残存ト
ナーを除去するクリーナ66(Y,M,CおよびB)な
らびに各転写装置64(Y,M,CおよびB)によるト
ナー像の転写のあとに感光体ドラム58(Y,M,Cお
よびB)上に残った残存電位を除去する除電装置68
(Y,M,CおよびB)が、各感光体ドラム58(Y,
M,CおよびB)が回転される方向に沿って、順に、配
置されている。
【0042】搬送ベルト52の下方には、各画像形成部
50(Y,M,CおよびB)により形成された画像が転
写される記録用紙Pを収容している用紙カセット70が
配置されている。
【0043】用紙カセット70の一端であって、テンシ
ョンローラ54に近接する側には、おおむね半月状に形
成され、用紙カセット70に収容されている用紙Pを最
上部から1枚ずつ取り出す送り出しローラ72が配置さ
れている。
【0044】送り出しローラ72とテンションローラ5
4の間には、カセット70から取り出された1枚の用紙
Pの先端と画像形成部50B(黒)の感光体ドラム58
Bに形成されたトナー像の先端を整合させるためのレジ
ストローラ74が配置されている。
【0045】レジストローラ74と第1の画像形成部5
0Yの間のテンションローラ54の近傍であって、実質
的に、テンションローラ54と搬送ベルト52が接する
位置に対応する搬送ベルト52の外周上に対向される位
置には、レジストローラ72により所定のタイミングで
搬送される1枚の用紙Pに、所定の静電吸着力を提供す
る吸着ローラ76が配置されている。
【0046】搬送ベルト52の一端かつベルト駆動ロー
ラ56の近傍であって、実質的に、ベルト駆動ローラ5
6と接した搬送ベルト52の外周上には、搬送ベルト5
2に形成された画像または用紙Pに転写された画像の位
置を検知するためのレジストセンサ78および80が、
ベルト駆動ローラ56の軸方向に所定の距離をおいて配
置されている(図1は、正面断面図であるから、図1に
おいて紙面前方に位置される第1のセンサ78は見えな
い)。
【0047】ベルト駆動ローラ56と接した搬送ベルト
52の外周上であって、搬送ベルト52により搬送され
る用紙Pと接することのない位置には、搬送ベルト52
上に付着したトナーあるいは用紙Pの紙かすなどを除去
する搬送ベルトクリーナ82が配置されている。
【0048】搬送ベルト52を介して搬送された用紙P
がテンションローラ56から離脱されてさらに搬送され
る方向には、用紙Pに転写されたトナー像を用紙Pに定
着する定着装置84が配置されている。
【0049】図2および図3には、図1に示した画像形
成装置に組み込まれるマルチビーム露光装置が示されて
いる。
【0050】図2および図3に示されるように、マルチ
ビーム露光装置1は、図1に示した第1ないし第4の画
像形成部50Y,50M,50Cおよび50Bのそれぞ
れに向けて光ビームを出力する光源3Y,3M,3Cお
よび3B、各光源3(Y,M,CおよびB)を放射され
た光ビームを所定の位置に配置された像面すなわち図1
に示した第1ないし第4の画像形成部50Y,50M,
50Cおよび50Bの感光体ドラム58Y,58M,5
8Cおよび58Bの外周面に向かって所定の線速度で偏
向(走査)する偏向手段としてのただ1つの光偏向装置
7を有している。なお、光偏向装置7と光源3との間に
は、偏向前光学系5が、光偏向装置7と像面との間に
は、偏向後光学系9が、それぞれ、配置されている。ま
た、以下、光偏向装置7によりレーザビームが偏向(走
査)される方向を主走査方向と示し、主走査方向および
光偏向装置が走査(偏向)したレーザビームが主走査方
向となるよう光偏向装置がレーザビームに与える偏向動
作の基準となる軸線のそれぞれに直交する方向を副走査
方向と示す。従って、マルチビーム露光装置1により偏
向されたレーザビームの副走査方向は、図1に示した画
像形成装置100において、記録用紙が搬送される方向
すなわち各画像形成部50(Y,M,CおよびB)の感
光体ドラム58(Y,M,CおよびB)が回転される方
向および搬送ベルト52が移動される方向に一致され
る。また、主走査方向は、記録用紙が搬送される方向と
直交する方向となる。
【0051】光偏向装置7は、例えば8面の平面反射面
(平面反射鏡)が正多角形状に配置された多面鏡本体7
aと多面鏡本体7aを主走査方向に所定の速度で回転さ
せるモータ7bとを有している。なお、多面鏡本体7a
は、モータ7bの回転軸に、一体的に形成されている。
【0052】多面鏡本体7aは、たとえば、アルミニウ
ムにより形成される。また、多面鏡7aの各反射面は、
副走査方向に沿って切り出されたのち、切断面に、たと
えば、二酸化ケイ素(SiO2)等の表面保護層が蒸着
されることで提供される。
【0053】偏向後光学系9は、光偏向装置7により偏
向されたそれぞれのレーザビームL(Y,M,Cおよび
B)の水平同期を整合させるために、各レーザビームL
を検知する水平同期用光検出器23、水平同期用光検出
器23に向けて、各レーザビームLを折り返す水平同期
用折り返しミラー25、多面鏡7aにより偏向(走査)
されたレーザビームL(Y,M,CおよびB)の像面上
での形状および位置を最適化する2枚組み結像レンズ2
1すなわち第1および第2の結像レンズ21aおよび2
1b、第2の結像レンズ21bを出射された各レーザビ
ームL(Y,M,CおよびB)を、それぞれのレーザビ
ームと対応される感光体ドラム58(Y,M,Cおよび
B)に案内する複数のミラー33Y(イエロー第1)、
35Y(イエロー第2)、37Y(イエロー第3)、3
3M(マゼンタ第1)、35M(マゼンタ第2)、37
M(マゼンタ第3)、33C(シアン第1)、35C
(シアン第2)、37C(シアン第3)、33B(黒専
用)、ならびに、上述した多くの光学要素を含む光走査
装置1を防塵する防塵ガラス39(Y,M,Cおよび
M)を有している。
【0054】次に、各光源3(Y,M,CおよびB)を
構成するレーザ3Ya,3Yb,3Ma,3Mb,3C
a,3Cb,3Baおよび3Bbのそれぞれと光偏向装
置7との間の偏向前光学系5について、それぞれのレー
ザ毎に詳細に説明する。
【0055】各光源3Y,3M,3Cおよび3Bは、図
2に示したように、それぞれレーザビームLYを出射す
るイエロー第1レーザ3Yaおよびイエロー第2レーザ
3Ybと、レーザビームLMを出射するマゼンタ第1レ
ーザ3Maおよびマゼンタ第2レーザ3Mbと、レーザ
ビームLCを出射するシアン第1レーザ3Caおよびシ
アン第2レーザ3Cbと、レーザビームLBを出射する
黒第1レーザ3Baおよび黒第2レーザ3Bbを有して
いる。
【0056】なお、各光源を構成するレーザ3Ya,3
Yb,3Ma,3Mb,3Ca,3Cb,3Baおよび
3Bbのそれぞれから出射されたレーザビームLYaお
よびLYb、LMaおよびLMb、LCaおよびLCb
ならびにLBaおよびLBbは、同一色成分毎に、後段
に詳述するn1 +n2 +n3 +n4-k =2+2+2+2
−4=4個の入射レーザビームの概ね50%を反射し、
概ね50%を透過する群合成ミラー(ハーフミラーすな
わち第1の合成ミラー)15Y,15M,15Cおよび
15Bによりそれぞれ合成され、さらにk−1=4−1
=3個の第2の合成ミラー19M,19Cおよび19B
により合成されて光偏向装置7に向けて案内される。
【0057】また、各レーザ3Ya,3Yb,3Ma,
3Mb,3Ca,3Cb,3Baおよび3Bbは、それ
ぞれ図14を用いて後段に詳述するように、概ね正三角
形に配列された3つの発光点を有するレーザアレイであ
る。従って、それぞれの光源3(Y,M,CおよびB)
から光偏向装置7に向けて放射されるレーザビームLの
総数は、n1 =n2 =n3 =n4 =2、m=3であるた
め、2+2+2+2=8群×mすなわち8×3=24本
となる、すなわちLYa−1,LYa−2,LYa−
3,LYb−1,LYb−2,LYb−3,LMa−
1,LMa−2,LMa−3,LMb−1,LMb−
2,LMb−3,LCa−1,LCa−2,LCa−
3,LCb−1,LCb−2,LCb−3,LBa−
1,LBa−2,LBa−3,LBb−1,LBb−2
およびLBb−3となる。このことから、任意の色に対
応するレーザビームLは、図面上では区分できないが、
いづれもハーフミラー15(Y,M,CおよびB)の前
側(光源側)では3本が、ハーフミラー15(Y,M,
CおよびB)の後側(光偏向装置側)では2×3=6本
が1まとめにまとめられたものである。
【0058】偏向前光学系5は、図4(任意のレーザビ
ームLを代表として示している)を用いて詳述するよう
に、レーザ3を出射されたレーザビームLに所定の集束
性を与える有限焦点レンズ13、有限焦点レンズ13を
通過したレーザビームLに任意の断面ビーム形状を与え
る絞り14、絞り14を通過したレーザビームLに、副
走査方向に関してさらに所定の集束性を与えるシリンダ
レンズ17、シリンダレンズ17と絞り14との間に位
置されるハーフミラー15を含み、レーザ3を出射され
たレーザビームLの断面ビーム形状を所定の形状に整え
て、光偏向装置7の反射面に案内する。なお、有限焦点
レンズ13は、例えば非球面または球面ガラスレンズの
レーザ入射面および出射面の少なくとも一方の面に、例
えばUV(Urtra Violet=紫外線)硬化型
の図示しないプラスチックレンズを貼り合わせた(また
は図示しないプラスチックレンズを一体成形した)レン
ズが利用される。また、レーザ3、有限焦点レンズ13
および絞り14は、図5を用いて以下に説明するレンズ
ホルダ11により一体に保持されている。
【0059】図5(任意のレーザ3と対応するレンズホ
ルダ11を代表として示している)に示されるように、
レンズホルダ11は、例えば高い加工精度を有しその一
方で温度の変化に対する形状変化の少ないアルミダイカ
スト製であって、偏向前光学系5の構成要素を保持する
ベースプレート10の凹部10a上に、凹部10a上を
矢印X方向に沿って凹部10a上を移動可能に配置され
ている。なお、ベースプレート10は、露光装置1の中
間ベース1a上に位置されている。
【0060】レンズホルダ11は、レンズホルダ11と
実質的に等しい材質のアルミニウムにより形成されたア
ルミダイカスト製のレーザホルダ12に固定されたレー
ザ3と有限焦点レンズ13を所定の間隔に維持して保持
