JP3535396B2 - 試料分析観察装置 - Google Patents
試料分析観察装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、光電子分光装置
などの試料分析観察装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】 光電子分光装置は、試料にＸ線を照射
し、そのＸ線の照射により試料から放出された光電子を
検出し、検出した光電子から試料の組成を識別する装置
である。 【０００３】この光電子分光装置は、ガス反応装置など
の試料処理装置で処理された試料を分析する場合にも用
いられ、試料処理装置で処理された試料は、大気に晒さ
れないように、内部を気密に保てる試料移送機構に入れ
られて光電子分光装置に運ばれる。 【０００４】この試料移送機構について説明すると、試
料移送機構は、試料処理装置の取付孔と、光電子分光装
置の試料交換室の取付孔に着脱可能に構成されている。
上述した試料処理は、試料移送機構が試料処理装置に取
り付けられた状態で行われ、試料処理がすんだ試料は試
料移送機構に収納される。そして、試料移送機構が気密
に保たれて試料処理装置から外され、光電子分光装置の
試料交換室に取り付けられる。 【０００５】このようにして、試料移送機構が光電子分
光装置の試料交換室に取り付けられると、試料交換室が
排気され、その後、試料が試料移送機構から試料交換室
に取り出される。そして、試料交換室と試料分析室を仕
切る仕切弁が開けられて、試料は試料搬送手段により試
料分析室に搬送され、試料分析が行われる。 【０００６】このように、試料移送機構を用いることに
より、試料処理装置で処理された試料を大気に晒さずに
試料分析することができる。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】 ところで、時には、
この試料移送機構を使わずに直接手で試料を前記試料交
換室に入れる場合がある。その場合、オペレータは、試
料を試料交換室の試料移送機構取付孔から入れ、その
後、試料交換室を排気するためにその取付孔に蓋をす
る。 【０００８】このように、試料移送機構取付孔に手を入
れるために、その取付孔の孔径はかなり大きくされてい
る。そのため、従来の試料移送機構は大型化し、重量も
増して持ち運びなどが困難であった。 【０００９】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、試料移送機構が小型であり、さらに
手での試料導入が行える試料分析観察装置を提供するこ
とにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の試料分析観察装置は、試料を分析または観察する
ための試料室と、該試料室を排気するための排気手段
と、前記試料室に仕切弁を介して取り付けられた試料交
換室と、該試料交換室を排気するための排気手段と、前
記試料交換室に開けられた孔に第１のシール手段を介し
て取り付けられた試料交換蓋と、該試料交換蓋に開けら
れた孔に第２のシール手段を介して着脱可能に取り付け
られた、以下の構成（ａ）〜（ｅ）を備えた試料移送機
構と、 （ａ）試料ホルダ受け台 （ｂ）該試料ホルダ受け台を収容するための容器 （ｃ）前記試料ホルダ受け台を前記容器に収容、および
容器外に位置させるための受け台移動手段 （ｄ）前記試料ホルダ受け台が前記容器に収容されたと
きに、前記容器を気密に保つための第３のシール手段 （ｅ）前記試料ホルダ受け台に着脱可能に取り付けられ
た試料ホルダ 前記試料ホルダを前記試料室に搬送するための手段を備
えたことを特徴とする。 【００１１】 【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。図１は、本発明の試料分析
観察装置の一例である、光電子分光装置の試料交換室を
示した図である。 【００１２】まず、図１の構成について説明すると、１
は試料交換室であり、試料交換室１は仕切弁２を介して
試料分析室３に取り付けられている。この試料分析室３
には、Ｘ線源や光電子検出器などが配置されている。４
は、試料交換室１を排気するための排気手段であり、５
は、試料分析室３を排気するための排気手段である。６
は試料交換蓋であり、試料交換蓋６は、前記試料交換室
１に開けられた取付孔Ｏを塞ぐように、試料交換室１に
開閉可能に取り付けられている。試料交換蓋６の試料交
換室１と接する面には円形の溝が切られており、その溝
には、試料交換室１の気密を保つための第１のシール材
７がはめ込まれている。 【００１３】８は試料移送機構であり、試料移送機構
は、前記試料処理装置で処理された試料を光電子分光装
