JPH1194714A - サンプル搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明はサンプル作製装置により真空あるいは
脱酸素雰囲気中で作成されたサンプルを分析装置に安定
状態で搬送するサンプル搬送装置を提供する。 【解決手段】不活性ガス雰囲気のグローブボックス中で
作製されたサンプル２１を、グローブボックス内でサン
プル支持台２０上に載置し、サンプル搬送装置１０を、
ガス導入管１３から同じ不活性ガスを導入しつつグロー
ブボックス内に挿入する。サンプル搬送装置１０の円筒
形の足部１２でサンプル２１の載置されたサンプル支持
台２０を上から包み込んで、足部１２の突起部１２ａを
サンプル支持台２０の上側溝２０ａに嵌合させ、サンプ
ル２１をサンプル支持台２０とサンプル搬送装置１０の
足部１２及び蓋部１１で形成される密閉空間内に位置さ
せる。この状態で、サンプル支持台２０とサンプル搬送
装置１０で形成される密閉空間内にガス導入管１３から
不活性ガスを導入し、密閉空間内が不活性ガスで充満さ
れると、サンプル２１をサンプル支持台２０とともにグ
ローブボックスから分析装置のサブチャンバーに搬送し
て、サブチャンバー内にセットする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、サンプル搬送装置
に関し、詳細には、グローブボックスやスパッタリング
装置等のサンプル作製装置で作成されたサンプルを、オ
ージェ電子分光装置、Ｘ線電子分光装置等の分析装置に
安定した状態で搬送するサンプル搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、真空あるいは脱酸素雰囲気中でサ
ンプルを作製するグローブボックスやスパッタリング装
置等のサンプル作製装置からサンプルをオージェ電子分
光装置やＸ線電子分光装置等の分析装置に搬送して、分
析装置でサンプルを分析する場合、サンプル作製装置と
分析装置とが一体、すなわち、サンプル作製装置から取
り出すことなく分析装置にサンプルを移動あるいは作製
した状態のまま分析装置でサンプルを分析することがで
きない場合には、サンプル作製装置から一旦サンプルを
取り出して、分析装置にサンプルを移動してセットする
必要がある。

【０００３】この場合、分析装置からサンプルを一旦大
気中に取り出して、分析装置にサンプルを移動すると、
サンプルが大気中の酸素やゴミ等に曝されることにな
り、サンプルの表面が酸化されたり、汚染されて、正確
な表面分析を行うことができなくなる。

【０００４】例えば、従来、アルゴンガス雰囲気のグロ
ーブボックス中でサンプルを作製し、当該作製されたサ
ンプルをオージェ電子分光装置で表面分析を行う場合、
図５に示すように、サンプル１を、グローブボックス中
でオージェ電子分光装置のサンプル支持台２上に載置
し、図６に示すような、サンプル搬送治具３によりサン
プル支持台２を狭持して、オージェ電子分光装置のサブ
チャンバーにセットする。すなわち、サンプル支持台２
には、２つの溝２ａ、２ｂが形成されており、上側の溝
２ａにサンプル搬送治具３の腕部３ａの突起部３ｂを嵌
合させて、下側の溝２ｂに、図７に示すような、オージ
ェ電子分光装置のサブチャンバー内のサンプル支持台２
をメインチャンバーに挿入するための挿入棒４の先端部
が嵌合する。なお、サンプル搬送治具３の上部には、回
転させることによりオージェ電子分光装置のサブチャン
バー内に嵌合する嵌合部３ｃが設けられている。

【０００５】この従来のサンプル搬送治具３を用いてサ
ンプル１をグローブボックスからオージェ電子分光装置
に搬送するには、グローブボックス内でサンプル１をサ
ンプル支持台２上に載置し、図８に示すように、サンプ
ル１の載置されたサンプル支持台２の上側の溝２ａに、
サンプル搬送治具３の腕部３ａの突起部３ｂを嵌合させ
る。サンプル搬送治具３の腕部３ａの突起部３ｂがサン
プル支持台２の上側の溝２ａに嵌合した状態で、サンプ
ル支持台２ごとサンプル１をオージェ電子分光装置のサ
ブチャンバーに搬送し、当該サブチャンバー内でサンプ
ル支持台２を回転させると、サンプル支持台２がサブチ
ャンバーに固定される。この状態で、サンプル支持台２
の下側の溝２ｂに挿入棒４を嵌合させ、サンプル搬送治
具３を引き上げると、サンプル支持台２は、サンプル搬
送治具３から離脱して、サブチャンバー内にセットされ
る。

