JP2000131705A - 液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置 - Google Patents
液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶材料注入工程の処理時間を短縮するとと
もに、液晶パネルの気泡の発生を低減できる液晶表示装
置の製造方法および液晶注入装置を提供する。 【解決手段】 液晶パネル１０を真空チャンバ１内に投
入し、液晶パネル１０の排気口に排気コネクタ５を取り
付ける。そして、チャンバ用真空ポンプ４および排気コ
ネクタ用真空ポンプ８を作動させ、チャンバ排気用バル
ブ２および排気コネクタ排気用バルブ６を開いて、真空
チャンバ１および液晶パネル１０内の排気を行う。排気
終了後、チャンバ排気用バルブ２を閉じ、液晶材料１１
の入った液晶皿１２を上下動機構によって上昇させ、液
晶パネル１０の注入口に液晶材料１１を接触させる。そ
の後、チャンバリーク用バルブ３を開いて真空チャンバ
１内に窒素ガスを導入し、真空チャンバ１内の圧力を大
気圧に戻す。この際、排気コネクタ５による液晶パネル
１０内の排気は継続しておく。注入終了後、排気コネク
タ５の排気圧力を徐々に大気圧に戻し、液晶パネル１０
内の排気を終了する。
もに、液晶パネルの気泡の発生を低減できる液晶表示装
置の製造方法および液晶注入装置を提供する。 【解決手段】 液晶パネル１０を真空チャンバ１内に投
入し、液晶パネル１０の排気口に排気コネクタ５を取り
付ける。そして、チャンバ用真空ポンプ４および排気コ
ネクタ用真空ポンプ８を作動させ、チャンバ排気用バル
ブ２および排気コネクタ排気用バルブ６を開いて、真空
チャンバ１および液晶パネル１０内の排気を行う。排気
終了後、チャンバ排気用バルブ２を閉じ、液晶材料１１
の入った液晶皿１２を上下動機構によって上昇させ、液
晶パネル１０の注入口に液晶材料１１を接触させる。そ
の後、チャンバリーク用バルブ３を開いて真空チャンバ
１内に窒素ガスを導入し、真空チャンバ１内の圧力を大
気圧に戻す。この際、排気コネクタ５による液晶パネル
１０内の排気は継続しておく。注入終了後、排気コネク
タ５の排気圧力を徐々に大気圧に戻し、液晶パネル１０
内の排気を終了する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置を製
造する際に用いられるもので、特に電極基板間に液晶材
料を注入する液晶表示装置の製造方法および液晶注入装
置に関するものである。
造する際に用いられるもので、特に電極基板間に液晶材
料を注入する液晶表示装置の製造方法および液晶注入装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置は、以下に示すような方法
によって製造される。
によって製造される。
【０００３】液晶材料を駆動するための電極を備えた一
対の電極基板のうち、一方に熱硬化型のシール剤を塗布
し、他方に電極基板間隔を均一にするためのスペーサを
散布する。この後、この一対の電極基板の位置合わせを
行い、貼り合わせのための仮止めを行う。
対の電極基板のうち、一方に熱硬化型のシール剤を塗布
し、他方に電極基板間隔を均一にするためのスペーサを
散布する。この後、この一対の電極基板の位置合わせを
行い、貼り合わせのための仮止めを行う。
【０００４】そして、電極基板をプレスし、電極基板間
隔がスペーサ径と同じになるようにして加熱し、シール
剤を硬化させて貼り合わせを行う。この貼り合わせた電
極基板をそれぞれの液晶表示装置の大きさに分断し、真
空チャンバに投入して液晶材料を注入する。さらに、液
晶材料注入終了後、注入口に紫外線硬化型の封止剤を塗
布して紫外線を照射し、注入口の封止を行う。
隔がスペーサ径と同じになるようにして加熱し、シール
剤を硬化させて貼り合わせを行う。この貼り合わせた電
極基板をそれぞれの液晶表示装置の大きさに分断し、真
空チャンバに投入して液晶材料を注入する。さらに、液
晶材料注入終了後、注入口に紫外線硬化型の封止剤を塗
布して紫外線を照射し、注入口の封止を行う。
【０００５】以上のような方法により、一対の電極基板
間に液晶材料を充填した液晶表示装置を製造することが
できる。
間に液晶材料を充填した液晶表示装置を製造することが
できる。
【０００６】ここで、一般的な液晶材料の注入方法につ
いて図６を用いて説明する。図６は従来の液晶材料注入
方法を示す説明図である。
いて図６を用いて説明する。図６は従来の液晶材料注入
方法を示す説明図である。
【０００７】まず、図６（ａ）に示すように、貼り合わ
せ、分断後の一対の電極基板（以下、液晶パネルと表記
する）を注入用カセットに設置し、真空チャンバ１０１
に投入する。そして、真空チャンバ１０１内の排気をチ
ャンバ排気用バルブ１０２を開いて行い、これによって
液晶パネル１０６内の排気を注入口１０７から行う。こ
の際、急激に排気を行うと、液晶パネル１０６を貼り合
わせているシール剤が剥がれる可能性があるため、排気
は徐々に行う。
せ、分断後の一対の電極基板（以下、液晶パネルと表記
する）を注入用カセットに設置し、真空チャンバ１０１
に投入する。そして、真空チャンバ１０１内の排気をチ
ャンバ排気用バルブ１０２を開いて行い、これによって
液晶パネル１０６内の排気を注入口１０７から行う。こ
の際、急激に排気を行うと、液晶パネル１０６を貼り合
わせているシール剤が剥がれる可能性があるため、排気
は徐々に行う。
