JPH1152265A - 走査光学系 - Google Patents
走査光学系Info
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- JPH1152265A JPH1152265A JP9204814A JP20481497A JPH1152265A JP H1152265 A JPH1152265 A JP H1152265A JP 9204814 A JP9204814 A JP 9204814A JP 20481497 A JP20481497 A JP 20481497A JP H1152265 A JPH1152265 A JP H1152265A
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Abstract
一枚構成のfθレンズを高解像度化し、例えばA3用紙
にも対応できるレンズ性能を持たせる。 【解決手段】 次の非球面式でfθレンズを設計する。 【数7】 但し、Cx、K、An、Cy、Bm、Ky、Gjを任意係数、
u、v、wを整数とする。 で表され、fθレンズの入
射面又は出射面の形状を表現する非球面式において、Σ
An|Xn|、ΣBm|Xm|及びΣGjX2j の夫々に、奇
数次と偶数次を含む任意項を用いて、1枚構成で設計す
る。
Description
ンズに関する。
リ等の印字ユニットに使用される走査光学系Aは、一般
に、図10に示すような構成を有する。
蔵したLDユニットで、細く絞ったビーム光2を出射す
る。3は第1光学系で、ビーム光2を副走査方向(感光
ドラムの回転方向)にのみ収束する。4はポリゴンミラ
ーで、回転することによってビーム光を主走査方向に振
り分ける。5はfθレンズからなる第2光学系で、主走
査方向(感光ドラムの軸方向)と副走査方向の収束を行
ない、感光ドラム等の感光体6上に、収束した結像によ
って静電潜像を形成する。
用の他に、fθ補正[ポリゴンミラーの回転角θ/2と
感光ドラム上の結像の走査位置Xとの関係(X=fθ)
をリニアに保つための補正]の機能を持つ必要がある。
このため、通常は2枚乃至3枚のレンズを組み合わせる
ことが多い。
量化を図るため、1枚構成のfθレンズも考えられてい
る(特開平5−323223号公報)。
また、この公報の発明は、fθレンズの直前に、主走査
方向に延びるスリット状の絞りを設け、副走査方向のF
値がスポットの位置によらず一定になるようにしてい
る。
ンズを用いた場合、その走査光学系の光学性能は、同公
報によれば感光体上のスポット径が120μm以上とな
っている。
いたfθレンズにおいて、非球面式は主走査方向のみに
対応する。副走査方向は単純形状のトーリック面とし、
上記スリット状の絞りとの組み合わせによりF値の一定
化を図っている。しかし、この従来構成では、スポット
径の微小化が困難である等の理由により高解像度化に必
要な性能が得られない。これは、特に、感光体上の走査
幅Lを、例えばA3用紙に対応できるように長くするた
め、投影倍率を大きくする場合に問題となる。
式に工夫をすることにより、スリットを設けることな
く、1枚構成であっても上記高解像度化が容易に可能と
なるfθレンズを提供することを目的とする。
たビーム光を、回転するポリゴンミラーで反射し、ビー
ム光の収束とfθ補正を行うfθレンズを通して、感光
体上に走査・結像させる走査光学系において、上記fθ
レンズを、
u、v、wを整数とする。で表され、fθレンズの入射
面又は出射面の形状を表現する非球面式において、ΣA
n|Xn|、ΣBm|Xm|及びΣGjX2jの夫々に、奇数
次と偶数次を含む任意項を用いて、1枚構成で設計した
ことを特徴とする。
副走査方向位置Yに対するレンズ面の光軸方向高さZを
表わすもので、この非球面式によって定義されるfθ
レンズのレンズ面は、主走査方向(X軸)及び副走査方
向(Y軸)に沿う形状が、夫々自由曲線である。
式の第1項と第2項の和
式の第3項
数)と離心率Kで表される基本曲線を表わし、この曲線
に第2項のXを変数とする複数のn次曲線を加算合成す
ることによって、図4(b) に示すように主走査方向Xに
変化する自由曲線を作っている。
曲率Cy(半径Ryの逆数)と離心率Ky に、X方向位置
に応じた変化を与える項である。すなわち、1にXを変
数とする複数のm次関数を加算し、この和を曲率Cy に
係数として掛けている。また、1にXを変数とする複数
の(2j)次関数の和を加算した値を、離心率Ky に係
数として掛けている。
えることによって、主走査方向位置Xに応じて、離心率
と曲率を変化させ、図4(c) に示すように、副走査方向
Yに沿う自由曲線を所望形状にすることができる。
示すように、光源から出たビーム光が、fθレンズの光
軸に対し主走査方向に角度αをもってポリゴンミラーに
入射する場合は、fθレンズの入射面及び出射面を、夫
々主走査方向に2分割して得られる4面を、上記非球面
式を個別に適用し異なる係数を持つものとして別々に設
計し、左右非対称のfθレンズとすることができる。
も、レンズ面は中心部において左右の面が連続につなげ
られる。これは、左右の面のCx、K、Cy、Ky に共通