するホルダ本体11aを有し、レーザ3の発光点すなわ
ちレーザホルダ12とホルダ本体11aとが接触される
位置から所定の距離の位置に、有限焦点レンズ13を保
持する。すなわち、有限焦点レンズ13は、フランジ部
分が円筒状に形成された円筒フランジ付きレンズであっ
て、レンズホルダ11のホルダ本体11aの底部11b
の側方からホルダ本体11aの側面11cに向けて加圧
可能に配置された板ばね16によりレンズホルダの側面
11cに押しつけられることで、レンズホルダ11に固
定される。従って、有限焦点レンズ13は、レーザ3か
ら有限焦点レンズ13を通ってシリンダレンズ17に向
かう光軸oに沿ってホルダ本体11aを移動可能で、レ
ーザ支持体12に固定されたレーザ3との間隔が所定の
間隔となるようレンズホルダ11に固定される。また、
絞り14は、図6を用いて以下に説明するように、有限
焦点レンズ13の後ろ側焦点位置に位置されるよう、レ
ンズホルダ11の所定位置すなわち絞り保持部11dに
固定されている。なお、光軸oは、ベースプレート10
の凹部10aが延出される方向と概ね平行に規定されて
いる。
【0061】図6(任意のレーザビームLを代表として
示している)は、レンズホルダ11内の有限焦点レンズ
13と絞り14とを、光軸oに沿って抜き出した概略図
である。図6に示されるように、絞り14を、有限焦点
レンズ13の後ろ側焦点位置に配置することで、3本×
2群のレーザ3(Y,M,CおよびBのいづれか)aお
よびレーザ3(Y,M,CおよびBのいづれか)bのそ
れぞれを放射されたレーザビームL(Y,M,Cおよび
Bのいづれか)aとレーザビームL(Y,M,Cおよび
Bのいづれか)bの双方の効率を概ね等しくできる。
【0062】再び図2および図3を参照すれば、ハーフ
ミラー15(Y,M,CおよびB)は、例えば厚さtが
5mmに形成された平行平板ガラスの一方の面に金属膜
が蒸着されることで、透過率および反射率が所定の大き
さとなるよう制御されたもので、各レーザ3(Y,M,
CおよびBのいづれか)aおよびレーザ3(Y,M,C
およびBのいづれか)bから放射される3本×2群=6
本のレーザビームの内の所定の1本のレーザビーム、例
えば図15を用いて後段に詳述するレーザビームa−1
またはb−1を水平同期検出器23で検知して得られる
水平同期およびビーム位置信号に基づいて、図7を用い
て以下に説明するミラー保持機構20により、主走査方
向および副走査方向のそれぞれの方向に関して反射角が
設定される。
【0063】なお、それぞれのレーザビームLYa,L
Ma,LCaおよびLBaは、上述したように、それぞ
れハーフミラー15(Y,M,CおよびB)を透過さ
れ、レーザ3Yb,3Mb,3Cbおよび3Bbを出射
されたそれぞれのレーザビームLYb,LMb,LCb
およびLBbは、ハーフミラー15(Y,M,Cおよび
B)で反射される。このとき、各光源3(Y,M,Cお
よびB)がNk(kは正の整数で、この例では既に説明
したように、kで示される色の数がk=4)であり、N
1,N2,N3およびN4のそれぞれにおける光源の群
の数iは、それぞれ2個であるから、ハーフミラー15
(Y,M,CおよびB)は、上述したように、それぞれ
の光源毎に(Ni−1)=2−1=1個利用されること
になる。
【0064】また、各レーザビームL(Ya,Yb,M
a,Mb,Ca,Cb,BaおよびBb)がハーフミラ
ー15(Y,M,CおよびB)を透過する回数は、上述
したように、1または0回となる。具体的には、LB
a,LMa,LCaおよびLYaは、ハーフミラー15
(Y,M,CおよびB)を1回だけ透過し、それ以外の
レーザビームLBb,LMb,LCbおよびLYbは、
ハーフミラー15(Y,M,CおよびB)で反射され
る。なお、それぞれのハーフミラー15(Y,M,Cお
よびB)は、各ハーフミラー15(Y,M,Cおよび
B)を透過して光偏向装置7に向かうレーザビームLB
a,LMa,LCaおよびLYaのそれぞれに対して同
一の方向に、同一量(角度)傾けられる。この場合、そ
れぞれのハーフミラー15(Y,M,CおよびB)が傾
けられる角度Uは、それぞれ、45°に設定される。
【0065】ここで、それぞれのハーフミラー15
(Y,M,CおよびB)の反射率と透過率の比を1:1
とすることで、各光源3(Y,M,CおよびB)の各レ
ーザ素子3Yaおよび3Yb、3Maおよび3Mb、3
Caおよび3Cbならびに3Baおよび3Bbの出力を
実質的に同一に設定できる。これにより、結像面での出
力を同一とすることが可能となり、各レーザビームL
(Ya,Yb,Ma,Mb,Ca,Cb,BaおよびB
b)の結像特性を等しくすることが容易となる。
【0066】図7(任意のレーザビームを代表として示
している)は、3本×2群のレーザ3(Y,M,Cおよ
びBのいづれか)aと、(レーザ3(Y,M,Cおよび
Bのいづれか)a)と対をなすレーザ3(Y,M,Cお
よびBのいづれか)bを合成するハーフミラー15
(Y,M,CおよびB)の光入射面および光出射面(光
反射面)の傾きを、主走査方向および副走査方向のそれ
ぞれの方向に関連した方向に調整可能とするミラー保持
機構20を説明する概略図である。
【0067】図7に示されるように、ハーフミラー15
は、ベースプレート10の所定位置に、ベースプレート
10と一体に形成された突起状のミラー保持部10bと
このミラー保持部10bに向けて加圧可能に配置された
板ばね20aにより、光軸oに対して任意の傾きを示す
よう固定される。
【0068】ミラー保持機構20は、詳細には、ミラー
保持部10bの底部すなわちベースプレート10に近接
する側に設けられた第1の調整ねじ20b、ベースプレ
ート10から所定の距離に設けられた第2および第3の
調整ねじ20cおよび20dを有し、それぞれのねじ2
0b,20cおよび20dの繰り出し量を個々に設定す
ることで、板ばね20aからの押しつけ力により押しつ
けられるミラー15の傾きを、3本のねじ20b,20
cおよび20dの繰り出し量により設定される方向およ
び角度に設定できる。なお、板ばね20aは、ミラー1
5の外郭部のみに接するよう、ベースプレート10との
固定部分を除いて2本の帯状領域に分割され、ミラー保
持部10bは、20b,20cおよび20dが設けられ
る領域を除いて欠き取られた構造であり、ミラー15に
対して、ミラー保持部10b側と板ばね20a側の双方
からのレーザビームの入射あるいは反射を可能とする。
【0069】シリンダレンズ17は、例えばポリメチル
メタクリル(PMMA)等に代表されるプラスチック材
料により副走査方向断面形状が円筒面の一部となる形状
に形成されることで空気と接するレンズ面に副走査方向
のパワーが与えられてレーザ3側に配置されたプラスチ
ックレンズ17aと、例えばLAH78等のガラス材料
から形成され、光偏向装置7側に配置されたガラスレン
ズ17bとが、接着によりまたは図示しない位置決め部
材に向かって所定の方向から押圧されることで一体に形
成されたハイブリッド(複合)レンズである。従って、
プラスチックシリンダレンズ17aのガラスレンズ17
bと接する面とガラスシリンダレンズ17bのプラスチ
ックレンズ17aと接する面の副走査方向の曲率は、等
しく設定される。また、ガラスシリンダレンズ17bに
プラスチックシリンダレンズ17aが一体に成型されて
もよい。
【0070】なお、シリンダレンズ17は、後段に詳述
するように、各光源3を出射された3本×2群=6本の
レーザビームLのそれぞれが非対称かつシリンダレンズ
17の設計光軸から所定距離および所定の高さに入射す
るよう、偏向前光学系5内で最適化された位置に固定さ
れる。また、この位置は、後段に説明する偏向後光学系
9を構成する第1および第2の結像レンズ21a,21
bから各レーザビームLに付加されるコマ収差を打ち消
すことのできるように設定される。
【0071】図8は、光偏向装置7の多面鏡7aの前段
(上流側)における各レーザビームL(Y,M,Cおよ
びB)とカラー合成ミラー19M,19Cおよび19B
との副走査方向の間隔を説明する概略図である。
【0072】図8に示されるように、副走査方向に関し
て隣り合うレーザビームL(Y,M,CおよびB)は、
それぞれ、レーザビーム毎に所定の間隔で光偏向装置7
に案内される。すなわち、図8から明らかなように、レ
ーザビームLBとレーザビームLCとの間の間隔は、例
えば1.45mmに、レーザビームLCとレーザビーム
LMとの間の間隔は、例えば1.71mmに、レーザビ
ームLMとレーザビームLCとの間の間隔は、例えば
2.26mmに、それぞれ設定される。
【0073】次に、光偏向装置7の反射面に案内され、
反射面で偏向(走査)されたレーザビームLYaおよび
LYb、LMaおよびLMb、LCaおよびLCbなら
びにLBaおよびLBbのそれぞれと光偏向装置7と像
面との間に位置される偏向後光学系9について、それぞ
れのレーザ毎に詳細に説明する。
【0074】光偏向装置7に案内されたレーザビームL
Ya(LYa−1,LYa−2およびLYa−3)およ
びLYb(LYb−1,LYb−2およびLYb−3)
は、光偏向装置7の多面鏡7aの各反射面の回転によ
り、概ね直線状に偏向されて、偏向後光学系9すなわち
2枚組結像レンズ21の第1の結像レンズ21aの入射
面に、所定の角度で入射される。
【0075】以下、レーザビームLYaおよびLYb
は、感光体ドラム58Yの表面上でのビームスポットの
形状および大きさが所定の形状および大きさになるよ
う、第2の結像レンズ21bにより所定の収束性ならび
に方向性が与えられ、ミラー33Yおよび35Yで順に
反射され、ミラー37Yにより所定の角度で反射され
て、防塵ガラス39Yを通って、感光体ドラム58Yの
所定の位置に照射される。
【0076】同様に、レーザビームLMaおよびLM
b、LCaおよびLCbのそれぞれは、光偏向装置7の
多面鏡7aの各反射面の回転により、概ね直線状に偏向
されて、偏向後光学系9すなわち2枚組結像レンズ21
の第1の結像レンズ21aの入射面に所定の角度で入射
され、感光体ドラム58Mおよび58Cの表面上でのビ
ームスポットの形状および大きさが所定の形状および大
きさになるよう、第2の結像レンズ21bにより所定の
収束性ならびに方向性が与えられ、ミラー33M,33