【０００６】以降は、通常のオージェ電子分光装置の使
用方法によりサブチャンバーのセット口を閉じて、サブ
チャンバーを真空に引き、所定の真空状態になると、サ
ンプル支持台２とともに、サンプル１をオージェ電子分
光装置のメインチャンバーに移動して、サンプル１の分
析を行う。

【０００７】ところが、上記サンプル搬送治具３は、単
に、サンプル１の載置されたサンプル支持台２に係合し
て、サンプル支持台２ごとサンプル１を搬送するように
なっていたため、このサンプル搬送治具３でサンプル１
の載置されたサンプル支持台２をグローブボックスから
オージェ電子分光装置の治具に搬送してセットすると、
サンプル１の表面が、酸素に曝されて、変色する程度に
変質する。

【０００８】そこで、従来、スパッタリング装置や真空
蒸着装置等の真空装置内で作製された薄膜材料を真空条
件のまま搬送できるサンプル搬送装置（商品名：サンプ
ルトランスファベッセルＴＲＶ／１、ＴＲＶ／２；丸文
株式会社製）が商品化されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のサンプル搬送装置にあっては、真空装置内の
試料を真空条件のまま搬送するようになっていたため、
真空の場合にのみ適用することができ、真空以外の場
合、例えば、不活性ガス雰囲気中で搬送する場合には、
適用できず、利用性が悪いとともに、極めて高価である
という問題があった。

【００１０】そこで、請求項１記載の発明は、サンプル
作製装置により真空あるいは脱酸素雰囲気中で作製され
たサンプルを、当該サンプルを分析する分析装置に当該
分析装置のサンプル支持台上に載置させた状態で搬送す
るサンプル搬送装置を、所定の装着部材によりサンプル
支持台に着脱可能に装着され当該装着されたサンプル支
持台上のサンプルの周囲に所定の密閉空間を形成する遮
蔽部材と、遮蔽部材に取り付けられ密閉空間内に不活性
ガスを導入するガス導入管と、を備え、サンプル作製装
置内及び分析装置内に挿入可能なものとすることによ
り、簡単な構成で、サンプルを不活性ガス雰囲気中にお
いて安定してサンプル作製装置と分析装置の間を搬送
し、安価に、かつ、安定した状態でサンプルを搬送でき
るサンプル搬送装置を提供することを目的としている。

【００１１】請求項２記載の発明は、ガス導入管に、不
活性ガスの通過及び遮断を行う開閉手段を設けることに
より、サンプルを収納する遮蔽部材の密閉空間内をより
一層適切に不活性ガス雰囲気として、より一層安定した
状態でサンプルを搬送できるサンプル搬送装置を提供す
ることを目的としている。

【００１２】請求項３記載の発明は、サンプル作製装置
により真空あるいは脱酸素雰囲気中で作製されたサンプ
ルを、当該サンプルを分析する分析装置に搬送するサン
プル搬送装置を、サンプル作製装置及び分析装置に着脱
可能に接合する整合部を有し当該接合部のみに開口部が
形成されサンプルを収納可能な収納ケースと、収納ケー
スの開口部を閉じて収納ケース内を密閉空間とするとと
もに開口部を開いてサンプルの挿入・取り出しが可能な
シャッター部材と、収納ケースに所定の不活性ガスを導
入するガス導入管と、収納ケース内のガスを排出するガ
ス排出管と、備えたものとすることにより、脱酸素雰囲
気中で作製されたサンプルだけでなく、真空中で作製さ
れたサンプルをも、簡単な構成で、サンプルを不活性ガ
ス雰囲気中において安定してサンプル作製装置と分析装
置の間を搬送し、安価に、かつ、安定した状態でサンプ
ルを搬送できるサンプル搬送装置を提供することを目的
としている。

【００１３】請求項４記載の発明は、ガス導入管を、不
活性ガスの通過及び遮断を行う開閉手段を備え、ガス排
出管を、収納ケース内のガスの通過及び遮断を行う開閉
手段を備えたものとすることにより、サンプルを収納す
る収納ケース内をより一層適切に不活性ガス雰囲気とし
て、より一層安定した状態でサンプルを搬送できるサン
プル搬送装置を提供することを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明のサ
ンプル搬送装置は、サンプル作製装置により真空あるい
は脱酸素雰囲気中で作製されたサンプルを、当該サンプ
ルを分析する分析装置に当該分析装置のサンプル支持台
上に載置させた状態で搬送するサンプル搬送装置であっ
て、所定の装着部材により前記サンプル支持台に着脱可
能に装着され当該装着されたサンプル支持台上の前記サ
ンプルの周囲に所定の密閉空間を形成する遮蔽部材と、
前記遮蔽部材に取り付けられ前記密閉空間内に不活性ガ
スを導入するガス導入管と、を備え、前記サンプル作製
装置内及び前記分析装置内に挿入可能とすることによ
り、上記目的を達成している。

