JPH117320A - ステージ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 位置決め後、ステージを固定するに際し、常
に安定した吸着が可能であり高精度な位置決めを実現す
ることができるステージ装置を提供すること。 【解決手段】 ステージ基台２上にステージ１を移動可
能に配置し、ステージ１を駆動手段３−１〜３−３で駆
動する。ステージ１の位置決め後、固定手段５の吸着部
材５ａに負圧を供給し、被吸着部材５ｄを吸着してステ
ージ１を固定する。被吸着部材５ｄはステージ１に板ば
ね５ｅにより取り付けられ、その被吸着面はステージ１
の移動面と平行となるように配置される。また、吸着部
材５ａの吸着面は上記被吸着面と平行に配置にされてい
る。板ばね５ｅは、被吸着部材５ｄに対してステージ１
の移動方向と平行な平面内で回転対称に取り付けられ、
被吸着部材５ｄが吸着部材５ａにより吸着されたとき、
板ばね５ｅがたわみ方向に均等に伸び、被吸着部材５ｄ
が平面方向に移動しないように配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は高精度の位置決めス
テージに関するものであり、さらに詳細には、移動ステ
ージを所定の位置に位置決めした後、振動等によりステ
ージの位置がずれるのを防止するため、一時的に移動ス
テージをステージ基台に固定する手段を備えたステージ
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体、プリント基板、液晶画面の生産
のために露光装置が使用される。上記露光装置において
は、マスクとワークに記されたアライメントマークを用
いて露光前に両者の位置合わせを行うが、露光精度を良
くするためにはアライメントの高精度化が必要である。
このため、ワーク／マスクを保持して位置決めをする移
動ステージについても、０．１μｍ程度の高い位置決め
精度が要求されるようになっている。移動ステージの位
置決め精度が低くなる要因の一つに、移動ステージを駆
動部によって位置決めして停止させた際、外部から加わ
る振動、駆動部の制御系に不安定さにより、移動ステー
ジの位置がずれることが上げられる。

【０００３】上記問題を解決するため、この種のステー
ジ装置には、通常、移動ステージを位置決めしたのち、
移動ステージを、ステージ基台（移動ステージが取り付
けられている基台）に対して固定する手段が設けられて
いる。図７は上記固定手段を備えた従来のステージ装置
の一例を示す図であり、同図（ａ）はステージ装置の上
面図、同図（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面、同図
（ｃ）は（ｂ）の点線で囲んだ部分の拡大図である。同
図において、１００は移動ステージ（以下、ステージと
いう）であり、ステージ１００は、ステージ基台１０１
上に移動案内１０３を介して移動可能に取り付けられて
おり、駆動部１０２によりＸＹθ方向（Ｘはステージ面
に平行な方向、Ｙはステージ面に平行でＸに直交する方
向、θはＸＹ平面に直交する軸の回りの回転）に移動す
る。

【０００４】１０４は固定手段であり、同図（ｂ）
（ｃ）に示すように、板ばね１０４ｂを介してステージ
基台１０１に取り付けられた吸着部材１０４ａを備えて
おり、吸着部材１０４ａはステージ１００の裏面に設け
られた被吸着部材１００ａに対向し、僅かに離間してい
る。また、吸着部材１０４ａには凹部１０４ｃが設けら
れ、凹部１０４ｃは貫通孔１０４ｄ、管路１０４ｅを介
して真空排気手段に連通している。同図において、駆動
部１０２により移動ステージ１００を位置決めしたの
ち、真空排気手段により管路１０４ｅ、貫通孔１０４ｄ
を介して吸着部材１０４ａの吸着口１０４ｃを負圧にす
る。これにより、板ばね１０４ｂにより取り付けられた
吸着部材１０４ａは板ばね１０４ｂを変形させながら上
方に移動し、ステージ１００の裏面の被吸着部材１００
ａに吸着する。その結果、ステージ１００は移動しない
ように固定される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の位置決
めステージでは、吸着部材１０４ａが板ばね１０４ｂに
固定されているため、吸着部材１０４ａに直結する管路
１０４ｅにより板ばね１０４ｂに力が加わると、吸着部
材１０４ａが傾き、下記のように吸着部材１０４ａによ
り被吸着部材１００ａを吸着できなかったり、位置決め
精度が大きく低下する場合がある。

