JP2005276759A - 電子顕微鏡の操作方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】 オメガ型エネルギーフィルタを用いながらもトモグラフで自動化を実現する電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 オメガ型エネルギーフィルタ15の下段に第2の偏向コイル16を配置している。この偏向コイル16により、電子線と垂直なX−Y平面上でX方向の所定の磁界を発生させて画像上の目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する。同じく1組の偏向コイルにより、電子線と垂直なX−Y平面上で所定の磁界を発生させて画像上の目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する。そして、第1のベクトル算出処理で算出されたベクトルと第2のベクトル算出処理で算出されたベクトルに基づいて基本行列を決定する。この基本行列に基づいて位置ずれの補正のための補正値を算出する。
【選択図】図1
【解決手段】 オメガ型エネルギーフィルタ15の下段に第2の偏向コイル16を配置している。この偏向コイル16により、電子線と垂直なX−Y平面上でX方向の所定の磁界を発生させて画像上の目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する。同じく1組の偏向コイルにより、電子線と垂直なX−Y平面上で所定の磁界を発生させて画像上の目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する。そして、第1のベクトル算出処理で算出されたベクトルと第2のベクトル算出処理で算出されたベクトルに基づいて基本行列を決定する。この基本行列に基づいて位置ずれの補正のための補正値を算出する。
【選択図】図1
Description
電子線源から出射された電子線を試料に照射して試料を透過した電子線により試料を観察する電子顕微鏡の操作方法及びこのような電子顕微鏡を制御するプログラムに関する。
試料を透過した電子ビームを蛍光板に拡大投射する透過型電子顕微鏡(Transmission electron microscopes:TEM)が広く知られている。この透過型電子顕微鏡はナノスケール・オーダーでの材料研究や生物学の研究分野において、最も有力な観察・分析装置として広く利用されている。透過型電子顕微鏡では試料を透過した電子で形成される2次元の透過像を観察するため、その空間分解能は0.1nm前後と極めて高いにもかかわらず、試料の厚み方向の情報を精度よく求めることは困難であった。
そこでこの欠点を補うために、CT(Computed tomograph)法の原理を応用したTEM−CT法が最近一般化し、高分子材料や生物試料などで応用が広まりつつある。この方法は材料分野にも応用ができ、例えば半導体デバイス材料などに応用すれば、デバイス内部の3次元構造を観察・計測できる。この方法は、試料を保持する試料ホルダを試料傾斜機構により所定の傾斜角で傾斜しながら、複数の傾斜角位置において試料の原子投影像を取得し、この複数の原子投影像に所定の演算方法を施して3次元原子配列構造像を形成する。
ところで、透過電子顕微鏡の像観察時に試料傾斜を行うと、目標物が視野の中心からずれることがある。これは、試料傾斜機構の回転軸が視野の中心に位置していない事が原因である。試料傾斜機構の回転軸を完全に視野中心に合わせることは、機械精度の点から不可能である。透過電子顕微鏡トモグラフでは試料傾斜と透過電子顕微鏡像の取得を繰り返すが、試料傾斜の度に上述した目標物の位置ずれを補正する必要がある。この位置ずれの補正方法として、非特許文献1にて開示されているように、透過電子顕微鏡内の結像光学系(第2の電子光学系)の対物レンズの下に偏向コイルを用いる方法が主として採用されている。
図7は、結像光学系(第2の電子光学系)の対物レンズ下に設けた偏向コイル54を用いて、前記位置ずれを補正する透過電子顕微鏡を示す。図示の通り、この透過電子顕微鏡50は、電子線源51と、電子線を試料の特定位置に照射する為の照射光学系(第1の電子光学系)52と、試料傾斜機構53aを備えた試料保持台53と、試料を透過した電子線を結像する為の結像光学系(第2の電子光学系)54と、第2の電子光学系54の下部に置かれた偏向コイル55と、電子線を拡大投影する投影レンズ56と、投影された顕微鏡像を検出する為の電子線検出器60と、試料傾斜と電子線検出器60による透過電子顕微鏡像の取得を制御する外部コンピュータ70と、自動的に試料を傾斜し目標物の位置ずれを補正し画像を取得するプログラムと、からなる。この透過電子顕微鏡50は、外部コンピュータ装置70によって前記プログラムを実行し試料保持台53の試料傾斜機構53aを制御しながら前記偏向コイル55を用いて前記位置ずれを自動的に補正する。
