JPH1174277A - 加熱炉内の被加熱面の温度測定装置 - Google Patents
加熱炉内の被加熱面の温度測定装置Info
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- JPH1174277A JPH1174277A JP24746497A JP24746497A JPH1174277A JP H1174277 A JPH1174277 A JP H1174277A JP 24746497 A JP24746497 A JP 24746497A JP 24746497 A JP24746497 A JP 24746497A JP H1174277 A JPH1174277 A JP H1174277A
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Abstract
おいては、複数の温度検出手段を用いていたためその取
付け状態等のバラツキにより測定精度が悪くなる欠点が
あった。 【解決手段】 本発明の加熱炉内の被加熱面の温度測定
装置においては、加熱炉内の被加熱面の所望点に単一の
温度検出手段を配置し、この温度検出手段を上記被加熱
面の中心の周りに移動し、また、上記中心から偏位せし
め、上記温度検出手段からの検出温度を上記温度検出手
段の位置変化に対応して記録せしめる。
Description
面の温度測定装置、特に、温度測定位置を順次に変化せ
しめて行う加熱炉内の被加熱面の温度測定装置に関する
ものである。
壁に配置した発熱体、3は加熱炉1内に配置した反応
管、4はこの反応管3内における被加熱面に配置された
ワーク、例えばウエーハ、5はウエーハボートである。
内の温度分布を測定するには、被加熱面の適宜の位置に
測温点を設置し、それぞれの箇所の温度を測定する事に
より、被加熱面の温度分布を測定している。
として図7で示す熱電対6を付したウエーハ4を用いた
例である。図8は、ウエーハ4に取り付けられている熱
電対6の拡大図であって、7は熱電対先端部(感熱
部)、8は熱電対素線、9はその絶縁管を示す。
る場合、図9に示すように、熱電対素線8が感熱部であ
る熱電対先端7から少しの間、被加熱面に配置されたウ
エーハ4と平行に延びた後立ち上がっている場合(A
部)と、直ぐに立ち上がっている場合(B部)とでは、
例え、ウエーハ4の温度がA部、B部とも同じであって
も、熱電対自身の熱伝導により、A部は、ウエーハ4以
外の部分の温度の影響を受けにくく、一方B部の方は、
ウエーハボート5以外の部分の温度の影響を受けやすい
為、A部の方の熱電対6の方が、B部の方の熱電対6よ
りも正確にウエーハ4の温度を測定できるようになる。
おいては、熱電対6のウエーハ4への取り付け状態の違
いが、温度の測定値に現れる為、正確な測定を行いにく
い。更に、測定機器にもそれぞれ個体間のバラツキがあ
る為、それぞれの測定値にバラツキを生じやすい欠点が
あった。
のである。
熱面の温度測定装置は、加熱炉内の被加熱面の所望の点
に配置した温度検出手段と、この温度検出手段を上記被
加熱面の中心の周りに移動せしめる手段と、上記温度検
出手段を上記中心から偏位せしめる手段と、上記温度検
出手段からの検出温度を上記温度検出手段の位置変化に
対応して記録せしめる手段とよりなることを特徴とす
る。
に同期して移動する記録紙を含むことを特徴とする。
り、上記温度検出手段が上記ウエーハ上に配置され上記
ウエーハと共に上記移動手段によって上記被加熱面の中
心の周りに移動されることを特徴とする。
であることを特徴とする。
を説明する。
に、熱電対6の先端部7をウエーハ4の中心からの任意
の半径位置に対接せしめ、回転軸10によって、ウエー
ハボート5を、ウエーハ4の周速が40(mm/分)程
度となるよう、ゆっくり回転させながら熱電対6による
検出温度を図3で示すように、上記回転に同期して移動
する温度記録計(図示せず)の記録紙11により記録す
る。
対接位置は、図2に示すように熱電対保護管12によっ
てウエーハ4に相対的に首降り運動せしめるか、また
は、図4に示すようにウエーハ4上で水平移動せしめる
ことによって容易に変更できる。
をウエーハ4と共にゆっくり回転して行くが、回転速度
が大きすぎると、ウエーハ4及び熱電対先端部7が温度
変化に対応できず、温度変化の振れが小さくなり、ま
た、回転速度にむらがあると、温度変化を忠実に測定出
来なくなるため好ましくない。
各点の温度が図3で示すように、記録紙11に温度軌跡
として記録され、各点の温度を精度良く測定できるよう
になる。図3は、ウエーハ4上の熱電対先端部7の位置
をウエーハ4の中心点17から、点9−点16の円周位
置に移動し、一周後、点1−点8の円周位置に移動した
例であって、図5の面において、中心より下の方が温度
が低く、又、中心に向かうに従って温度が高くなってい
るのがわかる。
面の温度測定装置によれば、単一の熱電対6により、被
加熱面の複数の位置の温度を測定し、記録でき、熱電対
や温度記録計の個体間の特性のバラツキの影響を受けな
いため被加熱面の温度分布を精度よく測定できるように
なる大きな利益がある。
正面図である。
移動手段を示す横断平面図である。
図である。
実施例を示す縦断正面図である。
ある。
図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 加熱炉内の被加熱面の所望の点に配置し
た温度検出手段と、この温度検出手段を上記被加熱面の
中心の周りに移動せしめる手段と、上記温度検出手段を
上記中心から偏位せしめる手段と、上記温度検出手段か
らの検出温度を上記温度検出手段の位置変化に対応して
記録せしめる手段とよりなることを特徴とする加熱炉内
の被加熱面の温度測定装置。 - 【請求項2】 上記被加熱面にウエーハが配置されてお
り、上記温度検出手段が上記ウエーハ上に配置され上記
ウエーハと共に上記移動手段によって上記被加熱面の中
心の周りに移動されることを特徴とする請求項1記載の
加熱炉内の被加熱面の温度測定装置。 - 【請求項3】 上記温度検出手段が単一の測温体の感熱
部であることを特徴とする請求項1または2記載の加熱
炉内の被加熱面の温度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24746497A JP3218389B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 加熱炉内の被加熱面の温度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24746497A JP3218389B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 加熱炉内の被加熱面の温度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1174277A true JPH1174277A (ja) | 1999-03-16 |
JP3218389B2 JP3218389B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=17163845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24746497A Expired - Lifetime JP3218389B2 (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 加熱炉内の被加熱面の温度測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3218389B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1544900A1 (en) * | 2002-09-24 | 2005-06-22 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment apparatus |
CN103765568A (zh) * | 2011-06-06 | 2014-04-30 | 雷姆热系统有限责任公司 | 用于热处理衬底的设备和其中检测测量数据的方法 |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP24746497A patent/JP3218389B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1544900A1 (en) * | 2002-09-24 | 2005-06-22 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment apparatus |
EP1544900A4 (en) * | 2002-09-24 | 2008-08-13 | Tokyo Electron Ltd | HEAT TREATMENT DEVICE |
CN103765568A (zh) * | 2011-06-06 | 2014-04-30 | 雷姆热系统有限责任公司 | 用于热处理衬底的设备和其中检测测量数据的方法 |
US9466514B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-10-11 | Rehm Thermal Systems Gmbh | System for the heat treatment of substrates, and method for detecting measurement data in said system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3218389B2 (ja) | 2001-10-15 |
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