JPH1184401A - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
液晶表示装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH1184401A JPH1184401A JP24140097A JP24140097A JPH1184401A JP H1184401 A JPH1184401 A JP H1184401A JP 24140097 A JP24140097 A JP 24140097A JP 24140097 A JP24140097 A JP 24140097A JP H1184401 A JPH1184401 A JP H1184401A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- chamber
- pressure
- introducing
- empty panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶注入前の空パネル内に残留する水分子等
のガスを効率的に減少させ、処理時間の短縮を図る。 【解決手段】 空パネル５をチャンバ７に入れ排気し、
１×１０-2Ｐａ以下に減圧する。次に、窒素をチャンバ
７内に導入し、１×１０+1Ｐａ以上にする。さらに、チ
ャンバ７を減圧にした後に窒素を導入する工程を数回繰
り返すことにより、単に排気のみを続けるよりも効率よ
く空パネル５内部に吸着している残留ガス、特に水分子
を排気でき、処理時間が短縮する。その後、チャンバ７
を１×１０-3Ｐａ以下に減圧し、空パネル５の注入口６
を液晶１０に没入し、チャンバ７に窒素を導入して大気
圧に戻すことで、圧力差により液晶１０を空パネル５内
に導入する。
のガスを効率的に減少させ、処理時間の短縮を図る。 【解決手段】 空パネル５をチャンバ７に入れ排気し、
１×１０-2Ｐａ以下に減圧する。次に、窒素をチャンバ
７内に導入し、１×１０+1Ｐａ以上にする。さらに、チ
ャンバ７を減圧にした後に窒素を導入する工程を数回繰
り返すことにより、単に排気のみを続けるよりも効率よ
く空パネル５内部に吸着している残留ガス、特に水分子
を排気でき、処理時間が短縮する。その後、チャンバ７
を１×１０-3Ｐａ以下に減圧し、空パネル５の注入口６
を液晶１０に没入し、チャンバ７に窒素を導入して大気
圧に戻すことで、圧力差により液晶１０を空パネル５内
に導入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の製
造方法、特に空パネルに液晶を注入する方法に関するも
のである。
造方法、特に空パネルに液晶を注入する方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置の製造工程において、空パ
ネルに液晶を注入する従来の方法を図２、図３（ａ）、
図４および図５を流用して説明する。図において、１は
平板状の透明基板であり、例えばガラス基板、２は封止
材、３は透明基板１に対向する他の平板状の透明基板
で、例えばガラス基板、４は液晶が注入される隙間、５
は空パネル、６は液晶の注入口、７は排気口８および窒
素導入口９を有するチャンバ、８ａは排気口８のバル
ブ、９ａは窒素導入口９のバルブ、１０は液晶、１２は
液晶パネルをそれぞれ示す。
ネルに液晶を注入する従来の方法を図２、図３（ａ）、
図４および図５を流用して説明する。図において、１は
平板状の透明基板であり、例えばガラス基板、２は封止
材、３は透明基板１に対向する他の平板状の透明基板
で、例えばガラス基板、４は液晶が注入される隙間、５
は空パネル、６は液晶の注入口、７は排気口８および窒
素導入口９を有するチャンバ、８ａは排気口８のバル
ブ、９ａは窒素導入口９のバルブ、１０は液晶、１２は
液晶パネルをそれぞれ示す。
【０００３】以下に、従来の液晶の注入方法を図につい
て説明する。まず、図２に示すように、ガラス基板１と
他のガラス基板３間を外縁部に封止材２を介在させて張
り合わせ、空パネル５を形成する。空パネル５は、液晶
を導入する隙間４と、この隙間４に液晶を注入するため
の注入口６とを有する。次に、図３（ａ）に示すよう
