JPH1179387A - 基板収納用ホルダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 切断直後の未研磨のガラス基板であっても、
切断面がなす角部の欠けを防いでダストを発生させるこ
となく運搬移動する。 【解決手段】 水平な天板１および地板２の両側端に対
し、垂直に対面する左右側板３が取り付け前後方向に開
放する枠体を構成する。そして各側板３の各内壁面に対
し、各側板３の間で水平に対向するように、側板３の上
下方向に所定間隔をおいて複数突出し、所定サイズに切
断された未研磨のガラス基板１４の底面縁を支持する支
持部６を設ける。また、各側板３の各内壁面および各側
板３の間の後側であって、対向する各支持部６の水平線
の上方位置において水平方向に突出し、その突出端部が
各支持部６に支持される各ガラス基板１４の側端の切断
面に当接し得る係止部材を設ける。従って、ガラス基板
１４の切断面がなす角部に対して未接触となって角部の
欠けがなくなるので、ダストを発生させることなく運搬
移動を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、所定サイズに切断
された未研磨のガラス基板を複数枚収納して運搬移動で
きる基板収納用ホルダーに関する。

【０００２】

【従来の技術】外囲器にガラス基板を使用した装置とし
て、蛍光表示装置、液晶表示装置、エレクトロルミネッ
センス表示装置などの表示装置が知られている。蛍光表
示装置の一例としては、電界放出素子を電子源とする電
界放出型表示装置（以下、ＦＥＤという）がある。ＦＥ
Ｄは、アノード基板とカソード基板となる二枚のガラス
基板を所定間隔をおいて対面させて外周部で封止するこ
とにより外囲器を構成している。

【０００３】アノード基板の内面には、所定パターン形
状のアノード導体が形成され、アノード導体上には蛍光
体層を有する表示部が形成されている。カソード基板の
内面には、アノード基板の表示部と対面して電界放出素
子が形成されている。

【０００４】電界放出素子は、カソード基板の内面に形
成されたカソード導体と、カソード導体上に形成された
絶縁層と、絶縁層上に形成されたゲート電極と、ゲート
電極と絶縁層にカソード導体に達するように形成された
ホールと、ホール内のカソード導体上に形成されたコー
ン状のエミッタとを備えて構成される。

【０００５】そして、上記ＦＥＤを構成するガラス基板
からなるアノード基板およびカソード基板は、一般に下
記（１）または（２）のように、条入れ折り取り作業に
よって所定サイズに切断される。

【０００６】（１）一枚の大きなガラス基板の表面にカ
ソードを形成し、そのガラス基板を所定サイズに切断し
て個別のカソード基板を作製する。同様に、アノード基
板についても、一枚の大きなガラス基板の表面にアノー
ドを形成し、そのガラス基板を所定サイズに切断して個
別のアノード基板を作製する。

【０００７】（２）一枚の大きなガラス基板を所定サイ
ズに複数切断し、切断された個別のガラス基板の表面に
それぞれカソードを形成する。同様に、切断された個別
のガラス基板の表面にそれぞれアノードを形成する。

【０００８】上記（１）、（２）のように切断されたガ
ラス基板は、その切断面がなす角部に角が立つため、角
部を斜め４５°に研磨する面取り工程を経ている。そし
て、面取り工程を経た後の各ガラス基板は、図１０ある
いは図１１で示す従来の基板収納用ホルダーに収納され
て次工程への運搬移動が行われる。

【０００９】図１０で示す基板収納用ホルダーは、合成
樹脂材からなり、複数の凹部４０ａと凸部４０ｂとが波
状に連続形成された二つの側板４０を有している。各側
板４０は、凹部４０ａおよび凸部４０ｂがそれぞれ向き
合うように、箱状の硬質ケース４１の両内側壁に左右対
向配置されている。ケース４１の正面側は開放されてい
て、その開口より所定サイズに切断・面取りされたガラ
ス基板１４を両側板４０の対向する各凹部４０ａの間に
挿入し、その直下の各凸部４０ｂの斜面を以てガラス基
板１４の両側端を支持している。

