JPH11512827A - 非汚染性本体を有する圧力センサモジュール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 絶縁膜（３４）を有する非汚染性の圧力トランスジューサモジュール（１０）につき開示する。絶縁膜（３４）はトランスジューサモジュール（１０）内の圧力センサをモジュール（１０）内の導管を流過する流体への露呈から隔離する。トランスジューサモジュール（１０）は腐食性材料を有する流体流動回路内にインラインで配設することができ、圧力トランスジューサモジュール（１０）は流体流動回路のゲード圧もしくは絶対圧のいずれかに比例した制御信号を発生する。本発明の圧力トランスジューサモジュール（１０）はさらに流動回路中への微粒子、望ましくないイオンまたは蒸気の導入を回避する。

Description

【発明の詳細な説明】 非汚染性本体を有する圧力センサモジュール 発明の背景 Ｉ． 発明の技術分野 本発明は一般に圧力トランスジューサに関するものである。より詳細には本発 明は、化学腐食性の流体流動回路にインライン接続しうる圧力トランスジューサ モジュールに関するものであり、ここで使用する圧力センサは非汚染性トランス ジューサ本体内の流体流動回路から隔離されている。 ＩＩ． 関連技術の説明 半導体の製造に際し、これらを製造すべく使用される材料の汚染に対する感受 性は半導体製造業者が直面する重大な問題である。各種の加工システムが、これ ら感受性材料の処理の間に発生する異粒子および蒸気の量を減少させるように設 計されている。半導体ウェファーは損傷性微粒子および薬品から隔離することが 重要である。 損傷性汚染物の全ゆる発生源を排除する試みでは、半導体ウェファーを処理す べく使用する装置は必ずこの目標を考慮して設計されている。第１に、処理装置 の各種の部品は一般に、発生する微粒子の量を減少させると共に処理薬品を汚染 作用から隔離するように設計される。一般に、処理装置は、この装置を監視し且 つ制御する際に使用されるクローズドループフィードバックに接続された監視お よび検知装置を備える。さらに、これら監視および検知装置は導入されうる全ゆ る汚染を排除すべく設計せねばならない。 半導体ウェファーの処理の間、高度に腐食性の有害薬品が一般に使用される。 これらの薬品を使用する場合、処理環境内またはその近傍において極めて苛酷な 条件に遭遇しうる。この種の腐食性大気環境は監視および検知装置に対し極めて 重大である。さらにこの監視および検知装置は、腐食性大気環境に露呈される結 果としてウェファー損傷性微粒子、イオンもしくは蒸気を伝達しうる。この種の 監視装置に従来使用されている金属は腐食性環境に対し長時間にわたり確実には 耐えることができない。したがって、監視および検知装置には代替材料を組み込 まねばならない。 腐食性の高い環境は、有害薬品が処理装置に供給される際に発生しうる。液体 輸送システムは、これら薬品を供給タンクからポンピングおよび調整ステーショ ンを介し処理装置自体へ搬送する。パイプ、チューブ、弁および付属品、並びに 関連装置を包含する液体薬品輸送システムは、しばしば毒性薬品の劣化作用に対 し耐性であるプラスチックで形成されている。勿論、機械的なものは全て潜在的 な漏れを生じ、この種の漏れは半導体ウェファーもしくは他の製品の処理および 該処理装置に従事すると共に維持せねばならない作業員の両者に対し極めて有害 な条件をもたらしうる。したがって、薬品輸送システムは漏れを回避するように 設計せねばならない。さらに監視および検知装置は微粒子、望ましくないイオン または蒸気が処理工程に導入されることを回避するように設計せねばならないセ ンサを組み込みうる。 保護膜により流体流路から分離されるインラインの機械的流体圧力対応計器が 当業界で知られている。この計器は、センサ流体が満たされたキャビティを有す るハウジング内に内蔵される。キャビティは流体流路の近くに形成されて保護膜 により分離される。キャビティ内に含有されるセンサ流体は典型的にはシリコー ン油である。流体流路内の圧力変化はキャビティ内の油圧力に影響を及ぼす。こ の油圧力は機械的圧力対応計器により検出される。 キャビティ内の流体は典型的には大きい熱膨脹率を有して、保護膜における大 きい撓み変化をもたらす。前記保護膜における大きい撓み変化は、キャビティ内 の流体が流体流路中へ漏れて流動回路を汚染する傾向を増大させる。さらに、圧 力計の精度はセンサ流体の大きい熱膨脹率によりマイナス作用を受ける。したが って、汚染性流体を流体流動回路中へ漏出させないインライン型の圧力計が必要 である。さらに、精度が流体流動回路内の熱変化により影響を受けない圧力計が 必要である。 コリンス等は、米国特許第５，３１６，０３５号（以後、’０３５特許として 参照する）において、腐食性大気環境におけるキャパシタンス近接監視装置の使 用について説明している。