JP4489852B2 - 露光装置ならびに画像形成装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、単色の高速レーザプリンタ、単色の高速デジタル複写機等に使用され、複数の光ビームを走査するマルチビーム露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
同一色の画像データを複数の光ビームで並列に露光することで、露光速度すなわち画像形成速度を高速化する提案がある。この方法によれば、偏向装置の反射面の回転数を増大させる場合であっても、その回転数を、光ビームの本数分の1に低減できる。従って、モータのコストおよび画像周波数の低減が可能となる。
【0003】
上述した露光装置は、複数の半導体レーザ素子、それぞれの半導体レーザ素子を放射された光ビームの断面ビーム径を所定の大きさおよび形状に絞り込む第1のレンズ群、第1のレンズ群により所定の大きさおよび形状に絞り込まれた複数の光ビームを、光ビームにより形成される画像を保持する記録媒体が搬送される方向(補助走査方向)と直交する方向(すなわち走査方向)に連続的に反射することで偏向すなわち走査する偏向装置、偏向装置により走査されたそれぞれの光ビームを記録媒体の所定の位置に偏向装置の回転量と偏向装置により走査された距離が比例するよう、等速度で結像させる第2のレンズ群などを有している。なお、第2のレンズ群としては、これまでのところ、少なくとも2枚のfθレンズが用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した露光装置においては、第2のレンズ群のレンズ枚数が2枚以上であることから、複数の光ビームを入射させる場合には、補助走査方向の各光ビームが各レンズを通過する位置を正確に維持する必要がある。このことから、レンズの形状および加工精度、およびレンズの組み付け精度として、高い精度が要求され、結果としてコストが増大する問題がある。
【0005】
また、コストの問題を無視したとしても、現在実用化されている露光装置では、例えば、走査方向ビーム径のばらつきにより、中間調画像の画像濃度が不均一となったり、補助走査方向において、ジッタが生じて画質が劣化する問題がある。
【0006】
この発明の目的は、光ビーム相互間の結像位置のずれ、解像度の低下あるいはビーム径の変動等による画質の劣化の少ない複数のビームを走査する露光装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記した問題点に基づきなされたもので、発光源と、この発光源からの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、前記回転多面鏡により偏向された光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、を有する露光装置において、前記レンズのレンズ面は、
【数6】
xは光軸方向局部座標、yは前記第1の方向、zは、x、yに直交する方向の座標、a mn は、mの奇数項で0でない係数を含む、
により表され、前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点から前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズへ入射する点との間の距離をL 1 とする時、
0.3 ≦ L 1 /L ≦ 0.65
が満足されることを特徴とする露光装置を提供するものである。
【0011】
また、この発明は、複数の発光源と、この発光源からのそれぞれの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からのそれぞれの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、前記回転多面鏡により偏向されたそれぞれの光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、を有する露光装置において、前記レンズのレンズ面は、
【数7】
xは光軸方向局部座標、yは前記第1の方向、zは、x、yに直交する方向の座標、a mn は、mの奇数項で0でない係数を含む、
により表され、前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間の距離をW、前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間で前記それぞれの光が前記偏向器により偏向される角度をΦとする時、
0.8 ≦ tan−1(W/L)/Φ ≦ 1.3
が満足されることを特徴とする露光装置を提供するものである。
【0012】
またさらに、この発明は、発光源と、この発光源からの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、前記回転多面鏡により偏向された光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、を有する露光装置において、前記レンズのレンズ面は、
【数8】
xは光軸方向局部座標、yは前記第1の方向、zは、x、yに直交する方向の座標、a mn は、mの奇数項で0でない係数を含む、
により表され、前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点から前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズへ入射する点との間の距離をL1、前記所定像面の有効領域中心を通る光が前記レンズを出射する点と前記所定の像面との間の距離をL3とする時、
0.17 ≦ L1×L3/L2 ≦0.23
が満足されることを特徴とする露光装置を提供するものである。
【0014】