【０００６】（１）板ばね１０４ｂに、垂直な方向の力
が加わるだけであれば、吸着部材１０４ａの吸着面と被
吸着部材１００ａは平行状態を保ち問題が生じないが、
管路１０４ｅの支持の仕方によっては、ほとんどの場
合、板ばね１０４ｂに対して傾斜した力が加わる。その
結果、板ばね１０４ｂの面方向の分力が発生し、図８に
示すように板ばねが複雑にたわむ。このため、吸着面と
被吸着面の平行が保たれず、両者間に間隙の大きな部分
ができる。吸着面と被吸着面の間隙は５μｍ〜１５μｍ
程度が望ましく、これ以上間隙が大きくなると、吸着面
と被吸着面との空間が充分減圧されず、吸着部材１０４
ａが被吸着部材１００ａを吸着できない場合が生ずる。

【０００７】（２）また、吸着部材１０４ａが被吸着部
材１００ａを吸着できたとしても、吸着面が傾いている
と、吸着部材１０４ａの一端が被吸着部材１００ａの被
吸着面に接触したのち、吸着面全体が被吸着面に吸着す
ることになり、被吸着部材１００ａを吸着する際、ステ
ージ１００が位置決め位置からずれ、最悪の場合は、１
０μｍ程度、ステージが位置決め位置からずれる場合が
ある。 （３）さらに、管路１０４ｅの支持の仕方によっては、
吸着のために管路１０４ｅから排気する際、排気管内が
大気圧から真空になることにより、排気管１０４ｅが衝
撃的に動き、この力が吸着部材をさらに傾けることがあ
る。これがステージ１００のずれ量をさらに大きくす
る。

【０００８】本発明は上記した従来技術の問題点を考慮
してなされたものであって、位置決め後、ステージを固
定するに際し、常に安定した吸着が可能であり、高精度
な位置決めを実現することができ、しかも構造が簡潔な
ステージ装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
課題を次のようにして解決する。 （１）ステージ基台と、上記ステージ基台上に配置さ
れ、ステージ基台面に対して平行な平面内で移動可能に
案内されたステージと、上記ステージを移動および／ま
たは回転させるステージ駆動手段と、上記ステージとス
テージ基台を直接固定する固定手段とを備えたステージ
装置において、固定手段を次のように構成する。被吸着
面がステージの移動面と平行となるように配置された被
吸着部材を、上記移動面と平行な平面内で、回転対称に
取り付けられた板ばねを介してステージもしくはステー
ジ基台に固定する。また、これに対向する吸着部材を、
その吸着面が上記被吸着面と平行を成すようにステージ
基台もしくはステージに固定する。

【００１０】ここで、板ばねを回転対称に取り付けると
は、板ばねを被吸着部材の中心を回転軸として２π／ｎ
（ｎ：２以上の整数）回転しても全く同じ状態に取り付
けられることである。これにより、板ばねのたわみによ
って板厚方向に発生する引張力が相殺され、被吸着部材
は吸着部材により吸着されるとき、上記平面に対して垂
直方向だけに平行移動し上記平面内では変位しない。上
記のような被吸着部材と吸着部材から構成される固定手
段を用いることにより、排気管の状態に影響を受けるこ
となく、吸着面と被吸着面を常に平行に保つことができ
る。このため、常に安定した吸着が可能となり、また、
吸着時にステージが位置ずれを起こすことがないので、
位置決め精度を向上することができる。

【００１１】（２）上記板ばねとして、円環状もしくは
円板状のものを用いる。円環状もしくは円板状の板ばね
は、２枚の板ばねよりねじれに対して強いので、吸着
時、被吸着部材に不均等な力が加わっても被吸着部材が
傾くことがなく、一層、安定した吸着を可能とし、位置
決め精度の向上を図ることができる。 （３）上記ステージを多段構成とし、上記固定手段によ
り最上段のステージとステージ基台を固定する。

【００１２】

【発明の実施形態】以下、本発明の実施の形態について
説明する。 （１）実施例１ 図１は本発明の第１の実施例のステージ装置の構成を示
す図であり、図１（ａ）は本実施例のステージ装置を上
面から見た図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図
である。図１（ａ）（ｂ）において、１はステージ、２
はステージ基台であり、ステージ基台２上に移動案内４
−１，４−２，４−３が設けられ、移動案内４−１，４
−２，４−３を介してステージ１が移動可能に取り付け
られている。ステージ１は駆動部３−１，３−２，３−
３によりＸＹθ方向（Ｘはステージ面に平行な方向、Ｙ
はステージ面に平行でＸに直交する方向、θはＸＹ平面
に直交する軸の回りの回転）に駆動される。