【００１５】上記構成によれば、サンプル作製装置によ
り真空あるいは脱酸素雰囲気中で作製されたサンプル
を、当該サンプルを分析する分析装置に当該分析装置の
サンプル支持台上に載置させた状態で搬送するサンプル
搬送装置を、所定の装着部材によりサンプル支持台に着
脱可能に装着され当該装着されたサンプル支持台上のサ
ンプルの周囲に所定の密閉空間を形成する遮蔽部材と、
遮蔽部材に取り付けられ密閉空間内に不活性ガスを導入
するガス導入管と、を備え、サンプル作製装置内及び分
析装置内に挿入可能なものとしているので、簡単な構成
で、サンプルを不活性ガス雰囲気中において安定してサ
ンプル作製装置と分析装置の間を搬送することができ、
サンプル搬送装置を安価なものとすることができるとと
もに、安定した状態でサンプルを搬送することができ
る。

【００１６】この場合、例えば、請求項２に記載するよ
うに、前記ガス導入管は、前記不活性ガスの通過及び遮
断を行う開閉手段を、備えていてもよい。

【００１７】上記構成によれば、ガス導入管に、不活性
ガスの通過及び遮断を行う開閉手段を設けているので、
サンプルを収納する遮蔽部材の密閉空間内をより一層適
切に不活性ガス雰囲気とすることができ、より一層安定
した状態でサンプルを搬送することができる。

【００１８】請求項３記載の発明のサンプル搬送装置
は、サンプル作製装置により真空あるいは脱酸素雰囲気
中で作製されたサンプルを、当該サンプルを分析する分
析装置に搬送するサンプル搬送装置であって、前記サン
プル作製装置及び前記分析装置に着脱可能に接合する整
合部を有し当該接合部のみに開口部が形成され前記サン
プルを収納可能な収納ケースと、前記収納ケースの前記
開口部を閉じて前記収納ケース内を密閉空間とするとと
もに前記開口部を開いて前記サンプルの挿入・取り出し
が可能なシャッター部材と、前記収納ケースに所定の不
活性ガスを導入するガス導入管と、前記収納ケース内の
ガスを排出するガス排出管と、備えることにより、上記
目的を達成している。

【００１９】上記構成によれば、サンプル作製装置によ
り真空あるいは脱酸素雰囲気中で作製されたサンプル
を、当該サンプルを分析する分析装置に搬送するサンプ
ル搬送装置を、サンプル作製装置及び分析装置に着脱可
能に接合する整合部を有し当該接合部のみに開口部が形
成されサンプルを収納可能な収納ケースと、収納ケース
の開口部を閉じて収納ケース内を密閉空間とするととも
に開口部を開いてサンプルの挿入・取り出しが可能なシ
ャッター部材と、収納ケースに所定の不活性ガスを導入
するガス導入管と、収納ケース内のガスを排出するガス
排出管と、備えたものとしているので、脱酸素雰囲気中
で作製されたサンプルだけでなく、真空中で作製された
サンプルをも、簡単な構成で、サンプルを不活性ガス雰
囲気中において安定してサンプル作製装置と分析装置の
間を搬送することができ、サンプル搬送装置を安価なも
のとすることができるとともに、安定した状態でサンプ
ルを搬送することができる。

【００２０】この場合、例えば、請求項４に記載するよ
うに、前記ガス導入管は、前記不活性ガスの通過及び遮
断を行う開閉手段を備え、前記ガス排出管は、前記収納
ケース内のガスの通過及び遮断を行う開閉手段を備えて
いてもよい。

【００２１】上記構成によれば、ガス導入管を、不活性
ガスの通過及び遮断を行う開閉手段を備え、ガス排出管
を、収納ケース内のガスの通過及び遮断を行う開閉手段
を備えたものとしているので、サンプルを収納する収納
ケース内をより一層適切に不活性ガス雰囲気とすること
ができ、より一層安定した状態でサンプルを搬送するこ
とができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。