【００１０】図１１で示す基板収納用ホルダーは、上記
図１０の基板収納用ホルダーと同様に正面側が開放され
た箱状の硬質ケース４０を有し、このケース４０の両内
側壁に各側板４２が左右対向配置されている。この側板
４２は、金属材からなり、ケース４１の内方上向き傾斜
した支持片４２ａが上下方向に複数設けられている。各
支持片４２ａは、上向きに広角傾斜した側壁４２ｂを以
て上下に連続されている。そして、ケース４１の開口よ
り所定サイズに切断・面取りされたガラス基板１４を両
側板４２の対向する各側壁４２ｂの間に挿入し、その直
下の各支持片４２ａの上端を以てガラス基板１４の両側
端の底面縁を支持している。

【００１１】ところで、上述したガラス基板１４の面取
り工程では、切断面がなす角部の研磨時に発生するダス
トがガラス基板に付着するため、別途洗浄工程が必要と
なり、その分作業工数が増えて手間およびコストがかか
っている。

【００１２】そこで、従来では、生産コストの低減を図
ろうとして、洗浄工程の手間をなくすために面取り工程
を省き、切断直後の複数のガラス基板１４を図１０ある
いは図１１で示す基板収納用ホルダーに収納し、この基
板収納用ホルダーを運搬移動して次工程へ移行してい
た。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の基板収納用ホルダーでは、切断直後の未研磨の
ガラス基板１４は、その切断面がなす角部が約９０°で
鋭く角が立ったままの状態であるため、基板収納用ホル
ダーにガラス基板１４を収納したりあるいは取り出す
際、または基板収納用ホルダーの運搬中にガラス基板１
４が移動することによって以下の問題が生じる。

【００１４】図１０で示す基板収納用ホルダーでは、複
数の凹部４０ａと凸部４０ｂとが波状に連続形成された
側板４０を有しているため、ガラス基板１４を収納した
り取り出す際、あるいは前記ホルダーの運搬中に移動し
たガラス基板１４の切断面がなす角部が、側板４０にお
いて凹部４０ａと凸部４０ｂとを連続させる傾斜面に接
触する。さらに、側板４０が合成樹脂材により形成され
ているために、樹脂材が削れてダストが発生してしま
い、このダストがガラス基板に付着すると製品不良の原
因となる。

【００１５】図１１で示す基板収納用ホルダーでは、上
向き傾斜した複数の支持片４２ａの間に、上向きに広角
傾斜した側壁４２ｂをなした側板４２を有しているた
め、運搬中に移動したガラス基板１４の切断面がなす角
部が、側板４２における傾斜した側壁４２ｂに接触す
る。さらに、側板４２が金属材により形成されているた
めに、ガラス基板１４の切断面がなす角部が欠けてガラ
ス粉によるダストが発生してしまい、上記と同様にダス
トがガラス基板に付着すると製品不良の原因となる。

【００１６】このように、従来の基板収納用ホルダーで
は、実質的に切断直後の未研磨のガラス基板１４を収納
した状態で運搬移動することができず、洗浄工程および
面取り工程を省いて生産コストの低減を実施することが
できなかった。

【００１７】そこで本発明は、上記課題を解消するため
に、切断直後の未研磨のガラス基板であっても、切断面
がなす角部の欠けを防いでダストを発生させることなく
運搬移動することができる基板収納用ホルダーを提供す
ることを目的としている。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明による基板収納用ホルダーは、所定サイズに切断
された未研磨のガラス基板の底面部分を支持する支持部
と、該支持部に支持された前記ガラス基板の側端の切断
面に当接し得る端部を有した係止部材と、を備えたこと
を特徴としている。

【００１９】また、直立対面する左右側板の各内壁面に
設けられ、前記各側板の間で水平に対向するように、前
記側板の上下方向に所定間隔をおいて複数突出し、所定
サイズに切断された未研磨のガラス基板の底面縁を支持
する支持部と、前記左右側板の各内壁面、および前記左
右側板の間の後側であって、対向する前記各支持部の水
平線の上方位置において水平方向に突出形成され、その
突出端部が前記各支持部に支持される前記各ガラス基板
の側端の切断面に当接し得る係止部材と、を備えたこと
を特徴としている。

【００２０】また、薄板状に形成され、所定サイズに切
断された未研磨のガラス基板の底面部分を支持する複数
の支持部と、該支持部に支持される前記各ガラス基板の
外形の一部に沿うように、前記各支持部の複数箇所に挿
通して、前記支持部をそれぞれ上下方向に所定間隔をお
いて水平に固定する支柱と、前記各支持部の上面に配置
されるように前記支持部と共に前記各支柱に挿通固定さ
れ、その端部が前記各支持部に支持される前記各ガラス
基板の側端の切断面に当接し得る係止部材と、を備えた
ことを特徴とする基板収納用ホルダー。