【００１３】５は固定手段であり、固定手段５はステー
ジ１とステージ基台２の間に設けられており、固定手段
５によりステージ１とステージ基台２が相互に移動しな
いよに固定することができる。図２（ａ）（ｂ）（ｃ）
（ｄ）は上記固定手段５の構成を示す図であり、同図
（ａ）は図１（ｂ）に示した固定手段５を拡大した図、
同図（ｂ）は図１（ｂ）において、Ｂ−Ｂ方向からステ
ージ１の裏面を見た図、同図（ｃ）（ｄ）は他の実施例
を示している。固定手段５は、図２（ａ）に示すよう
に、ステージ基台２に取り付けられた吸着部材５ａと、
ステージ１の裏面側に２枚の板ばね５ｅを介して対称に
取り付けられた被吸着部材５ｄから構成されており、吸
着部材５ａと被吸着部材５ｄとは僅かに離間させてお
く。また、吸着部材５ａの吸着面と被吸着部材５ｄの被
吸着面はステージ１の移動面と平行になるように配置さ
れる。

【００１４】吸着部材５ａの吸着面には吸着口５ｃが形
成され、吸着口５ｃは管路５ｂを介して図示しない真空
排気手段に連通している。また、被吸着部材５ｄは図２
（ｂ）に示すように、ステージ１の裏面に設けられた凹
部１ａに２枚の板ばね５ｅを介して取り付けられてい
る。板ばね５ｅの取り付け部分上には抑え板５ｆが設け
られ、板ばね５ｅは抑え板５ｆとともにねじ等でステー
ジ１および被吸着部材５ｄに固定されている。２枚の板
ばね５ｅは同一形状、同一材質であり、被吸着部材５ｄ
が吸着されるとき、被吸着部材５ｄがステージ１の移動
面に対して垂直方向にのみ平行移動し、水平方向には変
位しないように回転対称に取り付けられ、位置ずれを起
こすことなく、ステージ１とステージ基台２を固定する
ことができる。

【００１５】吸着部材５ａ、被吸着部材５ｄの材質とし
ては、相互の摩擦係数が大きいものを使用するのが望ま
しく、例えば、吸着部材５ａ、被吸着部材５ｄとしてと
もにステンレスを使用することができる。なお、図２
（ａ）（ｂ）では２枚の板ばね５ｅにより被吸着部材５
ｄを取り付ける場合を示したが、図２（ｃ）に示すよう
に１枚の板ばねを用い、１枚の板ばねの両端をステージ
１の裏面に設けられた凹部１ａの両側に取り付け、上記
板ばねの中央部に被吸着部材５ｄを取り付けてもよい。
この場合、板ばねとして作用する部分は２箇所であるの
で、機能的には２枚の板ばねと同等である。

【００１６】また、上記実施例では、被吸着部材として
方形状のものを使用する場合について説明したが、円形
の被吸着部材を用い、板ばねとして後述する円環状もし
くは円板状のものを用いてもよい。さらに、後述するよ
うに３枚の板ばねから構成してもよく、要は、被吸着部
材５ｄが吸着されるとき、被吸着部材５ｄがステージ１
の移動面に対して垂直方向にのみ移動し、水平方向には
変位しないように回転対称に取り付けられる板ばねを使
用すればよい。さらに、図２（ｄ）に示すように、被吸
着部材５ｄの被吸着面と板ばね５ｅの面が略同一平面に
なるように取り付けてもよい。このような構成にするこ
とにより、吸着時、仮に被吸着部材５ｄが傾いたとして
も、図２（ａ）に示す被吸着面と板ばね５ｅの面が同一
面でない場合に比べ、ステージ１の位置ずれ量を小さく
することができる。