に、空パネル５をチャンバ７内に搬入し、チャンバ７を
減圧（バルブ８ａ開）にする。次に、図４（ａ）に示す
ように容器に入れられた液晶１０をチャンバ７内の空パ
ネル５直下に設置し、容器ごと上昇させることで空パネ
ル５の注入口６を液晶１０に没入する。続いて、図４
（ｂ）に示すように、チャンバ７内に窒素を導入して
（バルブ９ａ開）、大気圧まで戻す。圧力差により空パ
ネル５内に完全に液晶１０を導入した後に、注入口６を
ＵＶ硬化樹脂１４で封止すると、図５に示すような液晶
パネル１２が完成する。
て説明する。まず、図２に示すように、ガラス基板１と
他のガラス基板３間を外縁部に封止材２を介在させて張
り合わせ、空パネル５を形成する。空パネル５は、液晶
を導入する隙間４と、この隙間４に液晶を注入するため
の注入口６とを有する。次に、図３（ａ）に示すよう
に、空パネル５をチャンバ７内に搬入し、チャンバ７を
減圧（バルブ８ａ開）にする。次に、図４（ａ）に示す
ように容器に入れられた液晶１０をチャンバ７内の空パ
ネル５直下に設置し、容器ごと上昇させることで空パネ
ル５の注入口６を液晶１０に没入する。続いて、図４
（ｂ）に示すように、チャンバ７内に窒素を導入して
（バルブ９ａ開）、大気圧まで戻す。圧力差により空パ
ネル５内に完全に液晶１０を導入した後に、注入口６を
ＵＶ硬化樹脂１４で封止すると、図５に示すような液晶
パネル１２が完成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の方
法では、空パネル５の隙間４が数μｍと非常に狭いた
め、チャンバ７を減圧にした時に、空パネル５の内部に
残るガスを効率良く排気することが困難であり、特に、
空パネル５内表面に吸着している水分を完全に排気する
ことは困難であった。このため、図７に示すように、完
成した液晶パネル１２の角、特に注入口６から離れた角
に気泡１３が残ってしまい、表示不良をきたし、歩留ま
りが低下するという問題があった。また、液晶パネル１
２内に残留するガスによる気泡を残さないためには、排
気時間を十分にとる必要があるため、処理時間が長くか
かるという問題があった。
法では、空パネル５の隙間４が数μｍと非常に狭いた
め、チャンバ７を減圧にした時に、空パネル５の内部に
残るガスを効率良く排気することが困難であり、特に、
空パネル５内表面に吸着している水分を完全に排気する
ことは困難であった。このため、図７に示すように、完
成した液晶パネル１２の角、特に注入口６から離れた角
に気泡１３が残ってしまい、表示不良をきたし、歩留ま
りが低下するという問題があった。また、液晶パネル１
２内に残留するガスによる気泡を残さないためには、排
気時間を十分にとる必要があるため、処理時間が長くか
かるという問題があった。
【０００５】このため、液晶を導入する前の空パネル内
に残留する空気を減少させる方法として、特開平７−２
２５３８６号公報では、チャンバ内に空パネルを搬入
し、減圧した後に不活性ガスを導入し、空パネルの隙間
４に不活性ガスを満たす工程と、チャンバを減圧し空パ
ネル内の不活性ガスを排出し、空パネルの注入口を液晶
に没入した後にチャンバにガスを導入し、圧力差により
空パネルの隙間に液晶を導入する製造方法が提案されて
いる。この方法では、空パネルの隙間の空気を液晶に溶
解しやすい不活性ガスと置換することにより、空パネル
の隙間にガスが残留する場合でも気泡とならないという
特徴を有する。しかし、上記の方法においても、空パネ
ルの隙間の角の部分の空気および水分子を完全に不活性
ガスと置換するためには相当の長い時間を要するため、
処理時間の短縮が求められていた。
に残留する空気を減少させる方法として、特開平７−２
２５３８６号公報では、チャンバ内に空パネルを搬入
し、減圧した後に不活性ガスを導入し、空パネルの隙間
４に不活性ガスを満たす工程と、チャンバを減圧し空パ
ネル内の不活性ガスを排出し、空パネルの注入口を液晶
に没入した後にチャンバにガスを導入し、圧力差により
空パネルの隙間に液晶を導入する製造方法が提案されて
いる。この方法では、空パネルの隙間の空気を液晶に溶
解しやすい不活性ガスと置換することにより、空パネル
の隙間にガスが残留する場合でも気泡とならないという
