JP7287957B2 - 放射線検出装置、コンピュータプログラム及び位置決め方法 - Google Patents
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Description
(実施形態1)
図1は、X線検出装置1の構成を示すブロック図である。X線検出装置は、蛍光X線分析装置であり、放射線検出装置に対応する。X線検出装置は、試料6が載置される試料台16と、X線を放射するX線源11と、X線源11が放射するX線を収束して試料6へ照射するX線光学素子12と、X線を検出する検出部13とを備えている。試料台16は試料保持部に対応する。試料保持部は、載置以外の方法で試料を保持する形態であってもよい。X線源11は、例えばX線管である。X線光学素子12は、例えば、入射されたX線を内部で反射させながら導光するX線導管を用いたモノキャピラリレンズ、又は複数のX線導管を用いたポリキャピラリレンズである。X線光学素子12は、X線源11が放射したX線を入射され、X線を収束する。X線光学素子12が収束したX線は、試料台16に載置された試料6へ照射される。X線源11及びX線光学素子12は、照射部に対応する。試料6のX線を照射された部分では、蛍光X線が発生する。検出部13は、試料6から発生した蛍光X線を検出し、検出した蛍光X線のエネルギーに比例した信号を出力する。図1では、試料6に照射されるX線及び蛍光X線を矢印で示す。
実施形態2では、試料6に含まれる元素の分布を作成する形態を示す。X線検出装置1の構成は、実施形態1と同様である。図8は、実施形態2に係るX線検出装置1により元素分布を作成する処理の手順を示すフローチャートである。制御部5のCPU51は、コンピュータプログラム541に従って以下の処理を実行する。CPU51は、第2駆動部45の動作を制御し、切替ステージ17を移動させ、ミラー14を撮影位置に配置させる(S201)。CPU51は、次に、実施形態1で説明したS101~S109と同様の処理を行うことにより、試料画像を作成する(S202)。CPU51は、試料6上の各部分に距離D1及び照射径を関連付けた情報を含む試料画像を表すデータを記憶部54に記憶させる。
F[f(x,y)]=F[h(x,y)]F[g(x,y)] …(2)
11 X線源
12 X線光学素子
13 検出部
14 ミラー
15 光学顕微鏡
16 試料台
2 真空箱
21 窓部
3 試料箱
41 焦点位置調整部
43 表示部
44 第1駆動部
5 制御部
51 CPU
541 コンピュータプログラム
6 試料
Claims (11)
- 試料保持部と、該試料保持部が保持する試料を観察するための光学顕微鏡と、該光学顕微鏡により観察される試料へ放射線を照射する照射部と、放射線の照射により前記試料から発生した放射線を検出する検出部とを備える放射線検出装置において、
前記試料上の一の部分に焦点を合わせるべく、前記光学顕微鏡の焦点位置と前記試料の位置との関係を調整する調整部と、
前記試料上での前記焦点を合わせるべき位置を変更する変更部と、
該変更部により変更された前記試料上の位置において、前記調整部により焦点を合わせるべく調整が行われた状態で前記光学顕微鏡を用いて撮影した部分画像を作成する撮影部と、
調整された前記焦点位置に応じて、所定の基点から前記試料の表面までの距離を算出する算出部と、
前記撮影部が作成した複数の部分画像を組み合わせた試料画像を作成する試料画像作成部とを備え、
前記試料画像作成部は、前記算出部が算出した前記距離を前記試料上の複数の部分の夫々に関連付けた情報を含んだ前記試料画像を作成すること
を特徴とする放射線検出装置。 - 前記試料上での放射線が照射される位置を順次変更し、放射線の検出結果を前記試料上の各部分に関連付けた放射線分布を作成する放射線分布作成部と、
前記放射線分布に基づいて、前記試料上での元素の分布を表した元素分布を作成する元素分布作成部と
を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の放射線検出装置。 - 前記試料上の各部分において放射線が照射される部分の大きさを利用して、前記放射線分布に対するデコンボリューションを行う補正部を更に備えること
を特徴とする請求項2に記載の放射線検出装置。 - 前記元素分布作成部は、前記試料の表面に交差する高さ方向の元素の分布を含んだ前記元素分布を作成し、
前記元素分布に基づいて、前記試料の表面に交差する面内での元素の分布を表した前記試料の断面図を表示する表示部を更に備えること