またさらに、この発明は、発光源と、この発光源からの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、前記回転多面鏡により偏向された光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、を有する露光装置において、前記レンズのレンズ面は、
【数9】
xは光軸方向局部座標、yは前記第1の方向、zは、x、yに直交する方向の座標、a mn は、mの奇数項で0でない係数を含む、
により表され、前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズと交わる近傍での前記レンズの前記第1の方向と垂直方向の第2の方向の近軸焦点距離をF、前記所定像面の有効領域中心を通る光が前記レンズを出射する点と前記所定の像面との間の距離をL3、前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点から前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズへ入射する点との間の距離をL1、前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間で前記光が前記偏向器により偏向される角度をΦ、前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間の距離をW、とするとき、
F/L≦0.25、 0.35 ≦ L3/L ≦ 0.65、
0.15 ≦ L1×sinΦ/L ≦ 0.27、
0.3 ≦ L1/L ≦ 0.65、
0.8 ≦ tan−1(W/L)/Φ ≦ 1.3、
0.17 ≦ L1×L3/L2 ≦ 0.23、および
φ×(L/W)/L3 ≦ 0.009
が満足されることを特徴とする露光装置を提供するものである。
【0017】
さらにまた、この発明は、発光源と、この発光源からの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、前記回転多面鏡により偏向された光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、を有する露光装置において、前記レンズのレンズ面は、
【数10】
xは光軸方向局部座標、yは前記第1の方向、zは、x、yに直交する方向の座標、a mn は、mの奇数項で0でない係数を含む、
により表され、前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズと交わる近傍での前記レンズの前記第1の方向と垂直方向の第2の方向の近軸焦点距離をF、前記所定像面の有効領域中心を通る光が前記レンズを出射する点と前記所定の像面との間の距離をL3、前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点から前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズへ入射する点との間の距離をL1、前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間で前記光が前記偏向器により偏向される角度をΦ、前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間の距離をW、とするとき、
F/L≦0.25、
0.35 ≦ L3/L ≦ 0.65、
0.15 ≦ L1×sinΦ/L ≦ 0.27、
0.3 ≦ L1/L ≦ 0.65、
0.8 ≦ tan−1(W/L)/Φ ≦ 1.3、
0.17 ≦ L1×L3/L2 ≦ 0.23、および
φ×(L/W)/L3 ≦ 0.009
が満足されることを特徴とする露光装置と、この露光装置により像担持体に形成された潜像を現像する現像装置と、この現像装置により現像された現像剤像を被転写材に転写する転写装置と、を有することを特徴とする画像形成装置を提供するものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0019】
図1に示されるように、画像形成装置100は、露光対象に向かって複数の光ビームを同時に出力する露光装置1と、この露光装置1から出力された光ビームに対応する画像を形成して記録用紙に出力する画像形成部51を有している。
【0020】
露光装置1は、図2に示されるように、所定の波長の光ビーム(レーザビーム)を放射する発光源としての半導体レーザ素子3、回転可能な反射面を有し、この反射面を所定の速度で回転することで、半導体レーザ素子3を放射されたレーザビームを、所定の位置に配置された像面Sすなわち画像形成部51の後段に詳述する像担持体としての感光体ドラムの所定位置に向かって所定の線速度で偏向(走査)する偏向装置7を有している。なお、偏向装置7と半導体レーザ素子3との間には、レーザ素子3から出射されたレーザビームの断面ビーム形状を所定の大きさかつ所定の形状に整える偏向前光学系5が配置されている。また、偏向装置7と像面Sとの間には、偏向装置7の反射面の回転によって偏向されたレーザビームを、反射面の回転に応じて規定される反射角と像面上の距離が比例するよう、等速度で結像させる偏向後光学系9が配置されている。なお、以下、偏向装置7によりレーザビームが偏向される方向を主走査方向(後段に詳述する感光体ドラムの軸方向)、主走査方向と直交する方向(同感光体ドラムが回転される方向)を副走査方向と示す。
【0021】
半導体レーザ素子3は、図3に示すように、第1のレーザビームAを出射する第1の発光点3aと第2のレーザビームBを出射する第2の発光点3bが所定の間隔で同一の素子上に配列されたレーザ素子であって、組立時には、それぞれの発光点を放射されたレーザビームAおよびBが、副走査方向に所定の間隔となるよう、図示しないハウジングに固定される。
【0022】