特徴を有する。しかし、上記の方法においても、空パネ
ルの隙間の角の部分の空気および水分子を完全に不活性
ガスと置換するためには相当の長い時間を要するため、
処理時間の短縮が求められていた。
【０００６】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、液晶注入前の空パネル内に残留
する水分子等のガスを効率的に減少させ、処理時間の短
縮を図ることが可能な液晶表示装置の製造方法を提供す
ることを目的とする。
ためになされたもので、液晶注入前の空パネル内に残留
する水分子等のガスを効率的に減少させ、処理時間の短
縮を図ることが可能な液晶表示装置の製造方法を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる液晶表
示装置の製造方法は、２枚の透明基板間の外縁部に封止
材が形成され、液晶が封入される隙間と液晶の注入口を
有する空パネルを用意する第１の工程と、空パネルをチ
ャンバ内に搬入し、チャンバ内を減圧にした後に窒素ガ
スを導入する工程を少なくとも１回行う第２の工程と、
チャンバ内を減圧にし、注入口を液晶内に没入した後チ
ャンバ内に窒素または不活性ガスを導入し、圧力差によ
り空パネルの隙間に液晶を導入する第３の工程を含んで
製造するようにしたものである。また、２枚の透明基板
間の外縁部に封止材が形成され、液晶が封入される隙間
と液晶の注入口を有する空パネルを用意する第１の工程
と、空パネルをチャンバ内に搬入し、チャンバ内を減圧
にした後に不活性ガスを導入する工程を少なくとも２回
行う第２の工程と、チャンバ内を減圧にし、注入口を液
晶内に没入した後チャンバ内に窒素または不活性ガスを
導入し、圧力差により空パネルの隙間に液晶を導入する
第３の工程を含んで製造するようにしたものである。
示装置の製造方法は、２枚の透明基板間の外縁部に封止
材が形成され、液晶が封入される隙間と液晶の注入口を
有する空パネルを用意する第１の工程と、空パネルをチ
ャンバ内に搬入し、チャンバ内を減圧にした後に窒素ガ
スを導入する工程を少なくとも１回行う第２の工程と、
チャンバ内を減圧にし、注入口を液晶内に没入した後チ
ャンバ内に窒素または不活性ガスを導入し、圧力差によ
り空パネルの隙間に液晶を導入する第３の工程を含んで
製造するようにしたものである。また、２枚の透明基板
間の外縁部に封止材が形成され、液晶が封入される隙間
と液晶の注入口を有する空パネルを用意する第１の工程
と、空パネルをチャンバ内に搬入し、チャンバ内を減圧
にした後に不活性ガスを導入する工程を少なくとも２回
行う第２の工程と、チャンバ内を減圧にし、注入口を液
晶内に没入した後チャンバ内に窒素または不活性ガスを
導入し、圧力差により空パネルの隙間に液晶を導入する
第３の工程を含んで製造するようにしたものである。
【０００８】また、２枚の透明基板間の外縁部に封止材
が形成され、液晶が封入される隙間と液晶の注入口を有
する空パネルを用意する第１の工程と、空パネルをチャ
ンバ内に搬入し、チャンバ内を減圧にした後に露点−５
０度以下の乾燥空気を導入する工程を少なくとも１回行
う第２の工程と、チャンバ内を減圧にし、注入口を液晶
内に没入した後チャンバ内に窒素または不活性ガスを導
入し、圧力差により空パネルの隙間に液晶を導入する第
３の工程を含んで製造するようにしたものである。ま
た、不活性ガスとして、Ａｒガスを用いるものである。
また、第２の工程は、チャンバ温度５０〜２００度で行
うものである。さらに、第３の工程は、チャンバ温度０
〜５０度で行うものである。
が形成され、液晶が封入される隙間と液晶の注入口を有
する空パネルを用意する第１の工程と、空パネルをチャ
ンバ内に搬入し、チャンバ内を減圧にした後に露点−５
０度以下の乾燥空気を導入する工程を少なくとも１回行
う第２の工程と、チャンバ内を減圧にし、注入口を液晶
内に没入した後チャンバ内に窒素または不活性ガスを導
入し、圧力差により空パネルの隙間に液晶を導入する第
３の工程を含んで製造するようにしたものである。ま
た、不活性ガスとして、Ａｒガスを用いるものである。
また、第２の工程は、チャンバ温度５０〜２００度で行
うものである。さらに、第３の工程は、チャンバ温度０
〜５０度で行うものである。
