JP2587200Y2 - 真空室への搬出入装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は、たとえば蛍光Ｘ線分
析装置の照射室のような真空室へ試料を搬出入する搬出
入装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置は、試料に一次Ｘ線を
照射して、試料から発生した蛍光Ｘ線を測定することに
より試料の元素分析を行う装置である。この分析装置で
は、軽元素(B〜Cl) を測定する場合、空気によるＸ線吸
収をとり除くために照射室および分光室を真空状態にし
て分析を行う。この蛍光Ｘ線分析装置では、照射室の真
空度を保ちながら試料を搬出入する必要があることか
ら、一般に、予備真空室が設けられているとともに、搬
出入装置が設けられている。この種の搬出入装置の一例
を図２に示す。

【０００３】図２において、図面左側の外部ストッカ10
には、複数の試料ホルダ (被搬送物)11 が載置されてお
り、この外部ストッカ10が旋回することで、ストック位
置P1の試料ホルダ11が搬出入位置P2に移送される。上記
試料ホルダ11の内部には、破線で示すように、試料12が
内蔵されている。

【０００４】上記外部ストッカ10の右側には、第１の搬
送装置13が設けられている。この第１の搬送装置13は、
アーム13a の先端に試料ホルダ11を把持するハンドリン
グ部14を有している。

【０００５】上記第１の搬送装置13の右側には照射室15
が設けられており、この照射室15のさらに右側には、照
射室15に連通状態の分光室 (図示せず) が隣接して設け
られている。上記照射室 (真空室)15 および分光室は、
真空容器16によって形成されて真空室とされている。

【０００６】上記照射室15の左上部には、照射室15に試
料ホルダ11を搬出入する搬出入口17が形成されている。
この搬出入口17の上方には、回動することにより、搬出
入口17を開閉する第１の蓋体18が設けられている。一
方、搬出入口17の下方には、上下動することにより、搬
出入口17を開閉する第２の蓋体19が設けられている。上
記第１および第２の蓋体18, 19は、真空容器16における
搬出入口17の周囲のそれぞれ外面および内面に圧接し
て、予備真空室20を形成する。上記第１の搬送装置13
は、外部と予備真空室20との間にわたって、試料ホルダ
11を搬送する。

【０００７】照射室15の下部には、ターンテーブル21が
設けられている。ターンテーブル21と上記第２の蓋体19
を上下動させる昇降ロッド22とで第２の搬送装置23が構
成されている。第２の搬送装置23は、予備真空室20と照
射室15との間にわたって試料ホルダ11を搬送するもので
ある。つまり、第２の搬送装置23は、試料ホルダ11を予
備真空室20から照射位置P3まで搬送する。

【０００８】つぎに、上記構成の動作について説明す
る。試料ホルダ11は、外部ストッカ10が旋回することに
より、ストック位置P1から搬出入位置P2に移送される。
その後、第１の搬送装置13はハンドリング部14で試料ホ
ルダ11を持ち上げ旋回させて、搬出入位置P2から予備真
空室20に移送する。この移送後、第１の搬送装置13のハ
ンドリング部14が、二点鎖線で示す位置から実線で示す
位置まで退避した後、第１の蓋体18が実線で示すように
閉じて、予備真空室20が閉塞される。この閉塞後、予備
真空室20を真空排気し、排気完了後に、第２の搬送装置
23が試料ホルダ11を照射位置P3まで搬送する。試料12
は、この照射位置P3において所定の蛍光Ｘ線分析がなさ
れる。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】ここで、予備真空室20
の排気は、第１の搬送装置13が試料ホルダ11を予備真空
室20に搬入した後に、ハンドリング部14が退避し、さら
に、第１の蓋体18が閉じた後に行う。そのため、試料ホ
ルダ11を予備真空室20に搬入してから、真空排気を始め
るまでの時間が長い。また、分析後は、予備真空室20に
試料ホルダ11を移送した後に、第１の蓋体18を開き、さ
らに、アーム13a が旋回した後、試料ホルダ11をつかみ
出すため、搬出時間が長くなる。