【００２１】また、前記係止部材は、前記ガラス基板の
切断面に当接する端部が、弧状に形成されていることが
好ましい。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第一の実施の形態
を図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明によ
る基板収納用ホルダーの第一の実施の形態を示す正面視
縦断面図、図２は同基板収納用ホルダーの側面図、図３
は同基板収納用ホルダーの平面図、図４は同基板収納用
ホルダーの要部を示す拡大断面図である。

【００２３】第一の実施の形態における基板収納用ホル
ダーは、図１乃至図４に示すように、水平な天板１およ
び地板２の両側端に対し、垂直に対面する各側板３が取
り付けられ、前後方向に開放する枠体を構成している。

【００２４】天板１は、ステンレスなどの金属材からな
る矩形状の平板として形成されている。地板２は、ステ
ンレスなどの金属材からなり、前記天板１と同形状の平
板として形成されている。また地板２は、平面視の全体
形状が略コ字形状となるように、その前側の中央縁が穿
設された切欠部４を有している。

【００２５】側板３は、合成樹脂材などからなる矩形状
の板体として形成され、その上端縁と下端縁とが、それ
ぞれ前記天板１および地板２の各側端に対し、ネジ止め
などによって取り付けられている。

【００２６】側板３の内壁面には、図４に示すように、
前後方向に水平に連続する溝条５が、上下方向に所定間
隔をおいて複数設けられている。そして、側板３の内壁
面には、上記溝条５によって上下方向に所定間隔をおい
て、側板３の内方に突出する支持部６が形成されてい
る。この支持部６の突出端には、上方に延出された断面
円弧状の先端をなす支持片６ａが形成されている。溝条
５および支持部６は、各側板３の間で対向するように配
設され、支持片６ａの先端が各側板３の間で水平の関係
となるように構成されている。

【００２７】側板３の各溝条５には、挿通穴７が穿設さ
れている。この挿通穴７は、一つの溝条５に沿って所定
間隔をおいて二箇所に設けられている。各挿通穴７に
は、側板３の外壁側より係止部材８が挿通されている。
この係止部材８は、ステンレスなどの金属材、あるいは
耐摩耗性の硬質樹脂材（ＡＢＳ樹脂、ナイロン系樹脂な
ど）からなり、挿通穴７に挿通される円柱形状の係止ピ
ン８ａと、係止ピン８ａよりも大径のフランジ８ｂとに
より構成されている。また、係止ピン８ａの先端部は弧
状をなすように半球状に形成されている。

【００２８】側板３の外壁側から挿通穴７に挿通された
係止部材８は、そのフランジ８ｂによって溝条５内への
係止ピン８ａの突出長さが決められている。この係止ピ
ン８ａの突出長さは、係止ピン８ａの先端が側板３の内
壁側に設けられた支持部６の支持片６ａに当接しない長
さとされている。また、係止ピン８ａは、支持片６ａの
先端の水平線よりも、その中心線８ｃが上方位置であっ
て、且つ、中心線８ｃが支持片６ａに支持されるガラス
基板１４（二点鎖線で示す）の厚みにかかるように配置
されている。そして、側板３の外壁側から挿通穴７に挿
通された係止部材８は、側板３の外壁にネジ止めされた
押止板９にフランジ８ｂが押さえられることによって固
定されている。

【００２９】また、側板３の後端縁には、基板収納用ホ
ルダーをなす枠体の後側開放の一部を側板３の後端縁に
沿って覆う断面略Ｌ字形状の規制板１１がネジ止めされ
ている。この規制板１１における枠体の後側開放を覆う
部分には、上述した係止部材８と同様に、枠体内に係止
ピン８ａの先端を突出させるようにして、挿通穴７およ
び押止板９を以て係止部材８が設けられている。

【００３０】なお、係止部材８に関し、係止ピン８ａを
挿通穴７に接着、圧入あるいはねじ込みすることによっ
て設けてもい。また、係止部材８を係止ピン８ａのみの
構成とし、この係止ピン８ａを挿通穴７に接着、圧入あ
るいはねじ込みして設けてもよい。このように係止部材
８を構成すれば、押止板９は不要となる。さらに、各係
止部材８は、各フランジ８ｂを以て連続する一体成形と
されていてもよい。また、係止ピン８ａは、円柱形状で
先端を半球状にした構成に限らず、角柱形状で先端部が
滑らかとなるように弧状に形成されていてもよい。