【０００９】
実施の形態１．以下に、本発明の実施の形態１である液
晶表示装置の製造方法を図について説明する。図１〜図
５は、本発明の実施の形態１において、空パネルに液晶
を注入する方法を説明するための図である。図におい
て、１は平板状の透明基板であり、例えばガラス基板、
２は封止材、３はガラス基板１に対向する他の平板状の
透明基板で、例えばガラス基板、４は液晶が封入される
隙間、５は空パネル、６は液晶の注入口、７は排気口８
および窒素導入口９を有するチャンバ、８ａは排気口８
のバルブ、９ａは窒素導入口９のバルブ、１０は液晶、
１２は液晶パネル、１４はＵＶ硬化樹脂をそれぞれ示
す。
晶表示装置の製造方法を図について説明する。図１〜図
５は、本発明の実施の形態１において、空パネルに液晶
を注入する方法を説明するための図である。図におい
て、１は平板状の透明基板であり、例えばガラス基板、
２は封止材、３はガラス基板１に対向する他の平板状の
透明基板で、例えばガラス基板、４は液晶が封入される
隙間、５は空パネル、６は液晶の注入口、７は排気口８
および窒素導入口９を有するチャンバ、８ａは排気口８
のバルブ、９ａは窒素導入口９のバルブ、１０は液晶、
１２は液晶パネル、１４はＵＶ硬化樹脂をそれぞれ示
す。
【００１０】まず、図１に示すように平板状のガラス基
板１の外縁部に、熱硬化性の封止材２を形成する。この
とき、液晶１０を注入するための注入口６となる領域に
は封止材２を形成しない。次に、図２に示すように、他
のガラス基板３を封止材２を介在させてガラス基板１に
重ね合わせて圧着する。これにより、液晶１０が封入さ
れる隙間４と液晶１０の注入口６を有する空パネル５を
形成する。続いて、図３（ａ）に示すように、空パネル
５をチャンバ７に搬入し、排気して（排気口バルブ８ａ
開）、１×１０-2Ｐａ以下に減圧する。次に、図３
（ｂ）に示すように、窒素をチャンバ７内に導入し（窒
素導入口バルブ９ａ開）、１×１０+1Ｐａ以上にする。
さらに、チャンバ７内を減圧にした後に窒素を導入する
工程を数回繰り返すことにより、単に排気のみを続ける
よりも効率良く空パネル５内部に吸着している残留ガ
ス、特に水分子を排気でき、パネル内圧力をチャンバ７
の圧力に近づけることができるため、短時間でパネル内
部の残留ガスを少ない状態にできる。
板１の外縁部に、熱硬化性の封止材２を形成する。この
とき、液晶１０を注入するための注入口６となる領域に
は封止材２を形成しない。次に、図２に示すように、他
のガラス基板３を封止材２を介在させてガラス基板１に
重ね合わせて圧着する。これにより、液晶１０が封入さ
れる隙間４と液晶１０の注入口６を有する空パネル５を
形成する。続いて、図３（ａ）に示すように、空パネル
５をチャンバ７に搬入し、排気して（排気口バルブ８ａ
開）、１×１０-2Ｐａ以下に減圧する。次に、図３
（ｂ）に示すように、窒素をチャンバ７内に導入し（窒
素導入口バルブ９ａ開）、１×１０+1Ｐａ以上にする。
さらに、チャンバ７内を減圧にした後に窒素を導入する
工程を数回繰り返すことにより、単に排気のみを続ける
よりも効率良く空パネル５内部に吸着している残留ガ
ス、特に水分子を排気でき、パネル内圧力をチャンバ７
の圧力に近づけることができるため、短時間でパネル内
部の残留ガスを少ない状態にできる。
【００１１】次に、図４（ａ）に示すように、チャンバ
７を排気して１×１０-3Ｐａ以下に減圧した後、空パネ
ル５の注入口６をチャンバ７内に予め用意されていた液
晶１０に没入し、図４（ｂ）に示すようにチャンバ７を
窒素を用いて大気圧に戻すことで、圧力差により液晶１
０を空パネル５内に導入する。その後、上記のような状
態を保ち、パネル内部に完全に液晶１０を充填する。続
いて、注入口６をＵＶ硬化樹脂１４を用いて封止するこ
とにより、図５に示すような液晶パネル１２が完成す
る。なお、本実施の形態では、チャンバ７を減圧にした
後に窒素を導入する工程を少なくとも１回行うようにし
たが、このとき導入するガスとしては、露点−５０度以
下の乾燥空気を用いても良く、同様の効果を奏する。ま
た、上記ガスの代わりにＡｒ等の不活性ガスを２回以上
繰り返して導入しても良い。また、チャンバ７を大気圧
に戻すために導入するガスとして窒素を用いたが、Ａｒ