【０００８】真空チャンバ１０１内には、液晶材料１０
４の入った液晶皿１０５を配置しておく。尚、１０３
は、真空チャンバ１０１内を大気圧に戻すためのチャン
バリーク用バルブである。
４の入った液晶皿１０５を配置しておく。尚、１０３
は、真空チャンバ１０１内を大気圧に戻すためのチャン
バリーク用バルブである。
【０００９】排気の終了後、図６（ｂ）に示すように、
チャンバ排気用バルブ１０２を閉じ、液晶パネル１０６
に形成された注入口１０７を液晶皿１０５に入った液晶
材料１０４に接触させる。
チャンバ排気用バルブ１０２を閉じ、液晶パネル１０６
に形成された注入口１０７を液晶皿１０５に入った液晶
材料１０４に接触させる。
【００１０】そして、図６（ｃ）に示すように、真空チ
ャンバ１０１のチャンバリーク用バルブ１０３を開いて
真空チャンバ１０１内の圧力を大気圧まで上昇させる。
この際、液晶パネル１０６内は真空であるため、真空チ
ャンバ１０１内と圧力差が生じ、液晶材料１０４が液晶
パネル１０６内に注入される。
ャンバ１０１のチャンバリーク用バルブ１０３を開いて
真空チャンバ１０１内の圧力を大気圧まで上昇させる。
この際、液晶パネル１０６内は真空であるため、真空チ
ャンバ１０１内と圧力差が生じ、液晶材料１０４が液晶
パネル１０６内に注入される。
【００１１】しかしながら、近年の液晶表示装置の大型
化に伴い、前述の一般的な液晶材料注入方法では、液晶
材料の注入工程に長時間を要するという問題がある。
化に伴い、前述の一般的な液晶材料注入方法では、液晶
材料の注入工程に長時間を要するという問題がある。
【００１２】これは、液晶材料を液晶パネル内に完全に
注入するためには、液晶パネル内の排気を高真空度まで
行う必要があり、液晶パネルの大型化によって体積が増
え、その分真空引きに長時間を要することとなる。この
とき、液晶パネル内の排気が不十分であると、液晶材料
を液晶パネル内に完全に充填することができず、気泡が
残ってしまうという問題がある。
注入するためには、液晶パネル内の排気を高真空度まで
行う必要があり、液晶パネルの大型化によって体積が増
え、その分真空引きに長時間を要することとなる。この
とき、液晶パネル内の排気が不十分であると、液晶材料
を液晶パネル内に完全に充填することができず、気泡が
残ってしまうという問題がある。
【００１３】また、液晶パネルの面積が増えることによ
り、排気の際に液晶パネルが膨らみやすくなり、シール
剥がれが発生しやすくなることから、排気をゆっくり行
わなければならない。
り、排気の際に液晶パネルが膨らみやすくなり、シール
剥がれが発生しやすくなることから、排気をゆっくり行
わなければならない。
【００１４】このような理由から、液晶表示装置の大型
化によって液晶材料の注入工程に長時間を要することと
なる。
化によって液晶材料の注入工程に長時間を要することと
なる。
【００１５】そこで、このような問題を解決する液晶材
料の注入方法として、特開平３−１３８６１５号公報に
開示されているように、液晶パネルに注入口および排気
口を設け、排気口にコネクタを装着して液晶パネル内の
真空引きを行い、注入口を液晶材料に接触させて液晶材
料の注入を行う方法、特開平１−３７５２９号公報に開
示されているように、注入口および排気口の両方にコネ
クタを装着して、排気口から液晶パネル内の真空引きを
行い、注入口のコネクタから液晶材料の供給を行って注
入を行う方法等が提案されている。
料の注入方法として、特開平３−１３８６１５号公報に
開示されているように、液晶パネルに注入口および排気
口を設け、排気口にコネクタを装着して液晶パネル内の
真空引きを行い、注入口を液晶材料に接触させて液晶材
料の注入を行う方法、特開平１−３７５２９号公報に開
示されているように、注入口および排気口の両方にコネ
クタを装着して、排気口から液晶パネル内の真空引きを
行い、注入口のコネクタから液晶材料の供給を行って注
入を行う方法等が提案されている。
【００１６】このような注入口および排気口を設けた液
晶パネルを用いて行う注入方法では、液晶材料の注入を
行いながら液晶パネル内の排気を行えるため、液晶パネ
ル内の排気に要する時間を短縮することができる。
晶パネルを用いて行う注入方法では、液晶材料の注入を
行いながら液晶パネル内の排気を行えるため、液晶パネ
ル内の排気に要する時間を短縮することができる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、排気口
のみにコネクタを装着して注入を行う場合には、注入口
付近での真空度が十分ではなく、液晶材料の注入を行う
際に、液晶材料がまわりこむように入ってしまうと注入
口付近に気泡が残る可能性がある。
のみにコネクタを装着して注入を行う場合には、注入口
付近での真空度が十分ではなく、液晶材料の注入を行う
際に、液晶材料がまわりこむように入ってしまうと注入
口付近に気泡が残る可能性がある。
【００１８】また、注入口および排気口の両方にコネク
タを装着して注入を行う場合には、液晶材料を注入する
前に、注入口および排気口の両方のコネクタから真空引
きを行えるため、注入口付近に気泡が残る可能性は少な
いものの、コネクタの密着が悪ければ、液晶材料を注入
している途中で注入口への液晶材料の供給が途切れ、気
泡が残る可能性がある。
タを装着して注入を行う場合には、液晶材料を注入する
前に、注入口および排気口の両方のコネクタから真空引
きを行えるため、注入口付近に気泡が残る可能性は少な
いものの、コネクタの密着が悪ければ、液晶材料を注入