自動化のメリットは主として次の二つである。1つは、ルーチンワークが素早く行えるので試料への電子線照射量が低減される。2つ目は、多い時は数百枚におよぶ画像を取得する労力が低減できる。つまり、第1の理由によりトモグラフの自動化は本来得ようとしているデータを取得するためにも不可欠な技術といえる。
http://www.jeol.co.jp/technical/information;JEOL技術情報「電子顕微鏡トモグラフィーによる立体構造観察:3-Dimentional Structure Observation by mean of TEM-Tomography)」
http://www.jeol.co.jp/technical/information;JEOL技術情報「電子顕微鏡トモグラフィーによる立体構造観察:3-Dimentional Structure Observation by mean of TEM-Tomography)」
ところで、オメガ型エネルギーフィルタを有する透過電子顕微鏡で上述した補正法を用いると、視野がカットされてしまうことが頻繁に起こる。これは、偏向コイル55により光路がシフトし、スリットに蹴られるからである。また、本来オメガ型エネルギーフィルタのエネルギー分散面にあるべきスリットが、分散面から若干ずれた位置に存在するからである。前記エネルギー分散面とスリット位置を完全に一致させることは非常に高い機械精度と調整技術を必要とし容易ではない。
そもそも、エネルギーフィルタを有する透過電子顕微鏡を用いたトモグラフの実例は少なかった。その理由の一つとしてエネルギーフィルタを有する透過電子顕微鏡を用いたトモグラフはオートメーション化が進んでいない点があげられる。
しかし、オメガ型ネルギーフィルターを用いて透過電子顕微鏡トモグラフを行うと次のようなメリットがある。1つには、弾性散乱電子のみを結像させれば高コントラストの透過電子顕微鏡像を得る事ができる。また、試料を構成する特定元素の内殻励起エネルギーに相当するエネルギーを損失した電子線のみで結像すれば、試料の三次元元素マップを得ることができる。
本発明は、前記実情に鑑みてなされたものであり、オメガ型エネルギーフィルタを用いながらもトモグラフで自動化を実現することができるような電子顕微鏡の操作方法及びこのような電子顕微鏡を操作する操作方法に関する。
前述の課題を解決するため、本発明に係る電子顕微鏡の操作方法は、電子線源から出射された電子線を所定角度で傾斜される試料に照射しながら試料を透過した電子線をエネルギーフィルタに入射し、このエネルギーフィルタで選択した特定のエネルギーを有する電子線を投影して試料を観察する電子顕微鏡の操作方法において、試料の傾斜に伴う目標物の顕微鏡像視野内での移動をエネルギーフィルタの下流に設けた偏向コイルによって補正するものである。
前記エネルギーフィルタの下流に設けた第1方向を向く第1偏向コイルを所定量励磁し、前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する第1のベクトル算出工程と、前記エネルギーフィルタの下流に設けた第2方向を向く第2偏向コイルを所定量励磁し、前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する第2のベクトル算出工程と、前記第1偏向コイルの励磁量と、前記第1のベクトル算出工程で算出されたベクトルと、前記第2偏向コイルの励磁量と、前記第2のベクトル算出工程で算出されたベクトルと、に基づいて基本行列を決定する基本行列決定工程と、を有することが好ましい。
傾斜に伴って前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する工程と、前記基本行列決定工程で決定された基本行列に基づいて前記顕微鏡像視野内での前記目標物の移動を補正するための補正量を算出する補正量算出工程と、前記補正値算出工程によって算出した補正値を用いて前記第1偏向コイル及び第2を励磁し、前記顕微鏡視野内での前記目標物の移動を補正する補正工程と、を有することが好ましい。