等の不活性ガスでも良い。
７を排気して１×１０-3Ｐａ以下に減圧した後、空パネ
ル５の注入口６をチャンバ７内に予め用意されていた液
晶１０に没入し、図４（ｂ）に示すようにチャンバ７を
窒素を用いて大気圧に戻すことで、圧力差により液晶１
０を空パネル５内に導入する。その後、上記のような状
態を保ち、パネル内部に完全に液晶１０を充填する。続
いて、注入口６をＵＶ硬化樹脂１４を用いて封止するこ
とにより、図５に示すような液晶パネル１２が完成す
る。なお、本実施の形態では、チャンバ７を減圧にした
後に窒素を導入する工程を少なくとも１回行うようにし
たが、このとき導入するガスとしては、露点−５０度以
下の乾燥空気を用いても良く、同様の効果を奏する。ま
た、上記ガスの代わりにＡｒ等の不活性ガスを２回以上
繰り返して導入しても良い。また、チャンバ７を大気圧
に戻すために導入するガスとして窒素を用いたが、Ａｒ
等の不活性ガスでも良い。
【００１２】以上のように、本実施の形態によれば、空
パネル５内に残留するガスを排気する工程において、チ
ャンバ７を減圧にした後に窒素を導入する工程を数回繰
り返すことにより、単に排気のみを続けるよりも効率良
く、空パネル５内部に残留しているガスを短時間のうち
に排気することが可能となり、処理時間の短縮が図られ
る。
パネル５内に残留するガスを排気する工程において、チ
ャンバ７を減圧にした後に窒素を導入する工程を数回繰
り返すことにより、単に排気のみを続けるよりも効率良
く、空パネル５内部に残留しているガスを短時間のうち
に排気することが可能となり、処理時間の短縮が図られ
る。
【００１３】実施の形態２．図６は、本発明の実施の形
態２である液晶表示装置の製造方法において、空パネル
に液晶を注入する方法を説明するための図である。図に
おいて、１１は加熱されたチャンバ、１５はヒータを示
す。なお、図中、同一、相当部分には同一符号を付し、
説明を省略する。本実施の形態では、上記実施の形態１
と同様に空パネル５を形成した後、１００〜１５０度に
加熱されたチャンバ１１に空パネル５を搬入し、窒素を
導入しながら排気する。このとき、チャンバ１１内が１
×１０+2Ｐａ程度になるように、導入する窒素の量と排
気速度を調整する。空パネル５がほぼチャンバ１１と同
じ温度まで加熱された後、チャンバ１１を排気して１×
１０-2Ｐａ以下に減圧する。次に、窒素を導入し、１×
１０+1Ｐａ以上にする。さらに、チャンバ１１を減圧に
した後に窒素を導入する工程を数回繰り返し、空パネル
５内部の残留ガス、特に水分子を効率よく排気する。
態２である液晶表示装置の製造方法において、空パネル
に液晶を注入する方法を説明するための図である。図に
おいて、１１は加熱されたチャンバ、１５はヒータを示
す。なお、図中、同一、相当部分には同一符号を付し、
説明を省略する。本実施の形態では、上記実施の形態１
と同様に空パネル５を形成した後、１００〜１５０度に
加熱されたチャンバ１１に空パネル５を搬入し、窒素を
導入しながら排気する。このとき、チャンバ１１内が１
×１０+2Ｐａ程度になるように、導入する窒素の量と排
気速度を調整する。空パネル５がほぼチャンバ１１と同
じ温度まで加熱された後、チャンバ１１を排気して１×
１０-2Ｐａ以下に減圧する。次に、窒素を導入し、１×
１０+1Ｐａ以上にする。さらに、チャンバ１１を減圧に
した後に窒素を導入する工程を数回繰り返し、空パネル
５内部の残留ガス、特に水分子を効率よく排気する。
【００１４】次に、空パネル５を２５度程度のチャンバ
７に移動させ、チャンバ７を排気して１×１０-3Ｐａ以
下に減圧した後、図４に示すように注入口６を液晶１０
に没入し、チャンバ７を窒素を用いて大気圧に戻すこと
で、圧力差により液晶１０を空パネル５内に導入する。
その後、上記のような状態を保ち、パネル内部に完全に
液晶１０を充填する。続いて、注入口６をＵＶ硬化樹脂
１４を用いて封止することにより、図５に示すような液
晶パネル１２が完成する。なお、本実施の形態では、チ
ャンバ１１を減圧にした後に窒素を導入する工程を少な
くとも１回行うようにしたが、このとき導入するガスと
しては、露点−５０度以下の乾燥空気を用いても良く、
同様の効果を奏する。また、上記ガスの代わりにＡｒ等