している途中で注入口への液晶材料の供給が途切れ、気
泡が残る可能性がある。
【００１９】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、液晶材料注入工程の処理時間
を短縮するとともに、液晶パネルの気泡の発生を低減で
きる液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置を提供
することを目的としている。
みなされたものであって、液晶材料注入工程の処理時間
を短縮するとともに、液晶パネルの気泡の発生を低減で
きる液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置を提供
することを目的としている。
【００２０】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項１記載の液晶表示装置の製造方
法は、液晶パネルに液晶材料を注入するための注入口
と、液晶パネル内を排気するための排気口と、を有する
液晶パネルに、前記排気口から排気しながら前記注入口
から液晶材料を注入する液晶表示装置の製造方法におい
て、前記液晶パネルを真空チャンバ内に配置し、前記液
晶パネル内の排気を、前記真空チャンバ内の排気に伴っ
て前記注入口から行うとともに、前記排気口からもコネ
クタを介して行うことを特徴としている。
ために、本発明の請求項１記載の液晶表示装置の製造方
法は、液晶パネルに液晶材料を注入するための注入口
と、液晶パネル内を排気するための排気口と、を有する
液晶パネルに、前記排気口から排気しながら前記注入口
から液晶材料を注入する液晶表示装置の製造方法におい
て、前記液晶パネルを真空チャンバ内に配置し、前記液
晶パネル内の排気を、前記真空チャンバ内の排気に伴っ
て前記注入口から行うとともに、前記排気口からもコネ
クタを介して行うことを特徴としている。
【００２１】請求項２記載の液晶表示装置の製造方法
は、請求項１記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記注入口に液晶材料を接触させた後、前記真空チャン
バ内の圧力を大気圧よりも高くして注入を行うことを特
徴としている。
は、請求項１記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記注入口に液晶材料を接触させた後、前記真空チャン
バ内の圧力を大気圧よりも高くして注入を行うことを特
徴としている。
【００２２】請求項３記載の液晶注入装置は、液晶パネ
ルに液晶材料を注入するための注入口と、液晶パネル内
を排気するための排気口と、を有する液晶パネルに、前
記排気口から排気しながら前記注入口から液晶材料を注
入する液晶注入装置において、その内部に前記液晶パネ
ルを配置する真空チャンバと、前記排気口から前記液晶
パネル内の排気を行うコネクタと、を有し、前記液晶パ
ネル内の排気を、前記真空チャンバ内の排気に伴って前
記注入口から行うとともに、前記排気口からも前記コネ
クタを介して行うことを特徴としている。
ルに液晶材料を注入するための注入口と、液晶パネル内
を排気するための排気口と、を有する液晶パネルに、前
記排気口から排気しながら前記注入口から液晶材料を注
入する液晶注入装置において、その内部に前記液晶パネ
ルを配置する真空チャンバと、前記排気口から前記液晶
パネル内の排気を行うコネクタと、を有し、前記液晶パ
ネル内の排気を、前記真空チャンバ内の排気に伴って前
記注入口から行うとともに、前記排気口からも前記コネ
クタを介して行うことを特徴としている。
【００２３】請求項４記載の液晶注入装置は、請求項３
記載の液晶注入装置において、前記真空チャンバ内の圧
力を大気圧に戻すためのリーク用配管と、前記コネクタ
の圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管とが、バルブ
を介して繋がっており、前記真空チャンバ内の圧力と前
記コネクタの圧力とを等しくすることができることを特
徴としている。
記載の液晶注入装置において、前記真空チャンバ内の圧
力を大気圧に戻すためのリーク用配管と、前記コネクタ
の圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管とが、バルブ
を介して繋がっており、前記真空チャンバ内の圧力と前
記コネクタの圧力とを等しくすることができることを特
徴としている。
【００２４】本発明の請求項１記載の液晶表示装置の製
造方法によれば、液晶パネル内の排気を真空チャンバ内
の排気に伴って注入口から行うとともに、排気口からも
コネクタを介して行うことにより、注入口および排気口
の両方から排気されるため、液晶パネル内の排気時間を
短縮できる。さらに、液晶材料を注入しながら排気口か
ら液晶パネル内の排気が行えるため、液晶パネル内を高
真空度まで排気しておかなくても気泡残りが発生しない
ことから、液晶パネル内の排気時間を短縮できる。さら
に、コネクタを用いずに注入口を液晶材料に接触させる
ことができるため、液晶材料の供給が途切れて液晶パネ
ルに気泡が発生することがない。
造方法によれば、液晶パネル内の排気を真空チャンバ内
の排気に伴って注入口から行うとともに、排気口からも
コネクタを介して行うことにより、注入口および排気口
の両方から排気されるため、液晶パネル内の排気時間を
短縮できる。さらに、液晶材料を注入しながら排気口か
ら液晶パネル内の排気が行えるため、液晶パネル内を高
真空度まで排気しておかなくても気泡残りが発生しない