本発明に係るプログラムは、電子線源から出射された電子線を所定角度で傾斜される試料に照射しながら試料を透過した電子線をエネルギーフィルタに入射し、このエネルギーフィルタで選択した特定のエネルギーを有する電子線を投影して試料を観察する電子顕微鏡の記憶媒体に格納され、この電子顕微鏡を制御するプログラムであって、前記エネルギーフィルタの下流に設けた第1方向を向く第1偏向コイルを所定量励磁し、前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する第1のベクトル算出工程と、前記エネルギーフィルタの下流に設けた第2方向を向く第2偏向コイルを所定量励磁し、前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する第2のベクトル算出工程と、前記第1偏向コイルの励磁量と、前記第1のベクトル算出工程で算出されたベクトルと、前記第2偏向コイルの励磁量と、前記第2のベクトル算出工程で算出されたベクトルと、に基づいて基本行列を決定する基本行列決定工程と、を有するものである。
傾斜に伴って前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する工程と、前記基本行列決定工程で決定された基本行列に基づいて前記顕微鏡像視野内での前記目標物の移動を補正するための補正量を算出する補正量算出工程と、前記補正値算出工程によって算出した補正値を用いて前記第1偏向コイル及び第2を励磁し、前記顕微鏡視野内での前記目標物の移動を補正する補正工程と、を有することが好ましい。
本発明によると、オメガ型エネルギーフィルタを用いながらもトモグラフで自動化を実現することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。この実施の形態は、電子線源から出射された電子線を試料に照射して試料を透過した電子線により試料を観察する電子顕微鏡と、電子顕微鏡によって投影される投影像を検出する為の電子線検出器と、前記試料保持台による試料傾斜時の目標物の位置ずれを前記電子線検出器による透過電子顕微鏡像を取得して制御する制御装置とを備えてなる電子顕微鏡である。
図1は、前記電子顕微鏡10の構成図である。電子顕微鏡10は、制御装置の具体例である外部コンピュータ30に接続され、この外部コンピュータ30によって動作が制御されている。
電子顕微鏡10は、電子線を発生する電子線源11と、電子線を試料の特定位置に照射する為の第1の電子光学系12と、試料傾斜機構13aを備えた試料保持台13と、試料を透過した電子線を集束する為の第2の電子光学系14と、オメガ型エネルギーフィルタ15と、Z軸方向を光軸とする電子線と垂直なX−Y平面上でXおよびY方向の磁力線を発生させ前記エネルギーフィルタ15下部に設けられる2つの偏向コイル(PLA−XおよびPLA−Y)16と、前記エネルギーフィルタ15を透過した電子線を投影する投影レンズ17と、投影レンズ17により投影された顕微鏡像を検出するための電子線検出器20とを有する。
電子線源11は、図示を省略した高電圧電源から供給される高電圧によって電子線を発生させる電子銃である。第1の電子光学系12は、電子線源11によって発生された電子線を試料保持台13に保持される試料の特定位置に照射する照射系である。試料保持台13は試料傾斜機構13aを備えており、例えばゴニオメータ傾斜により所定の傾斜角で傾斜される。試料傾斜機構13aは、試料保持台13を例えば±60度以上傾斜することができる。第2の電子光学系14は、試料保持台13に対向する対物レンズ、試料を透過した電子線をオメガ型エネルギーフィルタ15へ入射するための中間レンズ等からなる。
図2はオメガ型エネルギーフィルタ15の構成図である。オメガ型エネルギーフィルタ15は、入力絞り15aと、4個の第1ないし第4マグネットM1,M2,M3,M4と、スリット15bとからなる。入力絞り15aは、前記第2の電子光学系14により集束されて入射してきた電子線を絞り、第1ないし第4マグネットM1,M2,M3,M4へ導く。
第1ないし第4マグネットM1,M2,M3,M4は、一対の第1及び第4マグネットM1とM4 、一対の第2及び第3マグネットM2とM3が、それぞれ図2において上下線対称に配置されている。そして、入射してきた電子ビームを第1ないし第4マグネットM1,M2,M3,M4を介して通過させ、電子ビームEoutを入射ビームEinと同一直線上となるように出射させると共に、エネルギー分散を生じさせる。
スリット15bは、特定のエネルギーの電子ビームを選択するために設けられるものであり、理想的にはオメガ型フィルター15のエネルギー分散面に一致して配置されるのが望ましい。しかし、エネルギー分散面とスリット位置を完全に一致させることは、非常に高い機械精度と調整技術を必要とし容易ではない。このため、本来理想的には、オメガ型エネルギーフィルタ15のエネルギー分散面にあるべきスリット15bが、分散面から若干ずれた位置に存在してしまうことになる。すると、像観察時に前記電子ビームEoutによる視野がカットされてしまうおそれがある。