の値を用いることによってなされる。このことは、上記
式に、レンズ中心部のX座標値0を代入してみれば理
解できることである。
面形状は、主走査方向(X軸)及び副走査方向(Y軸)
の夫々を、所望の自由曲面に設計できるので、スポット
径の縮小及びリニアリティの向上を始めとする高解像度
化に必要なレンズ性能を容易に得られるようになる。
曲線を決定するn次関数、副走査方向(Y軸)に沿う形
状の離心率を主走査方向位置Xに応じて任意に変化させ
る2j次関数、及び副走査方向(Y軸)に沿う形状の曲
率を主走査方向位置Xに応じて任意に変化させるm次関
数に、偶数次に加え、走査光学系用のfθレンズにおい
て従来使われていない奇数次項を含めてレンズ形状の豊
かな表現を可能としている。
が大きくなっても、一枚構成のfθレンズによって高解
像度化が達成できる。
設計精度を得るための条件について述べる。n次関数の
和(ΣAn|Xn|)、m次関数の和(ΣBm|Xm|)、
及び2j次関数の和(ΣGjX2j)の設計に用いる項の
数は、少ない方が短時間で設計することができるが、あ
る程度多くしないと、高い精度を得ることができない。
また、用いる次数は低い方が設計を容易にすることがで
きるが、ある程度高い次数を用いないと、精度を高くす
ることができない。
て、ΣAn|Xn|に18個以上の項を用い、ΣBm|Xm
|に11個以上の項を用い、ΣGjX2jに6個以上の項
を用いることであり、用いる次数について、ΣAn|Xn
|に20次以上の項を含み、ΣBm|Xm|に12次以上
の項を含み、ΣGjX2jに12次以上の項を含むことで
ある。
方の条件を満たすことを考慮して、上記基準を適用する
と、例えば、ΣAn|Xn|に3次から20次までの18
個の項を用い、ΣBm|Xm|に2次から12次までの1
1個の項を用い、ΣGj X2jに2次から12次までの6
個の項を用いることができる。
が、fθレンズの光軸と交差する方向から行われる場合
(角度αを持つ)は、fθレンズの入射面と出射面の夫
々を左右非対称とし、各面毎に非球面式を立てることに
より、ポリゴンミラーの反射位置が反射角度によって変
化することによる結像点のずれによる光学性能への悪影
響の除去を適切に行なうことができる。
の全体構成を示す。この実施例には、本発明の非球面式
を用いて設計したfθレンズが組み込まれている。
を作り出すLDユニット、8は第1光学系で、ビーム光
の収束を、主として副走査方向(感光ドラムの回転方
向)に対して行い、これに比べると小さな収束率で主走
査方向にも行う。9は光偏光器であるポリゴンミラー、
10はfθレンズからなる第2光学系、11は印字ドラ
ム等の感光体を示す。図1を設計例の諸値が適用される
部分を明らかにする等のため書き換えて図2に示す。な
お、同図において、光軸はポリゴンミラーを境にして折
れ曲がっているので、第1光学系と第2光学系の座標軸
を別々に示す。
導体レーザ12、レーザー光を平行光に近づける(完全
に平行光化する場合を含む)コリメータレンズ13、絞
り14から構成される。この第1光学系8は、次式に基
づいて設計された非球面トーリックレンズが使用され
る。
う回転軸を中心として回転し、その回転軌跡としてトー
リック面を形成する曲線を定義したものである。すなわ
ち、原点位置におけるX方向の曲率半径Rx に、この式
の値Zを加算した値が、トーリック面のY軸の各点にお
けるX方向の曲率半径となる。
形成したもので、回転することにより、入射したビーム
光を主走査方向X(感光ドラムの軸方向)に振分けるよ
うに偏向する。
を用いて設計したfθレンズで、主走査方向X及び副
走査方向Yの双方の収束を行なうと同時に、fθ補正を
行って、収束したビーム光を感光体11上に走査・結像
させる。
挙げ、その光学的性能を、説明する。
る第1光学系8と、fθレンズからなる第2光学系10
は、夫々1枚構成のものであり、光学系全体でfθ特性
のfは169.93647mm、感光体6上の走査幅L
は−150mm〜+175mmである。
波長780nm(各光学系の屈折率は1.521224
となる)のものを使用し、これをf=8mm のコリメ
ータレンズ13を使用して平行光化した後、主走査方向
が3.0mm で副走査方向が1.897mmの楕円形状
の絞り14を用いて、トランケート比(LD波形)を主
走査方向で0.367、副走査方向で0.728としてい
る。
34.6で、外周の反射面を6面体としたものである。
ズは、図2において、入射面 8R1と出射面 8R2を、
非球面トーリックとしたもので、その形状は、次の曲率
半径Rx、非球面係数An、及び離心率Kで定義される。
で、X方向とあるのは主走査方向、Y方向とあるのは副
走査方向を意味する。
ゴンミラー9から感光体11に向かって左右の部分を、
本発明の前記非球面式によって別々に設計し(次の
[表1〜表4]に、非球面式の各係数を示す)、左右非
対称としている。これは、LDユニット7が側方に配置
され、ポリゴンミラー9における反射点が移動すること
による感光体11上の結像点の位置ずれによる光学性能
への悪影響を吸収補正するためである。
射側を示し、ポリゴンミラー9から感光体11を見て、
マイナス側は左側、プラス側は右側を意味する(X,
Y,Z軸とfθレンズの各面との対応関係は図2,図4