ことから、液晶パネル内の排気時間を短縮できる。さら
に、コネクタを用いずに注入口を液晶材料に接触させる
ことができるため、液晶材料の供給が途切れて液晶パネ
ルに気泡が発生することがない。
【００２５】請求項２記載の液晶表示装置の製造方法に
よれば、注入口に液晶材料を接触させた後、真空チャン
バ内の圧力を大気圧よりも高くして注入を行うことによ
り、液晶パネル内の圧力と液晶パネルを設置している雰
囲気の圧力との差が大きくなるため、注入時間が短縮さ
れる。さらに、液晶パネル全面に均一に圧力を加えるこ
とができるため、液晶材料注入後の電極基板間隔の均一
性を向上させることができる。
よれば、注入口に液晶材料を接触させた後、真空チャン
バ内の圧力を大気圧よりも高くして注入を行うことによ
り、液晶パネル内の圧力と液晶パネルを設置している雰
囲気の圧力との差が大きくなるため、注入時間が短縮さ
れる。さらに、液晶パネル全面に均一に圧力を加えるこ
とができるため、液晶材料注入後の電極基板間隔の均一
性を向上させることができる。
【００２６】請求項３記載の液晶注入装置によれば、液
晶パネル内の排気を真空チャンバ内の排気に伴って注入
口から行うとともに、排気口からもコネクタを介して行
うことにより、注入口および排気口の両方から排気され
るため、液晶パネル内の排気時間を短縮できる。さら
に、液晶材料を注入しながら排気口から液晶パネル内の
排気が行えるため、液晶パネル内を高真空度まで排気し
ておかなくても気泡残りが発生しないことから、液晶パ
ネル内の排気時間を短縮できる。さらに、コネクタを用
いずに注入口を液晶材料に接触させることができるた
め、液晶材料の供給が途切れて液晶パネルに気泡が発生
することがない。
晶パネル内の排気を真空チャンバ内の排気に伴って注入
口から行うとともに、排気口からもコネクタを介して行
うことにより、注入口および排気口の両方から排気され
るため、液晶パネル内の排気時間を短縮できる。さら
に、液晶材料を注入しながら排気口から液晶パネル内の
排気が行えるため、液晶パネル内を高真空度まで排気し
ておかなくても気泡残りが発生しないことから、液晶パ
ネル内の排気時間を短縮できる。さらに、コネクタを用
いずに注入口を液晶材料に接触させることができるた
め、液晶材料の供給が途切れて液晶パネルに気泡が発生
することがない。
【００２７】請求項４記載の液晶注入装置によれば、真
空チャンバ内の圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管
と、コネクタの圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管
とが、バルブを介して繋がっており、真空チャンバ内の
圧力とコネクタの圧力とを等しくすることができること
により、コネクタのパッキンによるシール状態の違いに
よる排気口付近の圧力のばらつきをなくすことができ、
コネクタの排気圧力を急激に大気圧に戻したことに起因
する排気口付近での気泡の発生を防ぐことが容易にな
る。
空チャンバ内の圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管
と、コネクタの圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管
とが、バルブを介して繋がっており、真空チャンバ内の
圧力とコネクタの圧力とを等しくすることができること
により、コネクタのパッキンによるシール状態の違いに
よる排気口付近の圧力のばらつきをなくすことができ、
コネクタの排気圧力を急激に大気圧に戻したことに起因
する排気口付近での気泡の発生を防ぐことが容易にな
る。
【００２８】
【発明の実施の形態】図１乃至図５を用いて、本発明の
実施の形態について説明する。図１は本実施の形態に係
る液晶注入装置を示す説明図である。
実施の形態について説明する。図１は本実施の形態に係
る液晶注入装置を示す説明図である。
【００２９】図１に示すように、本実施の形態に係る液
晶注入装置は、液晶パネル１０を投入する真空チャンバ
１、チャンバ排気用バルブ２、チャンバリーク用バルブ
３、チャンバ用真空ポンプ４、液晶パネル１０内の排気
を行うための排気コネクタ５、排気コネクタ排気用バル
ブ６、排気コネクタリーク用バルブ７、排気コネクタ用
真空ポンプ８、トラップ９、液晶材料１１が入った液晶
皿１２を上下動させる上下動機構等によって構成され
る。
晶注入装置は、液晶パネル１０を投入する真空チャンバ
１、チャンバ排気用バルブ２、チャンバリーク用バルブ
３、チャンバ用真空ポンプ４、液晶パネル１０内の排気
を行うための排気コネクタ５、排気コネクタ排気用バル
ブ６、排気コネクタリーク用バルブ７、排気コネクタ用
真空ポンプ８、トラップ９、液晶材料１１が入った液晶
皿１２を上下動させる上下動機構等によって構成され
る。
【００３０】この液晶注入装置を用いた液晶材料の注入
方法について説明する。前工程にて所定の大きさに分断
されて注入用カセットに設置された液晶パネル１０をカ
セットごと真空チャンバ１内に投入し、液晶パネル１０
の排気口に排気コネクタ５を取り付ける。そして、チャ
ンバ用真空ポンプ４および排気コネクタ用真空ポンプ８
を作動させ、チャンバ排気用バルブ２および排気コネク
タ排気用バルブ６を開いて、真空チャンバ１および液晶
パネル１０内の排気を行う。
方法について説明する。前工程にて所定の大きさに分断
されて注入用カセットに設置された液晶パネル１０をカ
セットごと真空チャンバ１内に投入し、液晶パネル１０