偏向前光学系5は、レーザ素子3の第1および第2の発光点3a,3bのそれぞれを出射されたレーザビームA,Bに所定の収束性を与える有限焦点レンズ11、有限焦点レンズ11の後ろ側焦点位置に配置され、有限焦点レンズ11により所定の収束性が与えられたレーザビームAおよびBのそれぞれの断面ビーム形状を所定の形状に整える絞り13、絞り13を通過されたレーザビームA,Bのそれぞれに、副走査方向に対してのみ、さらに所定の収束性を与えるシリンダレンズ15からなり、各発光点3a,3bを出射された第1および第2のレーザビームA,Bのそれぞれに所定の収束性および断面ビーム形状を与えて、偏向装置7の反射面(多面鏡7a)に案内する。なお、図2(a)に示されるように、それぞれのレーザビームA,Bは、主走査方向に関して、実質的に重なり合っている。また、副走査方向についても、半導体レーザ素子3を出射された時点では、2本であるが絞り13を通過した付近から、実質的に1本のレーザビームとみなすことができる。
【0023】
有限焦点レンズ11は、例えば非球面ガラスレンズもしくは球面ガラスレンズのレーザ入射面および出射面の少なくとも一方の面に、例えばUV(Urtra−Violet=紫外線)硬化型の図示しないプラスチックレンズを貼り合わせた(または図示しないプラスチックレンズを一体成形した)レンズが利用される。
【0024】
絞り13は、図3に示したように、有限焦点レンズ9の後ろ側焦点位置に位置される。これにより、2つの発光点3a,3bのそれぞれから出射された2本のレーザビームの光量の変動が最小に抑えられる。
【0025】
シリンダレンズ15は、例えばPMMA(ポリメチルメタクリル)等によって形成されたプラスチックシリンダレンズ15pと例えばLAH78等によって形成されたガラスシリンダレンズ15gとが一体的に設けられたもので、両レンズの接合面側のレンズ面の曲率が実質的に同一に形成され、それぞれが、例えば接着によって貼り合わせられている。なお、シリンダレンズ15は、有限レンズ11を保持する図示しない保持部材と一体に形成された位置決め部により、有限焦点レンズ11と正確な間隔で固定される。
【0026】
また、プラスチックシリンダレンズ15pの空気と接する面は、円筒面の一部に形成され、副走査方向にパワーが与えられている。なお、シリンダレンズ15は、ガラスシリンダレンズ15gとPMMAのシリンダレンズ15pとが、図示しない位置決め部材に向けて、所定の方向から押圧されることで、一体に形成されてもよい。また、シリンダレンズ15は、ガラスシリンダレンズ15gの入射面に、プラスチックシリンダレンズ15pを一体に成型することによっても提供可能である。
【0027】
偏向装置7は、例えば6面の平面反射鏡(面)が正多角形状に配置された多面鏡7aと、多面鏡7aを主走査方向に沿って所定の速度で回転させるモータ7bとを有している。多面鏡7aは、例えばアルミニウムにより形成される。また、多面鏡7aの各反射面は、多面鏡7aが回転される方向を含む面すなわち主走査方向と直交する面すなわちモータ7bの軸方向に平行な副走査方向に沿って切り出されたのち、切断面に、例えばSiO2 などの表面保護層兼高輝反射層が蒸着されることで提供される。
【0028】
偏向後光学系9は、周知のfθレンズに類似した形状および特性が与えられた1枚のみの結像レンズ21と、レンズ21を通過されて所定の結像特性が与えられたレーザビームLA,LBを以下に説明する画像形成部51の感光体ドラムに向けて折り曲げる出射ミラー23と、出射ミラー23と感光体ドラムの間に位置され、露光装置1を気密にする防塵ガラス25を含み、偏向装置7により所定の速度で偏向されたレーザビームLA,LBを、感光体ドラムの軸線方向に、等速度で結像させる。
【0029】
偏向後光学系のレンズ面形状は、
【数1】
【0030】
で表される形状を有している。
【0031】
なお、(A)式において、「amn」のm項が奇数である場合は、主走査方向が非対称であることを表すもので、これにより、偏向装置7の多面鏡7aの回転により生じる偏向点が移動することの影響を補正することができる。なお、最適化の結果、表1の実施例1に示すように、「amn」のm項が全て「0」の際には、主走査方向のデフォーカス量、副走査方向のデフォーカス量、複数のレーザビームを用いる場合の副走査方向のレーザビームの位置のずれに関して、特性の劣化がみられる。また、副走査方向断面を円弧形状からずらす働きを持つ「amn」のn項が「0」以外である場合には、副走査方向の集光状態が劣化し、レーザビームのビーム径を小さく絞ることができないが、“この項”を入れることにより、レーザビームの最小ビーム径を、従来の露光装置に比較して、小さなビーム径に絞ることができる。
【0032】
また、結像レンズ21のレンズ面の形状を(A)式に示されるように回転対称軸を持たない形状に設定することで、複数のレーザビームの副走査方法の間隔を全ての走査領域において一定に保つという条件で、回転対称軸を持つトーリックレンズもしくは回転対称非球面レンズでは結像レンズを1枚にしようとした際に、波面収差を完全に除去できなかった従来の光学系に比較して、最小ビーム径を、50μm程度まで絞ることができることが、シミュレーションにより確認されている。
【0033】
再び、図1を参照すれば、画像形成部51は、露光装置1の出射ミラー23により折り曲げられ、防塵ガラス25を通過されたレーザビームLA,LBが出射される位置に、円筒ドラム状で、矢印の方向に回転可能に形成され、画像に対応する静電潜像が形成される感光体ドラム53を有している。
【0034】
感光体ドラム53の周囲には、感光体ドラム53の表面に所定の電位を提供する帯電装置55、感光体ドラム53の表面に、露光装置1からのレーザビームLA,LBが照射されて形成された静電潜像にトナーを供給することで可視化する現像装置57、記録媒体すなわち記録用紙Pを感光体ドラム53との間に介在させた状態で感光体ドラム53に対向され、図示しない搬送機構により搬送される用紙Pに感光体ドラム53上のトナー像(トナー)を転写する転写装置59、転写装置59によりトナーが転写されたあとに感光体ドラム53上に残った残存トナーを除去するクリーナ61、および転写装置59によりトナー像が転写されたあとの感光体ドラム53上に残った残存電位を除去する除電装置63が、感光体ドラム53の回転方向に沿って順に配置されている。
【0035】