の不活性ガスを２回以上繰り返して導入しても良い。ま
た、チャンバ７を大気圧に戻すために導入するガスとし
て窒素を用いたが、Ａｒ等の不活性ガスでも良い。ま
た、本実施の形態では、チャンバ１１およびチャンバ７
の温度をそれぞれ１００〜１５０度および２５度程度と
したが、それぞれ５０〜２００度および０〜５０度の範
囲であれば良い。
７に移動させ、チャンバ７を排気して１×１０-3Ｐａ以
下に減圧した後、図４に示すように注入口６を液晶１０
に没入し、チャンバ７を窒素を用いて大気圧に戻すこと
で、圧力差により液晶１０を空パネル５内に導入する。
その後、上記のような状態を保ち、パネル内部に完全に
液晶１０を充填する。続いて、注入口６をＵＶ硬化樹脂
１４を用いて封止することにより、図５に示すような液
晶パネル１２が完成する。なお、本実施の形態では、チ
ャンバ１１を減圧にした後に窒素を導入する工程を少な
くとも１回行うようにしたが、このとき導入するガスと
しては、露点−５０度以下の乾燥空気を用いても良く、
同様の効果を奏する。また、上記ガスの代わりにＡｒ等
の不活性ガスを２回以上繰り返して導入しても良い。ま
た、チャンバ７を大気圧に戻すために導入するガスとし
て窒素を用いたが、Ａｒ等の不活性ガスでも良い。ま
た、本実施の形態では、チャンバ１１およびチャンバ７
の温度をそれぞれ１００〜１５０度および２５度程度と
したが、それぞれ５０〜２００度および０〜５０度の範
囲であれば良い。
【００１５】以上のように、本実施の形態によれば、空
パネル５内に残留するガスを排気する工程において、加
熱したチャンバ１１を減圧にした後に窒素を導入する工
程を数回繰り返すことにより、単に排気のみを続けるよ
りも、また常温で行うよりも効率良く、空パネル５内部
に残留しているガスを短時間のうちに排気することが可
能となり、処理時間の短縮が図られる。
パネル５内に残留するガスを排気する工程において、加
熱したチャンバ１１を減圧にした後に窒素を導入する工
程を数回繰り返すことにより、単に排気のみを続けるよ
りも、また常温で行うよりも効率良く、空パネル５内部
に残留しているガスを短時間のうちに排気することが可
能となり、処理時間の短縮が図られる。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、空パネ
ルをチャンバ内に搬入し、チャンバ内を減圧にした後に
窒素を導入する工程を少なくとも１回行うようにしたの
で、単に排気のみを続けるよりも効率良く、空パネル内
部に残留しているガスを短時間のうちに排気することが
可能となり、処理時間の短縮が図られる。
ルをチャンバ内に搬入し、チャンバ内を減圧にした後に
窒素を導入する工程を少なくとも１回行うようにしたの
で、単に排気のみを続けるよりも効率良く、空パネル内
部に残留しているガスを短時間のうちに排気することが
可能となり、処理時間の短縮が図られる。
【図１】 本発明の実施の形態１である液晶表示装置の
製造方法を示す平面図（ａ）、ａ−ｂ断面図（ｂ）であ
る。
製造方法を示す平面図（ａ）、ａ−ｂ断面図（ｂ）であ
る。
【図２】 本発明の実施の形態１である液晶表示装置の
製造方法を示す平面図（ａ）、ａ−ｂ断面図（ｂ）であ
る。
製造方法を示す平面図（ａ）、ａ−ｂ断面図（ｂ）であ
る。
【図３】 本発明の実施の形態１である液晶表示装置の
製造方法を示す図である。
製造方法を示す図である。
【図４】 本発明の実施の形態１および２である液晶表
示装置の製造方法を示す図である。
示装置の製造方法を示す図である。
【図５】 本発明の実施の形態１および２において作成
される液晶表示装置を示す平面図（ａ）、ａ−ｂ断面図
（ｂ）である。
される液晶表示装置を示す平面図（ａ）、ａ−ｂ断面図
（ｂ）である。
【図６】 本発明の実施の形態２である液晶表示装置の
製造方法を示す図である。
製造方法を示す図である。
【図７】 従来の液晶表示装置の製造方法による液晶パ
ネルの問題点を示す平面図（ａ）、ａ−ｂ断面図（ｂ）
である。
ネルの問題点を示す平面図（ａ）、ａ−ｂ断面図（ｂ）
である。
１ ガラス基板、２ 封止材、３ 他のガラス基板、４
隙間、５ 空パネル、６ 注入口、７ チャンバ、８
排気口、９ 窒素導入口、８ａ、９ａ バルブ、１０