C、35Mおよび35Cで順に反射され、ミラー37M
および37Cにより所定の角度で反射されて、防塵ガラ
ス39Mおよび37Cを通って、感光体ドラム58Mお
よび58Cの所定の位置に照射される。
【0077】光偏向装置7に案内されたレーザビームL
Ba(LBa−1,LBa−2およびLBa−3)およ
びLBb(LBb−1,LBb−2およびLBb−3)
は、光偏向装置7の多面鏡7aの各反射面の回転によ
り、概ね直線状に偏向されて、偏向後光学系9すなわち
2枚組結像レンズ21の第1の結像レンズ21aの入射
面に、所定の角度で入射される。
【0078】以下、レーザビームLBaおよびLBb
は、感光体ドラム58Bの表面上でのビームスポットの
形状および大きさが所定の形状および大きさになるよ
う、第2の結像レンズ21bにより所定の収束性ならび
に方向性が与えられ、ミラー33Bのみにより所定の角
度で反射されて、防塵ガラス39Mを通って、感光体ド
ラム58Bの所定の位置に照射される。
【0079】なお、各レーザビームL(Y,Mおよび
C)のそれぞれに対応して設けられている第3ミラー3
7(Y,MおよびC)は、図9に示す反射角および平行
度調整機構40により、各レーザビームL(Y,Mおよ
びC)を任意の方向に反射可能に保持されるとともに感
光体ドラム58(Y,MおよびC)の長手方向の両端部
のビームスポット径の変動量を任意の大きさに設定可能
に形成されている。
【0080】反射角および平行度調整機構40は、各ミ
ラー37(Y,MおよびC)の長手方向の両端部に対応
して露光装置1の中間ベース1aから突出された一対の
突起部41,41とそれぞれの突起部41,41向けて
押しつけ力を提供する一対の板ばね43,43と、突起
部41,41に設けられた第1ないし第3の調整ねじ4
1a,41bおよび41cを含み、それぞれのねじ41
a,41bおよび41cの繰り出し量を個々に設定する
ことで、板ばね43,43からの押しつけ力により押し
つけられるミラー37の傾きを、3本のねじ41a,4
1bおよび41cの繰り出し量により設定される方向お
よび角度に設定できる。なお、各ミラー37(Y,Mお
よびC)は、ミラー33Bにより感光体ドラム58Bに
向けて案内されたレーザビームLBを基準として、対応
する感光体ドラム58(Y,MおよびC)に導かれた各
レーザビーム(Y,MおよびC)により得られる画像
が、感光体ドラム58Bにより提供される画像と等しい
間隔およびビームスポット径(線幅)となるよう、画像
形成装置100の搬送ベルト52上に提供される画像
を、詳述しないモニタ機構を用いてモニタすることで、
設定される。
【0081】なお、偏向前光学系5および偏向後光学系
9に用いられる各レンズならびに各レーザビームに対し
て所定の特性を与える光学部材すなわち有限焦点レンズ
13(偏向前光学系)、ハーフミラー15(偏向前光学
系)、ガラスシリンダレンズ17a(シリンダレンズ1
7)、プラスチックシリンダレンズ17b(シリンダレ
ンズ17)、第1の結像レンズ21a(偏向後光学
系)、第2の結像レンズ21b(偏向後光学系)および
防塵ガラス39(偏向後光学系)の光学特性は、表1な
いし表3に示す通りである。また、偏向前光学系におい
て、レーザビームLYに利用される要素とレーザビーム
LBに利用される要素は、副走査方向において光軸oを
挟んで対称である。なお、表2におけるCUXおよびC
UYは、第1および第2の結像レンズ21aおよび21
bのそれぞれにおける入射面と出射面のレンズ面形状を
(1)式に示す多項式で示したときの計数である。
【0082】
【表1】
【0083】
【表2】
【0084】
【表3】
【0085】
【数1】
【0086】次に、シリンダレンズと偏向後光学系との
間の光学特性について詳細に説明する。
【0087】偏向後光学系9すなわち2枚組みレンズ2
1の第1および第2の結像レンズ21aおよび21b
は、プラスチック、たとえば、PMMAにより形成され
ることから、周辺温度が、たとえば、0°Cから50°
Cの間で変化することで、屈折率nが、1.4876か
ら1.4789まで変化することが知られている。この
場合、第1および第2の結像レンズ21aおよび21b
を通過されたレーザビームが実際に集光される結像面、
すなわち、副走査方向における結像位置は、±4mm程
度変動してしまう。
【0088】これに対して、図4に示した偏向前光学系
5に、偏向後光学系9に利用されるレンズの材質と同一
の材質のレンズを、曲率を最適化した状態で組み込むこ
とで、温度変化による屈折率nの変動に伴って発生する
結像面の変動を、±0.5mm程度に抑えることができ
る。すなわち、偏向前光学系5がガラスレンズで、偏向
後光学系9がプラスチックレンズにより構成されるよう
な周知の光学系に比較して、偏向後光学系21の第1お
よび第2のレンズ21aおよび21bの温度変化による
屈折率の変化に起因して発生する副走査方向の色収差が
補正できる。
【0089】ところで、補正可能な色収差の補正量は、
プラスチックシリンダレンズ17bのパワー、すなわち
プラスチックシリンダレンズ17bの入射面曲率と出射
面曲率との差に応じて決まることから、プラスチックシ
リンダレンズ17bの入射面を平面とすれば、ガラスシ
リンダレンズ17aの曲率が特定される。
【0090】このことから、ガラスシリンダレンズ17
aに利用される材料が特定されるとシリンダレンズ17
の焦点距離が決定される。従って、偏向後光学系21の
光学特性が特定されると、副走査方向のビームスポット
の最小径は、シリンダレンズ17の焦点距離のみによっ
て設定可能となる。しかしながら、このことは、設計自
由度をせまくするので、目標とするビームスポットを得
ることおよび色消しを両立しなくなることも考慮する必
要を生じさせる。なお、ガラス材料を変更することによ
り屈折率を変えてガラスシリンダレンズ17aの焦点距
離を調整することによりシリンダレンズ17としての焦
点距離を設定する方法もあるが、ガラスの材質によって
は、研削性、保管あるいは運送に際して必ずしも有益と
は限らず、自由度が低くなることは避けられない。
【0091】このような観点から、ガラスシリンダレン
ズ17aの入射面と出射面に曲率を与えることでプラス
チックシリンダレンズ17bのパワーとシリンダレンズ
17のパワーを独立の関数とする方法もことも可能であ
る。
【0092】しかしながら、成型により作成するプラス
チックシリンダレンズ17bの入射面と出射面の両面に
曲率を与え、プラスチックシリンダレンズ17bのパワ
ーとシリンダレンズ17のパワーを独立の関数とする上
記方法により最もコストを低減できる。
【0093】図10は、図3に示した光偏向装置の多面
鏡の所定の反射面と感光体ドラムとの間のレーザビーム
と副走査方向の光軸との関係を示す光路図である。
【0094】図10に示されるように、光偏向装置7の
多面鏡7aの各反射面で反射されたレーザビームL
(Y,M,CおよびB)は、それぞれ、第1の結像レン
ズ21aと第2の結像レンズ21bとの間で、副走査方
向に関し、光軸oと交差して像面(感光体ドラム58)
に案内される。
【0095】ところで、光偏向装置の各反射面で反射さ
れたレーザビームL(Y,M,CおよびB)は、第1な
いし第2の結像レンズ21aおよび21bにより所定の
収差特性が与えられ、折り返しミラー33B,37Y,
37Mおよび37Cにより、所定の方向に折り返され
る。
【0096】このとき、レーザビームLBは、第1の折
り返しミラー33Bで反射されたのち、そのまま防塵ガ
ラス39Bを通って感光体ドラム58bに案内される。
これに対し、残りのレーザビームLY,LMおよびLC
は、それぞれ、第2の折り返しミラー35Y,35Mお
よび35Cに案内され、第2の折り返しミラー35Y,
35Mおよび35Cによって、第3の折り返しミラー3
7Y,37Mおよび37Cに向かって反射され、さら
に、第3の折り返しミラー37Y,37Mおよび37C
で反射されたのち、それぞれ、防塵ガラス39Y,39
Mおよび39Cにより、おおむね等間隔でそれぞれの感
光体ドラムに結像される。この場合、第1の折り返しミ
ラー33Bで出射されたレーザビームLBとレーザビー
ムLBに隣り合うレーザビームLCも、おおむね等間隔
で感光体ドラム58Bおよび58Cのそれぞれに結像さ
れる。なお、図3に示されるように、レーザビームLB
は、多面鏡5aの各反射面で偏向された後は、折り返し
ミラー33Bで反射されるのみで、光走査装置1から感
光体ドラム58に向かって出射される。
【0097】このレーザビームLBは、光路中に複数の
ミラーが存在する場合に、ミラーの数に従って増大(逓
倍)される結像面での像のさまざまな収差特性の変動あ
るいは主走査線曲がりなどに関し、残りのレーザビーム
L(Y,MおよびC)を相対的に補正する際の基準光線
として有益である。
【0098】なお、光路中に複数のミラーが存在する場
合には、それぞれのレーザビームLY,LM,LCおよ
びLBごとに利用されるミラーの枚数を奇数または偶数
に揃えることが好ましい。すなわち、図3に示されるよ
うに、レーザビームLBに関与する偏向後光学系内のミ
ラーの枚数は、光偏向装置7の多面鏡7aを除いて1枚
(奇数)で、レーザビームLC,LMおよびLYに関与
する偏向後光学系内のミラーの枚数は、それぞれ、多面
鏡7aを除いて3枚(奇数)である。ここで、いづれか
1つのレーザビームLC,LMおよびLYに関し、第2
のミラー35が省略されたと仮定すれば、第2のミラー
35が省略された光路(ミラーの枚数は偶数)を通るレ
ーザビームのレンズなどの傾きなどによる主走査線曲が
りの方向は、他のレーザビームすなわちミラーの枚数が
奇数のレンズなど傾きなどによる主走査線曲がりの方向
と逆になり、所定の色を再現する際に有害な問題である
色ズレを引き起こす。
【0099】従って、3本×2群×4色=24本のレー
ザビームLY,LM,LCおよびLBを重ねて所定の色
を再現する際には、各レーザビームLY,LM,LCお
よびLBの偏光後光学系21の光路中に配置されるミラ
ーの枚数は、実質的に、奇数または偶数に統一される。
【0100】図11は、偏向後光学系の水平同期用折り
返しミラーの形状を説明するもので、水平同期用折り返
しミラー25は、レーザビームL(Y,M,Cおよび
B)を、主走査方向には水平同期検出器23に異なるタ
