JPS6158774B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6158774B2 JPS6158774B2 JP52003199A JP319977A JPS6158774B2 JP S6158774 B2 JPS6158774 B2 JP S6158774B2 JP 52003199 A JP52003199 A JP 52003199A JP 319977 A JP319977 A JP 319977A JP S6158774 B2 JPS6158774 B2 JP S6158774B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- analysis
- fine movement
- movement device
- analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 claims 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 claims 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子顕微鏡，Ｘ線マイクロプローブア
ナライザ等の電子的局所分析装置等における試料
の位置決め装置に関するものである。
ナライザ等の電子的局所分析装置等における試料
の位置決め装置に関するものである。
上記したような局所分析装置では試料上のどの
場所を分析するかが分析上の重要な項目である。
この分析位置は分析対象の由来，特性，分析目的
等を知つている人間が試料毎に探す他ないが、こ
のため分析能率が低下し、多数の試料の自動分析
と云つた能率的方法が用いられない。
場所を分析するかが分析上の重要な項目である。
この分析位置は分析対象の由来，特性，分析目的
等を知つている人間が試料毎に探す他ないが、こ
のため分析能率が低下し、多数の試料の自動分析
と云つた能率的方法が用いられない。
本発明は試料の分析位置の指定作業と実際の分
析作業とを分け、分析の能率化を計り、分析作業
の自動化を資せしめようとするものである。
析作業とを分け、分析の能率化を計り、分析作業
の自動化を資せしめようとするものである。
分析装置には試料微動装置があるが、本発明は
分析装置の試料微動装置と同じ微動装置を分析位
置選定操作台にも設け、この分析位置選定操作台
に試料をセツトし、作業者が微動装置を操作して
分析位置を分析位置選定操作台上の一定位置に持
ち来し、そのときの微動装置のＸ，Ｙ，Ｚ移動距
離をその試料に付属する分析データとし、その試
料を分析装置内の微動装置にセツトし、その微動
装置をその試料に付属したＸ，Ｙ，Ｚのデータに
合せて微動させるようにしたものである。以下実
施例によつて本発明を説明する。
分析装置の試料微動装置と同じ微動装置を分析位
置選定操作台にも設け、この分析位置選定操作台
に試料をセツトし、作業者が微動装置を操作して
分析位置を分析位置選定操作台上の一定位置に持
ち来し、そのときの微動装置のＸ，Ｙ，Ｚ移動距
離をその試料に付属する分析データとし、その試
料を分析装置内の微動装置にセツトし、その微動
装置をその試料に付属したＸ，Ｙ，Ｚのデータに
合せて微動させるようにしたものである。以下実
施例によつて本発明を説明する。
図において１は分析装置、２は分析装置内の試
料微動装置で３は同微動装置にセツトされた試料
であり、これに電子線ビームＥが照射される。微
動装置２はＸ，Ｙ，Z3軸方向の移動装置があ
り、夫々は送りねじをパルスモータで駆動するよ
うになつており、原点からの移動距離がパルスモ
ータに与えられたパルスの数によつて制御され
る。４は分析位置選定操作台で分析装置１内の微
動装置２と同じ微動装置５がある。同じと云う意
味は構造的にも全く同じと云うことではなく微動
距離の一単位が微動装置２におけるパルスモータ
の一パルス分の微動距離と同じであればよいので
ある。今の例では微動装置５のＸ，Ｙ，Ｚ各方向
の移動は夫々パルスモータで行われ、操作者Ａの
操作でモータの回転停止が行われ、モータに与え
たパルスはカウンタによつて計数される。操作者
は微動装置５にセツトされた試料を光学顕微鏡Ｍ
で見ながら微動装置を動かし分析しようと思う点
を光学顕微鏡の視野の中心に持つて来る。このと
きＸ，Ｙ，Ｚ各方向のパルスモータに与えたパル
スの数はカウンタに計数されており、キーボード
７においてデータオンのキーを押すと、上記カウ
ンタの計数値がコンピユータ６のメモリに入力さ
れる。更にキーボード７において試料番号の他分
析操作について、例えば電子顕微鏡写真を採つて
おくならPHOT，２次電子線強度を測定するなら
SECE等のボタンを押すとコンピユータ６のメモ
リにそれらの分析操作の指令も入力される。この
ようにして多数の試料について分析位置選定操作
台４において分析位置及び他の分析指令を定めて
コンピユータ６にメモリさせ、その後試料は分析
装置１内は試料交換装置（図示せず）に装架し、
コンピユータ６を始動させる。コンピユータ６は
メモリの記憶を順次読出し、一つの試料について
Ｘ，Ｙ，Ｚのパルス数に従い、その数だけのパル
スを微動装置２のＸ，Ｙ，Z3方向の駆動用パル
スモータに印加させる。かくしてその試料は分析
位置選定操作台４で指定した位置に電子線Ｅが照
射されるようになる。このようにして多数の試料
が順々に処理されて行く。
料微動装置で３は同微動装置にセツトされた試料
であり、これに電子線ビームＥが照射される。微
動装置２はＸ，Ｙ，Z3軸方向の移動装置があ
り、夫々は送りねじをパルスモータで駆動するよ
うになつており、原点からの移動距離がパルスモ