【００１０】この考案は上記従来の問題に鑑みてなされ
たもので、被搬送物の搬出入のサイクルタイムを短くす
ることができる真空室への搬出入装置を提供することを
目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この考案は、被搬送物を収納した予備真空室を構成
する第１および第２の蓋体について、第１の蓋体が、真
空容器における搬出入口から離れた外部の搬出入位置と
予備真空室との間にわたって被搬送物を搬送する第１の
搬送装置に設けられ、かつ、第１の蓋体の下部に、被搬
送物を着脱自在に把持して受け渡しするハンドリング部
が設けられて、上記第１の蓋体がハンドリング部で把持
された被搬送物と一体的に上記外部から予備真空室に搬
送されて上記搬出入口の周囲の外面に圧接されるように
構成されている。さらに、上記第２の蓋体、昇降ロッド
および移送テーブルが、上記第２の搬送装置に設けら
れ、上記第２の蓋体が上記被搬送物を受け入れる容器か
らなり、上記昇降ロッドが、上記第２の蓋体を、上記搬
出入口の周囲の内面に圧接させる閉塞位置と、その下方
にある上記移送テーブル上に載置させる開放位置との間
で上下動させるように構成され、上記移送テーブルが、
上記第２の蓋体を、上記開放位置と、上記第２の蓋体中
の上記被搬送物が分析されるべき分析位置の下方との間
で移送するように構成されている。

【００１２】

【作用】この考案によれば、第１の搬送装置に第１の蓋
体を設けたので、両者が干渉しない。そのため、第１の
搬送装置の第１の蓋体が、そのハンドリング部によって
被搬送物を外部から予備真空室まで搬入した後、直ち
に、予備真空室の排気を行うことができる。一方、第２
の搬送装置の第２の蓋体が、被搬送物を真空室から予備
真空室まで移送し、予備真空室を大気圧とした後、直ち
に、第１の搬送装置が被搬送物を外部に搬出することが
できる。

【００１３】

【実施例】以下、この考案の一実施例を図１に基づいて
説明する。図１において、第１の搬送装置13には、２本
のアーム13a の先端部に、それぞれ、第１の蓋体18が設
けられている。第１の蓋体18の内部（下部）には、試料
ホルダ (被搬送物)11 を着脱自在に把持して受け渡しす
るハンドリング部14が設けられている。この第１の搬送
装置13は、上記アーム13a が昇降駆動および旋回駆動す
ることによって、真空容器16における搬出入口17から離
れた外部の搬出入位置P2と予備真空室20との間にわたっ
て、試料ホルダ11を搬送する。

【００１４】第２の搬送装置23は、一対の第２の蓋体19
と、一対の昇降ロッド22と、ターンテーブル（移送テー
ブル）21とを備えている。第２の蓋体19は、試料ホルダ
11を受け入れる容器からなり、試料ホルダ11を載せて、
試料ホルダ11を受け渡しする受皿状のハンドリング部を
構成している。ターンテーブル21は、一対の第２の蓋体
19を載せる載置部21a を有しており、この載置部21a の
中央に、図示しない貫通孔が形成されている。昇降ロッ
ド22は、真空容器16およびターンテーブル21の上記貫通
孔を上下に貫通しており、第２の蓋対19を、真空容器16
における搬出入口17の周囲の内面に圧接させる閉塞位置
と、その下方にある第２の搬送装置23のターンテーブル
21上に載置させる開放位置との間で上下動させる。な
お、両蓋体18, 19と真空容器16との当接面には、真空シ
ールが設けられている。