イミングで反射させるとともに、副走査方向には水平同
期検出器23上で実質的に同一の高さを提供できるよ
う、主走査方向および副走査方向ともに異なる角度に形
成された第1ないし第4の折り返しミラー面25Y,2
5M,25Cおよび25Bとそれらを一体に保持するミ
ラーブロック25aを有している。ミラーブロック25
aは、例えばPMMA(ポリメチルメタクリル)などに
より成型される。また、各ミラー25(Y,M,Cおよ
びB)は、所定の角度で成型されたブロック25aの対
応する位置に、例えば、アルミニウムなどの金属が蒸着
されて形成される。また、ミラーブロック25aは、型
のミラー面が1つにブロックから切削加工により作成可
能に設計され、アンダーカットを必要とせずに、型から
抜けるよう工夫されている。
【0101】折り返しミラー25は、光偏向装置7で偏
向された各レーザビームLY,LM,LCおよびLBを
1つの検出器23の同一の検出位置に入射させることが
可能で、例えば検出器が複数個配置される際に問題とな
る各検出器の感度あるいは位置ずれに起因する水平同期
信号のずれが除去できる。なお、水平同期検出器23に
は、水平同期用折り返しミラー25により主走査方向1
ラインあたりレーザビーム群LY,LM,LCおよびL
Bが合計8回入射される。また、1つのビームは、図1
7を用いて後段に詳述するように3本のビームを含む
が、各レーザにおける発光点の発光タイミングを適切に
設定することにより、ここのビームに関して1本のレー
ザビームのみが出射される。このとき、残りのレーザビ
ームについては、一時的にオフとし、第1の水平同期が
検知された時点で、そのビームを出射した発光点の発光
を停止した後、第1の水平同期を検出した検出器よりも
偏向方向の下流側の検出器にて水平同期を検出する。
【0102】なお、検出器23における検出位置は、経
時変化による変動が他の要素に比較して小さいため、調
整時に、あるレーザビームに対するずれを図示しないメ
モリに記憶させ、画像出力時には、このずれに基づいて
印字信号の出射タイミングを変化することで、色ずれの
ない画像を容易に提供できる。
【0103】次に、上述したマルチビーム露光装置1に
より感光体ドラム58(Y,M,CおよびB)の外周面
に案内されるレーザビーム(Y,M,CおよびB)の特
性について詳細に説明する。
【0104】図2に示されるように、イエロー第1レー
ザ3Yaを出射されたレーザビームLYa(LYa−
1,LYa−2およびLYa−3)は、有限焦点レンズ
13Yaにより、主走査方向および副走査方向のそれぞ
れに関して概ね平行に変換され、絞り14Yaを通って
所定の断面ビーム形状が与えられる。絞り14Yaを通
って所定の断面ビーム形状が与えられたレーザビームL
Yaは、反射面が任意の方向に設定可能な半固定ミラー
18Yにより所定の方向に折り曲げられ、ハーフミラー
15Yに案内される。なお、半固定ミラー18は、図7
に示したミラー保持機構20に類似した固定装置または
図示しない超音波モータにより任意の方向に反射面の角
度が設定可能なガルバノミラーである。
【0105】ハーフミラー15Yに案内されたレーザビ
ームLYaは、ハーフミラー15Yを透過し、ハーフミ
ラー15Yにより、以下に説明するイエロー第2レーザ
3YbからのレーザビームLYbと重ね合わせられて、
レーザビームLYとして、シリンダレンズ17Yに案内
される。シリンダレンズ17Yに案内されたレーザビー
ムLYは、シリンダレンズ17Yにより副走査方向に関
してさらに集束されて光偏向装置7の多面鏡7aに案内
される。なお、ハーフミラー15Yは、レーザビームL
Yaの内のLYa−1,LYa−2およびLYa−3の
いづれか1本に対して、副走査方向の反射角が所定の角
度になるよう配置されている。また、副走査方向の反射
角が設定される基準となるLYa−1,LYa−2およ
びLYa−3のいづれかのレーザビームに対するハーフ
ミラー15Yの副走査方向の傾きは、後段に説明する偏
向後光学系9の水平同期および副走査ビーム位置検出器
23により得られるビーム位置データに基づいて設定さ
れる。
【0106】イエロー第2レーザ3Ybを出射されたレ
ーザビームLYb(LYb−1,LYb−2およびLY
b−3)は、有限焦点レンズ13Ybにより、主走査方
向および副走査方向のそれぞれに関して概ね平行に変換
され、絞り14Ybを通って所定の断面ビーム形状が与
えられる。絞り14Ybを通って所定の断面ビーム形状
が与えられたレーザビームLYbは、ハーフミラー15
Yで反射され、ハーフミラー15Yにより、上述したイ
エロー第1レーザ3YaからのレーザビームLYaと重
ね合わせられて、光偏向装置7の多面鏡7aに案内され
る。
【0107】マゼンタ第1レーザ3Maを出射されたレ
ーザビームLMa(LMa−1,LMa−2およびLM
a−3)は、有限焦点レンズ13Maにより、主走査方
向および副走査方向のそれぞれに関して概ね平行に変換
され、絞り14Maを通って所定の断面ビーム形状が与
えられる。絞り14Maを通って所定の断面ビーム形状
が与えられたレーザビームLMaは、ハーフミラー15
Mに案内される。ハーフミラー15Mに案内されたレー
ザビームLMaは、ハーフミラー15Mを透過し、ハー
フミラー15Mにより、以下に説明するマゼンタ第2レ
ーザ3MbからのレーザビームLMbと重ね合わせられ
て、レーザビームLMとして、シリンダレンズ17Mに
案内される。シリンダレンズ17Mに案内されたレーザ
ビームLMは、シリンダレンズ17Mにより副走査方向
に関してさらに集束されて光偏向装置7の多面鏡7aに
案内される。なお、ハーフミラー15Mは、レーザビー
ムLMaの内のLMa−1,LMa−2およびLMa−
3のいづれか1本に対して、副走査方向の反射角が所定
の角度になるよう配置されている。また、副走査方向の
反射角が設定される基準となるLMa−1,LMa−2
およびLMa−3のいづれかのレーザビームに対するハ
ーフミラー15Mの副走査方向の傾きは、後段に説明す
る偏向後光学系9の水平同期および副走査ビーム位置検
出器23により得られるビーム位置データに基づいて設
定される。
【0108】マゼンタ第2レーザ3Mbを出射されたレ
ーザビームLMb(LMb−1,LMb−2およびLM
b−3)は、有限焦点レンズ13Mbにより、主走査方
向および副走査方向のそれぞれに関して概ね平行に変換
され、絞り14Mbを通って所定の断面ビーム形状が与
えられる。絞り14Mbを通って所定の断面ビーム形状
が与えられたレーザビームLMbは、ハーフミラー15
Mで反射され、ハーフミラー15Mにより、上述したマ
ゼンタ第1レーザ3MaからのレーザビームLMaと重
ね合わせられて、光偏向装置7の多面鏡7aに案内され
る。
【0109】シアン第1レーザ3Caを出射されたレー
ザビームLCa(LCa−1,LCa−2およびLCa
−3)は、有限焦点レンズ13Caにより、主走査方向
および副走査方向のそれぞれに関して概ね平行に変換さ
れ、絞り14Caを通って所定の断面ビーム形状が与え
られる。絞り14Caを通って所定の断面ビーム形状が
与えられたレーザビームLCaは、ハーフミラー15C
に案内される。ハーフミラー15Cに案内されたレーザ
ビームLCaは、ハーフミラー15Cを透過し、ハーフ
ミラー15Cにより、以下に説明するシアン第2レーザ
3CbからのレーザビームLCbと重ね合わせられて、
レーザビームLCとして、シリンダレンズ17Cに案内
される。シリンダレンズ17Cに案内されたレーザビー
ムLCは、シリンダレンズ17Cにより副走査方向に関
してさらに集束されて光偏向装置7の多面鏡7aに案内
される。なお、ハーフミラー15Cは、レーザビームL
Caの内のLCa−1,LCa−2およびLCa−3の
いづれか1本に対して、副走査方向の反射角が所定の角
度になるよう配置されている。また、副走査方向の反射
角が設定される基準となるLCa−1,LCa−2およ
びLCa−3のいづれかのレーザビームに対するハーフ
ミラー15Cの副走査方向の傾きは、後段に説明する偏
向後光学系9の水平同期および副走査ビーム位置検出器
23により得られるビーム位置データに基づいて設定さ
れる。
【0110】シアン第2レーザ3Cbを出射されたレー
ザビームLCb(LCb−1,LCb−2およびLCb
−3)は、有限焦点レンズ13Cbにより、主走査方向
および副走査方向のそれぞれに関して概ね平行に変換さ
れ、絞り14Cbを通って所定の断面ビーム形状が与え
られる。絞り14Cbを通って所定の断面ビーム形状が
与えられたレーザビームLCbは、ハーフミラー15C
で反射され、ハーフミラー15Cにより、上述したシア
ン第1レーザ3CaからのレーザビームLCaと重ね合
わせられて、光偏向装置7の多面鏡7aに案内される。
【0111】黒第1レーザ3Baを出射されたレーザビ
ームLBa(LBa−1,LBa−2およびLBa−
3)は、有限焦点レンズ13Baにより、主走査方向お
よび副走査方向のそれぞれに関して概ね平行に変換さ
れ、絞り14Baを通って所定の断面ビーム形状が与え
られる。絞り14Baを通って所定の断面ビーム形状が
与えられたレーザビームLBaは、反射面が任意の方向
に設定可能な半固定ミラー18Bにより所定の方向に折
り曲げられ、ハーフミラー15Bに案内される。ハーフ
ミラー15Bに案内されたレーザビームLBaは、ハー
フミラー15Bを透過し、ハーフミラー15Bにより、
以下に説明する黒第2レーザ3Bbからのレーザビーム
LBbと重ね合わせられて、シリンダレンズ17Bに案
内される。シリンダレンズ17Bに案内されたレーザビ
ームLBは、シリンダレンズ17Bにより副走査方向に
関してさらに集束されて光偏向装置7の多面鏡7aに案
内される。なお、ハーフミラー15Bは、レーザビーム
LBaの内のLBa−1,LBa−2およびLBa−3
のいづれか1本に対して、副走査方向の反射角が所定の
角度になるよう配置されている。また、副走査方向の反
射角が設定される基準となるLBa−1,LBa−2お
よびLBa−3のいづれかのレーザビームに対するハー
フミラー15Bの副走査方向の傾きは、後段に説明する
偏向後光学系9の水平同期および副走査ビーム位置検出
器23により得られるビーム位置データに基づいて設定
される。
【0112】黒第2レーザ3Bbを出射されたレーザビ