液晶、１１ チャンバ、１２ 液晶パネル、１３ 気
泡、１４ ＵＶ硬化樹脂、１５ ヒータ。
隙間、５ 空パネル、６ 注入口、７ チャンバ、８
排気口、９ 窒素導入口、８ａ、９ａ バルブ、１０
液晶、１１ チャンバ、１２ 液晶パネル、１３ 気
泡、１４ ＵＶ硬化樹脂、１５ ヒータ。
Claims (6)
- 【請求項１】 ２枚の透明基板間の外縁部に封止材が形
成され、液晶が封入される隙間と上記液晶の注入口を有
する空パネルを用意する第１の工程、 上記空パネルをチャンバ内に搬入し、上記チャンバ内を
減圧にした後に窒素ガスを導入する工程を少なくとも１
回行う第２の工程、 上記チャンバ内を減圧にし、上記注入口を上記液晶内に
没入した後上記チャンバ内に窒素または不活性ガスを導
入し、圧力差により上記空パネルの隙間に上記液晶を導
入する第３の工程を含むことを特徴とする液晶表示装置
の製造方法。 - 【請求項２】 ２枚の透明基板間の外縁部に封止材が形
成され、液晶が封入される隙間と上記液晶の注入口を有
する空パネルを用意する第１の工程、 上記空パネルをチャンバ内に搬入し、上記チャンバ内を
減圧にした後に不活性ガスを導入する工程を少なくとも
２回行う第２の工程、 上記チャンバ内を減圧にし、上記注入口を上記液晶内に
没入した後上記チャンバ内に窒素または不活性ガスを導
入し、圧力差により上記空パネルの隙間に上記液晶を導
入する第３の工程を含むことを特徴とする液晶表示装置
の製造方法。 - 【請求項３】 ２枚の透明基板間の外縁部に封止材が形
成され、液晶が封入される隙間と上記液晶の注入口を有
する空パネルを用意する第１の工程、 上記空パネルをチャンバ内に搬入し、上記チャンバ内を
減圧にした後に露点−５０度以下の乾燥空気を導入する
工程を少なくとも１回行う第２の工程、 上記チャンバ内を減圧にし、上記注入口を上記液晶内に
没入した後上記チャンバ内に窒素または不活性ガスを導
入し、圧力差により上記空パネルの隙間に上記液晶を導
入する第３の工程を含むことを特徴とする液晶表示装置
の製造方法。 - 【請求項４】 不活性ガスとして、Ａｒガスを用いるこ
とを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記
載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項５】 第２の工程は、チャンバ温度５０〜２０
０度で行うことを特徴とする請求項１〜請求項４のいず
れか一項に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項６】 第３の工程は、チャンバ温度０〜５０度
で行うことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか
一項に記載の液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24140097A JPH1184401A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 液晶表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24140097A JPH1184401A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 液晶表示装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1184401A true JPH1184401A (ja) | 1999-03-26 |
Family
ID=17073725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24140097A Pending JPH1184401A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 液晶表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1184401A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020002232A (ko) * | 2000-06-30 | 2002-01-09 | 카나야 오사무 | 액정표시소자의 제조방법 및 액정표시소자 |