【００２３】図１は、本発明のサンプル搬送装置の第１
の実施の形態を示す図であり、本実施の形態は、サンプ
ル支持台にサンプルを密閉した状態で嵌合して、サンプ
ルの収納された密閉空間に不活性ガスを導入するもの
で、請求項１及び請求項２に対応するものである。

【００２４】図１は、本発明のサンプル搬送装置の第１
の実施の形態を適用したサンプル搬送装置１０の正面断
面図である。

【００２５】図１において、サンプル搬送装置１０は、
蓋部１１と足部１２を備えており、足部１２を図示しな
い分析装置、例えば、オージェ電子分光装置のサンプル
支持台２０に嵌合させて、サンプル支持台２０上に載置
されたサンプル２１を搬送する。なお、サンプル支持台
２０は、通常、円柱形状に形成され、その外周面に軸方
向に並んで上下２本の溝２０ａ、２０ｂが周方向に形成
されている。

【００２６】蓋部１１は、サンプルを分析する通常の分
析装置のサンプル支持台２０の形状に対応した形状、例
えば、サンプル支持台２０が円柱形状であれば、円盤状
に形成されており、足部１２は、サンプル支持台２０の
形状に対応した筒形状、例えば、サンプル支持台２０が
円柱形状であれば、円筒状あるいは中空の円錐形状等に
形成されている。なお、足部１２は、中空の円錐形状に
形成されるときには、上部が下部よりもその径の小さい
円錐形状であってもよいし、逆に、上部が下部よりもそ
の径の大きい円錐形状であってもよいが、適切にサンプ
ル支持台２０をその先端部で狭持できる形状に形成され
る。

【００２７】足部１２は、上述のように、例えば、円筒
状に形成されており、所定の弾性を有して、その下端部
が所定量開閉可能となっている。足部１２の下端部に
は、内側に突出したリング状の突起部（装着部材）１２
ａが形成されており、足部１２は、図１に示すように、
サンプル支持台２０の上部の溝２０ａに嵌合する。

【００２８】蓋部１１は、上述のように、例えば、円盤
状に形成され、蓋部１１には、その外周縁下部に分析装
置のチャンバー内の係合部に係合する係合部１１ａが形
成されている。また、蓋部１１には、足部１２の形成す
る空間（密閉空間）に連通するガス導入管１３が取り付
けられており、ガス導入管１３には、途中に当該ガス導
入管１３を開閉するバルブ（開閉手段）１４が配設され
ている。ガス導入管１３には、分析装置のチャンバー、
例えば、オージェ電子分光装置のサブチャンバーに容易
に挿入可能な大きさのガスボンベ（図示略）が交換可能
に取り付けられ、ガスボンベとしては、所定の不活性ガ
ス、例えば、アルゴンガス、窒素ガスあるいはキセノン
ガス等のガスボンベが接続される。サンプル搬送装置１
０は、この小型のガスボンベが取り付けられた状態で、
通常のサンプル作製装置及びサンプルを分析する分析装
置内に収納可能な大きさに形成されており、上記蓋部１
１及び足部１２は、全体として遮蔽部材として機能して
いる。

【００２９】なお、サンプル支持台２０の下側の溝２０
ｂは、図 に示したような挿入棒４が嵌合され、分析装
置内でのサンプル支持台２０の操作に利用される。

【００３０】次に、本実施の形態の作用を説明する。サ
ンプル搬送装置１０は、簡単な構成で、サンプル２１を
サンプル作製装置から分析装置に不活性ガス雰囲気中で
搬送するところにその特徴がある。

【００３１】いま、サンプル２１がアルゴンガス雰囲気
のグローブボックス中で作製され、このグローブボック
ス中のサンプル２１をオージェ電子分光装置のサブチャ
ンバーに搬送するものとして、以下、説明する。

【００３２】アルゴンガス雰囲気のグローブボックス中
でサンプル２１が作製されると、当該アルゴンガス雰囲
気の中で、グローブボックス内にサンプル支持台２０を
挿入して、サンプル２１をサンプル支持台２０上に載置
する。