の排気口に排気コネクタ５を取り付ける。そして、チャ
ンバ用真空ポンプ４および排気コネクタ用真空ポンプ８
を作動させ、チャンバ排気用バルブ２および排気コネク
タ排気用バルブ６を開いて、真空チャンバ１および液晶
パネル１０内の排気を行う。
【００３１】このとき、注入口および排気口の両方から
液晶パネル１０内の排気が行えるため、注入口のみまた
は排気口のみから排気を行うよりも早く液晶パネル１０
内の排気ができる。
液晶パネル１０内の排気が行えるため、注入口のみまた
は排気口のみから排気を行うよりも早く液晶パネル１０
内の排気ができる。
【００３２】排気終了後、チャンバ排気用バルブ２を閉
じ、液晶材料１１の入った液晶皿１２を上下動機構によ
って上昇させ、液晶パネル１０の注入口に液晶材料１１
を接触させる。その後、チャンバリーク用バルブ３を開
いて真空チャンバ１内に窒素ガスを導入し、真空チャン
バ１内の圧力を大気圧に戻す。
じ、液晶材料１１の入った液晶皿１２を上下動機構によ
って上昇させ、液晶パネル１０の注入口に液晶材料１１
を接触させる。その後、チャンバリーク用バルブ３を開
いて真空チャンバ１内に窒素ガスを導入し、真空チャン
バ１内の圧力を大気圧に戻す。
【００３３】この際、排気コネクタ５による液晶パネル
１０内の排気は継続しておく。このことによって、液晶
パネル１０内の圧力と液晶パネル１０を設置している雰
囲気の圧力に差ができるため、液晶パネル１０内に液晶
材料１１が注入される。
１０内の排気は継続しておく。このことによって、液晶
パネル１０内の圧力と液晶パネル１０を設置している雰
囲気の圧力に差ができるため、液晶パネル１０内に液晶
材料１１が注入される。
【００３４】また、液晶材料１１注入中も排気コネクタ
５によって液晶パネル１０内の排気を行っているため、
液晶パネル１０内の排気の際に、液晶パネル１０内が高
真空度に達していなくても、気泡が残ることなく注入を
行うことができる。このため、液晶パネル１０内の排気
にかかる時間を短縮することができる。
５によって液晶パネル１０内の排気を行っているため、
液晶パネル１０内の排気の際に、液晶パネル１０内が高
真空度に達していなくても、気泡が残ることなく注入を
行うことができる。このため、液晶パネル１０内の排気
にかかる時間を短縮することができる。
【００３５】液晶材料１１の注入終了後、排気コネクタ
５の排気圧力を徐々に大気圧に戻し、液晶パネル１０内
の排気を終了する。そして、液晶パネル１０から排気コ
ネクタ５を取り外し、注入口および排気口に紫外線硬化
型の封止剤を塗布し、紫外線を照射して、注入口および
排気口の封止を行う。これで液晶表示装置の液晶材料１
１の注入工程が終了する。
５の排気圧力を徐々に大気圧に戻し、液晶パネル１０内
の排気を終了する。そして、液晶パネル１０から排気コ
ネクタ５を取り外し、注入口および排気口に紫外線硬化
型の封止剤を塗布し、紫外線を照射して、注入口および
排気口の封止を行う。これで液晶表示装置の液晶材料１
１の注入工程が終了する。
【００３６】本実施の形態では、真空チャンバ１内の排
気終了後に、液晶材料１１に液晶パネル１０の注入口を
接触させた後、真空チャンバ１内に窒素ガスをリークし
て圧力を大気圧に戻す際、窒素ガスを過剰に導入するこ
とで真空チャンバ１内を大気圧よりも高い圧力にするこ
ともできる。
気終了後に、液晶材料１１に液晶パネル１０の注入口を
接触させた後、真空チャンバ１内に窒素ガスをリークし
て圧力を大気圧に戻す際、窒素ガスを過剰に導入するこ
とで真空チャンバ１内を大気圧よりも高い圧力にするこ
ともできる。
【００３７】これによって、真空チャンバ１内の圧力を
大気圧にする場合に比べて、液晶パネル１０内の圧力と
液晶パネル１０を設置している雰囲気の圧力との差が大
きくなるため、液晶材料１１の注入に要する時間を短縮
することができる。また、液晶パネル１０に大気圧より
も高い圧力を均一にかけることができるため、大気圧下
で注入する場合に比べて、液晶パネル１０面内の電極基
板間隔の均一性を向上させることができる。
大気圧にする場合に比べて、液晶パネル１０内の圧力と
液晶パネル１０を設置している雰囲気の圧力との差が大
きくなるため、液晶材料１１の注入に要する時間を短縮
することができる。また、液晶パネル１０に大気圧より
も高い圧力を均一にかけることができるため、大気圧下
で注入する場合に比べて、液晶パネル１０面内の電極基
板間隔の均一性を向上させることができる。
【００３８】ここで、図２および図３を用いて、本実施
の形態に係る排気コネクタについて説明する。図２は排
気コネクタを示す側面図、図３は排気コネクタを示す正
面図である。
の形態に係る排気コネクタについて説明する。図２は排
気コネクタを示す側面図、図３は排気コネクタを示す正
面図である。
【００３９】図２および図３に示すように、１つの液晶
パネル２５に用いる排気コネクタ１組の構成としては、
コネクタ本体２１、パッキン２２および液晶パネル押え
２３からなり、液晶パネル２５の処理数分この排気コネ
クタが繋がる構成となる。液晶パネル２５内の排気は、
排気管２４を通じて行われる。
パネル２５に用いる排気コネクタ１組の構成としては、
コネクタ本体２１、パッキン２２および液晶パネル押え
２３からなり、液晶パネル２５の処理数分この排気コネ
クタが繋がる構成となる。液晶パネル２５内の排気は、
排気管２４を通じて行われる。
【００４０】パッキン２２には、柔らかく密着性のよい
材料、例えばシリコーンゴム等を用いる。
材料、例えばシリコーンゴム等を用いる。