【００１７】本実施例のステージ装置の位置決めは次の
ように行われる。 (a) 固定手段５によるステージ１とステージ基台２の固
定を解除する。 (b) 駆動部３−１，３−２，３−３を駆動して、ステー
ジ１をＸＹθ方向に移動させ、ステージ１の位置決めを
行う。 (c) 上記位置決め終了後、図示しない真空排気手段によ
り、管路５ｂを負圧にして、吸着部材５ａにより被吸着
部材５ｄを吸着する。 板ばね５ｅはそれぞれ回転対称に取り付けられ、２枚の
板ばね５ｅは同一形状、同一材質であるので、被吸着部
材５ｄは吸着されるとき、被吸着面に直交する方向にの
み移動する。上記のように吸着部材５ａにより被吸着部
材５ｄを吸着することにより、ステージ１はステージ基
台２に固定され、位置決め後、ステージ１が振動等によ
り移動することがない。

【００１８】以上のように、本実施例においては、吸着
部材５ａをその吸着面がステージ１の移動方向に平行な
平面上にあるようにステージ基台２に固定し、被吸着部
材５ｄを回転対称に取り付けられた同一形状、同一材質
の２枚の板ばね５ｅにより、その被吸着面がステージ１
の移動方向に平行な平面上にあるようにステージ１に取
り付けているので、被吸着部材５ｄをその被吸着面に対
して垂直方向にのみ移動させることができ、常に吸着部
材５ａと被吸着部材５ｄの吸着面を平行に保つことがで
きる。また、板ばね５ｅで取り付けられた被吸着部材５
ｄには排気管が接続されていないので、排気管により板
ばね５ｅに傾斜した力が加わることがない。このため、
被吸着部材５ｄを吸着できないといった問題が生ずるこ
とがなく、また、吸着時にステージ１が位置ずれを起こ
すこともなく、高精度な位置決めを行うことが可能とな
る。

【００１９】（２）実施例２ 露光装置等に使用されるマスクを保持するステージにお
いては、ステージの中央部にマスクを介して露光光を透
過させるための窓部が設けられている。本実施例は上記
窓部を有するステージに適用するに好適な実施例を示し
ている。図３は本実施例のステージ装置の構成を示す図
であり、図３（ａ）は上面から見た図、図３（ｂ）は図
３のＡ−Ａ断面図である。図３において、１はステー
ジ、２はステージ基台であり、ステージ１、ステージ基
台２の中央には、露光光を透過させるための窓部１ｗ，
２ｗが設けられ、ステージ１の裏面側に真空吸着手段等
のマスク保持手段が設けられている。ステージ基台２上
には、移動案内４−１，４−２，４−３が設けられ、移
動案内４−１，４−２，４−３を介してステージ１が移
動可能に取り付けられており、ステージ１は駆動部３−
１，３−２，３−３によりＸＹθ方向に駆動される。

【００２０】５−１，５−２，５−３は固定手段であ
り、固定手段５−１，５−２，５−３はステージ１とス
テージ基台２の間に設けられており、固定手段５−１，
５−２，５−３によりステージ１とステージ基台２が相
互に移動しないように固定することができる。上記のよ
うに固定手段を複数設けることにより、ステージを回転
させるような、大きなモーメントの力が働いた場合で
も、確実にステージを固定することができる。本実施例
の固定手段５−１，５−２，５−３は前記した第１の実
施例の固定手段と同一の構成を備え、前記したように真
空排気手段より固定手段５−１，５−２，５−３に負圧
を供給することにより、ステージ１とステージ基台２を
吸着固定することができる。

【００２１】本実施例のステージ装置の位置決め動作
は、前記した第１の実施例と同様であり、ステージ１と
ステージ基台２の固定を解除したのち、駆動部３−１〜
３−３によりステージ１を移動させステージ１の位置決
めを行う。ついで、固定手段５−１，５−２，５−３に
負圧を供給して、ステージ１とステージ基台２の固定を
行う。以上のように本実施例においては、露光光を透過
させる窓部を有するステージ装置において、被吸着部材
５ｄと吸着部材５ａから構成される固定手段５をステー
ジ装置の窓部１ｗ，２ｗの周辺部に配置し、上記固定手
段５の被吸着部材５ｄを、回転対称に取り付けられた同
一形状、同一材質のそれぞれ２枚の板ばね５ｅにより、
その被吸着面がステージ１の移動方向と平行な平面上に
ある吸着部材５ａの吸着面と平行になるようにステージ
１に取り付けているので、第１の実施例と同様、被吸着
部材５ｄは、上記平面に対して垂直方向にのみ平行移動
し水平方向には変位せず、また、常に吸着部材５ａと被
吸着部材５ｄの吸着面が平行に保たれるので、高精度な
位置決めを行うことができる。