【００１５】Ｘ線管30は、その先端部が照射室15に挿入
されており、試料12に向かって一次Ｘ線B1を出射する。
入射した一次Ｘ線B1は試料12の原子を励起して、その元
素固有の蛍光Ｘ線B2を発生させる。試料12からの蛍光Ｘ
線B2は、分析室31内のソーラスリット32を通った後、分
光器33で分光され、Ｘ線検出器34に入射して検出され
る。この検出値に基づいて、周知のように、試料12の元
素分析がなされる。

【００１６】つぎに、上記試料ホルダ11の搬入動作につ
いて説明する。予め、第２の蓋体19は、試料ホルダ11を
載置していない状態で、真空容器16における搬出入口17
の周囲の内面に圧接している。これにより、搬出入口17
が閉塞されて、照射室15が真空状態に保たれる。

【００１７】試料ホルダ11は、外部ストッカ10が旋回す
ることにより、ストック位置P1から搬出入位置P2に移送
される。この後、第１の搬送装置13のアーム13a が下降
し、ハンドリング部14で試料ホルダ14を把持した後、ア
ーム13a が上昇、旋回、下降して、試料ホルダ11が予備
真空室20内に搬入される。同時に、第１の蓋体18が真空
容器16に当接して、この図に示すように、予備真空室20
が閉塞される。すなわち、第１の蓋体18は、ハンドリン
グ部14で把持された試料ホルダ11と一体的に外部たる搬
出入位置P2から予備真空室20に搬送されて搬出入口17の
周囲の外面に圧接される。

【００１８】この後、予備真空室20内を排気するととも
に、第１の蓋体18が、試料ホルダ11の把持を解除して、
第２の蓋体19上に試料ホルダ11を移載する。

【００１９】その後、左側の昇降ロッド22が下降して、
第２の蓋体19がターンテーブル21上に載置される。この
載置後、ターンテーブル21が旋回し、右側の昇降ロッド
22が上昇して、試料ホルダ11が第２の蓋体19と共に分析
位置P3まで移送される。この移送後、所定の元素分析が
なされる。すなわち、ターンテーブル（移送テーブル）
21は、第２の蓋体19を、上記開放位置と、第２の蓋体19
中の試料ホルダ11が分析されるべき分析位置P3の下方と
の間で移送する。

【００２０】なお、搬出動作は、搬入動作と同時に行わ
れるが、搬入動作と同様であり、その詳しい説明を省略
する。また、その他の構成は図２の従来例と同様であ
り、その詳しい説明を省略する。

【００２１】上記構成において、この考案は、図１の第
１の蓋体18を第１の搬送装置13に設け、この第１の蓋体
18内にハンドリング部14を設けたので、第１の搬送装置
13によって試料ホルダ11を予備真空室20に搬入した後、
第１の搬送装置13が退避することなく、直ちに予備真空
室20の排気を開始することができる。そのため、搬入の
サイクルタイムが短縮される。

【００２２】また、試料ホルダ11を搬出する際には、第
２の蓋体19を上昇させて、両蓋体18, 19で予備真空室20
を形成した後、第１の搬送装置13が退避することなく、
直ちに、予備真空室20内を大気圧にすることができる。
そのため搬出のサイクルタイムが短縮される。このよう
に、搬入、搬出のサイクルタイムが短縮されるので、分
析する試料12の交換のサイクルタイムが短くなる。

【００２３】また、図１の従来例では、第１の蓋体18を
開閉する駆動機構を別途必要としていた。これに対し、
この考案は、図１の第１の蓋体18が第１の搬送装置13に
設けられているので、第１の蓋体18をアーム13a と共に
移動させることによって、第１の蓋体18の開閉動作を行
うことができる。そのため、第１の蓋体18を開閉する駆
動機構を別途必要としない。したがって、搬出入装置が
安価になる。

【００２４】なお、上記実施例は、蛍光Ｘ線分析装置に
ついて説明したが、この考案は、たとえば、半導体の製
造装置のように、真空容器内へ被搬送物を搬入する他の
装置にも適用できる。