【００３１】また、上記側板３は、軽量化を図るため
に、図２で示すように、中央部分に開口部１０を有して
側面視で略ロ字形状とされている。

【００３２】このような構成の第一の実施の形態におけ
る基板収納用ホルダーに対し、適宜に切断されたガラス
基板１４（図中二点鎖線で示す）の収納あるいは取り出
しを行う。基板収納用ホルダーにガラス基板１４を収納
あるいは取り出す際、図１乃至図３で示す固定台１２に
固定載置される。この固定台１２は、基板収納用ホルダ
ーの側板３の下端が係る固定段部１３ａを有したステー
ジ１３を備えている。

【００３３】そして、基板収納用ホルダーへのガラス基
板１４の収納は以下のように行われる。まず、空の状態
の基板収納用ホルダーを固定台１２に固定載置する。こ
の際、ステージ１３は、側板３に固定された各押止板９
の間に挿通して、基板収納用ホルダーを位置決めする。
次に、適宜に切断されたガラス基板１４を図中一点鎖線
で示すロボットハンド１５で吸着（あるいは挟持）し、
基板収納用ホルダーの前側から各側板３の間の対向する
溝条５にガラス基板１４の両側端部が挿入するようにロ
ボットハンド１５を水平移動させる。次に、ロボットハ
ンド１５を下側に垂直移動させて、各側板３の間の対向
する両支持片６ａの間にガラス板基１４の各側端縁の底
面が架かるようにして載置する。

【００３４】なお、基板収納用ホルダーへのガラス基板
１４の収納は、ロボットハンド１５がガラス基板１４の
底面に吸着するように構成されているため、最上位置の
両支持片６ａの間から行われる。また、地板２の切欠部
４は、下位置の両支持片６ａの間へのガラス基板１４の
収納時においてロボットハンド１５を挿通させるために
設けられている。

【００３５】また、基板収納用ホルダーからのガラス基
板１４の取り出しは以下のように行われる。まず、ガラ
ス基板１４が収納された状態の基板収納用ホルダーを固
定台１２に固定載置する。次に、最下位置の両支持片６
ａの間に収納されたガラス基板１４をロボットハンド１
５で吸着（あるいは挟持）し、上側に垂直移動させて両
支持片６ａの支持からガラス基板１４を離す。次に、ロ
ボットハンド１５を水平移動させて、ガラス基板１４を
基板収納用ホルダーから取り出す。

【００３６】なお、基板収納用ホルダーからのガラス基
板１４の取り出しは、上述のようにロボットハンド１５
がガラス基板１４の底面に吸着するように構成されてい
るため、最下位置の両支持片６ａの間に収納されたガラ
ス基板１４から行われる。

【００３７】このように、ガラス基板１４をロボットハ
ンド１５によって基板収納用ホルダーへ収納した時点で
は、ガラス基板１４の各側端の底面縁が各側板３の間の
対向する両支持片６ａの間に架かって支持され、ガラス
基板１４の各端面をなす切断面は何れにも接触していな
い。

【００３８】そして、ガラス基板１４が収納された基板
収納用ホルダーを次工程へ運搬移動する際には、基板収
納用ホルダーを後側へ若干傾け、ガラス基板１４の後側
の切断面を基板収納用ホルダーをなす枠体の後側開放に
設けられた係止部材８の係止ピン８ａの先端に当接させ
るようにして運搬する。

【００３９】この運搬時において、収納されたガラス基
板１４が側方に移動した際には、ガラス基板１４の各側
の切断面が側板３に設けられた係止部材８の係止ピン８
ａの先端に当接して支持される。

【００４０】そして、ガラス基板１４の各切断面が係止
ピン８ａの先端に当接した場合、図４に示すように、係
止ピン８ａの先端部が半球状あるいは先端部の上下部位
が弧状に形成され、さらにその中心線８ｃが支持片６ａ
の先端よりも上方であって、且つ、中心線８ｃが支持片
６ａに支持されるガラス基板１４の厚みにかかるように
配置されているので、係止ピン８ａの先端は、ガラス基
板１４の切断面のみに当接することとなる。