【００２２】（３）実施例３ 本実施例は、ＸＹ方向に移動するステージの上に、回転
ステージが設置された多段構成のステージ装置に本発明
を適用した実施例を示している。図４、図５は本実施例
のステージ装置の構成を示す図であり、図４（ａ）は上
面から見た図、図４（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図、図
５（ａ）は図４（ｂ）をＢ−Ｂ方向から見た図である。
図４、図５において、ステージ基台２上には、移動案内
４−１，４−２，４−３が設けられ、移動案内４−１，
４−２，４−３を介して中間ステージ６が移動可能に取
り付けられており、中間ステージ６はステージ基台２に
取り付けられた駆動部３−１，３−２，３−３によりＸ
Ｙ方向に駆動される。

【００２３】また、中間ステージ６上には、回転案内７
−１，７−２，７−３が設けられており、回転案内７−
１，７−２，７−３によりステージ１が回転可能に支持
されている。さらに、中間ステージ６上には駆動部３−
４が設けられており、駆動部３−４の駆動端はステージ
１に設けられた突起部１ｐに係合しており、ステージ１
は、駆動部３−４により回転駆動される。５は固定手段
であり、固定手段５はステージ１とステージ基台２の間
に設けられており、固定手段５によりステージ１をステ
ージ基台２に固定することができる。なお、中間ステー
ジ６が移動できるように、中間ステージ６には開口部６
ａが設けられており、固定手段５は開口部６ａを貫通し
てステージ基台３上に立設されており、開口部６ａの内
径は、固定手段５の外径より大きく形成されている。本
実施例の固定手段５の構成は基本的には前記第１の実施
例と同じであるが、本実施例においては板ばねとして円
環状のものを使用している。

【００２４】図５は上記固定手段５の被吸着部材５ｄの
取り付け態様を示す図である。同図（ａ）に示すよう
に、ステージ１の裏面側の設けられた凹部１ａに円環状
の板ばね５ｅ’が取り付けられ、被吸着部材５ｄは上記
円環状の板ばね５ｅ’の内周部に取り付けられている。
また、板ばね５ｅ’の取り付け部分上には抑え板５ｆが
設けられ、板ばね５ｅ’は抑え板５ｆとともにねじ等で
ステージ１および被吸着部材５ｄに固定されている。板
ばね５ｅ’は第１の実施例と同様、回転対称に取り付け
られ、被吸着部材５ｄが吸着されたとき、被吸着部材５
ｄは被吸着面に垂直な方向にのみ移動する。

【００２５】なお、上記説明では、円環状の板ばねを用
いる場合について説明したが、図５（ｂ）に示すように
円板状の板ばねを使用し、円板状の板ばねの中央部に被
吸着部材５ｄを取り付けてもよい。さらに、板ばねとし
て図６に示すように、３枚の板ばねを１２０°の間隔で
配置したものを使用してもよい。本実施例のステージ装
置の位置決め動作は、前記した第１の実施例と同様であ
り、ステージ１とステージ基台２の固定を解除したの
ち、駆動部３−１，３−２によりステージ１を移動させ
るとともに、駆動部３−３によりステージを回転さステ
ージ１の位置決めを行う。ついで、固定手段５に負圧を
供給して、ステージ１とステージ基台２の固定を行う。

【００２６】以上のように本実施例においては、ＸＹ方
向に移動するステージの上に、回転ステージが設置され
たステージ装置において、ステージ１とステージ基台２
の間に、被吸着部材５ｄと吸着部材５ａから構成される
固定手段５を設け、上記固定手段５の被吸着部材５ｄ
を、回転対称に取り付けられた円環状もしくは円板状の
板ばね５ｅ’によりステージ１に取り付けているので、
第１に実施例と同様、常に吸着部材５ａと被吸着部材５
ｄの吸着面を平行に保つことができ、高精度な位置決め
を行うことができる。特に、本実施例においては、円環
状もしくは円板状の板ばね５ｅ’を使用して被吸着部材
５ｄを取り付けているので、前記第１、第２の実施例に
示した２枚の板ばねを使用する場合よりねじれに対して
強く、吸着固定に際して吸着時の板ばねによる保持力が
強化され、さらに全方位にわたって保持力が均一化され
る。