【００２５】

【考案の効果】以上説明したように、この考案によれ
ば、被搬送物を収納した予備真空室を形成する第１およ
び第２の蓋体について、第１の蓋体が、真空容器におけ
る搬出入口から離れた外部の搬出入位置と予備真空室と
の間にわたって被搬送物を搬送する第１の搬送装置に設
けられ、かつ、第１の蓋体の下部に、被搬送物を着脱自
在に把持して受け渡しするハンドリング部が設けられ
て、第１の蓋体がハンドリング部で把持された被搬送物
と一体的に上記外部から予備真空室に搬送されて上記搬
出入口の周囲の外面に圧接されるように構成される。さ
らに、上記第２の蓋体、昇降ロッドおよび移送テーブル
が、上記第２の搬送装置に設けられ、上記第２の蓋体が
上記被搬送物を受け入れる容器からなり、上記昇降ロッ
ドが、上記第２の蓋体を、上記搬出入口の周囲の内面に
圧接させる閉塞位置と、その下方にある上記移送テーブ
ル上に載置させる開放位置との間で上下動させるように
構成され、上記移送テーブルが、上記第２の蓋体を、上
記開放位置と、上記第２の蓋体中の上記被搬送物が分析
されるべき分析位置の下方との間で移送するように構成
される。これにより、搬入時には、第１の蓋体のハンド
リング部が被搬送物を真空室まで搬入した後、直ちに予
備真空室の排気を行うことができ、一方、搬出時には、
予備真空室を大気圧にした後、直ちに、被搬送物を外部
に搬出できる。したがって、被搬送物の搬入、搬出のサ
イクルタイムを短縮することができる。また、第１の蓋
体は第１の搬送装置に設けられているから、第１の蓋体
を開閉させるための駆動機構を別途設ける必要がないの
で、搬出入装置の構成が簡単になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例にかかる蛍光Ｘ線分析装置
の概略構成図である。

【図２】従来の搬出入装置を示す概略構成図である。

【符号の説明】

11…被搬送物 (試料ホルダ) 、13…第１の搬送装置、14
…ハンドリング部、15…真空室 (照射室) 、16…真空容
器、17…搬出入口、18…第１の蓋体、19…第２の蓋体、
20…予備真空室、23…第２の搬送装置。

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器における搬出入口の周囲の外面
   および内面にそれぞれ圧接して被搬送物を収納した予備
   真空室を形成する第１および第２の蓋体と、上記搬出入
   口から離れた外部の搬出入位置と予備真空室との間にわ
   たって被搬送物を搬送する第１の搬送装置と、予備真空
   室と真空室との間にわたって被搬送物を搬送する第２の
   搬送装置とを備え、被搬送物を外部から予備真空室を経
   て真空室へ搬出入する真空室への搬出入装置であって、 上記第１の蓋体が上記第１の搬送装置に設けられ、か
   つ、上記第１の蓋体の下部に、上記被搬送物を着脱自在
   に把持して受け渡しするハンドリング部が設けられて、
   上記第１の蓋体がハンドリング部で把持された被搬送物
   と一体的に上記外部から予備真空室に搬送されて上記搬
   出入口の周囲の外面に圧接されるように構成され、上記第２の蓋体、昇降ロッドおよび移送テーブルが、上
   記第２の搬送装置に設けられ、 上記第２の蓋体が上記被搬送物を受け入れる容器からな
   り、上記昇降ロッドが、上記第２の蓋体を、上記搬出入口の
   周囲の内面に圧接させる閉塞位置と、その下方にある上
   記移送テーブル上に載置させる開放位置との間で上下動
   させるように構成され、 上記移送テーブルが、上記第２の蓋体を、上記開放位置
   と、上記第２の蓋体中の上記被搬送物が分析されるべき
   分析位置の下方との間で移送するように構成されている
   真空室への搬出入装置。