感光体ドラム53の下方には、画像形成部51により形成された画像が転写されるための用紙Pを収容する用紙カセット65が配置されている。なお、用紙Pは、用紙カセット65の一端に設けられた断面形状が概ね半円状の送り出しローラ67により最上部から1枚ずつ取り出され、レジストローラ69により用紙Pの先端と感光体ドラム53に形成される画像の先端とが整合されて、所定のタイミングで、転写装置59と感光体ドラム53との間の転写領域に、給送される。
【0036】
また、トナー(トナー像)が転写された用紙Pは、搬送ベルト71により定着装置73に向けて搬送され、定着装置71により、トナーが定着される。
【0037】
次に、結像レンズ21の光学(形状)特性と、図2に示した露光装置1内でのレンズ21の位置関係について説明する。
【0038】
図4ないし図11に、
Lを、偏向装置7の多面鏡7aによりレーザビームLA,LBが偏向される偏向点とそれぞれのレーザビームLA,LBが所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離、
L1 を、偏向装置7の多面鏡7aによりレーザビームLA,LBが偏向される偏向点と所定像面の有効領域中心を通るレーザビームLA,LBが結像レンズ21へ入射する点との間の距離、
L3 を、所定像面の有効領域中心を通るレーザビームが結像レンズ21を出射する点と所定像面との間の距離、
Fを、所定像面の有効領域中心を通る光線が結像レンズ21と交わる近傍でのレンズの副走査方向の近軸焦点距離、
Φを、所定像面の有効領域の中心と有効領域の端部との間でレーザビームLA,LBが偏向装置7の多面鏡7aにより偏向される角度[rad]、
Wを、所定像面の有効領域の中心と有効領域の端部との間の距離、
と、それぞれ定義し、各パラメータを最適化した場合に得られる光学特性、すなわち、
偏向装置7の多面鏡7aの各反射面が回転軸に対して非平行となる限度量すなわち面倒れが1分である場合のレーザビームLA,LBの副走査方向の結像位置のずれ量(1)、すなわち
F/L (C−1)、
副走査方向のデフォーカス(各レーザビームLA,LBが最小ビーム径となる位置と像面Sとのずれ)量(2)、すなわち
L3 /L (C−2)、
主走査方向のデフォーカス(各レーザビームLA,LBが最小ビーム径となる位置と像面Sとのずれ)量(3)、すなわち
L1 ×sinΦ/L (C−3)、
各レーザビームLA,LBが結像レンズを通る際に、像面S上で最大どれだけ離れるかを示す主走査方向のレーザビームのばらつきの範囲(4)、すなわち
L1 /L (C−4)、
各発光源から放射されるレーザビームLA,LBの波長が100nm変動した場合のときの主走査方向の結像位置のずれ量(5)、すなわち
tan-1(W/L)/Φ (C−5)、
各レーザビームLA,LBに対する主走査方向のfθ特性(6)、すなわち
L1 ×L3 /L2 (C−6)、および
レンズ21の透過率の偏差による影響(7)すなわち
φ×(L/W)L3 (C−7)
のそれぞれについてシミュレーションして得られた最適化データを示す。なお、図4ないし図11は、実施例1ないし62について、一連のデータを示すもので、全ての実施例について、図4に示した条件が適用されるものである。また、図4ないし図11のそれぞれにおいては、偏向前光学系5の配置および近軸特性、同レンズ21を用いた場合に、像面においてレーザビームLA,LB相互の間隔を3ドットとすることのできる第1の発光点3aおよび第2の発光点3bの副走査方向の距離も、同時に示している。
【0039】
図12ないし図19は、図4ないし図11に示した光学特性において、条件式(C−1)ないし(C−7)と対応するそれぞれの条件の相関の程度、すなわち各条件式の有意性を評価するためのグラフである。
【0040】
図12は、面倒れが1分である場合の各レーザビームの結像位置のずれ量と条件式(C−1)との関係を示すグラフであり、F/Lと同ずれ量との間には、強い相関が認められる。なお、実際の製造面の結像レンズ21、図示しないハウジングおよび半導体レーザ素子3等の個体誤差等を考慮して、同ずれ量を3μm以下にするためには、
F/L≦0.25 (B−1)
を満足するようF/Lを設定する必要がある。
【0041】
図13は、副走査方向のデフォーカス(各レーザビームLA,LBが最小ビーム径となる位置と像面Sとのずれ)量と条件式(C−2)との関係を示すグラフであり、L3 /Lと副走査方向のデフォーカス量との間には、強い相関が認められる。なお、実際の製造面の結像レンズ21、図示しないハウジングおよび半導体レーザ素子3等の個体誤差等を考慮して、同デフォーカス量を2mm以下にするためには、
0.35 ≦ L3 /L ≦ 0.65 (B−2)
を満足するよう、L3 /Lを設定することが必要である。
【0042】
図14は、主走査方向のデフォーカス(各レーザビームLA,LBが最小ビーム径となる位置と像面Sとのずれ)量と条件式(C−3)との関係を示すグラフであり、L1 ×sinΦ/Lと主走査方向のデフォーカス量との間には、強い相関が認められる。なお、実際の製造面の結像レンズ21、図示しないハウジングおよび半導体レーザ素子3等の個体誤差等を考慮して、主走査方向デフォーカス量2mm以下にするためには、
0.15 ≦ L1 ×sinΦ/L ≦ 0.27 (B−3)
を満足するようL1 ×sinΦ/Lを設定することが必要である。
【0043】
図15は、結像レンズを通る全てのレーザビームが、像面S上で最大どれだけ離れるかを示す主走査方向のレーザビームのばらつきの範囲と条件式(C−4)との関係を示すグラフであり、L1 /Lと同ばらつきとの間には、強い相関が認められる。なお、実際の製造面の結像レンズ21、図示しないハウジングおよび半導体レーザ素子3等の個体誤差等を考慮して、同ばらつきの範囲を20μm以下にするためには、
0.3 ≦ L1 /L ≦ 0.65 (B−4)
を満足するよう、L1 /Lを設定する必要である。
【0044】