前記偏向コイル16は、電子線と垂直なX−Y平面上でXおよびY方向の磁力線を発生させる2つの偏向コイルPLA−XおよびPLA−Yからなり、前記試料傾斜に伴う目標物の視野ずれを補正する。この2つの偏向コイル16については後述する。
投影レンズ17は、第2の偏向コイル16により視野ずれが補正されたオメガ型エネルギーフィルタ15からの特定のエネルギーの電子ビームを電子線検出器20に投影するためのレンズである。
電子線検出器20は、投影レンズ17によって投影された投影像を検出するためのものであり、例えばスロースキャンCCDカメラからなる。この電子線検出器20によって撮影された電子線の撮影像は外部コンピュータ装置30に送られる。
図3は、外部コンピュータ装置30のハードウェア構成図である。中央演算処理装置(CPU)31に対して、ハードディスクドライブ(HDD)32、ランダムアクセスメモリ(RAM)33、陰極線管(CRT)又は液晶表示装置(LCD)からなる表示部34、キーボードやマウスなどの入力操作部35が、バス36及び図示を省略した各I/Fを通して接続している。また、CPU31には、電子顕微鏡10の試料保持傾斜機構13a、第2偏向コイル16、及び電子線検出器20との間で画像データ、制御信号をインターフェースするI/F37,38及び39もバス36を介して接続している。
HDD32には、本発明の電子顕微鏡の位置ずれ補正方法に基づいた位置ずれ補正プログラムが予め格納されている。CPUは、HDDから前記プログラムを逐次読み出し、RAM33をワークエリアにして実行する。前記プログラムを実行することにより、外部コンピュータ装置30は、試料保持台13による試料傾斜時の目標物の位置ずれを自動的に補正し、前記電子線検出器20による透過電子顕微鏡像を取得する。
図4は位置ずれ補正プログラムにおける処理の概略手順を示すフローチャートである。
図4のステップS1にて基本行列を決定し、ステップS2にて位置補正・焦点を合わせ、ステップS3で画像を取得し、ステップS4で試料を傾斜するという処理を、ステップS5にて全傾斜角で画像を取得したと判断するまで繰り返す。
図5は図4のステップS1の基本行列決定処理のサブルーチンである。ステップS11にてエネルギーフィルタ15の下部に設けた1組の偏向コイル16により、Z軸方向の光軸と垂直なX方向の所定の強さの磁界を発生させて画像上の目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する。ステップS2にて他の1組の偏向コイルにより、光軸と垂直なY方向に所定の磁界を発生させて画像上の目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する。ステップS13にて第1のベクトル算出処理(ステップS11)で算出されたベクトルと第2のベクトル算出処理(ステップS12)で算出されたベクトルに基づいて基本行列を決定する。
より詳細には、以下の通りである。電子顕微鏡像を弾性散乱電子像のみで結像(ゼロロス像)させる。目標物を顕微鏡像視野内に入れ、電子線検出器20のCCDカメラを用いてデジタル画像として取得する。次いで、第1の偏向コイルPLA−Xをaだけ励磁し、再度、電子検出器20のCCDカメラを用いてデジタル画像として取得する。前記2枚の画像を比較し、目標物の移動方向と移動量を示すベクトルを下記の(1)式の通り定める。
図6は図4のステップS2の位置補正処理のサブルーチンである。ステップS21で、前記移動ベクトルと電子線検出器20からの画像データに基づいて、目標物の移動ベクトルを検出する。ステップS22にて、ステップS13で決定された基本行列と前記移動ベクトルとに基づいて位置ずれの補正値を算出する。ステップS23にて補正値算出処理(ステップS21)によって算出した補正値を用いて偏向コイル16を励磁して位置ずれを補正する。
この基本行列を用いることにより、試料傾斜後に目標物が以下の(4)式に示すように移動した場合、目標物を中心に戻すための偏向コイルPLA-X、PLA−Yの励磁量A、Bが、(5)式で表されるAおよびBだけ要し、目標物を中心にするように補正が行われる。
以上の方法により、エネルギーフィルタ15のスリット1bで視野がカットされることなく自動的にトモグラフを実行することができる。
前述のように、本実施の形態によれば、試料傾斜機構を備えて試料を保持する試料保持台に保持された試料を透過した電子線を結像する為の第2の電子光学系によって結像されて入射してきた電子線のうち、特定のエネルギーを持つ電子線を、線対称に配置された複数組のマグネットを用いて出射させるエネルギーフィルタの下部に特定のエネルギーを持つ電子線に生じている位置ずれを補正する1組の偏向系を備えるので、オメガ型エネルギーフィルタを用いながらもトモグラフで自動化を実現することができ、よってこの自動化により、画像取得を素早く実行できるので試料への電子線照射量が低減し試料破壊が低減され、かつ多い時は数百枚におよぶ画像取得の労力を低減できる。