ームLBb(LBb−1,LBb−2およびLBb−
3)は、有限焦点レンズ13Bbにより、主走査方向お
よび副走査方向のそれぞれに関して概ね平行に変換さ
れ、絞り14Bbを通って所定の断面ビーム形状が与え
られる。絞り14Bbを通って所定の断面ビーム形状が
与えられたレーザビームLBbは、ハーフミラー15B
で反射され、ハーフミラー15Bにより、上述した黒第
1レーザ3BaからのレーザビームLBaと重ね合わせ
られて、光偏向装置7の多面鏡7aに案内される。
【0113】なお、イエロー第1レーザ3Yaから出射
されたレーザビームLYaおよび黒第1レーザ3Baか
ら出射されたレーザビームLBaの光路に位置される半
固定ミラー18Yおよび18Bは、例えば図7に示した
ハーフミラー15を保持するミラー保持機構20に類似
したミラー保持機構により、主走査方向および副走査方
向のそれぞれの方向にレーザビームの反射方向および角
度を変更可能に、配置されている。
【0114】ハーフミラー15M,11Cおよび11B
によりまとめられた3本×2群=6本のレーザビームL
M,LCおよびLBは、それぞれのレーザビームL
(M,CおよびB)に対応され、ハーフミラー15
(Y,M,CおよびB)および半固定ミラー18Yおよ
び18Bと同様に、図7に示したハーフミラー15を保
持するミラー保持機構20に類似したミラー保持機構に
より、主走査方向および副走査方向のそれぞれの方向に
レーザビームの反射方向および角度を変更可能に、配置
されているカラー合成ミラー(すなわち第2の合成ミラ
ー)19M,19Cおよび19Bにより所定方向に折り
返されて光偏向装置7に案内される。このとき、各レー
ザビームL(M,CおよびB)は、図8を用いて説明し
たように、副走査方向に関し、所定の間隔を維持した状
態で光偏向装置7に案内される。
【0115】なお、ハーフミラー15Yによりまとめら
れた3本×2群=6本のレーザビームLYは、途中で折
り返されることなく、光偏向装置7に向けて直線で案内
される。すなわちレーザビームLYは、カラー合成ミラ
ー19M,19Cおよび19Bのそれぞれに対し、光偏
向装置7の多面鏡7aの反射面の回転軸方向に距離を置
いたどのミラーからも遮られることのない空間を通っ
て、光偏向装置7に案内される。また、このレーザビー
ムLYは、図8を用いて既に説明したように、副走査方
向に関し、隣り合うレーザビーム(LYは、LMにとな
り合う)との間隔が最大となるよう、光偏向装置7に案
内される。
【0116】図12および図13は、上述した偏向前光
学系5における有限焦点レンズ13とシリンダレンズ1
7との間の距離と感光体ドラム58上での副走査方向の
横倍率との関係およびシリンダレンズ17と光偏向装置
7の各反射面の反射点との間の距離を示すグラフであ
る。
【0117】図12および図13に示されるように、有
限焦点レンズ13を図5に説明した構成により光軸oに
沿って移動可能としたことにより、各レーザ3Ya,3
Yb,3Ma,3Mb,3Ca,3Cb,3Baおよび
3Bbから提供される3本×2群のレーザビームを、ハ
ーフミラー15により所定の間隔で集約するとともに、
4色分のレーザビームを1まとめにして光偏向装置7の
多面鏡7aの各反射面の反射点に正確に導くことができ
る。
【0118】ところで、図14に代表して示すように、
各レーザ3Ya,3Yb,3Ma,3Mb,3Ca,3
Cb,3Baおよび3Bbは、概ね正三角形に配列され
た3つの発光点を有するレーザアレイであり、ある1つ
のレーザアレイを放射されたレーザビームLは、図15
に示すように、a−1,a−2およびa−3、またはb
−1,b−2およびb−3からなる3つのドット(記録
情報に対応するビームスポット)として、対応する感光
体ドラム58に、案内される。すなわち、レーザアレイ
における発光点の数mは、3で、n1 は3Yaと3Yb
で2、n2 は3Maと3Mbで2、n3 は3Caと3C
bで2、n4 はk=4であるからnk となり3Baと3
Bbで2を満足し、従って、n1 +n2 +・・・n
k (n1 、n2 ・・・nk は、1以上の整数)群設けら
れ、それぞれのレーザビームLは、ハーフミラー15に
より、a−1ドットとb−1ドット、a−2ドットとb
−2ドットおよびa−3ドットとb−3ドットが、相互
にビームスポットの外周(外縁)が僅かに重なり合う
か、またはそれぞれのビームスポットが対応する感光体
ドラム58(Y,M,CおよびB)上の電荷を連続して
消去可能な距離に配列されている。また、ハーフミラー
15(Y,M,CおよびB)を通過されたそれぞれのレ
ーザビームLは、同様にb−1ドットとa−2ドットお
よびb−2ドットとa−3ドットのそれぞれが、相互に
ビームスポットの外周(外縁)が僅かに重なり合うかま
たはそれぞれのビームスポットが対応する感光体ドラム
58(Y,M,CおよびB)上の電荷を連続して消去可
能な距離に配列されている。
【0119】このとき、b−1ドットとa−2ドットと
の間あるいはb−2ドットとa−3ドットとの間の間隔
δを、所定の数値に設定することで、上述、ビームスポ
ットの外周(外縁)が僅かに重なり合うか、またはビー
ムスポットが対応する感光体ドラム58(Y,M,Cお
よびB)上の電荷を連続して消去可能となるよう設定す
ることで、光偏向装置7の多面鏡の各反射面による1回
の偏向(走査)により偏向(走査)される3本×2群=
6本のレーザビームにより各感光体ドラム58(Y,
M,CおよびB)に案内されるレーザビームLにより生
じるジッタが低減される。
【0120】このようにして、各レーザ3Ya,3Y
b,3Ma,3Mb,3Ca,3Cb,3Baおよび3
Bbにおける3つの発光点は、図15に示したように、
各感光体ドラム58(Y,M,CおよびB)上でnドッ
トの間隔を提供可能である。m(mは、3以上の整数)
個の発光点を有するn1 +n2 +・・・nk 1 、n2
およびnk は、1以上の整数)群設けられ、図16は、
図15を用いて説明した3本×2群=6本のレーザビー
ムの群相互の間隔すなわち間隔δを変更できるビーム間
隔調整機構を説明する概略図である。
【0121】図16に示されるように、ビーム間隔調整
機構111(任意のレーザビームLを代表として示して
いる)は、各レーザ3Ya,3Yb,3Ma,3Mb,
3Ca,3Cb,3Baおよび3Bbと光偏向装置7と
の間に規定されるそれぞれのレーザビームL(Y,M,
CおよびB)に対応する光軸oと直交する方向に延出さ
れ、光軸oとビーム間隔調整機構111が延出される方
向のそれぞれとさらに直交する方向すなわち光軸oと副
走査断面を含む面内において、副走査方向高さが光軸o
に一致する軸線を回転中心として回転可能な頂角αのプ
リズム111a、プリズム111aを回転可能に保持す
るプリズム保持体111b、プリズム保持体111bを
所定量回転させるハウジング111c、ハウジング11
1cと共働して保持体111bを光軸oに対して任意の
角度で固定する止めねじ111d、および止めねじ11
1dによりハウジング111cに対して与えられる回転
力に対向する方向の反発力を与えるばね111eを有し
ている。すなわち、プリズム111aを回転することで
プリズム111aの入射面へのレーザビームLの入射角
γを変化させることで、各レーザa(またはb)の3つ
の発光点からのレーザビームa−1(b−1),a−2
(b−2)およびa−3(b−3)により提供されるレ
ーザビームb−1とa−2との間の間隔およびレーザビ
ームb−2とa−3との間の間隔δを最適な間隔に設定
できる。
【0122】なお、図16に示したビーム位置調整機構
111は、図17に示すように、ハーフミラー15
(Y,M,CおよびB)とレーザ3(Y,M,Cおよび
B)aおよびレーザ3(Y,M,CおよびB)bを保持
するレンズホルダ11(Y,M,CおよびB)aおよび
レンズホルダ11(Y,M,CおよびB)bとの間に配
置される。
【0123】詳細には、図18(a)ないし図18
(c)を用いて以下に説明するように、図15に示した
各レーザa(またはb)の3つの発光点を放射されたそ
れぞれのレーザビームが対応する感光体ドラム58
(Y,M,CおよびB)に案内されるビームスポットa
−1(b−1),a−2(b−2)およびa−3(b−
3)がa−2(b−2)に対して副走査方向に、δζ+
ε1 およびδζ+ε2 の間隔を有し、レーザビームa−
1(b−1)とa−3(b−3)とを結ぶ線分に対して
主走査方向に、ビームスポットa−2(b−2)が√3
Δζ+ε3 の間隔を有するとき(図18(a))、プリ
ズム111aが角度θだけ回転されると、それぞれのビ
ームスポットa−1(b−1),a−2(b−2)およ
びa−3(b−3)は、それぞれ、 a−1(b−1)={(2Δζ+ε1 +ε2 )/2}c
osθ、 a−2(b−2)={(2Δζ+ε1 +ε2 )/2}c
osθ、 となる(図18(b))。
【0124】このとき、角度θが、 θ=tan-1{(2Δζ+ε1 +ε2 )/2(√3Δζ
+ε3 )} を満足する場合、ビームスポットa−2(b−2)とa
−2(b−1)との間の距離およびビームスポットa−
2(b−2)とa−3(b−3)との間の距離が等しく
なる。なお、Δζ=0.0067064mmである。
【0125】ここで、副走査方向の横倍率βのうちの調
整可能な範囲をβ’を、 β’=β/[1+{(ε1 +ε2 )/2Δζ}cos
θ] とすることで、各ビームスポットの副走査方向の間隔
を、それぞれβΔζに均一化できる(図18(c))。
【0126】なお、プリズム111aが回転される量と
副走査方向のプリズム111aへのレーザビームの入射
角とプリズム111aからのレーザビームの出射角は、
プリズム111aの頂角αを、α=π/6としたプリズ
ムを用いた条件で、図19に示すように変化される。
【0127】図20は、図16に示したビーム間隔調整
機構111のプリズム111aが回転される角度と、副
走査方向の横倍率の関係を示すグラフである。
【0128】図20に示したように、図16に示したビ
ーム間隔調整機構111は、副走査方向における横倍率
の調整も可能である。ここで、ビーム間隔調整機構11
1を用いて横倍率を調整する場合には、後段に配置され
るシリンダレンズ17を光軸oによって移動させること
による焦点調整が必要となる場合もある。この場合、シ