ータに与えられたパルスの数によつて制御され
る。４は分析位置選定操作台で分析装置１内の微
動装置２と同じ微動装置５がある。同じと云う意
味は構造的にも全く同じと云うことではなく微動
距離の一単位が微動装置２におけるパルスモータ
の一パルス分の微動距離と同じであればよいので
ある。今の例では微動装置５のＸ，Ｙ，Ｚ各方向
の移動は夫々パルスモータで行われ、操作者Ａの
操作でモータの回転停止が行われ、モータに与え
たパルスはカウンタによつて計数される。操作者
は微動装置５にセツトされた試料を光学顕微鏡Ｍ
で見ながら微動装置を動かし分析しようと思う点
を光学顕微鏡の視野の中心に持つて来る。このと
きＸ，Ｙ，Ｚ各方向のパルスモータに与えたパル
スの数はカウンタに計数されており、キーボード
７においてデータオンのキーを押すと、上記カウ
ンタの計数値がコンピユータ６のメモリに入力さ
れる。更にキーボード７において試料番号の他分
析操作について、例えば電子顕微鏡写真を採つて
おくならPHOT，２次電子線強度を測定するなら
SECE等のボタンを押すとコンピユータ６のメモ
リにそれらの分析操作の指令も入力される。この
ようにして多数の試料について分析位置選定操作
台４において分析位置及び他の分析指令を定めて
コンピユータ６にメモリさせ、その後試料は分析
装置１内は試料交換装置（図示せず）に装架し、
コンピユータ６を始動させる。コンピユータ６は
メモリの記憶を順次読出し、一つの試料について
Ｘ，Ｙ，Ｚのパルス数に従い、その数だけのパル
スを微動装置２のＸ，Ｙ，Z3方向の駆動用パル
スモータに印加させる。かくしてその試料は分析
位置選定操作台４で指定した位置に電子線Ｅが照
射されるようになる。このようにして多数の試料
が順々に処理されて行く。
この実施例の場合、分析装置及び分析位置選定
操作台夫々における微動装置の試料設定台には当
りが設けられているので、試料ホルダの基準面を
この当りに当接させて試料を微動装置に取付ける
ようにすることによつて、分析位置選定操作台に
おいて選定された試料面の分析位置が分析装置に
おいて再現される。コンピユータ６を使う代りに
分析位置選定操作台４で定められたＸ，Ｙ，Ｚの
情報を紙に書いておく等して分析装置１の操作者
Ｂに渡し、そのデータに従つてＢが微動装置２を
操作するようにしてもよい。この実施例の場合、
試料ホルダに位置決めの十字印等を設けておき、
分析位置選定操作台上の光学顕微鏡の十字線と試
料ホルダの印を一致させ、そのときの微動装置の
位置を基準にして分析点の座標を決め、この種の
電子的分析装置には一般に光学顕微鏡が付設され
ているので、分析装置の微動装置に試料設定後、
この光学顕微鏡の十字線に試料ホルダの印を一致
させれば、分析装置内で試料が基準位置に設定さ
れるから、その後、与えられたデータによつて微
動装置を駆動することで、分析点の位置再現が行
われる。
操作台夫々における微動装置の試料設定台には当
りが設けられているので、試料ホルダの基準面を
この当りに当接させて試料を微動装置に取付ける
ようにすることによつて、分析位置選定操作台に
おいて選定された試料面の分析位置が分析装置に
おいて再現される。コンピユータ６を使う代りに
分析位置選定操作台４で定められたＸ，Ｙ，Ｚの
情報を紙に書いておく等して分析装置１の操作者
Ｂに渡し、そのデータに従つてＢが微動装置２を
操作するようにしてもよい。この実施例の場合、
試料ホルダに位置決めの十字印等を設けておき、
分析位置選定操作台上の光学顕微鏡の十字線と試
料ホルダの印を一致させ、そのときの微動装置の
位置を基準にして分析点の座標を決め、この種の
電子的分析装置には一般に光学顕微鏡が付設され
ているので、分析装置の微動装置に試料設定後、
この光学顕微鏡の十字線に試料ホルダの印を一致
させれば、分析装置内で試料が基準位置に設定さ
れるから、その後、与えられたデータによつて微
動装置を駆動することで、分析点の位置再現が行
われる。
本発明装置は上述したような構成で、試料の分
析位置の選定と分析とを別々の場所で別の装置で
行うので分析装置では全く機械的（位置選定の判
断等行わず）に分析動作ができるから大へん能率
的であり、また分析の自動化も容易となる。
析位置の選定と分析とを別々の場所で別の装置で
行うので分析装置では全く機械的（位置選定の判
断等行わず）に分析動作ができるから大へん能率
的であり、また分析の自動化も容易となる。
図面は本発明の一実施例の構成を示すブロツク
図である。 １……分析装置、２……試料微動装置、３……
試料、４……分析位置選定操作台、５……試料微
動装置、６……コンピユータ、７……キーボー
ド。
図である。 １……分析装置、２……試料微動装置、３……
試料、４……分析位置選定操作台、５……試料微
動装置、６……コンピユータ、７……キーボー
ド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 試料調査のための光学顕微鏡を備え、大気中
で試料調査を行う分析位置選定操作台と、 分析装置および上記分析位置選定操作台に設け
られ、互に同じ機能を有し、パルスモータで駆動
され、駆動量が同パルスモータの駆動パルス数で
検知，制御されるようになつている試料微動装置
と、 分析位置選定操作台の上記試料微動装置のＸ，
Ｙ駆動量を記憶せしめるメモリと、 上記メモリ内の記憶によつて分析装置内の試料
微動装置を駆動制御する制御手段とよりなること