【００３３】次に、サンプル搬送装置１０のガス導入管
１３にグローブボックス内の不活性ガスと同じ不活性ガ
ス、例えば、アルゴンガスの小型のガスボンベを接続
し、ガスボンベの栓を開くとともに、バルブ１４を開い
て、アルゴンガス雰囲気中のグローブボックス内にサン
プル搬送装置１０を挿入する。グローブボックス内に挿
入したサンプル搬送装置１０を、図１に示すように、そ
の足部１２でサンプル２１の載置されたサンプル支持台
２０を上から包み込むようにして、移動させて、足部１
２の突起部１２ａをサンプル支持台２０の上側の溝２０
ａに嵌合させ、サンプル支持台２０上のサンプル２１を
サンプル支持台２０とサンプル搬送装置１０の足部１２
及び蓋部１１で形成される密閉空間内に位置させる。

【００３４】この状態で、サンプル支持台２０とサンプ
ル搬送装置１０で形成される密閉空間内にガス導入管１
３からアルゴンガスを導入し、密閉空間内がアルゴンガ
スで充満されるのを待って、ガス導入管１３を通して密
閉空間にアルゴンガスを導入しながら、グローブボック
スからサンプル２１の載置されているサンプル支持台２
０をサンプル搬送装置１０で包み込んだ状態で取り出
す。

【００３５】取り出したサンプル支持台２０に嵌合した
状態のサンプル搬送装置１０を、ガス導入管１３を通し
て密閉空間にアルゴンガスを導入しながら、オージェ電
子分光装置のサブチャンバーに搬送し、挿入棒４をサン
プル支持台２０の下側の溝２０ｂに嵌合させて、オージ
ェ電子分光装置のサブチャンバー内にセットする。その
後、直ちに、サンプル搬送装置１０のバルブ１４を閉じ
るとともに、サブチャンバーの真空ポンプを作動させ
て、サブチャンバー内の空気を充分に引き抜く。その
後、オージェ電子分光装置のリーク弁を開いて、アルゴ
ンガスをサブチャンバー内に導入し、アルゴンガスがサ
ブチャンバー内に十分充満されると、サンプル支持台２
０の下側溝２０ｂに挿入棒４を嵌合させた状態で、サン
プル搬送装置１０の蓋部１１の係合部１１ａにサブチャ
ンバーの係合部を係合させてサンプル搬送装置１０を上
方に引き上げると、サンプル搬送装置１０がサンプル支
持台２０から離脱する。サンプル搬送装置１０とサンプ
ル支持台２０を分離すると、速やかにサブチャンバーの
セット口を素早く閉じて、真空ポンプを作動させてサブ
チャンバー内を真空状態にする。

【００３６】以降は、通常のオージェ電子分光装置の操
作と同様に、サブチャンバーが所定の真空状態になる
と、サンプル２１をメインチャンバーに移動して、サン
プル２１の分析を行う。

【００３７】このように、本実施の形態のサンプル搬送
装置１０は、不活性ガス雰囲気のグローブボックス中で
作製されたサンプル２１を、オージェ電子分光装置のサ
ブチャンバーに、大気に曝されることなく、同じ不活性
ガス雰囲気においた状態で、搬送することができ、サン
プル２１が大気に曝されて、変質することを簡単な構成
で、かつ、安価に防止することができ、分析精度を向上
させることができる。

【００３８】また、ガス導入管１３に、不活性ガスの通
過及び遮断を行う開閉手段としてのバルブ１４を設けて
いるので、サンプル２１を収納するサンプル搬送装置１
０の密閉空間内をより一層適切に不活性ガス雰囲気とす
ることができ、より一層安定した状態でサンプルを搬送
することができる。

【００３９】なお、上記実施の形態においては、グロー
ブボックスで作製されたサンプル２１をオージェ電子分
光装置に搬送する場合について説明したが、サンプル２
１の作製装置は、グローブボックスに限るものではな
く、また、分析装置は、オージェ電子分光装置に限るも
のでないことは、いうまでもない。また、不活性ガスと
してアルゴンガスが使用されている場合について説明し
たが、不活性ガスは、アルゴンガスに限るものでないこ
とは、いうまでもない。

【００４０】図２〜図４は、本発明のサンプル搬送装置
の第２の実施の形態を示す図であり、本実施の形態は、
請求項３及び請求項４に対応するものである。

【００４１】図２は、本発明のサンプル搬送装置の第２
の実施の形態を適用したサンプル搬送装置３０の正面断
面図である。

【００４２】図２において、サンプル搬送装置３０は、
所定形状、例えば、中空の一方の壁面が開放された箱形
状のサンプル搬送容器（収納ケース）３１に、ガス導入
管３２とガス排出管３３が接続されており、ガス導入管
３２及びガス排出管３３には、それぞれガス導入管３２
及びガス排出管３３を開閉するバルブ（開閉手段）３
４、３５が配設されている。