リンダレンズ17と光偏向装置7の各反射面の反射点と
の間の距離は、図21に示すように、プリズム111a
により提供される横倍率に対して1対1の関係を示す。
【0129】図22は、図16に示したビーム間隔調整
機構の他の一例を説明する概略図である。
【0130】図22によれば、ビーム間隔調整機構12
1(任意のレーザビームLを代表として示している)
は、各レーザ3Ya,3Yb,3Ma,3Mb,3C
a,3Cb,3Baおよび3Bbと光偏向装置7との間
に規定されるそれぞれのレーザビームL(Y,M,Cお
よびB)に対応する光軸oに沿って同光路内に配列され
たドーフェプリズム121a、ドーフェプリズム121
aをベースプレート10上の所定位置に固定するための
位置決めピン121b、位置決めピン121bに向けて
ドーフェプリズム121aを押しつける板ばね121
c、ドーフェプリズム121aに向かって繰り出し量が
設定可能に配置され、ベースプレート10から突出され
た第1および第2の調整ねじ121dおよび121eを
有している。
【0131】ドーフェプリズム121aは、第1および
第2の調整ねじ121d,121eにより提供される長
さ方向の回転(光軸oを回転軸とする回転)により、レ
ーザビームに対し、回転角の2倍の量の傾きを与えるこ
とができる。このとき、回転角のcos(余弦)は、副
走査方向において横倍率を変化させることから、後段に
位置されるシリンダレンズ17による調整を必要としな
い。
【0132】以下、上述した偏向前光学系5により1ま
とめにまとめられ、光偏向装置7に案内されて、光偏向
装置7の各反射面で偏向(走査)された3本×2群×4
色=24本のレーザビームLは、偏向後光学系9により
所定の特性が与えられて、各感光体ドラム58の所定の
位置に結像される。
【0133】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明のマルチビ
ーム露光装置は、m(mは、2以上の整数)個の発光点
を有するn(nは、2以上の整数)群であって、像面で
副走査方向にそれぞれnドットの間隔の複数の光ビーム
を提供可能な光源と、この光源により提供されるm×n
本の光ビームの像面での副走査方向ビーム間隔を上記m
本のビーム毎に一括して調整するn組の機構と、少なく
ともn−1組の、上記m本毎の光ビームの像面でのビー
ム位置を一括して調整する機構と、n−1個設けられ、
上記m本×n群の光ビームを、概ね同一の光路を通過す
る1つの光束にまとめる所定の割合を反射し、所定の割
合を透過する第1の合成用ミラーと、を含む第1の光学
手段と、回転可能に形成された反射面を有し、上記反射
面を所定速度で回転させることにより、前記第1の光学
手段からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、
この偏向手段により偏向された上記m×n本の光ビーム
を連続して像面に結像する第2の光学手段と、を有する
ことから、1回の露光(偏向)により、m×n本の画像
を提供できる。
【0134】また、この発明のマルチビーム露光装置
は、m=3で規定される三角形の各頂点位置に配置され
た発光点を有する光源と、この光源からの光ビームの像
面での副走査方向ビーム間隔を一括して調整する機構
と、を含む第1の光学手段と、回転可能に形成された反
射面を有し、上記反射面を所定速度で回転させることに
より、前記第1の光学手段からの光ビームを所定方向に
偏向する偏向手段と、この偏向手段により偏向された上
記m本の光ビームを連続して像面に結像する第2の光学
手段と、を有することから、3本のレーザの副走査方向
の間隔を概ね等しくできる。
【0135】さらに、この発明のマルチビーム露光装置
は、m(mは、2以上の整数)個の発光点を有するn1
+n2 +・・・nk (n1 、n2 ・・・nk およびk
は、1以上の整数)群設けられ、m×(n1 +n2 +・
・・nk )本の光ビームを提供する光源と、この光源の
各群にそれぞれに設けられ、前記光源を放射された光ビ
ームを上記各群毎の像面での副走査方向ビーム間隔を一
括して調整する機構と、k−1個設けられ、上記m×
(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを、概ね同一
の光路を通過する1つの光束にまとめる第2の合成用ミ
ラーと、を含む第1の光学手段と、回転可能に形成され
た反射面を有し、上記反射面を所定速度で回転させるこ
とにより、前記第1の光学手段からの光ビームを所定方
向に偏向する偏向手段と、この偏向手段により偏向され
た上記m×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを
連続して像面に結像する第2の光学手段と、を有するこ
とから、n群のレーザビームを1まとめにして偏向する
ことで、各レーザビームの特性および相対位置を一定に
維持することができる。
【0136】またさらに、この発明のマルチビーム露光
装置は、m=3で規定される三角形の各頂点位置に配置
された発光点をn(nは、2以上の整数)群有し、像面
で副走査方向にそれぞれnドットの間隔を有するm本の
光ビームをn組提供可能な光源と、この光源により提供
される3n本の光ビームの像面での副走査方向ビーム間
隔を上記m本のビーム毎に一括して調整するn組の機構
と、少なくともn−1組設けられ、前記光源から放射さ
れたm本毎のビームの像面でのビーム位置を一括して調
整する機構と、n−1個設けられ、上記3n本の光ビー
ムを、概ね同一の光路を通過する1つの光束にまとめる
所定の割合と反射し、所定の割合を透過する第1の合成
用ミラーと、を含む第1の光学手段と、回転可能に形成
された反射面を有し、上記反射面を所定速度で回転させ
ることにより、前記第1の光学手段からの光ビームを所
定方向に偏向する偏向手段と、この偏向手段により偏向
された上記3n本の光ビームを連続して像面に結像する
第2の光学手段と、を有することから、m×n本のレー
ザビームをただ1つの偏向装置により一括して偏向(走
査)できる。
【0137】さらにまた、この発明のマルチビーム露光
装置は、m(mは、2以上の整数)個の発光点を有する
1 +n2 +・・・nk (n1 、n2 ・・・nk および
kは、1以上の整数)群設けられ、像面で各m個の発光
点の像が副走査方向にn1 +n2 +・・・nk ドットの
間隔となるm×(n1 +n2 +・・・nk )群の光ビー
ムを提供する光源と、この光源の各群にそれぞれに設け
られ、前記光源を放射された光ビームを上記各群毎の像
面での副走査方向ビーム間隔を一括して調整する機構
と、少なくともn1 +n2 +・・・nk-k 組の上記m本
の光ビームの像面でのビーム位置を一括して調整する機
構と、k−1個設けられ、上記m×(n1+n2 +・・
・nk )本の光ビームを、概ね同一の光路を通過する1
つの光束にまとめる第2の合成用ミラーと、を含む第1
の光学手段と、回転可能に形成された反射面を有し、上
記反射面を所定速度で回転させることにより、前記第1
の光学手段からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手
段と、この偏向手段により偏向された上記m×(n1
2 +・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像
する第2の光学手段と、を有することから、m×(n1
+n2 +・・・nk )本のレーザビームのそれぞれの副
走査方向の間隔を各レーザビーム毎に設定できる。
【0138】またさらに、この発明のマルチビーム露光
装置は、m=3で規定される三角形の各頂点位置に配置
されたn1 +n2 +・・・nk (n1 、n2 ・・・nk
およびkは、1以上の整数)個の発光点を有する光源
と、m×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームの像
面での副走査方向ビーム間隔をm本のビーム毎に一括し
て調整する機構と、k−1個設けられ、上記m×(n1
+n2 +・・・nk )本の光ビームを、概ね同一の光路
を通過する1つの光束にまとめる第2の合成用ミラー
と、を含む第1の光学手段と、回転可能に形成された反
射面を有し、上記反射面を所定速度で回転させることに
より、前記第1の光学手段からの光ビームを所定方向に
偏向する偏向手段と、この偏向手段により偏向された上
記m×(n1+n2 +・・・nk )本の光ビームを連続
して像面に結像する第2の光学手段と、を有することか
ら、m×(n1 +n2 +・・・nk )本のレーザビーム
のそれぞれの副走査方向の間隔を各レーザビーム毎に設
定できる。
【0139】さらにまた、この発明のマルチビーム露光
装置は、m=3で規定される三角形の各頂点位置に配置
されたn1 +n2 +・・・nk (n1 、n2 ・・・およ
びnk は、2以上の整数、kは1以上の整数)個の発光
点を有する光源と、この光源の各群にそれぞれに設けら
れ、前記光源を放射された光ビームを上記各群毎の像面
での副走査方向ビーム間隔をm本のビーム毎に一括して
調整する機構と、n1+n2 +・・・nk-k 個の、入射
光の所定の割合を反射し、所定の割合を透過する第1の
合成ミラーと、k−1個設けられ、上記m×(n1 +n
2 +・・・nk)本の光ビームを、概ね同一の光路を通
過する1つの光束にまとめる第2の合成用ミラーと、を
含む第1の光学手段と、回転可能に形成された反射面を
有し、上記反射面を所定速度で回転させることにより、
前記第1の光学手段からの光ビームを所定方向に偏向す
る偏向手段と、この偏向手段により偏向された上記m×
(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを連続して像
面に結像する第2の光学手段と、を有することから、m
×(n1 +n2 +・・・nk )本のレーザビームのそれ
ぞれの副走査方向の間隔を各レーザビーム毎に設定でき
る。
【0140】またさらに、この発明のマルチビーム露光
装置の光ビームの副走査方向間隔を一括して調整する機
構は、光源と偏向装置とを結ぶ光軸に沿った副走査断面
において光軸と副走査方向の像高の中心とが交わる点を
回転中心として回転可能なプリズムであることを特徴と