| JP2002049045A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Nec Corp | 液晶表示パネルの製造方法 |
-
1997
- 1997-09-05 JP JP24140097A patent/JPH1184401A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020002232A (ko) * | 2000-06-30 | 2002-01-09 | 카나야 오사무 | 액정표시소자의 제조방법 및 액정표시소자 |
| JP2002049045A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Nec Corp | 液晶表示パネルの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5313322A (en) | Method of producing liquid crystal display device including degassing substrates before forming electrode, sealing, or injecting liquid crystal | |
| JPH1184401A (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
| JP2001235760A (ja) | 液晶表示素子の製造方法およびその製造装置 | |
| US6844908B2 (en) | Apparatus for injecting liquid crystal materials and methods for manufacturing liquid crystal panels by using the same | |
| JP2004077640A (ja) | 液晶表示素子の製造方法およびその装置 | |
| JPH07325279A (ja) | 減圧処理装置及び方法 | |
| JPH0618905A (ja) | 液晶表示器の製造方法 | |
| JPH07199199A (ja) | 液晶表示素子の製造方法 | |
| JPH06317805A (ja) | 液晶パネル本体及びその液晶注入方法 | |
| JP2000199911A (ja) | 液晶表示装置の製造方法および製造装置 | |
| JPH11231333A (ja) | 液晶注入装置及びそれを用いた液晶表示装置の製造方法 | |
| JPH10104562A (ja) | 液晶ディスプレイの製造方法及び製造装置 | |
| JP2002156518A (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法 | |
| JP3253505B2 (ja) | 液晶表示素子の製造方法 | |
| JPH01237620A (ja) | 液晶表示パネルの製造方法 | |
| JPH0580344A (ja) | 液晶セルおよび液晶セルの製法 | |
| JP2002296606A (ja) | 液晶注入封止方法及び装置 | |
| JPS61116326A (ja) | 液晶表示パネルの製造方法 | |
| JP2000131705A (ja) | 液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置 | |
| JP2002357836A (ja) | 液晶パネルおよびその製造方法 | |
| JPH08160434A (ja) | 液晶パネル封止装置 | |
| JP2003021842A (ja) | 液晶注入装置、液晶注入方法、液晶パネル製造方法および液晶パネル | |
| JPH10206864A (ja) | 液晶表示装置の製造方法及び製造装置 | |
| JPH07218922A (ja) | 液晶表示セル | |
| JPH08234188A (ja) | 液晶表示装置の製造方法 |