置の試料交換室に運ぶためのものである。図１は、試料
移送機構８が試料交換室に取り付けられた直後の図であ
るが、以下に、試料移送機構８について説明する。 【００１４】試料移送機構８の容器９は、前記試料交換
蓋６に開けられた取付孔Ｏ′を塞ぐように、試料交換蓋
６にネジ１０で取り付けられている。容器９の試料交換
蓋６と接する面には円形の溝が切られており、その溝に
は、前記試料交換室１の気密を保つための第２のシール
材１１がはめ込まれている。また、容器底部９ａに開け
られた孔９ｂを貫通するように軸１２が設けられてお
り、軸１２の大気側の一端はノブ１３に取り付けられて
いる。このノブ１３は、前記容器底部９ａにネジ案内で
取り付けられており、ノブ１３が右に回転されると前記
軸１２が図中右方向に移動し、逆にノブ１３が左に回転
されると軸１２が左方向に移動する。 【００１５】一方、軸１２の試料交換室側の他端には受
け台１４が固定されており、受け台１４には試料ホルダ
１５が着脱可能に取り付けられている。試料ホルダ１５
には、前記試料処理室で処理された試料１６が載置され
ている。 【００１６】前記受け台１４の前記容器９と接する面に
は円形の溝が切られており、その溝には、容器９の気密
を保つための第３のシール材１７がはめ込まれている。
また、筒状のベローズ１８の一端が前記容器９の内面
に、そして他端が前記軸１２に固定されており、このベ
ローズ１８と前記シール材１７により、容器９の内部は
気密に保たれている。このため、試料を試料処理室から
試料交換室に運ぶときに、試料が大気に晒されることは
ない。 【００１７】このような構成において、オペレータは、
前記試料移送機構８を前記試料交換蓋６に取り付ける
と、前記排気手段４を稼働させる。この排気手段４の稼
働により前記試料交換室１が排気されると、次にオペレ
ータは、試料１６を前記容器９から試料交換室１に取り
出すために、前記ノブ１３を右に回す。ノブ１３が右に
回転されると、前記軸１２が図中右方向に移動し、その
結果、試料１６が試料交換室１に取り出される。図２
は、その時の状態を示した図である。 【００１８】試料１６が試料交換室１に取り出される
と、オペレータは、前記仕切弁２を開け、試料搬送手段
（図示せず）を用いて前記試料ホルダ１５を前記受け台
１４から取り外し、試料ホルダ１５を前記試料分析室３
の試料ステージ（図示せず）に取り付ける。そして、オ
ペレータは、前記試料搬送手段を試料分析室３から退避
させてから前記仕切弁２を閉じる。この後、試料分析室
３で試料１６の分析が行われる。試料１６の分析が終わ
ると、オペレータは、前記仕切弁２を開け、前記試料搬
送手段を用いて前記試料ホルダ１５を前記試料ステージ
から取り外し、試料ホルダ１５を試料交換室１に持って
くる。そして、オペレータは、前記仕切弁２を閉じてか
ら前記試料交換室１をリークし、試料交換室１が大気の
状態にもどると、前記試料交換蓋６を開けて試料ホルダ
１５を取り出す。なお、前記試料交換室１をリークする
ときには、前記受け台１４で容器９を閉じておき、容器
９に空気が入らないようにしておく。 【００１９】さて、前記試料１６の次に、今度は試料処
理されていない試料、すなわち大気に晒しても構わない
試料を分析する場合には、オペレータは、前記試料移送
機構８を前記試料交換蓋６に取り付けた状態で、その試
料交換蓋６を開け、試料を載置した試料ホルダを試料交
換室１に直接手で入れる。そして、オペレータは、前記
試料搬送手段でその試料ホルダを保持してから試料交換
蓋６を閉じ、前記排気手段４を稼働させる。その後は、
上述したようにして試料ホルダが試料分析室に搬送さ
れ、そして、試料分析が行われる。 【００２０】以上、図１の光電子分光装置について説明
したが、この装置においては、試料交換蓋に試料移送機
構が取り付けられており、試料を直接手で試料交換室に
入れるときには、試料交換蓋が開けられて試料が試料交
換室に入れられる。そのため、試料交換蓋の試料移送機
構取付孔の大きさを手が通らないように小さくしても問
題はなく、試料移送機構を従来より小型にすることがで
きる。試料移送機構が小型になると、その重量が減って
持ち運びが楽になる。
などの試料分析観察装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】 光電子分光装置は、試料にＸ線を照射
し、そのＸ線の照射により試料から放出された光電子を
検出し、検出した光電子から試料の組成を識別する装置
である。 【０００３】この光電子分光装置は、ガス反応装置など
の試料処理装置で処理された試料を分析する場合にも用
いられ、試料処理装置で処理された試料は、大気に晒さ
れないように、内部を気密に保てる試料移送機構に入れ