図16は、条件式(C−4)と副走査方向のレーザビーム相互の間隔の中心値を42.3μmとした際の走査範囲内全域での副走査方向の各レーザビーム相互の間隔の変動量を示すグラフである。図16によれば、L1 /Lは、副走査方向の各レーザビームの間隔の変動量に対しても図15に示したばらつきに類似した相関を示す。なお、図16に示したばらつきの範囲が20μm以下となる場合、すなわち式(B−4)を満足する範囲では、同副走査方向のレーザビーム相互の間隔のずれは、3μm以下である。
【0045】
図17は、半導体レーザ素子3の発光源3a,3bのそれぞれから放射されるレーザビームLA,LBの波長が100nm変動した場合のときの主走査方向の結像位置のずれ量と条件式(C−5)との関係を示すグラフであり、主走査方向位置ずれ量と、tan-1(W/L)/Φとの間に、強い相関が認められる。
【0046】
ところで、半導体レーザ素子は、発光点(パッケージおよびマウントを含む)の温度が変化すると放射するレーザビームの発光波長が変動するとともにモードホッピング現象により、任意の温度において、例えば0.1°C程度の温度変化に対して発光波長が3nm程度変動することが知られている。このため、半導体レーザ素子の各発光点から放射されるレーザビームの発光波長のみならず、任意に用いられる半導体レーザ素子から放射される全ての波長を均一にすることは、困難である。従って、ある条件下で発光波長を一致できたとしても、温度条件を含む全ての条件においては、発光波長にばらつきが生じることになる。
【0047】
なお、用紙P上でレーザビーム相互の副走査方向のずれを識別できない許容値は、15μm以下であることから、発光波長の変動量を3nm程度に抑えることで、モードホッピングにより発光波長が変動しても、用紙P上で識別しにくくなることになる。このことから、図17において、主走査方向の位置ずれ量を0.5mm以下にできる条件を、条件式(C−5)に当てはめると、一般的な半導体レーザで生じることのあるモードホッピングの大きさが3nmとすると、主走査方向位置ずれ量は、図17に示したずれ量の約3/100であり、3nmの波長変動が生じた場合であっても、用紙上でのずれ量を15μm以下とするためには、100nmの波長変動(図17の条件)において、0.5mm以下となるよう、範囲を特定すればよいことになる。
【0048】
従って、
0.8 ≦ tan-1(W/L)Φ ≦ 1.3 (B−5)
を満たすよう、(W/L)Φを設定すればよいことになる。
【0049】
図18は、fθ特性と条件式(C−6)との関係を示すグラフであり、fθ特性とL1 ×L3 /L2 との間には、強い相関が認められる。なお、実際の製造面の結像レンズ21、図示しないハウジングおよび半導体レーザ素子3等の個体誤差等を考慮して、同特性の変化量の最大値を0.4%程度に抑えるためには、
0.17 ≦ L1 ×L3 /L2 ≦ 0.23 (B−6)
を満足するよう、L1 ×L3 /L2 を設定する必要である。
【0050】
図19は、レンズ21の透過率の偏差による影響と条件式(C−7)との関係を示すグラフであり、透過率の偏差(ばらつき)とφ×(L/W)/L3 との間には、強い相関があることが認められる。なお、実際の製造面の結像レンズ21、図示しないハウジングおよび半導体レーザ素子3等の個体誤差等を考慮して、透過率の偏差(ばらつき)を10%以下とするためには、
φ×(L/W)/L3 ≦0.009 (B−7)
とすることが好ましい。
【0051】
なお、上述した図12ないし図19において、×印で示されているデータは、図4ないし図11に示した実施例1ないし実施例62のうちの実施例1すなわち(A)式において、「a mn」のm項が全て「0」の場合を示しており、図12〜図19を用いて設定した上記最適化条件すなわち(B−1)ないし(B−7)を満足するよう図4に示した多くのパラメータを変更した例である実施例2ないし実施例25に比較して、主走査方向のデフォーカス量、副走査方向のデフォーカス量、複数のレーザビームを用いる場合の副走査方向のレーザビームの位置のずれに関して、特性の劣化がみられる。
【0052】
従って、結像レンズ21のレンズ面の形状を(A)式に示されるように回転対称軸を持たない形状に設定し、
Lを、偏向装置7の多面鏡7aによりレーザビームLA,LBが偏向される偏向点とそれぞれのレーザビームLA,LBが所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離、
L1 を、偏向装置7の多面鏡7aによりレーザビームLA,LBが偏向される偏向点と所定像面の有効領域中心を通るレーザビームLA,LBが結像レンズ21へ入射する点との間の距離、
L3 を、所定像面の有効領域中心を通るレーザビームが結像レンズ21を出射する点と所定像面との間の距離、
Fを、所定像面の有効領域中心を通る光線が結像レンズ21と交わる近傍でのレンズの副走査方向の近軸焦点距離、
Φを、所定像面の有効領域の中心と有効領域の端部との間でレーザビームLA,LBが偏向装置7の多面鏡7aにより偏向される角度[rad]、
Wを、所定像面の有効領域の中心と有効領域の端部との間の距離、
と、それぞれ定義し、
条件式(C−1)に基づいて、面倒れを1分とした時に各レーザビームが結像される位置のずれ量を3μm以下とするよう、F/Lの範囲を
F/L≦0.25
に、
条件式(C−2)に基づいて、副走査方向のデフォーカス量を2mm以下とするよう、L3 /Lの範囲を
0.35 ≦ L3 /L ≦ 0.65
に、
条件式(C−3)に基づいて、主走査方向のデフォーカス量を2mm以下とするよう、L1 ×sinΦ/Lの範囲を
0.15 ≦ L1 ×sinΦ/L ≦ 0.27
に、
条件式(C−4)に基づいて、主走査方向において、各レーザビームLA,LBが結像レンズ21を通る際に、像面S上で最大どれだけ離れるかを示すばらつきの範囲を20μm以下とするよう、L1 /Lの範囲を
0.3 ≦ L1 /L ≦ 0.65
に、
条件式(C−5)に基づいて、モードホッピングが3nmである場合に用紙P上での主走査方向の結像位置のずれを15μm以下とするよう、tan-1(W/L)Φの範囲を
0.8 ≦ tan-1(W/L)Φ ≦ 1.3
に、
条件式(C−6)に基づいて、fθ特性の変化量の最大値を0.4%以下とするよう、L1 ×L3 /L2 の範囲を