することから、各光学要素の光軸のずれの影響を受ける
ことなく、各レーザビームの副走査方向の間隔を一定に
できる。
【0141】さらにまた、この発明のマルチビーム露光
装置の光源を放射されたm×n本の光ビームの像面にお
ける最大ビーム間隔は、n×m−1走査ピッチであるこ
とを特徴とすることから、ジッタの影響を受けにくく、
像面でのレーザビームのぶれを低減できる。
【0142】従って、高速度の画像形成が可能な画像形
成装置を提供できる。
【0143】また、色ずれのないカラー画像を提供可能
なカラー画像形成装置を提供できる。
【0144】なお、偏向装置は、1個のみであるから、
装置の大きさが低減される。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態であるマルチビーム露光
装置が組み込まれるカラー画像形成装置の一例を示す概
略図。
【図2】図1に示したカラー画像形成装置のマルチビー
ム露光装置の概略平面図。
【図3】図2に示したマルチビーム露光装置を、光偏向
装置の反射点を含む副走査断面で切断した概略断面図。
【図4】図2に示した露光装置における偏向前光学系の
要部を説明する概略図。
【図5】図2に示した露光装置に用いられるレンズホル
ダおよび光源の構成を示す概略図。
【図6】図5に示したレンズホルダ内の光源と絞りとの
位置関係を説明する概略図。
【図7】図2に示した露光装置において、ハーフミラ
ー、半固定ミラーおよびカラー合成ミラーを保持する機
構を説明する概略図。
【図8】図2に示した露光装置におけるカラー合成ミラ
ーにより合成される3本×2群×4色のレーザビーム相
互の副走査方向間隔を説明する概略図。
【図9】図2に示した露光装置において、折り返しミラ
ーを保持する機構を説明する概略図。
【図10】図2に示した露光装置において、光偏向装置
の多面鏡の所定の反射面と感光体ドラムとの間のレーザ
ビームと副走査方向の光軸との関係を示す光路図
【図11】図2に示した露光装置において、水平同期検
出器に向けて3本×2群×4色のレーザビームを所定の
タイミングで案内する水平同期用折り返しミラーの一例
を示す概略図。
【図12】図2に示した露光装置における有限焦点レン
ズとシリンダレンズとの間の間隔と副走査方向の感光体
ドラム上での横倍率との関係を示すグラフ。
【図13】図2に示した露光装置における有限焦点レン
ズとシリンダレンズとの間の間隔とシリンダレンズと光
偏向装置の多面鏡の反射点との距離の関係を示すグラ
フ。
【図14】図2に示した露光装置の光源として利用され
る半導体レーザ素子の3つの発光点の配列を説明する概
略図。
【図15】図14に示した半導体レーザ素子を2セット
利用したときの感光体ドラム上でのレーザビームのビー
ムスポットの配列を説明する概略図。
【図16】図2に示した露光装置において、図15に示
した配列のビームスポットを提供可能なビーム間隔調整
機構の一例を示す概略図。
【図17】図16に示したビーム間隔調整機構を組み込
んだマルチビーム露光装置の概略平面図。
【図18】図16に示したビーム間隔調整機構により提
供されるビームスポットの配列の変化を示す概略図。
【図19】図16に示したビーム間隔調整機構により調
整可能なビームスポット間隔の例を説明するグラフ。
【図20】図16に示したビーム間隔調整機構のプリズ
ムが回転される角度と副走査方向の横倍率の関係を示す
グラフ。
【図21】図16に示したビーム間隔調整機構のプリズ
ムが回転されることにより生じる副走査方向の横倍率の
変化とシリンダレンズと光偏向装置の各反射面の反射点
との間の距離の関係を示すグラフ。
【図22】図16に示したビーム間隔調整機構の他の一
例を説明する概略図。
【符号の説明】
1 ・・・マルチビーム露光装置、 3 ・・・光源、 5 ・・・偏向前光学系、 7 ・・・光偏向装置、 9 ・・・偏向後光学系、 10 ・・・ベースプレート、 10a・・・凹部、 11 ・・・レンズホルダ、 11a・・・ホルダ本体、 11b・・・ホルダの底部、 11c・・・ホルダの側面、 11d・・・絞り保持部、 12 ・・・レーザ支持体、 13 ・・・有限焦点レンズ、 14 ・・・絞り、 15 ・・・群合成ミラー(ハーフミラー)、 16 ・・・板ばね、 17 ・・・シリンダレンズ、 18 ・・・半固定ミラー、 19 ・・・カラー合成ミラー、 20 ・・・ミラー保持機構、 21 ・・・2枚組レンズ、 21a・・・第1の結像レンズ、 21b・・・第2の結像レンズ、 23 ・・・ビーム位置検出器、 25 ・・・水平同期検出用ミラー、 33 ・・・第1露光ミラー、 35 ・・・第2露光ミラー、 37 ・・・第3露光ミラー、 39 ・・・防塵ガラス、 40 ・・・平行度調整機構 100 ・・・カラー画像形成装置。

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】m(mは、2以上の整数)個の発光点を有
    するn(nは、2以上の整数)群であって、像面で副走
    査方向にそれぞれnドットの間隔の複数の光ビームを提
    供可能な光源と、この光源により提供されるm×n本の
    光ビームの像面での副走査方向ビーム間隔を上記m本の
    ビーム毎に一括して調整するn組の機構と、少なくとも
    n−1組の、上記m本毎の光ビームの像面でのビーム位
    置を一括して調整する機構と、n−1個設けられ、上記
    m本×n群の光ビームを、概ね同一の光路を通過する1
    つの光束にまとめる所定の割合を反射し、所定の割合を
    透過する第1の合成用ミラーと、を含む第1の光学手段
    と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記m×n本の光ビーム
    を連続して像面に結像する第2の光学手段と、を有する
    マルチビーム露光装置。
  2. 【請求項2】m=3で規定される三角形の各頂点位置に
    配置された発光点を有する光源と、この光源からの光ビ
    ームの像面での副走査方向ビーム間隔を一括して調整す
    る機構と、を含む第1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、この偏向
    手段により偏向された上記m本の光ビームを連続して像
    面に結像する第2の光学手段と、を有するマルチビーム
    露光装置。
  3. 【請求項3】m(mは、2以上の整数)個の発光点を有
    するn1 +n2 +・・・nk (n1、n2 ・・・nk
    よびkは、1以上の整数)群設けられ、m×(n1 +n
    2 +・・・nk )本の光ビームを提供する光源と、この
    光源の各群にそれぞれに設けられ、前記光源を放射され
    た光ビームを上記各群毎の像面での副走査方向ビーム間
    隔を一括して調整する機構と、k−1個設けられ、上記
    m×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを、概ね
    同一の光路を通過する1つの光束にまとめる第2の合成
    用ミラーと、を含む第1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第
    2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置。
  4. 【請求項4】m=3で規定される三角形の各頂点位置に
    配置された発光点をn(nは、2以上の整数)群有し、
    像面で副走査方向にそれぞれnドットの間隔を有するm
    本の光ビームをn組提供可能な光源と、この光源により
    提供される3n本の光ビームの像面での副走査方向ビー
    ム間隔を上記m本のビーム毎に一括して調整するn組の
    機構と、少なくともn−1組設けられ、前記光源から放
    射されたm本毎のビームの像面でのビーム位置を一括し
    て調整する機構と、n−1個設けられ、上記3n本の光
    ビームを、概ね同一の光路を通過する1つの光束にまと
    める所定の割合と反射し、所定の割合を透過する第1の
    合成用ミラーと、を含む第1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記3n本の光ビームを
    連続して像面に結像する第2の光学手段と、を有するマ
    ルチビーム露光装置。
  5. 【請求項5】m(mは、2以上の整数)個の発光点を有
    するn1 +n2 +・・・nk (n1、n2 ・・・nk
    よびkは、1以上の整数)群設けられ、像面で各m個の
    発光点の像が副走査方向にn1 +n2 +・・・nk ドッ
    トの間隔となるm×(n1 +n2 +・・・nk )群の光
    ビームを提供する光源と、この光源の各群にそれぞれに
    設けられ、前記光源を放射された光ビームを上記各群毎
    の像面での副走査方向ビーム間隔を一括して調整する機
    構と、少なくともn1 +n2 +・・・nk-k 組の上記m
    本の光ビームの像面でのビーム位置を一括して調整する
    機構と、k−1個設けられ、上記m×(n1 +n2 +・
    ・・nk )本の光ビームを、概ね同一の光路を通過する
    1つの光束にまとめる第2の合成用ミラーと、を含む第
    1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第
    2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置。
  6. 【請求項6】m=3で規定される三角形の各頂点位置に
    配置されたn1 +n2 +・・・nk(n1 、n2 ・・・
    k およびkは、1以上の整数)個の発光点を有する光
    源と、m×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビームの
    像面での副走査方向ビーム間隔をm本のビーム毎に一括
    して調整する機構と、k−1個設けられ、上記m×(n
    1 +n2 +・・・nk )本の光ビームを、概ね同一の光
    路を通過する1つの光束にまとめる第2の合成用ミラー