られて光電子分光装置に運ばれる。 【０００４】この試料移送機構について説明すると、試
料移送機構は、試料処理装置の取付孔と、光電子分光装
置の試料交換室の取付孔に着脱可能に構成されている。
上述した試料処理は、試料移送機構が試料処理装置に取
り付けられた状態で行われ、試料処理がすんだ試料は試
料移送機構に収納される。そして、試料移送機構が気密
に保たれて試料処理装置から外され、光電子分光装置の
試料交換室に取り付けられる。 【０００５】このようにして、試料移送機構が光電子分
光装置の試料交換室に取り付けられると、試料交換室が
排気され、その後、試料が試料移送機構から試料交換室
に取り出される。そして、試料交換室と試料分析室を仕
切る仕切弁が開けられて、試料は試料搬送手段により試
料分析室に搬送され、試料分析が行われる。 【０００６】このように、試料移送機構を用いることに
より、試料処理装置で処理された試料を大気に晒さずに
試料分析することができる。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】 ところで、時には、
この試料移送機構を使わずに直接手で試料を前記試料交
換室に入れる場合がある。その場合、オペレータは、試
料を試料交換室の試料移送機構取付孔から入れ、その
後、試料交換室を排気するためにその取付孔に蓋をす
る。 【０００８】このように、試料移送機構取付孔に手を入
れるために、その取付孔の孔径はかなり大きくされてい
る。そのため、従来の試料移送機構は大型化し、重量も
増して持ち運びなどが困難であった。 【０００９】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、試料移送機構が小型であり、さらに
手での試料導入が行える試料分析観察装置を提供するこ
とにある。 【００１０】 【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の試料分析観察装置は、試料を分析または観察する
ための試料室と、該試料室を排気するための排気手段
と、前記試料室に仕切弁を介して取り付けられた試料交
換室と、該試料交換室を排気するための排気手段と、前
記試料交換室に開けられた孔に第１のシール手段を介し
て取り付けられた試料交換蓋と、該試料交換蓋に開けら
れた孔に第２のシール手段を介して着脱可能に取り付け
られた、以下の構成（ａ）〜（ｅ）を備えた試料移送機
構と、 （ａ）試料ホルダ受け台 （ｂ）該試料ホルダ受け台を収容するための容器 （ｃ）前記試料ホルダ受け台を前記容器に収容、および
容器外に位置させるための受け台移動手段 （ｄ）前記試料ホルダ受け台が前記容器に収容されたと
きに、前記容器を気密に保つための第３のシール手段 （ｅ）前記試料ホルダ受け台に着脱可能に取り付けられ
た試料ホルダ 前記試料ホルダを前記試料室に搬送するための手段を備
えたことを特徴とする。 【００１１】 【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。図１は、本発明の試料分析
観察装置の一例である、光電子分光装置の試料交換室を
示した図である。 【００１２】まず、図１の構成について説明すると、１
は試料交換室であり、試料交換室１は仕切弁２を介して
試料分析室３に取り付けられている。この試料分析室３
には、Ｘ線源や光電子検出器などが配置されている。４
は、試料交換室１を排気するための排気手段であり、５
は、試料分析室３を排気するための排気手段である。６
は試料交換蓋であり、試料交換蓋６は、前記試料交換室
１に開けられた取付孔Ｏを塞ぐように、試料交換室１に
開閉可能に取り付けられている。試料交換蓋６の試料交
換室１と接する面には円形の溝が切られており、その溝
には、試料交換室１の気密を保つための第１のシール材
７がはめ込まれている。 【００１３】８は試料移送機構であり、試料移送機構
は、前記試料処理装置で処理された試料を光電子分光装
置の試料交換室に運ぶためのものである。図１は、試料
移送機構８が試料交換室に取り付けられた直後の図であ
るが、以下に、試料移送機構８について説明する。 【００１４】試料移送機構８の容器９は、前記試料交換
蓋６に開けられた取付孔Ｏ′を塞ぐように、試料交換蓋
６にネジ１０で取り付けられている。容器９の試料交換
蓋６と接する面には円形の溝が切られており、その溝に
は、前記試料交換室１の気密を保つための第２のシール
材１１がはめ込まれている。また、容器底部９ａに開け
られた孔９ｂを貫通するように軸１２が設けられてお
り、軸１２の大気側の一端はノブ１３に取り付けられて
いる。このノブ１３は、前記容器底部９ａにネジ案内で
取り付けられており、ノブ１３が右に回転されると前記
軸１２が図中右方向に移動し、逆にノブ１３が左に回転