を特徴とする電子的分析装置等の試料位置決定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP319977A JPS5388565A (en) | 1977-01-14 | 1977-01-14 | Sample position deciding device for electronic analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP319977A JPS5388565A (en) | 1977-01-14 | 1977-01-14 | Sample position deciding device for electronic analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5388565A JPS5388565A (en) | 1978-08-04 |
| JPS6158774B2 true JPS6158774B2 (ja) | 1986-12-13 |
Family
ID=11550743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP319977A Granted JPS5388565A (en) | 1977-01-14 | 1977-01-14 | Sample position deciding device for electronic analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5388565A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005207908A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58112341A (ja) * | 1981-12-26 | 1983-07-04 | Fujitsu Ltd | 集積回路解析装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5162783A (ja) * | 1974-11-29 | 1976-05-31 | Kogyo Gijutsuin |
-
1977
- 1977-01-14 JP JP319977A patent/JPS5388565A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5162783A (ja) * | 1974-11-29 | 1976-05-31 | Kogyo Gijutsuin |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005207908A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5388565A (en) | 1978-08-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6355514A (ja) | 顕微鏡により検査を行う方法および装置 | |
| CA2095196C (en) | Method and apparatus for controlling coordinate displacements of a platform | |
| JP4112493B2 (ja) | レーザ顕微解剖システム | |
| JP2003529454A (ja) | レーザ照射により物体を操作する方法及びレーザ照射により物体を操作する装置の制御システム | |
| JP2009528580A (ja) | スライドをディジタル撮影する方法及びそのための自動ディジタル画像記録システム | |
| US4692871A (en) | Input device for sewing machine | |
| JPS6158774B2 (ja) | ||
| JP2000146794A (ja) | ロックウェル硬度計 | |
| EP0216414A1 (en) | Wave form analyser, especially transient recorder | |
| CN211047019U (zh) | 一种多角度图像采集系统 | |
| DE112007001096T5 (de) | Auto-Einlern-System | |
| KR0129784B1 (ko) | 인쇄 회로 기판용 육안 검사 지원 시스템 | |
| JP2888599B2 (ja) | 顕微鏡の表示装置 | |
| JP3190406B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH0522894Y2 (ja) | ||
| JP2635027B2 (ja) | ロボットによるワーク移送の教示方法およびその教示方法に使用する治具 | |
| JP2005177892A (ja) | プローブ針研磨装置及びプローブ針研磨方法 | |
| JPH0682753U (ja) | 電子線分析装置 | |
| JP2807000B2 (ja) | Ｘ線回折装置 | |
| JPH11351824A (ja) | 座標系補正方法及び画像測定装置 | |
| JPH08248325A (ja) | マイクロマニピュレータ | |
| JP2005252523A (ja) | 資料提示装置および資料提示方法 | |
| JP2870891B2 (ja) | Ｘ線マイクロアナライザ | |
| CA2183081C (en) | Improved method and apparatus for microscopic screening of cytological samples | |
| JPH0721354Y2 (ja) | 毛筆プロッタの紙押え装置 |