    と、を含む第1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第
    2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置。
  7. 【請求項7】m=3で規定される三角形の各頂点位置に
    配置されたn1 +n2 +・・・nk(n1 、n2 ・・・
    およびnk は、2以上の整数、kは1以上の整数)個の
    発光点を有する光源と、この光源の各群にそれぞれに設
    けられ、前記光源を放射された光ビームを上記各群毎の
    像面での副走査方向ビーム間隔をm本のビーム毎に一括
    して調整する機構と、n1 +n2 +・・・nk-k 個の、
    入射光の所定の割合を反射し、所定の割合を透過する第
    1の合成ミラーと、k−1個設けられ、上記m×(n1
    +n2 +・・・nk )本の光ビームを、概ね同一の光路
    を通過する1つの光束にまとめる第2の合成用ミラー
    と、を含む第1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第
    2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置。
  8. 【請求項8】複数の発光点を有し、複数の光ビームを放
    射する光源と、この複数の光ビームの像面での副走査方
    向ビーム間隔を一括して調整する機構と、を含む第1の
    光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 前記偏向手段により偏向されたビームを連続して像面に
    結像する2枚の回転対称軸を含むレンズ面を持たないレ
    ンズを含む第2の光学手段と、を有するマルチビーム露
    光装置。
  9. 【請求項9】m(mは、1以上の整数)個の発光点を有
    するn1 +n2 +・・・nk (n1、n2 ・・・および
    k は、1以上の整数で、そのうち少なくとも1つは2
    以上の整数およびkは1以上の整数)群設けられ、像面
    で各m個の発光点の像が副走査方向にnドットの間隔と
    なる(n1 +n2 +・・・nk )群の光ビームを提供す
    る光源と、この光源からのm×(n1 +n2 +・・・n
    k )本の光ビームを、概ね同一の光路を通過する1つの
    光束にまとめるn1 +n2 +・・・nk-k 個の、入射光
    の所定の割合を反射し、所定の割合を透過する第1の合
    成用ミラーと、この第1の合成用ミラーを副走査方向に
    傾ける機構とを含む第1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第
    2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置。
  10. 【請求項10】m(mは、1以上の整数)個の発光点を
    有するn1 +n2 +・・・nk (n1、n2 ・・・およ
    びnk は、1以上の整数で、そのうち少なくとも1つ
    は、2以上の整数およびkは1以上の整数)群設けら
    れ、像面で各m個の発光点の像が副走査方向にnドット
    の間隔となる(n1 +n2 +・・・nk )群の光ビーム
    を提供する光源と、この光源からのm×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを、概ね同一の光路を通過す
    る1つの光束にまとめるn1 +n2 +・・・nk-1
    の、入射光の所定の割合を反射し、所定の割合を透過す
    る第1の合成用ミラーと、この合成用ミラーを主走査方
    向に傾ける機構とを含む第1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第
    2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置。
  11. 【請求項11】m(mは、1以上の整数)個の発光点を
    有するn1 +n2 +・・・nk (n1、n2 ・・・およ
    びnk は、1以上の整数、kは2以上の整数)群設けら
    れ、像面で各m個の発光点の像が副走査方向にnドット
    の間隔となる(n1 +n2 +・・・nk )群の光ビーム
    を提供する光源と、この光源からのm×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを、概ね同一の光路を通過す
    る1つの光束にまとめるk−1個の第2の合成用ミラー
    と、この第2の合成用ミラーを副走査方向に傾ける機構
    とを含む第1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第
    2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置。
  12. 【請求項12】m(mは、1以上の整数)個の発光点を
    有するn1 +n2 +・・・nk (n1、n2 ・・・およ
    びnk は、1以上の整数およびkは2以上の整数)群設
    けられ、像面で各m個の発光点の像が副走査方向にnド
    ットの間隔となる(n1 +n2+・・・nk )群の光ビ
    ームを提供する光源と、この光源からのm×(n1 +n
    2 +・・・nk )本の光ビームを、概ね同一の光路を通
    過する1つの光束にまとめるk−1個の第2の合成用ミ
    ラーと、この第2の合成用ミラーを主走査方向に傾ける
    機構とを含む第1の光学手段と、 回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定
    速度で回転させることにより、前記第1の光学手段から
    の光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、 この偏向手段により偏向された上記m×(n1 +n2
    ・・・nk )本の光ビームを連続して像面に結像する第
    2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置。
  13. 【請求項13】複数の発光点を有し、複数の光ビームを
    放射する光源と、この複数の光ビームの像面での副走査
    方向ビーム間隔を一括して調整する機構と、を含む第1
    の光学手段と、回転可能に形成された反射面を有し、上
    記反射面を所定速度で回転させることにより、前記第1
    の光学手段からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手
    段と、前記偏向手段により偏向されたビームを連続して
    像面に結像する2枚の回転対称軸を含むレンズ面を持た
    ないレンズを含む第2の光学手段と、を有し、 前記第1の光学手段は、上記複数の光ビームを一括して
    平行光もしくは収束光ヘ変換するコリメータレンズもし
    くは有限焦点レンズと、上記複数の光ビームを一括して
    副走査方向にさらに収束させるシリンダレンズと、を含
    み、 前記光源、上記コリメータレンズもしくは有限焦点レン
    ズは、一体として移動可能であり、上記シリンダレンズ
    も光軸方向へ移動可能であることを特徴とするマルチビ
    ーム露光装置。
  14. 【請求項14】前記光ビームの副走査方向間隔を一括し
    て調整する機構は、前記光源と前記偏向装置とを結ぶ光
    軸に沿った副走査断面において光軸と副走査方向の像高
    の中心とが交わる点を回転中心として回転可能なプリズ
    ムであることを特徴とする請求項1ないし8のいづれか
    に記載のマルチビーム露光装置。
  15. 【請求項15】前記光ビームの副走査方向間隔を一括し
    て調整する機構は、前記光源を光軸を中心として回転可
    能とする構造を有することを特徴とする請求項1ないし
    8のいづれかに記載のマルチビーム露光装置。
  16. 【請求項16】前記光ビームの副走査方向間隔を一括し
    て調整する機構は、ドーフェプリズムを含むことを特徴
    とする請求項1ないし8のいづれかに記載のマルチビー
    ム露光装置。
  17. 【請求項17】前記光源を放射されたm×n本の光ビー
    ムの像面における最大ビーム間隔は、n×m−1走査ピ
    ッチであることを特徴とする請求項1、4および5また
    は7のいづれかに記載のマルチビーム露光装置。
  18. 【請求項18】前記第1の光学手段は、m×n本の光ビ
    ームをm本単位で平行光もしくは収束光ヘ変換するn個
    のコリメータレンズもしくは有限焦点レンズと、m×n
    本の光ビームを副走査方向にさらに収束させる1個のシ
    リンダレンズと、を含むことを特徴とする請求項1、2
    および4のいづれかに記載のマルチビーム露光装置。
  19. 【請求項19】前記第1の光学手段は、m本の光ビーム
    をm本単位で平行光もしくは収束光ヘ変換するn1 +n
    2 +・・・nk 個のコリメータレンズもしくは有限焦点
    レンズと、m×(n1 +n2 +・・・nk )本の光ビー
    ムをm×n1 、m×n2 、・・・m×nk 本単位で副走
    査方向にさらに収束させるk個のシリンダレンズと、を
    含むことを特徴とする請求項3、5ないし7、9および
    10のいづれかに記載のマルチビーム露光装置。
  20. 【請求項20】前記第1の光学手段は、m×k本の光ビ
    ームをm本単位で平行光もしくは収束光ヘ変換するk個
    のコリメータレンズもしくは有限焦点レンズと、m×k
    本の光ビームをm本単位で副走査方向にさらに収束させ
    るk個のシリンダレンズと、を含むことを特徴とする請
    求項1、5ないし7、9ないし12のいづれかに記載の
    マルチビーム露光装置。
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