【００４１】液晶パネル２５に排気コネクタを取り付け
る際には、液晶パネル押え２３を対向するコネクタ本体
２１から遠ざかる方向にずらして液晶パネル２５が入る
隙間を作っておき、注入用カセット内に配置された液晶
パネル２５に排気コネクタを挿入する。
る際には、液晶パネル押え２３を対向するコネクタ本体
２１から遠ざかる方向にずらして液晶パネル２５が入る
隙間を作っておき、注入用カセット内に配置された液晶
パネル２５に排気コネクタを挿入する。
【００４２】このとき、液晶パネル２５に設けられた排
気口にパッキン開口部２７の位置が合うようにし、パッ
キン２２と液晶パネル２５との接触面２６ａ、２６ｂお
よび２６ｃがすべて密着するようにする。そして、液晶
パネル押え２３を液晶パネル２５側に移動させ、液晶パ
ネル２５に対して力を加え、パッキン２２と液晶パネル
２５との密着性を向上させるとともに、排気コネクタの
固定を行う。
気口にパッキン開口部２７の位置が合うようにし、パッ
キン２２と液晶パネル２５との接触面２６ａ、２６ｂお
よび２６ｃがすべて密着するようにする。そして、液晶
パネル押え２３を液晶パネル２５側に移動させ、液晶パ
ネル２５に対して力を加え、パッキン２２と液晶パネル
２５との密着性を向上させるとともに、排気コネクタの
固定を行う。
【００４３】ここで、図４を用いて、本実施の形態に係
る液晶パネルについて説明する。図４は液晶パネルを示
す平面図である。
る液晶パネルについて説明する。図４は液晶パネルを示
す平面図である。
【００４４】図４に示すように、液晶パネルは、一対の
電極基板３１ａおよび３１ｂがシール剤３２を介して貼
り合わされている。このシール剤３２のパターンによっ
て、注入口３３および排気口３４が形成される。
電極基板３１ａおよび３１ｂがシール剤３２を介して貼
り合わされている。このシール剤３２のパターンによっ
て、注入口３３および排気口３４が形成される。
【００４５】次に、図５を用いて、本発明の他の実施の
形態について説明する。図５は他の実施の形態に係る液
晶注入装置を示す説明図である。
形態について説明する。図５は他の実施の形態に係る液
晶注入装置を示す説明図である。
【００４６】図１を用いて説明した実施の形態では、液
晶材料１１の注入終了後、排気コネクタ５の排気圧力を
大気圧に戻す際、急激に大気圧力に戻すと液晶パネル１
０の排気口から気泡が入ってしまうことがある。このた
め、徐々に排気圧力を上げていき、大気圧に戻さなけれ
ばならない。しかし、液晶材料１１の注入を行う際に
は、液晶パネル１０を複数枚同時に処理するため、それ
ぞれの排気コネクタ５でのシール状態が異なる可能性が
ある。このため、排気コネクタ５部での排気圧力を制御
することが難しくなる。
晶材料１１の注入終了後、排気コネクタ５の排気圧力を
大気圧に戻す際、急激に大気圧力に戻すと液晶パネル１
０の排気口から気泡が入ってしまうことがある。このた
め、徐々に排気圧力を上げていき、大気圧に戻さなけれ
ばならない。しかし、液晶材料１１の注入を行う際に
は、液晶パネル１０を複数枚同時に処理するため、それ
ぞれの排気コネクタ５でのシール状態が異なる可能性が
ある。このため、排気コネクタ５部での排気圧力を制御
することが難しくなる。
【００４７】本発明の他の実施の形態によれば、図５に
示すように、真空チャンバ５１と排気コネクタ５５のリ
ーク用の配管を連結配管６３で繋いでいるため、連結用
バルブ５７を開けることによって真空チャンバ５１内の
圧力と排気コネクタ５５の排気圧力とを同じにすること
ができる。
示すように、真空チャンバ５１と排気コネクタ５５のリ
ーク用の配管を連結配管６３で繋いでいるため、連結用
バルブ５７を開けることによって真空チャンバ５１内の
圧力と排気コネクタ５５の排気圧力とを同じにすること
ができる。
【００４８】詳細に説明すれば、液晶パネル６０への液
晶材料６１の注入終了後、真空チャンバ５１を排気コネ
クタ５５の排気圧力と同等まで真空引きをする。この圧
力が同等になった後、排気コネクタ排気用バルブ５６を
閉じ、連結用バルブ５７を開いて真空チャンバ５１と排
気コネクタ５５の配管系を短絡させる。こうすること
で、真空チャンバ５１内は密閉された空間となり、その
容積が定められる。
晶材料６１の注入終了後、真空チャンバ５１を排気コネ
クタ５５の排気圧力と同等まで真空引きをする。この圧
力が同等になった後、排気コネクタ排気用バルブ５６を
閉じ、連結用バルブ５７を開いて真空チャンバ５１と排
気コネクタ５５の配管系を短絡させる。こうすること
で、真空チャンバ５１内は密閉された空間となり、その
容積が定められる。
【００４９】この真空チャンバ５１内にリーク用バルブ
５３を開いて窒素ガスを導入する。この際、窒素ガスを
導入する真空チャンバ５１は容積が定められているた
め、圧力の制御がしやすくなる。また、排気コネクタ５
５のシール状態のばらつきによる影響を受けなくなり、
それぞれの液晶パネル６０の排気口部での圧力を均一に
大気圧に戻していくことができる。
５３を開いて窒素ガスを導入する。この際、窒素ガスを
導入する真空チャンバ５１は容積が定められているた
め、圧力の制御がしやすくなる。また、排気コネクタ５
５のシール状態のばらつきによる影響を受けなくなり、
それぞれの液晶パネル６０の排気口部での圧力を均一に
大気圧に戻していくことができる。
【００５０】このため、排気コネクタ５５の排気圧力を
急激に大気圧に戻したことに起因する液晶パネル６０の
排気口付近での気泡の発生を防ぐことが容易になる。