を特徴とする請求項2又は3に記載の放射線検出装置。 - 前記調整部は、前記焦点位置を調整した上で、前記一の部分に前記焦点が合わない場合に、前記一の部分に前記焦点を合わせるべく前記試料保持部を移動させること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の放射線検出装置。 - 前記算出部が算出した前記距離に基づいて、前記試料上で放射線が照射される部分の大きさを特定する特定部を更に備えること
を特徴とする請求項1乃至5のいずれか一つに記載の放射線検出装置。 - 前記試料画像作成部は、前記距離と前記特定部が特定した前記大きさとを前記試料上の複数の部分の夫々に関連付けた情報を含んだ前記試料画像を作成し、
前記試料画像と、前記試料上の各部分に関連付けた前記距離及び前記大きさとを表示する表示部を更に備えること
を特徴とする請求項6に記載の放射線検出装置。 - 試料を観察するための光学顕微鏡と、該光学顕微鏡により観察される試料へ放射線を照射する照射部と、放射線の照射により前記試料から発生した放射線を検出する検出部とを備える放射線検出装置を、コンピュータに制御させるコンピュータプログラムにおいて、
コンピュータに、
前記試料上の一の部分に焦点を合わせるべく、前記光学顕微鏡の焦点位置と前記試料の位置との関係を調整するステップと、
前記試料上での前記焦点を合わせるべき位置を変更するステップと、
該ステップにより変更された前記試料上の位置において、焦点を合わせるべく調整が行われた状態で前記光学顕微鏡を用いて撮影した部分画像を作成するステップと、
調整された前記焦点位置に応じて、所定の基点から前記試料の表面までの距離を算出するステップと、
作成した複数の部分画像を組み合わせた試料画像を作成するステップとを含み、
前記試料画像を作成するステップでは、算出した前記距離を前記試料上の複数の部分の夫々に関連付けた情報を含んだ前記試料画像を作成する
処理を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 試料を観察するための光学顕微鏡と、該光学顕微鏡により観察される試料へ放射線を照射する照射部と、放射線の照射により前記試料から発生した放射線を検出する検出部とを備える放射線検出装置からデータを取得するコンピュータに処理を実行させるコンピュータプログラムにおいて、
コンピュータに、
前記試料上の複数の位置において、焦点を合わせるべく調整が行われた状態で前記光学顕微鏡を用いて撮影した部分画像を、複数組み合わせることにより、試料画像を作成するステップを含み、
前記ステップでは、所定の基点から前記試料の表面までの距離を前記試料上の複数の部分の夫々に関連付けた情報を含んだ前記試料画像を作成する
処理を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - コンピュータに、
前記試料上で放射線が照射される部分の大きさを特定するステップと、
前記試料上での放射線が照射される位置を順次変更し、前記試料上の各部分に放射線の検出結果及び特定した前記大きさを関連付けた放射線分布を作成するステップと、
前記試料上の各部分に関連付けられた前記大きさを利用して、前記放射線分布に対するデコンボリューションを行うステップと
を更に含む処理を実行させることを特徴とする請求項8又は9に記載のコンピュータプログラム。 - 試料を観察するための光学顕微鏡と、該光学顕微鏡により観察される試料へ放射線を照射する照射部と、放射線の照射により前記試料から発生した放射線を検出する検出部とを備える放射線検出装置を用いて、前記試料上で放射線を照射すべき部分の位置決めを行う方法において、
前記試料上の一の部分に焦点を合わせるべく、前記光学顕微鏡の焦点位置と前記試料の位置との関係を調整し、
前記試料上での前記焦点を合わせるべき位置を順次変更し、
変更された前記試料上の位置において、焦点を合わせるべく調整が行われた状態で前記光学顕微鏡を用いて撮影した部分画像を作成し、
調整された前記焦点位置に応じて、所定の基点から前記試料の表面までの距離を算出し、
作成した複数の部分画像を組み合わせた試料画像を作成し、
前記試料画像は、算出した前記距離を前記試料上の複数の部分の夫々に関連付けた情報を含んでおり、
前記試料画像に基づいて、前記試料上で放射線を照射すべき部分の位置決めを行うこと
を特徴とする位置決め方法。
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