を参照)。
に示すようになる。
示すように、主走査方向で 68.6μm〜 72.6μ
m、副走査方向で68〜72μmとなり、そのバラツキ
は±2μm以下となる。
おいて、最大エネルギーの部分を100%とし、1/e
2=13.5%以上のエネルギー照射量がある範囲の径を
測ったものである。
行技術の120μmよりも、かなり小さくできることに
より、高解像度の印字が可能になる。
mmにおけるリニアリティは、図7に示すように、 0.
06mm以下の範囲内に収まり、一枚構成のfθレンズ
で高い精度が得られることがわかる。
に、走査幅L=−150mm〜+175mmの範囲にお
いて、面倒れ60secに対し副走査方向の結像位置ず
れを±3μm以下にできる。
幅L=−150mm〜+175mmの範囲において、ス
ポット光のピーク値(100%)に対して4%以下とな
る。ここで小山とは、感光体に照射されるスポット光の
強度分布がガウス分布にならず、その外延部に現れる小
さなピークをいい、このピーク(小山)が大きくなる
と、本来光が当たらない所に光が照射され印字品質が低
下する。
は、本発明がA3用紙対応にするため、一枚構成のfθ
レンズで走査幅をL=−150mm〜+175mmと大
きく取っているにもかかわらず、従来のA4用紙対応の
走査光学系と同程度のものである。すなわち、本発明に
よれば、一枚構成のfθレンズで印字品質を低下させず
に用紙サイズを大きくできる。
び副走査方向の両方向を所望の非球面に設計でき、かつ
その設計の自由度が高い非球面式によって形成されたf
θレンズを組込むので、一枚構成のfθレンズで、高解
像度化に必要なスポット径の微小化及びリニアリティの
向上が可能になる。
り、側方に配置した光源からポリゴンミラーにビーム光
を照射したときの反射点の移動による結像位置のずれに
よる光学性能への悪影響をなくすことができる。
き直した図
の座標軸とレンズ形状の関係を示す図
の座標軸とレンズ形状の関係を示す図
走査方向と副走査方向について示した図
発生状況を示す図
Claims (5)
- 【請求項1】 光源から発したビーム光を、回転するポ
リゴンミラーで反射し、ビーム光の収束とfθ補正を行
うfθレンズを通して、感光体上に走査・結像させる走
査光学系において、 上記fθレンズを、 fθレンズと光軸の交点を原点とし、光軸方向をZ軸、
主走査方向をX軸、副走査方向をY軸としたとき、 【数1】 但し、Cx、K、An、Cy、Bm、Ky、Gjを任意係数、
u、v、wを整数とする。で表され、fθレンズの入射
面又は出射面の形状を表現する非球面式において、ΣA
n|Xn|、ΣBm|Xm|及びΣGjX2j の夫々に、奇数
次と偶数次を含む任意項を用いて、1枚構成で設計した
ことを特徴とする走査光学系。 - 【請求項2】 ΣAn|Xn|に18個以上の項を用い、
ΣBm|Xm|に11個以上の項を用い、ΣGjX2j に6
個以上の項を用いたことを特徴とする請求項1記載の走
査光学系。 - 【請求項3】 ΣAn|Xn|に20次以上の項を含み、
ΣBm|Xm|に12次以上の項を含み、ΣGjX2j に6
次以上の項を含むことを特徴とする請求項1記載の走査
光学系。 - 【請求項4】 ΣAn|Xn|に3次から20次までの1
8個の項を用い、ΣBm|Xm|に2次から12次までの
11個の項を用い、ΣGjX2jに2次か ら12次までの
6個の項を用いたことを特徴とする請求項1記載の走査
光学系。 - 【請求項5】 光源から出たビーム光が、fθレンズの
光軸に対し主走査方向に角度をもってポリゴンミラーに
入射する場合において、 fθレンズの入射面及び出射面を、夫々主走査方向に2
分割して得られる4面を、上記非球面式を個別に適用し
異なる係数を持つものとして別々に設計し、左右非対称
のfθレンズとしたことを特徴とする請求項1〜4のい
ずれか1項に記載した走査光学系。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002139669A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-05-17 | Olympus Optical Co Ltd | 結像光学系 |
JP2003075751A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Minolta Co Ltd | タンデム走査光学系 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7034859B2 (en) * | 2002-08-08 | 2006-04-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning device and image forming apparatus using the same |
SE0302191D0 (sv) * | 2003-03-10 | 2003-08-11 | Staffan Gunnarsson | Transponder med infrarödteknik |