急激に大気圧に戻したことに起因する液晶パネル６０の
排気口付近での気泡の発生を防ぐことが容易になる。
【００５１】尚、図５において、５２はチャンバ排気用
バルブ、５４はチャンバ用真空ポンプ、５８は排気コネ
クタ用真空ポンプ、５９はトラップ、６２は液晶皿であ
る。
バルブ、５４はチャンバ用真空ポンプ、５８は排気コネ
クタ用真空ポンプ、５９はトラップ、６２は液晶皿であ
る。
【００５２】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の請求項１
記載の液晶表示装置の製造方法によれば、液晶パネル内
の排気を真空チャンバ内の排気に伴って注入口から行う
とともに、排気口からもコネクタを介して行うことによ
り、注入口および排気口の両方から排気されるため、液
晶パネル内の排気時間を短縮でき、液晶材料を注入しな
がら排気口から液晶パネル内の排気が行えるため、液晶
パネル内の排気時間を短縮できる。さらに、コネクタを
用いずに注入口を液晶材料に接触させることができるた
め、液晶パネルに気泡が発生することがない。
記載の液晶表示装置の製造方法によれば、液晶パネル内
の排気を真空チャンバ内の排気に伴って注入口から行う
とともに、排気口からもコネクタを介して行うことによ
り、注入口および排気口の両方から排気されるため、液
晶パネル内の排気時間を短縮でき、液晶材料を注入しな
がら排気口から液晶パネル内の排気が行えるため、液晶
パネル内の排気時間を短縮できる。さらに、コネクタを
用いずに注入口を液晶材料に接触させることができるた
め、液晶パネルに気泡が発生することがない。
【００５３】請求項２記載の液晶表示装置の製造方法に
よれば、注入口に液晶材料を接触させた後、真空チャン
バ内の圧力を大気圧よりも高くして注入を行うことによ
り、液晶パネル内の圧力と液晶パネルを設置している雰
囲気の圧力との差が大きくなるため、注入時間が短縮さ
れる。さらに、液晶パネル全面に均一に圧力を加えるこ
とができるため、液晶材料注入後の電極基板間隔の均一
性を向上させることができる。
よれば、注入口に液晶材料を接触させた後、真空チャン
バ内の圧力を大気圧よりも高くして注入を行うことによ
り、液晶パネル内の圧力と液晶パネルを設置している雰
囲気の圧力との差が大きくなるため、注入時間が短縮さ
れる。さらに、液晶パネル全面に均一に圧力を加えるこ
とができるため、液晶材料注入後の電極基板間隔の均一
性を向上させることができる。
【００５４】請求項３記載の液晶注入装置によれば、液
晶パネル内の排気を真空チャンバ内の排気に伴って注入
口から行うとともに、排気口からもコネクタを介して行
うことにより、注入口および排気口の両方から排気され
るため、液晶パネル内の排気時間を短縮でき、液晶材料
を注入しながら排気口から液晶パネル内の排気が行える
ため、液晶パネル内の排気時間を短縮できる。さらに、
コネクタを用いずに注入口を液晶材料に接触させること
ができるため、液晶パネルに気泡が発生することがな
い。
晶パネル内の排気を真空チャンバ内の排気に伴って注入
口から行うとともに、排気口からもコネクタを介して行
うことにより、注入口および排気口の両方から排気され
るため、液晶パネル内の排気時間を短縮でき、液晶材料
を注入しながら排気口から液晶パネル内の排気が行える
ため、液晶パネル内の排気時間を短縮できる。さらに、
コネクタを用いずに注入口を液晶材料に接触させること
ができるため、液晶パネルに気泡が発生することがな
い。
【００５５】請求項４記載の液晶注入装置によれば、真
空チャンバ内の圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管
と、コネクタの圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管
とが、バルブを介して繋がっており、真空チャンバ内の
圧力とコネクタの圧力とを等しくすることができること
により、コネクタのパッキンによるシール状態の違いに
よる排気口付近の圧力のばらつきをなくすことができ、
排気口から気泡が入ることを防止することができる。
空チャンバ内の圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管
と、コネクタの圧力を大気圧に戻すためのリーク用配管
とが、バルブを介して繋がっており、真空チャンバ内の
圧力とコネクタの圧力とを等しくすることができること
により、コネクタのパッキンによるシール状態の違いに
よる排気口付近の圧力のばらつきをなくすことができ、
排気口から気泡が入ることを防止することができる。
【図１】本実施の形態に係る液晶注入装置を示す説明図
である。
である。
【図２】排気コネクタを示す側面図である。
【図３】排気コネクタを示す正面図である。
【図４】液晶パネルを示す平面図である。
【図５】他の実施の形態に係る液晶注入装置を示す説明
図である。
図である。
【図６】従来の液晶材料注入方法を示す説明図である。
１ 真空チャンバ ２ チャンバ排気用バルブ ３ チャンバリーク用バルブ ４ チャンバ用真空ポンプ ５ 排気コネクタ ６ 排気コネクタ排気用バルブ ７ 排気コネクタリーク用バルブ ８ 排気コネクタ用真空ポンプ ９ トラップ １０ 液晶パネル １１ 液晶材料 １２ 液晶皿 ２１ コネクタ本体 ２２ パッキン ２３ 液晶パネル押え ２４ 排気管 ２５ 液晶パネル ２６ａ、２６ｂ、２６ｃ パッキンと液晶パネルとの接