【００４３】サンプル搬送容器３１の開放側端部には、
開閉可能なシャッター（シャッター部材）３６が取り付
けられており、サンプル搬送容器３１は、シャッター３
６が閉じられることにより、前記ガス導入管３２及びガ
ス排出管３３の接続された部分に密閉空間が形成され
る。

【００４４】サンプル搬送容器３１の開口部３１ａの形
成された開放端には、外方に折り曲げられた接合部３７
が形成されており、接合部３７には、ネジ３８の貫通す
る穴が形成されている。

【００４５】サンプル搬送装置３０は、接合部３７の穴
を貫通するネジ３８により分析装置４０のサブチャンバ
ー４１に接合され、分析装置４０は、サンプル搬送装置
３０の接合されるサブチャンバー４１とメインチャンバ
ー４２を備えている。分析装置４０は、例えば、Ｘ線電
子分光装置であり、サブチャンバー４１とメインチャン
バー４２とは、例えば、バルブ４３により仕切られてい
る。また、サンプル搬送装置３０は、接合部３７により
サンプル作製装置、例えば、スパッタリング装置に接合
される。

【００４６】次に、本実施の形態の作用を説明する。サ
ンプル搬送装置３０は、不活性ガスで充満したサンプル
搬送容器３１内にサンプルを収納して分析装置４０に搬
送するところにその特徴がある。

【００４７】いま、サンプルがスパッタリング装置で作
成され、当該スパッタリング装置から分析装置４０にサ
ンプルを搬送するものとして、以下、説明する。

【００４８】スパッタリング装置でサンプルが作製され
ると、サンプル搬送装置３０のサンプル搬送容器３１の
接合部３７を、シャッター３６を閉じた状態でスパッタ
リング装置に接合し、シャッター３６を閉じたまま、所
定の不活性ガスボンベの接続されたガス導入管３２のバ
ルブ３４を開いてサンプル搬送容器３１の空間内に所定
の不活性ガス、例えば、窒素ガスを導入して、サンプル
搬送容器３１内を不活性ガスで充満する。このとき、サ
ンプル搬送容器３１内の空気を排出するために、適宜、
ガス排出管３３のバルブ３５を開き、サンプル搬送容器
３１内の空気と不活性ガスが交換されると、バルブ３５
を閉じる。

【００４９】サンプル搬送容器３１内が不活性ガスで充
満されると、シャッター３６を空けて、スパッタリング
装置とサンプル搬送容器３１とを連通させ、スパッタリ
ング装置内に分析装置４０のサンプル支持台４５を取り
付けた挿入棒５０を差し入れて、挿入棒５０で、サンプ
ル支持台４５上に設置されたサンプルをサンプル搬送装
置３０のサンプル搬送容器３１内に移動させる。

【００５０】サンプルをサンプル搬送容器３１内に移動
させると、挿入棒５０を抜き取って、シャッター３６を
閉じ、再度、ガス導入管３２から不活性ガスをサンプル
搬送容器３１内に導入して、サンプル搬送容器３１内に
不活性ガスが充満されると、接合部３７によるスパッタ
リング装置との接合を解除し、サンプル搬送装置３０を
分析装置４０へ搬送する。

【００５１】このとき、シャッター３６によるサンプル
搬送容器３１内の密閉性が低いときには、ガス導入管３
２から不活性ガスを導入しながらサンプル搬送装置３０
を分析装置４０に搬送するが、シャッター３６によるサ
ンプル搬送容器３１の密閉性が高いときには、ガス導入
管３２のバルブ３４を閉じて、不活性ガスのサンプル搬
送容器３１内への導入を停止した状態でサンプル搬送装
置３０を分析装置４０へ搬送する。

【００５２】サンプル搬送装置３０を分析装置４０へ搬
送すると、サンプル搬送装置３０を接合部３７でネジ３
８により分析装置４０のサブチャンバー４１部分に設け
られた接合部４４に接合し、分析装置４０のサブチャン
バー４１の真空ポンプを作動させて、サブチャンバー４
１内の空気を充分に引き抜く。その後、分析装置４０の
リーク弁を開いて、不活性ガス（サンプル搬送容器３１
内の不活性ガスと同じ不活性ガス）をサブチャンバー４
１内に導入し、不活性ガスがサブチャンバー４１内に十
分充満されると、シャッター３６を開いて、挿入棒５０
を分析装置４０のサブチャンバー４１からサンプル搬送
容器３１内に挿入して、サンプル支持台４５とともにサ
ンプルをサンプル搬送容器３１からサブチャンバー４１
に移動させる。サンプルをサンプル支持台４５とともに
サブチャンバー４１に移動させると、サブチャンバーの
セット口を素早く閉じるとともに、シャッター３６を閉
じて、真空ポンプを作動させてサブチャンバー内を真空
状態にする。