TWM263503U (en) * | 2004-06-25 | 2005-05-01 | E Pin Optical Industry Co Ltd | fthetalens structure for laser scanning devices |
CN100434964C (zh) * | 2004-11-03 | 2008-11-19 | 一品光学工业股份有限公司 | 激光扫描装置的fθ镜片的制法 |
JP5046760B2 (ja) * | 2007-07-04 | 2012-10-10 | キヤノン株式会社 | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
CN101566726B (zh) * | 2008-04-23 | 2010-12-22 | 一品光学工业股份有限公司 | 微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片 |
JP5651935B2 (ja) * | 2008-08-28 | 2015-01-14 | 株式会社リコー | 画像処理装置 |
KR102614491B1 (ko) * | 2018-03-26 | 2023-12-15 | 엘지전자 주식회사 | 전자기력 구동 방식을 이용한 Tripod MEMS 스캐너 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07111501B2 (ja) * | 1990-06-15 | 1995-11-29 | キヤノン株式会社 | fθレンズ及びそれを用いた画像形成装置 |
JP3117524B2 (ja) * | 1992-02-05 | 2000-12-18 | 富士写真光機株式会社 | 面倒れ補正機能を有する走査光学系 |
KR0144427B1 (ko) * | 1994-11-30 | 1998-10-01 | 이형도 | 광 주사장치 |
JP3458980B2 (ja) * | 1994-12-06 | 2003-10-20 | 株式会社リコー | 光走査装置 |
JP3252708B2 (ja) * | 1995-05-31 | 2002-02-04 | キヤノン株式会社 | 光学素子及びそれを用いた走査光学装置 |
JPH09105859A (ja) * | 1995-10-09 | 1997-04-22 | Nippon Hikyumen Lens Kk | 走査光学系 |
US5729475A (en) * | 1995-12-27 | 1998-03-17 | Romanik, Jr.; Carl J. | Optical system for accurate monitoring of the position and orientation of an object |
JPH09185006A (ja) * | 1996-01-06 | 1997-07-15 | Canon Inc | 走査光学装置 |
JP3604852B2 (ja) * | 1996-12-28 | 2004-12-22 | キヤノン株式会社 | 走査光学装置及びレーザービームプリンタ |
US6067106A (en) * | 1997-04-16 | 2000-05-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus |
JP3559684B2 (ja) * | 1997-06-13 | 2004-09-02 | キヤノン株式会社 | 光学素子及びそれを用いた走査光学装置 |
-
1997
- 1997-07-30 JP JP9204814A patent/JPH1152265A/ja active Pending
-
1998
- 1998-07-29 WO PCT/JP1998/003378 patent/WO2004086115A1/ja active Application Filing
- 1998-07-29 US US09/269,190 patent/US6330524B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002139669A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-05-17 | Olympus Optical Co Ltd | 結像光学系 |
JP2003075751A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Minolta Co Ltd | タンデム走査光学系 |
JP4576778B2 (ja) * | 2001-09-05 | 2010-11-10 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | タンデム走査光学系 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6330524B1 (en) | 2001-12-11 |
WO2004086115A1 (ja) | 2004-10-07 |
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