されると軸１２が左方向に移動する。 【００１５】一方、軸１２の試料交換室側の他端には受
け台１４が固定されており、受け台１４には試料ホルダ
１５が着脱可能に取り付けられている。試料ホルダ１５
には、前記試料処理室で処理された試料１６が載置され
ている。 【００１６】前記受け台１４の前記容器９と接する面に
は円形の溝が切られており、その溝には、容器９の気密
を保つための第３のシール材１７がはめ込まれている。
また、筒状のベローズ１８の一端が前記容器９の内面
に、そして他端が前記軸１２に固定されており、このベ
ローズ１８と前記シール材１７により、容器９の内部は
気密に保たれている。このため、試料を試料処理室から
試料交換室に運ぶときに、試料が大気に晒されることは
ない。 【００１７】このような構成において、オペレータは、
前記試料移送機構８を前記試料交換蓋６に取り付ける
と、前記排気手段４を稼働させる。この排気手段４の稼
働により前記試料交換室１が排気されると、次にオペレ
ータは、試料１６を前記容器９から試料交換室１に取り
出すために、前記ノブ１３を右に回す。ノブ１３が右に
回転されると、前記軸１２が図中右方向に移動し、その
結果、試料１６が試料交換室１に取り出される。図２
は、その時の状態を示した図である。 【００１８】試料１６が試料交換室１に取り出される
と、オペレータは、前記仕切弁２を開け、試料搬送手段
（図示せず）を用いて前記試料ホルダ１５を前記受け台
１４から取り外し、試料ホルダ１５を前記試料分析室３
の試料ステージ（図示せず）に取り付ける。そして、オ
ペレータは、前記試料搬送手段を試料分析室３から退避
させてから前記仕切弁２を閉じる。この後、試料分析室
３で試料１６の分析が行われる。試料１６の分析が終わ
ると、オペレータは、前記仕切弁２を開け、前記試料搬
送手段を用いて前記試料ホルダ１５を前記試料ステージ
から取り外し、試料ホルダ１５を試料交換室１に持って
くる。そして、オペレータは、前記仕切弁２を閉じてか
ら前記試料交換室１をリークし、試料交換室１が大気の
状態にもどると、前記試料交換蓋６を開けて試料ホルダ
１５を取り出す。なお、前記試料交換室１をリークする
ときには、前記受け台１４で容器９を閉じておき、容器
９に空気が入らないようにしておく。 【００１９】さて、前記試料１６の次に、今度は試料処
理されていない試料、すなわち大気に晒しても構わない
試料を分析する場合には、オペレータは、前記試料移送
機構８を前記試料交換蓋６に取り付けた状態で、その試
料交換蓋６を開け、試料を載置した試料ホルダを試料交
換室１に直接手で入れる。そして、オペレータは、前記
試料搬送手段でその試料ホルダを保持してから試料交換
蓋６を閉じ、前記排気手段４を稼働させる。その後は、
上述したようにして試料ホルダが試料分析室に搬送さ
れ、そして、試料分析が行われる。 【００２０】以上、図１の光電子分光装置について説明
したが、この装置においては、試料交換蓋に試料移送機
構が取り付けられており、試料を直接手で試料交換室に
入れるときには、試料交換蓋が開けられて試料が試料交
換室に入れられる。そのため、試料交換蓋の試料移送機
構取付孔の大きさを手が通らないように小さくしても問
題はなく、試料移送機構を従来より小型にすることがで
きる。試料移送機構が小型になると、その重量が減って
持ち運びが楽になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明を適用した光電子分光装置を示した図
である。 【図２】 図１の装置を説明するために示した図であ
り、試料が試料交換室に取り出された状態を示した図で
ある。 【符号の説明】 １…試料交換室、２…仕切弁、３…試料分析室、４、５
…排気手段、６…試料交換蓋、７…第１のシール材、８
…試料移送機構、９…容器、９ａ…容器底部、９ｂ…
孔、１０…ネジ、１１…第２のシール材、１２…軸、１
３…ノブ、１４…受け台、１５…試料ホルダ、１６…試
料、１７…第３のシール材、１８…ベローズ
である。 【図２】 図１の装置を説明するために示した図であ
り、試料が試料交換室に取り出された状態を示した図で
ある。 【符号の説明】 １…試料交換室、２…仕切弁、３…試料分析室、４、５
…排気手段、６…試料交換蓋、７…第１のシール材、８
…試料移送機構、９…容器、９ａ…容器底部、９ｂ…
孔、１０…ネジ、１１…第２のシール材、１２…軸、１
３…ノブ、１４…受け台、１５…試料ホルダ、１６…試
料、１７…第３のシール材、１８…ベローズ
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 試料を分析または観察するための試料室
と、該試料室を排気するための排気手段と、前記試料室