【００４１】したがって、上述した第一の実施の形態に
おける基板収納用ホルダーでは、両側板３の内壁に設け
られた各支持片６ａによって、ガラス基板１４の両側端
の底面縁を支持し、この側板３および基板収納用ホルダ
ーをなす枠体の後側において、支持片６ａに支持された
ガラス基板１４の各切断面のみに当接する係止ピン８ａ
を備えたことにより、ガラス基板１４の切断面がなす角
部に対して未接触な状態で運搬移動を行うことが可能と
なる。

【００４２】ゆえに、切断直後の未研磨のガラス基板１
４であっても、その切断面がなす角部の欠けがないの
で、ダストを発生させることなく運搬移動を行うことが
できるため、切断面がなす角部の研磨工程や、この研磨
工程後の洗浄工程を省いた生産コストの低減を実施する
ことができる。

【００４３】なお、上述した第一の実施の形態における
基板収納用ホルダーは、前面側を開放した金属材などか
らなる硬質ケースで被覆されていてもよく、これによれ
ば強度を向上させることができる。

【００４４】また、ガラス基板１４を収納あるいは取り
出す際に基板収納用ホルダーが固定載置される固定台１
２は、基板収納用ホルダーの底側に、ロボットハンド１
５が挿入できるスペースを備えれば不要となる。

【００４５】以下、本発明の第二の実施の形態を図面を
参照して具体的に説明する。図５は本発明による基板収
納用ホルダーの第二の実施の形態を示す全体斜視図、図
６は同基板収納用ホルダーの要部を示す斜視図、図７は
同基板収納用ホルダーの要部組図、図８は同基板収納用
ホルダーの平断面図、図９は同基板収納用ホルダーの別
の構成を示す平断面図である。

【００４６】第二の実施の形態における基板収納用ホル
ダーは、図５乃至図８に示すように、支持部をなす複数
の棚板２０が垂直に立設された複数の支柱２１によって
水平配置されている。

【００４７】棚板２０は、その上面に切断されたガラス
基板１４を載置するように、ステンレスなどの金属材か
らなる略矩形状の薄板体として形成されている。この棚
板２０は、平面視の全体形状が略コ字形状となるよう
に、その前側の中央縁が穿設された切欠部２２を有して
いる。また、棚板２０の左右側および後側の周縁の所定
箇所には、後述する支柱２１が挿通し得る挿通穴２３が
穿設されている。

【００４８】支柱２１は、上記棚板２０に設けられた挿
通穴２３に挿通される柱体であって、この実施の形態で
は円柱状に形成されている。そして、支柱２１は、不図
示のネジ止めなどで基台２４に立設固定されている。

【００４９】この基台２４は、ステンレスなどの金属材
からなる厚板体であり、上記棚板２０と略同じ大きさの
矩形状に形成されている。また、基台２４の前側の中央
縁には、その平面視の全体形状が略コ字形状となるよう
に、棚板２０の切欠部２２と略同一の切欠部２５が設け
られている。さらに、基台２４の両側端の底面縁には、
基台２４の板厚が一部切り欠かれた係止凹部２６が設け
られている。

【００５０】また、支柱２１には、上記棚板２０を固定
するため、その長手方向に所定間隔をおいて複数の固定
手段２７が配されている。固定手段２７は、図６に示す
ように、支柱２１の周囲に沿って設けられた一対の周溝
２８と、各周溝２８に係合される一対の固定部材２９
と、支柱２１に挿通される環状の係止部材３０とを備え
ている。

【００５１】周溝２８は、図７に示すように、棚板２０
を固定する所定箇所において、挿通穴２３を介して支柱
２１に挿通された棚板２０の厚み分と、同様に支柱２１
に挿通された係止部材３０の厚み分とを加えた間隔Ｈを
おき、立設する支柱２１の上下方向に対をなして形成さ
れている。

【００５２】固定部材２９は、一般にＥリングを称し、
各周溝２８に係合するように環状の一部が開口して略Ｅ
字形状に形成されている。

【００５３】係止部材３０は、ステンレスなどの金属
材、あるいは耐摩耗性の硬質樹脂材（ＡＢＳ樹脂、ナイ
ロン系樹脂など）からなる環状体として構成されてい
る。そして係止部材３０の外径は、上記固定部材２９よ
りも大径とされ、さらにその外周端部は円弧状に膨出形
成されている。なお、係止部材３０の外周端部は、少な
くとも上下部位が弧状に形成されていればよい。

