JP2005207908A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
蛍光x線分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005207908A JP2005207908A JP2004015496A JP2004015496A JP2005207908A JP 2005207908 A JP2005207908 A JP 2005207908A JP 2004015496 A JP2004015496 A JP 2004015496A JP 2004015496 A JP2004015496 A JP 2004015496A JP 2005207908 A JP2005207908 A JP 2005207908A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- measurement
- imaging
- fluorescent
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】 真空チャンバー内で試料2Aの測定部位から発生する蛍光X線6 の強度を測定する測定部と、大気雰囲気で複数の試料2 がそれぞれの待機位置に置かれる試料保持ステージ11と、その試料保持ステージ11と前記測定部1 との間で試料2 を移動させる試料交換機12と、前記測定部1 の外の撮像位置に置かれた試料2Cの表面を撮像して画像を生成する撮像手段14と、その撮像手段14が生成した画像に基づいて操作者により指定された測定部位を記憶して、その記憶した測定部位について測定するように前記測定部1 を制御する制御手段16とを備え、前記制御手段16が、前記それぞれの待機位置に置かれた複数の試料2 について、前記指定された測定部位をまとめて記憶し、測定部位を記憶した複数の試料2 について所定の順に、前記それぞれの待機位置から測定部1 へ移動されて測定され、もとの待機位置へ戻されるように前記試料交換機12および測定部1 を制御する。
【選択図】 図1
Description
2 試料
5 1次X線
6 蛍光X線
11 試料保持ステージ
12 試料交換機
12a 把持部
14 撮像手段
16 制御手段
Claims (3)
- 真空引きされるチャンバー内で試料に1次X線を照射して測定部位から発生する蛍光X線の強度を測定する測定部と、
大気雰囲気で複数の試料がそれぞれの待機位置に置かれる試料保持ステージと、
その試料保持ステージと前記測定部との間で試料を移動させる試料交換機と、
前記測定部の外の撮像位置に置かれた試料の表面を撮像して画像を生成する撮像手段と、
その撮像手段が生成した画像に基づいて操作者により指定された測定部位を記憶して、その記憶した測定部位について測定するように前記測定部を制御する制御手段とを備えた蛍光X線分析装置であって、
前記制御手段が、前記それぞれの待機位置に置かれた複数の試料について、前記指定された測定部位をまとめて記憶し、測定部位を記憶した複数の試料について所定の順に、前記それぞれの待機位置から測定部へ移動されて測定され、もとの待機位置へ戻されるように前記試料交換機および測定部を制御する蛍光X線分析装置。 - 請求項1において、
前記撮像位置が、前記試料保持ステージまたはその周辺に、複数の試料について共通に1箇所設定され、
前記試料交換機が、前記各待機位置と撮像位置との間で試料を移動させる蛍光X線分析装置。 - 請求項1において、
前記撮像手段が、前記試料交換機において試料を把持する把持部に取り付けられており、前記各待機位置がそのまま試料それぞれの撮像位置となる蛍光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004015496A JP3928014B2 (ja) | 2004-01-23 | 2004-01-23 | 蛍光x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004015496A JP3928014B2 (ja) | 2004-01-23 | 2004-01-23 | 蛍光x線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005207908A true JP2005207908A (ja) | 2005-08-04 |
JP3928014B2 JP3928014B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
ID=34900949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004015496A Expired - Fee Related JP3928014B2 (ja) | 2004-01-23 | 2004-01-23 | 蛍光x線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3928014B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020044399A1 (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 株式会社島津製作所 | X線分析装置 |
JP2021135160A (ja) * | 2020-02-27 | 2021-09-13 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析装置 |
WO2022024506A1 (ja) * | 2020-07-29 | 2022-02-03 | 株式会社島津製作所 | 自動分析装置 |
Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61120911A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | X線膜厚計における測定ポイント入力装置 |
JPS6158774B2 (ja) * | 1977-01-14 | 1986-12-13 | Shimazu Seisakusho Kk | |
JPH0252246A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Tokyo Electron Ltd | X線検査装置 |
JPH02189450A (ja) * | 1988-12-02 | 1990-07-25 | Gkss Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | X線蛍光分析法により試料を検査する方法及び装置 |
JPH03202760A (ja) * | 1989-10-19 | 1991-09-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 全反射螢光x線分折装置 |
JPH0380255B2 (ja) * | 1984-08-04 | 1991-12-24 | Horiba Ltd | |
JPH06281600A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 全反射蛍光x線分析装置 |
JP2587200Y2 (ja) * | 1991-02-12 | 1998-12-14 | 理学電機工業株式会社 | 真空室への搬出入装置 |
JP2900086B2 (ja) * | 1990-11-08 | 1999-06-02 | 株式会社堀場製作所 | 螢光x線分析装置 |
JP2000137010A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
JP2000171419A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Horiba Ltd | X線分析装置 |
JP2000249667A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-09-14 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
JP2000356609A (ja) * | 1999-06-15 | 2000-12-26 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
JP2001033407A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-09 | Horiba Ltd | X線分析装置 |
JP3247665B2 (ja) * | 1999-06-14 | 2002-01-21 | 理学電機工業株式会社 | X線分析装置における試料交換機 |
JP2002039972A (ja) * | 2000-07-26 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | 蛍光x線分析装置 |
JP3284196B2 (ja) * | 1999-01-14 | 2002-05-20 | 理学電機工業株式会社 | 試料着脱装置およびそれを有する蛍光x線分析装置 |
JP2002174605A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Rigaku Industrial Co | 下面照射型蛍光x線分析装置 |
JP2003057197A (ja) * | 2001-06-06 | 2003-02-26 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
JP3394744B2 (ja) * | 2000-06-20 | 2003-04-07 | 理学電機工業株式会社 | 試料情報設定方法および分析システム |