0.17 ≦ L1 ×L3 /L2 ≦ 0.23
に、および
条件式(C−7)に基づいて、透過率の偏差(ばらつき)を10%以下とするよう、φ×(L/W)/L3 の範囲を
φ×(L/W)/L3 ≦ 0.009
に、それぞれ設定することで、結像レンズ21を1枚のみとし、最小ビーム径を、50μm程度まで絞ることができる。
【0053】
図20ないし図32は、(A)式に示した「a mn 」のm項を全て「0」とせず、すなわちm項に奇数項を含ませた図4ないし図11の実施例2ないし実施例25のそれぞれの結像レンズ21の入射面および出射面の形状を、数値データにより示したものである。
【0054】
上述した、実施例2ないし実施例25は、
面倒れを1分とした時の各レーザビームの結像位置のずれ量を3μm以下に、
副走査方向のデフォーカス量を2mm以下に、
主走査方向のデフォーカス量を2mm以下に、
レーザビームが結像レンズ21を通る際の主走査方向の像面S上の通過位置のばらつきの範囲を20μm以下に、
半導体レーザ素子に3nmのモードホッピングが生じた場合でも用紙P上での主走査方向の結像位置のずれを15μm以下に、
fθ特性の変化量の最大値を0.4%以下に、かつ
透過率の偏差(ばらつき)を10%以下に
設定可能な1枚のみの結像レンズ21を提供できる。なお、図4ないし図11に示した実施例26ないし実施例62のレンズ面の形状に関する詳細な説明は省略する。
【0055】
図33は、図2に示した露光装置1において、偏向前光学系5の光源3を複数の半導体レーザ素子103aおよび103bにより構成した例を示す概略図である。なお、この場合、有限焦点レンズ111a,111bと、両レンズにより所定の収束性が与えられた第1および第2のレーザビームLA,LBを合成するハーフミラー117により、図2に示したと同様の露光装置を提供可能である。
【0056】
図33に示す例では、半導体レーザ素子103a,103bに、汎用のコストの低いレーザ素子を使用可能であり、しかも一方のレーザ素子の発光が停止した場合もしくはモードホッピングの程度が大きな場合等において、該当するレーザ素子のみを交換可能とすることから、露光装置全体のコストを低減できる。
【0057】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の露光装置によれば、1枚の結像レンズのみにより、偏向装置で所定の速度で偏向された複数のレーザビームを、感光体ドラムの軸線方向に等速度で結像させることができる。
【0058】
また、結像レンズは、
【数2】
【0059】
で表される光入射面および光出射面を除いた任意の一面が、前記光入射面および前記光出射面のそれぞれと交わる交線が非対称となる対称面に形成された回転対称軸を持たないレンズであって、1枚のみであるにも拘わらず、主走査方向のデフォーカス量、副走査方向のデフォーカス量、複数のレーザビームを用いる場合の副走査方向のレーザビームの位置のずれのそれぞれを所定の範囲内に設定し、しかも、像面における最小ビーム径を50μm程度に収束できる。
【0060】
従って、低いコストで、高速、小型で、画質の高い露光装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態である露光装置が組み込まれる画像形成装置を示す概略図。
【図2】図1に示した画像形成装置に組み込まれる露光装置の光学部材の配置の一例を示す概略図。
【図3】図2に示した露光装置に組み込まれる半導体レーザ素子(光源)を示す概略図。
【図4】図2に示した結像レンズ21の実施の形態を示すデータテーブル。
【図5】図4に示したデータテーブルに引き続く図2の結像レンズ21の実施の形態を示すデータテーブル。
【図6】図5に示したデータテーブルに引き続く図2の結像レンズ21の実施の形態を示すデータテーブル。
【図7】図6に示したデータテーブルに引き続く図2の結像レンズ21の実施の形態を示すデータテーブル。
【図8】図7に示したデータテーブルに引き続く図2の結像レンズ21の実施の形態を示すデータテーブル。
【図9】図8に示したデータテーブルに引き続く図2の結像レンズ21の実施の形態を示すデータテーブル。
【図10】図9に示したデータテーブルに引き続く図2の結像レンズ21の実施の形態を示すデータテーブル。
【図11】図10に示したデータテーブルに引き続く図2の結像レンズ21の実施の形態を示すデータテーブル。
【図12】図4ないし図11に示した結像レンズにおいて、偏向装置7の多面鏡7aの各反射面が回転軸に対して非平行となる限度量すなわち面倒れが1分である場合のレーザビームLA,LBの副走査方向の結像位置のずれ量とその最適化条件(C−1)との関係を示すグラフ。
【図13】図4ないし図11に示した結像レンズにおいて、副走査方向のデフォーカス(各レーザビームLA,LBが最小ビーム径となる位置と像面Sとのずれ)量とその最適化条件(C−2)との関係を示すグラフ。
【図14】図4ないし図11に示した結像レンズにおいて、主走査方向のデフォーカス(各レーザビームLA,LBが最小ビーム径となる位置と像面Sとのずれ)量とその最適化条件(C−3)との関係を示すグラフ。
【図15】図4ないし図11に示した結像レンズにおいて、各レーザビームLA,LBが結像レンズを通る際に、像面S上で最大どれだけ離れるかを示す主走査方向のレーザビームのばらつきの範囲とその最適化条件(C−4)との関係を示すグラフ。
【図16】図4ないし図11に示した結像レンズにおいて、図15から得られた最適化条件に対応する副走査方向のレーザビーム相互の間隔の変動量を、中心値を42.3μmとして走査範囲内全域について求めたグラフ。
【図17】図4ないし図11に示した結像レンズにおいて、各発光源から放射されるレーザビームLA,LBの波長が100nm変動した場合のときの主走査方向の結像位置のずれ量とその最適化条件(C−5)との関係を示すグラフ。
【図18】図4ないし図11に示した結像レンズにおいて、各レーザビームLA,LBに対する主走査方向のfθ特性とその最適化条件(C−6)との関係を示すグラフ。