【００５４】このような固定手段２７は、図７に示すよ
うに棚板２０の上面に係止部材３０を配し、この棚板２
０と係止部材３０とを各周溝２８に係合した固定部材２
９を以て固定する。この際、係止部材３０は、図７に示
す如く、その外周の膨出端にの水平線３０ａが棚板２０
に載置されるガラス基板１４の厚みにかかるように配置
される。また、固定手段２７は、各棚板２０を水平配置
するとともに、各棚板２０の上下方向の間隔をガラス基
板１４が挿入できる間隔とするように、各支柱２１に対
して適宜な位置および適宜な間隔で配設されている。

【００５５】なお、最上位置に配置された棚板２０は、
切欠部２２を備えず、ガラス基板１４が載置されない盲
板として構成されている。

【００５６】ところで、棚板２０が固定される複数の支
柱２１は、棚板２０（および基台２４）に対して以下の
ように配設されている。支柱２１は、図８に示すよう
に、棚板２０（および基台２４）の前側を開放するとと
もに、棚板２０に支持されるガラス基板１４の外形の一
部に沿うようにして、棚板２０（および基台２４）の左
右側および後側に縁に沿って設けられている。この実施
の形態では、支柱２１は、図８中左側の縁に沿って三箇
所、後側の縁に沿って二箇所、右側の縁に沿って一箇所
設けられている。

【００５７】このような構成の第二の実施の形態におけ
る基板収納用ホルダーに対し、適宜に切断されたガラス
基板１４（図中二点鎖線で示す）の収納あるいは取り出
しを行う。基板収納用ホルダーにガラス基板１４を収納
あるいは取り出す際には、上述した第一の実施の形態に
て説明した図１乃至図３で示す固定台１２に固定載置さ
れる。

【００５８】そして、基板収納用ホルダーへのガラス基
板１４の収納は以下のように行われる。まず、空の状態
の基板収納用ホルダーを固定台１２に固定載置する。こ
の際、ステージ１３の固定段部１３ａが基台２４の係止
凹部２６に係合して、基板収納用ホルダーを位置決めす
る。次に、適宜に切断されたガラス基板１４を第一の実
施の形態にて説明したロボットハンド１５で吸着（ある
いは挟持）し、基板収納用ホルダーの前側から棚板２０
の間にガラス基板１４を挿入するようにロボットハンド
１５を水平移動させる。次に、ロボットハンド１５を下
側に垂直移動させて、棚板２０の上面にガラス板基１４
の各側端縁の底面が架かるようにして載置する。

【００５９】なお、基板収納用ホルダーへのガラス基板
１４の収納は、ロボットハンド１５がガラス基板１４の
底面に吸着するように構成されているため、最上位置の
棚板２０の間から行われる。また、基台２４の切欠部２
５は、下位置の棚板２０の間へのガラス基板１４の収納
時においてロボットハンド１５を挿通させるために設け
られている。

【００６０】また、基板収納用ホルダーからのガラス基
板１４の取り出しは以下のように行われる。まず、ガラ
ス基板１４が収納された状態の基板収納用ホルダーを固
定台１２に固定載置する。次に、最下位置の棚板２０の
間に収納されたガラス基板１４をロボットハンド１５で
吸着（あるいは挟持）し、上側に垂直移動させて棚板２
０の上面からガラス基板１４を離す。次に、ロボットハ
ンド１５を水平移動させて、ガラス基板１４を基板収納
用ホルダーから取り出す。

【００６１】なお、基板収納用ホルダーからのガラス基
板１４の取り出しは、上述のようにロボットハンド１５
がガラス基板１４の底面に吸着するように構成されてい
るため、最下位置の棚板２０の間に収納されたガラス基
板１４から行われる。

【００６２】ガラス基板１４をロボットハンド１５によ
って基板収納用ホルダーへ収納した時点では、ガラス基
板１４の底面が棚板２０の上面によって支持され、ガラ
ス基板１４の各端面をなす切断面は何れにも接触してい
ない。

【００６３】そして、ガラス基板１４が収納された基板
収納用ホルダーを次工程へ運搬移動する際には、基板収
納用ホルダーを左後側へ若干傾け、ガラス基板１４の後
側の切断面および左側の切断面を棚板２０の上面に設け
られた係止部材３０の外周に当接させるようにして運搬
する。

【００６４】このように、ガラス基板１４の各切断面が
係止部材３０の外周に当接した場合、図７に示すよう
に、係止部材３０の外周端部が円弧状に膨出形成され、
さらに膨出端に関する水平線３０ａが棚板２０に載置さ
れるガラス基板１４の厚みにかかるように配置されてい
るので、係止部材３０の膨出端は、ガラス基板１４の切
断面に当接することとなる。