WO2003064047A1 (en) * | 2002-01-25 | 2003-08-07 | Robodesign International, Inc. | Automated storage and retrieval device and method |
JP3677765B2 (ja) * | 2002-11-08 | 2005-08-03 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光x線分析装置 |
-
2004
- 2004-01-23 JP JP2004015496A patent/JP3928014B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6158774B2 (ja) * | 1977-01-14 | 1986-12-13 | Shimazu Seisakusho Kk | |
JPH0380255B2 (ja) * | 1984-08-04 | 1991-12-24 | Horiba Ltd | |
JPS61120911A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | X線膜厚計における測定ポイント入力装置 |
JPH0252246A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Tokyo Electron Ltd | X線検査装置 |
JPH02189450A (ja) * | 1988-12-02 | 1990-07-25 | Gkss Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | X線蛍光分析法により試料を検査する方法及び装置 |
JPH03202760A (ja) * | 1989-10-19 | 1991-09-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 全反射螢光x線分折装置 |
JP2900086B2 (ja) * | 1990-11-08 | 1999-06-02 | 株式会社堀場製作所 | 螢光x線分析装置 |
JP2587200Y2 (ja) * | 1991-02-12 | 1998-12-14 | 理学電機工業株式会社 | 真空室への搬出入装置 |
JPH06281600A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 全反射蛍光x線分析装置 |
JP2000137010A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
JP2000171419A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-23 | Horiba Ltd | X線分析装置 |
JP2000249667A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-09-14 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
JP3284196B2 (ja) * | 1999-01-14 | 2002-05-20 | 理学電機工業株式会社 | 試料着脱装置およびそれを有する蛍光x線分析装置 |
JP3247665B2 (ja) * | 1999-06-14 | 2002-01-21 | 理学電機工業株式会社 | X線分析装置における試料交換機 |
JP2000356609A (ja) * | 1999-06-15 | 2000-12-26 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
JP2001033407A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-09 | Horiba Ltd | X線分析装置 |
JP3394744B2 (ja) * | 2000-06-20 | 2003-04-07 | 理学電機工業株式会社 | 試料情報設定方法および分析システム |
JP2002039972A (ja) * | 2000-07-26 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | 蛍光x線分析装置 |
JP2002174605A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Rigaku Industrial Co | 下面照射型蛍光x線分析装置 |
JP2003057197A (ja) * | 2001-06-06 | 2003-02-26 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
WO2003064047A1 (en) * | 2002-01-25 | 2003-08-07 | Robodesign International, Inc. | Automated storage and retrieval device and method |
JP3677765B2 (ja) * | 2002-11-08 | 2005-08-03 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光x線分析装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020044399A1 (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 株式会社島津製作所 | X線分析装置 |
CN112601952A (zh) * | 2018-08-27 | 2021-04-02 | 株式会社岛津制作所 | X射线分析装置 |
JP2021135160A (ja) * | 2020-02-27 | 2021-09-13 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析装置 |
JP7302504B2 (ja) | 2020-02-27 | 2023-07-04 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析装置 |
WO2022024506A1 (ja) * | 2020-07-29 | 2022-02-03 | 株式会社島津製作所 | 自動分析装置 |
JP7485048B2 (ja) | 2020-07-29 | 2024-05-16 | 株式会社島津製作所 | 自動分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3928014B2 (ja) | 2007-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9074992B2 (en) | X-ray diffraction apparatus and X-ray diffraction measurement method | |
US8548121B2 (en) | X-ray analyzer | |
JP2016099308A (ja) | 蛍光x線分析装置及び蛍光x線分析方法 | |
JP5069540B2 (ja) | 電子分光分析複合装置、及び電子分光分析方法 | |
JP2017201313A (ja) | X線分析装置 | |
JPH11316201A (ja) | 試料表面の検査方法およびこれを使用するx線分析装置 | |
JP2000193615A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP3928014B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
US8705698B2 (en) | X-ray analyzer and mapping method for an X-ray analysis | |
JP7287957B2 (ja) | 放射線検出装置、コンピュータプログラム及び位置決め方法 | |
WO2013084905A1 (ja) | X線分析装置 | |
JP2005520157A (ja) | 保持プレートの選択された部位をプローブとの相互作用のために予め決定された位置に移動させるための配置(位置決め)システム | |
JP2009002795A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP3677765B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JPH03156947A (ja) | 検査方法 | |
JPH0821605B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP2014071092A (ja) | 試料分析装置 | |
JPH07270346A (ja) | 微小部分析方法 | |
JP2006189281A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JP2006177760A (ja) | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム | |
JP4616631B2 (ja) | 試料分析装置 | |
JP2004012238A (ja) | 分析装置 | |
TWI761997B (zh) | 薄片之製作方法、解析系統及試料之解析方法 | |
WO2023053373A1 (ja) | 解析システム | |
JP2005121538A (ja) | X線検査装置、x線検査方法およびx線検査装置の制御プログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061017 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |