JP3218389B2 - 加熱炉内の被加熱面の温度測定装置 - Google Patents

加熱炉内の被加熱面の温度測定装置

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JP3218389B2
JP3218389B2 JP24746497A JP24746497A JP3218389B2 JP 3218389 B2 JP3218389 B2 JP 3218389B2 JP 24746497 A JP24746497 A JP 24746497A JP 24746497 A JP24746497 A JP 24746497A JP 3218389 B2 JP3218389 B2 JP 3218389B2
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heating furnace
thermocouple
wafer
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加熱炉内の被加熱
面の温度測定装置、特に、温度測定位置を順次に変化せ
しめて行う加熱炉内の被加熱面の温度測定装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の加熱炉１を示し、２は炉
壁に配置した発熱体、３は加熱炉１内に配置した反応
管、４はこの反応管３内における被加熱面に配置された
ワーク、例えばウエーハ、５はウエーハボートである。
【０００３】従来、加熱炉１の内部において、被加熱面
内の温度分布を測定するには、被加熱面の適宜の位置に
測温点を設置し、それぞれの箇所の温度を測定する事に
より、被加熱面の温度分布を測定している。
【０００４】図６は、被加熱面に配置されるウエーハ４
として図７で示す熱電対６を付したウエーハ４を用いた
例である。図８は、ウエーハ４に取り付けられている熱
電対６の拡大図であって、７は熱電対先端部（感熱
部）、８は熱電対素線、９はその絶縁管を示す。
【０００５】ところで、熱電対６にて表面温度を測定す
る場合、図９に示すように、熱電対素線８が感熱部であ
る熱電対先端７から少しの間、被加熱面に配置されたウ
エーハ４と平行に延びた後立ち上がっている場合（Ａ
部）と、直ぐに立ち上がっている場合（Ｂ部）とでは、
例え、ウエーハ４の温度がＡ部、Ｂ部とも同じであって
も、熱電対自身の熱伝導により、Ａ部は、ウエーハ４以
外の部分の温度の影響を受けにくく、一方Ｂ部の方は、
ウエーハボート５以外の部分の温度の影響を受けやすい
為、Ａ部の方の熱電対６の方が、Ｂ部の方の熱電対６よ
りも正確にウエーハ４の温度を測定できるようになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来に
おいては、熱電対６のウエーハ４への取り付け状態の違
いが、温度の測定値に現れる為、正確な測定を行いにく
い。更に、測定機器にもそれぞれ個体間のバラツキがあ
る為、それぞれの測定値にバラツキを生じやすい欠点が
あった。
【０００７】本発明は、上記の欠点を除くようにしたも
のである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の加熱炉内の被加
熱面の温度測定装置は、加熱炉内の被加熱面に配置した
温度検出手段と、この温度検出手段を上記被加熱面の中
心とその周り間で移動せしめる手段と、上記被加熱面に
配置された被加熱体をその中心の周りに回動せしめる手
段と、上記温度検出手段からの検出温度を上記被加熱体
と上記温度検出手段との相対位置変化に対応して記録せ
しめる手段とよりなることを特徴とする。
【０００９】上記記録手段は、上記被加熱体の回動に同
期して移動する記録紙を含むことを特徴とする。
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【発明の実施の形態】以下図面によって本発明の実施例
を説明する。
【００１３】本発明においては図１及び図２に示すよう
に、熱電対６の先端部７をウエーハ４の中心からの任意
の半径位置に対接せしめ、回転軸１０によって、ウエー
ハボート５を、ウエーハ４の周速が４０（ｍｍ／分）程
度となるよう、ゆっくり回転させながら熱電対６による
検出温度を図３で示すように、上記回転に同期して移動
する温度記録計（図示せず）の記録紙１１により記録す
る。
【００１４】熱電対６の先端部７のウエーハ４に対する
対接位置は、図２に示すように熱電対保護管１２によっ
てウエーハ４に相対的に首降り運動せしめるか、また
は、図４に示すようにウエーハ４上で水平移動せしめる
ことによって容易に変更できる。
【００１５】なお、熱電対６の先端部７は、被加熱面上
をウエーハ４と相対的にゆっくり回転して行くが、回転
速度が大きすぎると、ウエーハ４及び熱電対先端部７が
温度変化に対応できず、温度変化の振れが小さくなり、
また、回転速度にむらがあると、温度変化を忠実に測定
出来なくなるため好ましくない。
【００１６】このようにして、図５で示す同一平面内の
各点の温度が図３で示すように、記録紙１１に温度軌跡
として記録され、各点の温度を精度良く測定できるよう
になる。図３は、ウエーハ４上の熱電対先端部７の位置
をウエーハ４の中心点１７から、点９−点１６の円周位
置に移動し、一周後、点１−点８の円周位置に移動した
例であって、図５の面において、中心より下の方が温度
が低く、又、中心に向かうに従って温度が高くなってい
るのがわかる。
【００１７】
【発明の効果】上記のように本発明の加熱炉内の被加熱
面の温度測定装置によれば、単一の熱電対６により、被
加熱面の複数の位置の温度を測定し、記録でき、熱電対
や温度記録計の個体間の特性のバラツキの影響を受けな
いため被加熱面の温度分布を精度よく測定できるように
なる大きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の温度測定装置を適用する加熱炉の縦断
正面図である。
【図２】本発明の温度測定装置における温度検出手段の
移動手段を示す横断平面図である。
【図３】本発明の温度測定装置における記録手段の説明
図である。
【図４】本発明の温度測定装置における移動手段の他の
実施例を示す縦断正面図である。
【図５】本発明の温度測定装置の測定点説明用平面図で
ある。
【図６】従来の加熱炉の縦断正面図である。
【図７】従来の加熱炉に用いる温度検出手段を示す平面
図である。
【図８】従来の熱電対の説明図である。
【図９】従来の熱電対の取付状態説明図である。
【符号の説明】
１ 加熱炉 ２ 発熱体 ３ 反応管 ４ ウエーハ ５ ウエーハボート ６ 熱電対 ７ 熱電対先端部 ８ 熱電対素線 ９ 絶縁管 １０ 回転軸 １１ 記録紙 １２ 保護管

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 加熱炉内の被加熱面に配置した温度検出
    手段と、この温度検出手段を上記被加熱面の中心とその
    周り間で移動せしめる手段と、上記被加熱面に配置され
    た被加熱体をその中心の周りに回動せしめる手段と、上
    記温度検出手段からの検出温度を上記被加熱体と上記温
    度検出手段との相対位置変化に対応して記録せしめる手
    段とよりなることを特徴とする加熱炉内の被加熱面の温
    度測定装置。
  2. 【請求項２】 上記記録せしめる手段が上記被加熱体の
    回動に同期して移動する記録紙を含むことを特徴とする
    請求項１記載の加熱炉内の被加熱面の温度測定装置。
JP24746497A 1997-08-29 1997-08-29 加熱炉内の被加熱面の温度測定装置 Expired - Lifetime JP3218389B2 (ja)

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