【００６５】したがって、上述した第二の実施の形態に
おける基板収納用ホルダーでは、水平配置された棚板２
０の上面にガラス基板１４が載置され、この棚板２０の
各側および後側において、棚板２０を支持する支柱２１
に対してガラス基板１４の各切断面のみに当接する係止
部材３０を備えたことにより、ガラス基板１４の切断面
がなす角部に対して未接触な状態で運搬移動を行うこと
が可能となる。

【００６６】ゆえに、切断直後の未研磨のガラス基板１
４であっても、その切断面がなす角部の欠けがないの
で、ダストを発生させることなく運搬移動を行うことが
できるため、切断面がなす角部の研磨工程や、この研磨
工程後の洗浄工程を省いた生産コストの低減を実施する
ことができる。

【００６７】また、上述した第二の実施の形態では、ガ
ラス基板１４を棚板２０の上面に載置する構成のため、
大きさが異なる種々のガラス基板１４を収納することが
可能である。具体的には、図８に示すように、支柱２１
の配置された範囲内に収納できる最大のガラス基板１４
Ａから、ロボットハンド１５によって吸着できる最小の
ガラス基板１４Ｂまでの異なる大きさに対応することが
できる。そして、最小のガラス基板１４Ｂを収納した場
合であっても、上述したように、基板収納用ホルダーを
左後側へ若干傾け、ガラス基板１４Ｂの後側の切断面お
よび左側の切断面を棚板２０の上面に設けられた係止部
材３０の外周に当接させるように運搬移動するので、ガ
ラス基板１４Ｂは、左側二箇所、後側一箇所の係止部材
３０によって適宜に支持される。

【００６８】また、ロボットハンド１５が挿入される切
欠部２２、２５の配置を、変えることにより、さらに小
さいガラス基板１４を収納することが可能となる。具体
的には、図９に示すように、切欠部２２、２５を左側寄
りに設ければよい。このように構成すれば、支柱２１の
配置された範囲内に収納できる最大のガラス基板１４Ａ
から、ロボットハンド１５によって吸着できる最小のガ
ラス基板１４Ｃまでの異なる大きさに対応することがで
きる。そして、最小のガラス基板１４Ｃを収納した場合
であっても、上述したように、基板収納用ホルダーを左
後側へ若干傾け、ガラス基板１４Ｃの後側の切断面およ
び左側の切断面を棚板２０の上面に設けられた係止部材
３０の外周に当接させるように運搬移動するので、ガラ
ス基板１４Ｂは適宜に支持される。

【００６９】また、図９中では、支柱２１を、棚板２０
の左側の縁に沿って二箇所、後側の縁に沿って一箇所、
右側の縁に沿って一箇所となるように配置しているが、
少なくとも支柱２１をこのように配置し、且つ、切欠部
２２、２５を左側寄りに設ければ、上記最大のガラス基
板１４Ａから最小のガラス基板１４Ｃまでの異なる大き
さを収納することができるとともに、運搬時にガラス基
板１４を適宜に支持することができる。

【００７０】なお、上述した第二の実施の形態における
基板収納用ホルダーは、前面側を開放した金属材などか
らなる硬質ケースで被覆されていてもよく、これによれ
ば強度を向上させることができる。

【００７１】また、ガラス基板１４を収納あるいは取り
出す際に基板収納用ホルダーが固定載置される固定台１
２は、基板収納用ホルダーの底側に、ロボットハンド１
５が挿入できるスペースを備えれば不要となる。

【００７２】

【発明の効果】以上説明したように本発明による基板収
納用ホルダーは、所定サイズに切断された未研磨のガラ
ス基板の底面部分を支持し、この支持されたガラス基板
の側端の切断面に当接し得るように構成したことによ
り、ガラス基板の切断面がなす角部に対して未接触な状
態で運搬移動を行うことができる。

【００７３】ゆえに、切断直後の未研磨のガラス基板の
切断面がなす角部の欠けがないので、ダストを発生させ
ることなく運搬移動を行うことができるため、切断面が
なす角部の研磨工程や、この研磨工程後の洗浄工程を省
いた生産コストの低減を実施することができる。