【００５３】以降は、通常の分析装置４０の操作と同様
に、サブチャンバー４１が所定の真空状態になると、バ
ルブ４３を開いてサンプルをメインチャンバーに移動し
て、サンプルの分析を行う。

【００５４】このように、本実施の形態のサンプル搬送
装置３０は、真空状態のスパッタリング装置で作製され
たサンプルを、分析装置４０のサブチャンバー４１に、
大気に曝されることなく、不活性ガス雰囲気においた状
態で、搬送することができ、サンプルが大気に曝され
て、変質することを簡単な構成で、かつ、安価に防止す
ることができ、分析精度を向上させることができる。

【００５５】また、ガス導入管３２に、不活性ガスの通
過及び遮断を行うバルブ３４を設け、ガス排出管３３
に、サンプル搬送容器３１内のガスの通過及び遮断を行
うバルブ３５を設けているので、サンプルを収納するサ
ンプル搬送容器３１内をより一層適切に不活性ガス雰囲
気とすることができ、より一層安定した状態でサンプル
を搬送することができる。

【００５６】なお、上記実施の形態において、サンプル
搬送装置３０の接合部３７とサンプル作製装置や分析装
置４０の接合部との大きさが合わないときには、図３に
示すような接合径縮小型接合治具６０あるいは図４に示
すような接合径拡大型接合治具７０をサンプル搬送装置
３０の接合部３７とサンプル作製装置や分析装置４０の
整合部との間に介在させることにより、サンプル搬送装
置３０とサンプル作製装置や分析装置４０とを接合させ
ることができる。

【００５７】すなわち、図３に示す接合径縮小型接合治
具６０は、サンプル搬送装置３０の接合部３７に接合さ
れる接合部６１と小口径のサンプル作製装置や分析装置
４０の接合部４４に接合される接合部６２を備えてお
り、図４に示す接合径拡大型接合治具７０は、サンプル
搬送装置３０の接合部３７に接合される接合部７１と大
口径のサンプル作製装置や分析装置４０の接合部４４に
接合される接合部７２を備えている。

【００５８】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。

【００５９】

【発明の効果】請求項１記載の発明のサンプル搬送装置
によれば、サンプル作製装置により真空あるいは脱酸素
雰囲気中で作製されたサンプルを、当該サンプルを分析
する分析装置に当該分析装置のサンプル支持台上に載置
させた状態で搬送するサンプル搬送装置を、所定の装着
部材によりサンプル支持台に着脱可能に装着され当該装
着されたサンプル支持台上のサンプルの周囲に所定の密
閉空間を形成する遮蔽部材と、遮蔽部材に取り付けられ
密閉空間内に不活性ガスを導入するガス導入管と、を備
え、サンプル作製装置内及び分析装置内に挿入可能なも
のとしているので、簡単な構成で、サンプルを不活性ガ
ス雰囲気中において安定してサンプル作製装置と分析装
置の間を搬送することができ、サンプル搬送装置を安価
なものとすることができるとともに、安定した状態でサ
ンプルを搬送することができる。

【００６０】請求項２記載の発明のサンプル搬送装置に
よれば、ガス導入管に、不活性ガスの通過及び遮断を行
う開閉手段を設けているので、サンプルを収納する遮蔽
部材の密閉空間内をより一層適切に不活性ガス雰囲気と
することができ、より一層安定した状態でサンプルを搬
送することができる。

【００６１】請求項３記載の発明のサンプル搬送装置に
よれば、サンプル作製装置により真空あるいは脱酸素雰
囲気中で作製されたサンプルを、当該サンプルを分析す
る分析装置に搬送するサンプル搬送装置を、サンプル作
製装置及び分析装置に着脱可能に接合する整合部を有し
当該接合部のみに開口部が形成されサンプルを収納可能
な収納ケースと、収納ケースの開口部を閉じて収納ケー
ス内を密閉空間とするとともに開口部を開いてサンプル
の挿入・取り出しが可能なシャッター部材と、収納ケー
スに所定の不活性ガスを導入するガス導入管と、収納ケ
ース内のガスを排出するガス排出管と、備えたものとし
ているので、脱酸素雰囲気中で作製されたサンプルだけ
でなく、真空中で作製されたサンプルをも、簡単な構成
で、サンプルを不活性ガス雰囲気中において安定してサ
ンプル作製装置と分析装置の間を搬送することができ、
サンプル搬送装置を安価なものとすることができるとと
もに、安定した状態でサンプルを搬送することができ
る。