に仕切弁を介して取り付けられた試料交換室と、該試料
交換室を排気するための排気手段と、前記試料交換室に
第１のシール手段を介して取り付けられた試料交換蓋
と、該試料交換蓋に開けられた孔に第２のシール手段を
介して着脱可能に取り付けられた、以下の構成（ａ）〜
（ｅ）を備えた試料移送機構と、 （ａ）試料ホルダ受け台 （ｂ）該試料ホルダ受け台を収容するための容器 （ｃ）前記試料ホルダ受け台を前記容器に収容、および
容器外に位置させるための受け台移動手段 （ｄ）前記試料ホルダ受け台が前記容器に収容されたと
きに、前記容器を気密に保つための第３のシール手段 （ｅ）前記試料ホルダ受け台に着脱可能に取り付けられ
た試料ホルダ 前記試料ホルダを前記試料室に搬送するための手段を備
えたことを特徴とする試料分析観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34172898A JP3535396B2 (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 試料分析観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34172898A JP3535396B2 (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 試料分析観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000162166A JP2000162166A (ja) | 2000-06-16 |
| JP3535396B2 true JP3535396B2 (ja) | 2004-06-07 |
Family
ID=18348321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34172898A Expired - Fee Related JP3535396B2 (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 試料分析観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3535396B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100592242B1 (ko) | 2003-08-12 | 2006-06-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 캐리어 및 이를 구비하는 분석장치 |
| DE102004037837B3 (de) * | 2004-08-04 | 2006-05-11 | Universität Augsburg | Vorrichtung zur Schaffung einer evakuierten Tieftemperaturumgebung für eine Probe und Verwendung der Vorrichtung |
| JP5032076B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2012-09-26 | 株式会社テクノフロント | 質量分析装置 |
| JP5240647B2 (ja) * | 2007-07-30 | 2013-07-17 | 株式会社リコー | シール機構、ステージ装置、及び電子線描画装置 |
| JP5234994B2 (ja) * | 2009-05-26 | 2013-07-10 | 公益財団法人 佐賀県地域産業支援センター | 真空装置への試料搬送導入装置 |
| CN109324201B (zh) * | 2018-09-25 | 2021-11-05 | 河南科技大学第一附属医院 | 一种内镜病理标本储存转运器 |
-
1998
- 1998-12-01 JP JP34172898A patent/JP3535396B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000162166A (ja) | 2000-06-16 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040126 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090319 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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