触面 ２７ パッキン開口部 ３１ａ、３１ｂ 電極基板 ３２ シール剤 ３３ 注入口 ３４ 排気口 ５１ 真空チャンバ ５２ チャンバ排気用バルブ ５３ リーク用バルブ ５４ チャンバ用真空ポンプ ５５ 排気コネクタ ５６ 排気コネクタ排気用バルブ ５７ 連結用バルブ ５８ 排気コネクタ用真空ポンプ ５９ トラップ ６０ 液晶パネル ６１ 液晶材料 ６２ 液晶皿 ６３ 連結配管 １０１ 真空チャンバ １０２ チャンバ排気用バルブ １０３ チャンバリーク用バルブ １０４ 液晶材料 １０５ 液晶皿 １０６ 液晶パネル １０７ 注入口
触面 ２７ パッキン開口部 ３１ａ、３１ｂ 電極基板 ３２ シール剤 ３３ 注入口 ３４ 排気口 ５１ 真空チャンバ ５２ チャンバ排気用バルブ ５３ リーク用バルブ ５４ チャンバ用真空ポンプ ５５ 排気コネクタ ５６ 排気コネクタ排気用バルブ ５７ 連結用バルブ ５８ 排気コネクタ用真空ポンプ ５９ トラップ ６０ 液晶パネル ６１ 液晶材料 ６２ 液晶皿 ６３ 連結配管 １０１ 真空チャンバ １０２ チャンバ排気用バルブ １０３ チャンバリーク用バルブ １０４ 液晶材料 １０５ 液晶皿 １０６ 液晶パネル １０７ 注入口
Claims (4)
- 【請求項１】 液晶パネルに液晶材料を注入するための
注入口と、液晶パネル内を排気するための排気口と、を
有する液晶パネルに、前記排気口から排気しながら前記
注入口から液晶材料を注入する液晶表示装置の製造方法
において、 前記液晶パネルを真空チャンバ内に配置し、前記液晶パ
ネル内の排気を、前記真空チャンバ内の排気に伴って前
記注入口から行うとともに、前記排気口からもコネクタ
を介して行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方
法。 - 【請求項２】 前記注入口に液晶材料を接触させた後、
前記真空チャンバ内の圧力を大気圧よりも高くして注入
を行うことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置の
製造方法。 - 【請求項３】 液晶パネルに液晶材料を注入するための
注入口と、液晶パネル内を排気するための排気口と、を
有する液晶パネルに、前記排気口から排気しながら前記
注入口から液晶材料を注入する液晶注入装置において、 その内部に前記液晶パネルを配置する真空チャンバと、
前記排気口から前記液晶パネル内の排気を行うコネクタ
と、を有し、前記液晶パネル内の排気を、前記真空チャ
ンバ内の排気に伴って前記注入口から行うとともに、前
記排気口からも前記コネクタを介して行うことを特徴と
する液晶注入装置。 - 【請求項４】 前記真空チャンバ内の圧力を大気圧に戻
すためのリーク用配管と、前記コネクタの圧力を大気圧
に戻すためのリーク用配管とが、バルブを介して繋がっ
ており、前記真空チャンバ内の圧力と前記コネクタの圧
力とを等しくすることができることを特徴とする請求項
３記載の液晶注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30375498A JP3451023B2 (ja) | 1998-10-26 | 1998-10-26 | 液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30375498A JP3451023B2 (ja) | 1998-10-26 | 1998-10-26 | 液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000131705A true JP2000131705A (ja) | 2000-05-12 |
| JP3451023B2 JP3451023B2 (ja) | 2003-09-29 |
Family
ID=17924880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30375498A Expired - Fee Related JP3451023B2 (ja) | 1998-10-26 | 1998-10-26 | 液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3451023B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107102459A (zh) * | 2017-06-30 | 2017-08-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶气泡分析装置及分析方法 |
-
1998
- 1998-10-26 JP JP30375498A patent/JP3451023B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107102459A (zh) * | 2017-06-30 | 2017-08-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶气泡分析装置及分析方法 |
| CN107102459B (zh) * | 2017-06-30 | 2020-05-19 | 武汉华星光电技术有限公司 | 液晶气泡分析装置及分析方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3451023B2 (ja) | 2003-09-29 |
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