【図19】図4ないし図11に示した結像レンズにおいて、レンズ21の透過率の偏差による影響とその最適化条件(C−7)との関係を示すグラフ。
【図20】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例2および実施例3に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図21】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例4および実施例5に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図22】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例6および実施例7に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図23】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例8および実施例9に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図24】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例10および実施例11に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図25】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例12および実施例13に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図26】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例14および実施例15に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図27】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例16および実施例17に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図28】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例18および実施例19に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図29】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例20および実施例21に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図30】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例22および実施例23に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図31】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例24および実施例25に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図32】図12ないし図19により得られた最適化条件を図4ないし図11に示した結像レンズの実施例26に適用した場合に得られるレンズ面の形状を示すデータテーブル。
【図33】図2に示した露光装置の別の実施の形態を示す概略図。
【符号の説明】
1 ・・・マルチビーム露光装置、
3 ・・・光源、
3a・・・第1の発光点、
3b・・・第2の発光点、
5 ・・・偏向前光学系、
7 ・・・偏向装置、
7a・・・多面鏡、
9 ・・・偏向後光学系、
11 ・・・有限焦点レンズ、
13 ・・・絞り、
15 ・・・シリンダレンズ、
15g・・・ガラスシリンダレンズ、
15p・・・プラスチックシリンダレンズ、
21 ・・・結像レンズ、
23 ・・・ミラー、
25 ・・・防塵ガラス、
51 ・・・画像形成部、
100 ・・・画像形成装置。
Claims (6)
- 発光源と、
この発光源からの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、
この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、
前記回転多面鏡により偏向された光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、
を有する露光装置において、
前記レンズのレンズ面は、
により表され、
前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、
前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点から前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズへ入射する点との間の距離をL1
とする時、
0.3 ≦ L1/L ≦ 0.65
が満足されることを特徴とする露光装置。 - 複数の発光源と、
この発光源からのそれぞれの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、
この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からのそれぞれの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、
前記回転多面鏡により偏向されたそれぞれの光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、
を有する露光装置において、
前記レンズのレンズ面は、
により表され、