【００６２】請求項４記載の発明のサンプル搬送装置に
よれば、ガス導入管を、不活性ガスの通過及び遮断を行
う開閉手段を備え、ガス排出管を、収納ケース内のガス
の通過及び遮断を行う開閉手段を備えたものとしている
ので、サンプルを収納する収納ケース内をより一層適切
に不活性ガス雰囲気とすることができ、より一層安定し
た状態でサンプルを搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のサンプル搬送装置の第１の実施の形態
を適用したサンプル搬送装置及びサンプル支持台の正面
断面図。

【図２】本発明のサンプル搬送装置の第２の実施の形態
を適用したサンプル搬送装置及び分析装置のチャンバー
部分の正面断面図。

【図３】図２のサンプル搬送装置とサンプル作製装置及
び分析装置との接合径縮小型接合治具の正面断面図。

【図４】図２のサンプル搬送装置とサンプル作製装置及
び分析装置との接合径拡大型接合治具の正面断面図。

【図５】分析装置のサンプル支持台の正面図。

【図６】従来のサンプル搬送治具の正面断面図。

【図７】挿入棒の正面図。

【図８】従来のサンプル搬送治具によりサンプル支持台
上に載置されたサンプルを搬送している状態の正面図。

【符号の説明】

１０ サンプル搬送装置 １１ 蓋部 １１ａ 係合部 １２ 足部 １２ａ 突起部 １３ ガス導入管 １４ バルブ ２０ サンプル支持台 ２０ａ、２０ｂ 溝 ２１ サンプル ３０ サンプル搬送装置 ３１ サンプル搬送容器 ３２ ガス導入管 ３３ ガス排出管 ３４、３５ バルブ ３６ シャッタ ３７ 接合部 ３８ ネジ ４０ 分析装置 ４１ サブチャンバー ４２ メインチャンバー ４３ バルブ ４４ 接合部 ４５ サンプル支持台 ５０ 挿入棒

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】サンプル作製装置により真空あるいは脱酸
   素雰囲気中で作製されたサンプルを、当該サンプルを分
   析する分析装置に当該分析装置のサンプル支持台上に載
   置させた状態で搬送するサンプル搬送装置であって、所
   定の装着部材により前記サンプル支持台に着脱可能に装
   着され当該装着されたサンプル支持台上の前記サンプル
   の周囲に所定の密閉空間を形成する遮蔽部材と、前記遮
   蔽部材に取り付けられ前記密閉空間内に不活性ガスを導
   入するガス導入管と、を備え、前記サンプル作製装置内
   及び前記分析装置内に挿入可能なサンプル搬送装置。
2. 【請求項２】前記ガス導入管は、前記不活性ガスの通過
   及び遮断を行う開閉手段を、備えていることを特徴とす
   る請求項１記載のサンプル搬送装置。
3. 【請求項３】サンプル作製装置により真空あるいは脱酸
   素雰囲気中で作製されたサンプルを、当該サンプルを分
   析する分析装置に搬送するサンプル搬送装置であって、
   前記サンプル作製装置及び前記分析装置に着脱可能に接
   合する整合部を有し当該接合部のみに開口部が形成され
   前記サンプルを収納可能な収納ケースと、前記収納ケー
   スの前記開口部を閉じて前記収納ケース内を密閉空間と
   するとともに前記開口部を開いて前記サンプルの挿入・
   取り出しが可能なシャッター部材と、前記収納ケースに
   所定の不活性ガスを導入するガス導入管と、前記収納ケ
   ース内のガスを排出するガス排出管と、備えたことを特
   徴とするサンプル搬送装置。
4. 【請求項４】前記ガス導入管は、前記不活性ガスの通過
   及び遮断を行う開閉手段を備え、前記ガス排出管は、前
   記収納ケース内のガスの通過及び遮断を行う開閉手段を
   備えていることを特徴とする請求項３記載のサンプル搬
   送装置。