10 電子顕微鏡
11 電子線源
12 第1の電子光学系
13 試料保持台
13a 試料傾斜機構
14 第2の電子光学系
15 エネルギーフィルタ
16 偏向コイル(PLA−XおよびPLA−Y)
17 投影レンズ
20 電子線検出器20
30 外部コンピュータ30
11 電子線源
12 第1の電子光学系
13 試料保持台
13a 試料傾斜機構
14 第2の電子光学系
15 エネルギーフィルタ
16 偏向コイル(PLA−XおよびPLA−Y)
17 投影レンズ
20 電子線検出器20
30 外部コンピュータ30
Claims (5)
- 電子線源から出射された電子線を所定角度で傾斜される試料に照射しながら試料を透過した電子線をエネルギーフィルタに入射し、このエネルギーフィルタで選択した特定のエネルギーを有する電子線を投影して試料を観察する電子顕微鏡の操作方法において、
試料の傾斜に伴う目標物の顕微鏡像視野内での移動をエネルギーフィルタの下流に設けた偏向コイルによって補正すること
を特徴とする方法。 - 前記エネルギーフィルタの下流に設けた第1方向を向く第1偏向コイルを所定量励磁し、前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する第1のベクトル算出工程と、
前記エネルギーフィルタの下流に設けた第2方向を向く第2偏向コイルを所定量励磁し、前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する第2のベクトル算出工程と、
前記第1偏向コイルの励磁量と、前記第1のベクトル算出工程で算出されたベクトルと、前記第2偏向コイルの励磁量と、前記第2のベクトル算出工程で算出されたベクトルと、に基づいて基本行列を決定する基本行列決定工程と、
を有することを特徴とする請求項1記載の方法。 - 傾斜に伴って前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する工程と、
前記基本行列決定工程で決定された基本行列に基づいて前記顕微鏡像視野内での前記目標物の移動を補正するための補正量を算出する補正量算出工程と、
前記補正値算出工程によって算出した補正値を用いて前記第1偏向コイル及び第2を励磁し、前記顕微鏡視野内での前記目標物の移動を補正する補正工程と、
を有すること特徴とする請求項2記載の方法。 - 電子線源から出射された電子線を所定角度で傾斜される試料に照射しながら試料を透過した電子線をエネルギーフィルタに入射し、このエネルギーフィルタで選択した特定のエネルギーを有する電子線を投影して試料を観察する電子顕微鏡の記憶媒体に格納され、この電子顕微鏡を制御するプログラムであって、
前記エネルギーフィルタの下流に設けた第1方向を向く第1偏向コイルを所定量励磁し、前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する第1のベクトル算出工程と、
前記エネルギーフィルタの下流に設けた第2方向を向く第2偏向コイルを所定量励磁し、前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する第2のベクトル算出工程と、
前記第1偏向コイルの励磁量と、前記第1のベクトル算出工程で算出されたベクトルと、前記第2偏向コイルの励磁量と、前記第2のベクトル算出工程で算出されたベクトルと、に基づいて基本行列を決定する基本行列決定工程と、
を有することを特徴とするプログラム。 - 傾斜に伴って前記顕微鏡像視野内で前記目標物が移動した移動方向と移動量を示すベクトルを算出する工程と、
前記基本行列決定工程で決定された基本行列に基づいて前記顕微鏡像視野内での前記目標物の移動を補正するための補正量を算出する補正量算出工程と、
前記補正値算出工程によって算出した補正値を用いて前記第1偏向コイル及び第2を励磁し、前記顕微鏡視野内での前記目標物の移動を補正する補正工程と、
を有すること特徴とする請求項4記載のプログラム。
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JP2004092022A JP2005276759A (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | 電子顕微鏡の操作方法及びプログラム |
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