【００２７】なお、上記第１〜第３の実施例において
は、ステージ側に板ばねを介して取り付けた被吸着部材
を設け、ステージ基台側に吸着部材を設ける場合につい
て説明したが、ステージ側に吸着部材を設け、ステージ
基台側に板ばねを介して取り付けた被吸着部材を設けて
も同様の効果を得ることができる。また、第１、第３の
実施例において、固定手段を第２の実施例のように複数
設けてもよい。固定手段を複数設けることにより、前記
したようにステージを回転させるような外力が加わった
場合でも、確実にステージを固定することができる。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、ステージ基台と、上記ステージ基台上に配置され、
ステージ基台面に対して平行な平面内を移動可能に案内
されたステージと、上記ステージを移動させるステージ
駆動手段と、上記ステージとステージ基台を直接固定す
る固定手段とを備えたステージ装置において、固定手段
を、真空排気手段に連通した管路と、該管路を負圧にす
ることにより近接する部材を吸着する吸着部材と、該吸
着部材に近接して配置された被吸着部材から構成し、吸
着部材をステージもしくはステージ基台の一方に直接取
り付け、被吸着部材が板ばねを介して上記ステージもし
くはステージ基台の他方に取り付け、また、吸着部材と
被吸着部材の吸着面を、上記ステージの移動方向に平行
な平面上に配置し、上記板ばねを前記したように回転対
称に取り付けたので、排気管の状態に影響を受けること
なく、吸着面と被吸着面を常に平行に保つことができ、
また吸着に際して被吸着部材の吸着面内での変位をほと
んどなくすことができる。このため、常に安定した吸着
が可能となり、また、吸着時にステージが位置ずれを起
こすことがないので、位置決め精度を向上することがで
きる。また、板ばねを円環状、円板状とすることによ
り、吸着時の板ばねによる力が強化され、さらに全方位
にわたって均一化され、一層、安定した吸着を可能と
し、位置決め精度の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。

【図２】図１に示した固定手段の構成を示す図である。

【図３】本発明の第２の実施例を示す図である。

【図４】本発明の第３の実施例を示す図である。

【図５】本発明の第３の実施例を示す図である。

【図６】板ばねを１２０°間隔で取り付けた実施例を示
す図である。

【図７】固定手段を備えた従来のステージ装置の構成を
示す図である。

【図８】図７において、吸着部材が傾いたときの板ばね
の状態を示す図である。

【符号の説明】

１ ステージ １ａ 凹部 １ｐ 突起部 １ｗ，２ｗ 窓部 ２ ステージ基台 ３−１，３−２，３−３ 駆動部 ４−１，４−２，４−３ 移動案内 ５，５−１，５−２，５−３ 固定手段 ５ａ 吸着部材 ５ｂ 管路 ５ｃ 吸着口 ５ｄ 被吸着部材 ５ｅ，５ｅ’ 板ばね ５ｆ 抑え板 ６ 中間ステージ ６ａ 開口部 ７−１，７−２，７−３ 回転案内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステージ基台と、 上記ステージ基台上に配置され、ステージ基台面に対し
   て平行な平面内を移動可能に案内されたステージと、 上記ステージを移動させるステージ駆動手段と、 上記ステージとステージ基台を直接固定する固定手段と
   を備えたステージ装置であって、 上記固定手段は、真空排気手段に連通した管路と、該管
   路を負圧にすることにより近接する部材を吸着する吸着
   部材と、該吸着部材に近接して配置された被吸着部材か
   ら構成され、 上記固定手段の吸着部材がステージもしくはステージ基
   台の一方に直接取り付けられ、被吸着部材が板ばねを介
   して上記ステージもしくはステージ基台の他方に取り付
   けられており、 上記固定手段の吸着部材の吸着面と被吸着部材の被吸着
   面は、上記ステージの移動方向に平行な平面上にあり、 上記板ばねは、上記吸着部材により被吸着部材が吸着さ
   れ両者が接近するとき、被吸着部材が上記平面に対して
   垂直方向にのみ平行に移動し、上記平面内では変位しな
   いように上記被吸着部材に対して上記平面内で回転対称
   に取り付けられていることを特徴とするステージ装置。
2. 【請求項２】 上記板ばねが円環状もしくは円板状であ
   ることを特徴とする請求項１のステージ装置。
3. 【請求項３】 上記ステージが多段に構成されており、
   上記固定手段は、最上段のステージとステージ基台を固
   定するものであることを特徴とする請求項１または請求
   項２のステージ装置。