【００７４】具体的には、直立対面する左右側板の間で
水平に対向するように、上下方向に所定間隔をおいて複
数突出した支持部と、対向する各支持部の水平線の上方
位置において水平方向に突出形成された係止部材とを備
えるように構成すれば、支持部によって所定サイズに切
断された未研磨のガラス基板の底面縁を支持し、さらに
係止部材によって支持されたガラス基板の側端の切断面
を当接係止するので、上記効果を適宜に得ることができ
る。

【００７５】また、支持部を複数の薄板状に形成し、支
持部に支持される各ガラス基板の外形の一部に沿うよう
に支持部の複数箇所に挿通された支柱を以て、複数の支
持部を上下方向に所定間隔をおいて水平に固定し、さら
に各支持部の上面に配置されるように支持部と共に各支
柱に挿通固定された係止部材を備えた構成としても、支
持部によって所定サイズに切断された未研磨のガラス基
板の底面部分を支持し、さらに係止部材によって支持さ
れたガラス基板の側端の切断面を当接係止するので、上
記効果を適宜に得ることができる。

【００７６】そして、支持部が薄板状に形成され、且
つ、各ガラス基板の外形の一部に沿うように支柱が設け
られた構成では、各ガラス基板が異なる大きさであって
も支持部の上面によって支持することが可能であり、さ
らに、例えば各ガラス基板の基本形状が矩形状であれ
ば、ガラス基板の平面視の一つの角部形状に沿うように
支柱を配置すれば、異なる大きさのガラス基板の切断面
を当接係止することが可能である。

【００７７】また、上記係止部材において、ガラス基板
の切断面に当接する端部を弧状に形成すれば、ガラス基
板の側端の切断面への当接の際に、弧状部分によってガ
ラス基板の切断面がなす角部を避けられるので、切断面
がなす角部に対する確実な未接触状態を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による基板収納用ホルダーの第一の実施
の形態を示す正面視の縦断面図。

【図２】同基板収納用ホルダーの側面図。

【図３】同基板収納用ホルダーの平面図。

【図４】同基板収納用ホルダーの要部を示す拡大断面
図。

【図５】本発明による基板収納用ホルダーの第二の実施
の形態を示す全体斜視図。

【図６】同基板収納用ホルダーの要部を示す斜視図。

【図７】同基板収納用ホルダーの要部組図。

【図８】同基板収納用ホルダーの平断面図。

【図９】同基板収納用ホルダーの別の構成を示す平断面
図。

【図１０】従来の基板収納用ホルダーの縦断面図。

【図１１】従来の基板収納用ホルダーの別の構成を示す
縦断面図。

【符号の説明】

３…側板、６…支持部、８…係止部材、２０…棚板（支
持部）、２１…支柱、３０…係止部材。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定サイズに切断された未研磨のガラス
   基板の底面部分を支持する支持部と、 該支持部に支持された前記ガラス基板の側端の切断面に
   当接し得る端部を有した係止部材と、 を備えたことを特徴とする基板収納用ホルダー。
2. 【請求項２】 直立対面する左右側板の各内壁面に設け
   られ、前記各側板の間で水平に対向するように、前記側
   板の上下方向に所定間隔をおいて複数突出し、所定サイ
   ズに切断された未研磨のガラス基板の底面縁を支持する
   支持部と、 前記左右側板の各内壁面、および前記左右側板の間の後
   側であって、対向する前記各支持部の水平線の上方位置
   において水平方向に突出形成され、その突出端部が前記
   各支持部に支持される前記各ガラス基板の側端の切断面
   に当接し得る係止部材と、 を備えたことを特徴とする基板収納用ホルダー。
3. 【請求項３】 薄板状に形成され、所定サイズに切断さ
   れた未研磨のガラス基板の底面部分を支持する複数の支
   持部と、 該支持部に支持される前記各ガラス基板の外形の一部に
   沿うように、前記各支持部の複数箇所に挿通して、前記
   支持部をそれぞれ上下方向に所定間隔をおいて水平に固
   定する支柱と、 前記各支持部の上面に配置されるように前記支持部と共
   に前記各支柱に挿通固定され、その端部が前記各支持部
   に支持される前記各ガラス基板の側端の切断面に当接し
   得る係止部材と、 を備えたことを特徴とする基板収納用ホルダー。
4. 【請求項４】前記係止部材は、前記ガラス基板の切断面
   に当接する端部が、弧状に形成されていることを特徴と
   する請求項１〜請求項３の何れかに記載の基板収納用ホ
   ルダー。