前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、
前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間の距離をW、
前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間で前記それぞれの光が前記偏向器により偏向される角度をΦ
とする時、
0.8 ≦ tan−1(W/L)/Φ ≦ 1.3
が満足されることを特徴とする露光装置。 - 発光源と、
この発光源からの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、
この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、
前記回転多面鏡により偏向された光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、
を有する露光装置において、
前記レンズのレンズ面は、
により表され、
前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、
前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点から前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズへ入射する点との間の距離をL1、
前記所定像面の有効領域中心を通る光が前記レンズを出射する点と前記所定の像面との間の距離をL3
とする時、
0.17 ≦ L1×L3/L2 ≦0.23
が満足されることを特徴とする露光装置。 - 発光源と、
この発光源からの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、
この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、
前記回転多面鏡により偏向された光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、
を有する露光装置において、
前記レンズのレンズ面は、
により表され、
前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、
前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズと交わる近傍での前記レンズの前記第1の方向と垂直方向の第2の方向の近軸焦点距離をF、
前記所定像面の有効領域中心を通る光が前記レンズを出射する点と前記所定の像面との間の距離をL3、
前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点から前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズへ入射する点との間の距離をL1、
前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間で前記光が前記偏向器により偏向される角度をΦ、
前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間の距離をW、
とするとき、
F/L≦0.25、
0.35 ≦ L3/L ≦ 0.65、
0.15 ≦ L1×sinΦ/L ≦ 0.27、
0.3 ≦ L1/L ≦ 0.65、
0.8 ≦ tan−1(W/L)/Φ ≦ 1.3、
0.17 ≦ L1×L3/L2 ≦ 0.23、および
φ×(L/W)/L3 ≦ 0.009
が満足されることを特徴とする露光装置。 - 前記発光源は、少なくとも2以上の光源を含むことを特徴とする請求項1ないし4のいづれかに記載の露光装置。
- 発光源と、
この発光源からの光を第1の方向に概略等角速度で偏向する回転多面鏡を含む偏向器と、
この偏向器と前記発光源との間に配置され、前記光源からの光に所定の特性を持たせながら前記偏向器の前記回転多面鏡へ導く偏向前光学手段と、
前記回転多面鏡により偏向された光を所定の像面に前記回転多面鏡の回転量と前記第1の方向の距離が比例するよう、等速度で結像させる1枚のみで構成されたレンズと、
を有する露光装置において、
前記レンズのレンズ面は、
により表され、
前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点と前記所定像面の有効領域の中心を通るときの像面間の距離をL、
前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズと交わる近傍での前記レンズの前記第1の方向と垂直方向の第2の方向の近軸焦点距離をF、
前記所定像面の有効領域中心を通る光が前記レンズを出射する点と前記所定の像面との間の距離をL3、
前記回転多面鏡により前記光が偏向される偏向点から前記所定像面の有効領域中心を通る光線が前記レンズへ入射する点との間の距離をL1、
前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間で前記光が前記偏向器により偏向される角度をΦ、
前記所定像面の有効領域中心と有効領域端との間の距離をW、
とするとき、
F/L≦0.25、
0.35 ≦ L3/L ≦ 0.65、
0.15 ≦ L1×sinΦ/L ≦ 0.27、
0.3 ≦ L1/L ≦ 0.65、
0.8 ≦ tan−1(W/L)/Φ ≦ 1.3、
0.17 ≦ L1×L3/L2 ≦ 0.23、および
φ×(L/W)/L3 ≦ 0.009
が満足されることを特徴とする露光装置と、
この露光装置により像担持体に形成された潜像を現像する現像装置と、
この現像装置により現像された現像剤像を被転写材に転写する転写装置と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
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