前記’０３５特許の一つの実施例では、キャパシタン ス近接装置は、たとえば配管用の弁もしくはカップリングなどの機能的装置に組 み込まれると説明されている。キャパシタンス近接装置は装置の機能的部分とし て作用すると共に、所定領域内に検知フィールドを形成する。次いで、これを使 用して所定領域内の電気特性の変化を所定領域を通過した各種の流体として決定 する。液体標的媒体が存在する際の検知領域の変化に関連する電流と、液体標的 媒体が存在しない際の配管系における空気もしくはガスとを対比することにより 、標的媒体の存在もしくは不存在の指示を生成する。複雑な弁は、しばしば、処 理流体の流路中へ漏出して汚染する流体を含む。 前記’０３５特許は、処理装置の薬品輸送システム内における種々の圧力を決 定しうる装置を開示してはおらず、考慮もしていない。薬品輸送システムにおけ る圧力の監視が幾つかの理由から有用である。第１に、システム内の圧力変化は システム内の漏れを示唆しうる。第２に、輸送システム内の圧力は、所定の安全 性限界を越えないように調整される。第３に、流体流動回路内の圧力は、処理装 置に接続された各種の処理具を作動させるべく制御することができる。 したがって、腐食性材料を有する流体流動回路の内部にインラインで設置しう る非汚染性圧力トランスジューサが必要とされ、この圧力トランスジューサは流 体流動回路のゲージ圧もしくは絶対圧のいずれかを測定する。さらに微粒子、望 ましくないイオンまたは蒸気が流動流路中へ導入されるのを防止する圧力トラン スジューサが必要である。本発明は、関連する従来技術のこれらおよび他の欠点 を解消するものである。発明の要点 本発明の目的は腐食性流体の流動回路にインラインで連結しうる圧力トランス ジューサモジュールを提供することであり、ここで流動回路内のゲージ圧もしく は絶対圧を測定することができる。圧力トランスジューサモジュールは非汚染性 の本体内に圧力センサを備える。好適な実施例において、圧力トランスジューサ モジュールの各部品はハウジング、キャップ、電気コネクタ、圧力取付部、絶縁 膜、圧力センサ、電子回路、スペーサリングおよび据付リングを包含する。 ハウジングのキャップは、このキャップの内表面およびハウジングの外表面に 形成された各ネジを係合させることによりハウジングに着脱自在に取り付けられ る。電気的なコネクタはカバーに装着されて、ハウジング内の電気的リード線を カバーが取り付けられた際に外部コンダクタと係合させることができる。 ハウジングは貫通孔部を備えて、トランスジューサを流体流動回路内にインラ イン接続した際に流体が流過する通路もしくは導管を形成する。孔部の各開口端 部には整列して封止自在に圧力用部品が接続される。圧力用部品は化学的には不 活性な材料で作成されると共に、当業者に容易に入手できかつ公知のものである 。さらにハウジングは、孔部と連通するその外表面から延在するキャビティを有 する。キャビティと孔部との交点においてハウジング内に好ましくはリップが形 成される。このリップは、ハウジングの内側寸法よりも小さい内側寸法を有する 。絶縁膜、圧力センサ、電子回路、スペーサリングおよび据付リングは全てハウ ジングのキャビティ内に内蔵される。 絶縁膜は、キャビティ内においてハウジングのリップに対し封止される。この ようにして、ハウジングのキャビティは流体流路から隔離される。絶縁膜は好ま しくは耐腐食性の化学的不活性材料で作成され、テフロンが好適である。圧力セ ンサは絶縁膜に接着、押圧、熱溶着または他の方法で取り付けられる。圧力セン サはキャパシタンス型または圧電式とすることができる。ハウジング内に配置さ れたハイブリッドまたは完全に一体化された電子回路は圧力センサおよび上記コ ネクタに動作可能に連結される。 電子回路は、圧力センサにより検知された情報から流動回路内の圧力の尺度で ある信号を発生する。この電子回路は、流動回路内の温度変化に基づき圧力測定 値を調整する感温部品と組み合わせて使用することもできる。上記したように、 電子センサは電気的リード線により電気的コネクタに連結され、外部電力供給源 とコネクタによって係合する電気的リード線を介し電力を電子回路に伝達するこ とができる。さらに、たとえば計算され圧力に比例した標準的には４〜２０ミリ アンペア信号のようなアナログ出力を他の電気的リード線を介して伝達すること もできる。 絶縁膜および圧力センサは、スペーサリングと据付リングとの組み合わせによ りキャビティ内に内蔵される。据付リングはその表面に形成されたネジを備え、 このネジはキャビティを形成する弁本体の内表面に形成されたネジと係合する。 限定はしないが、ハウジング、絶縁膜、スペーサリングおよび据付リングは、 トランスジューサが熱膨脹を受けた際に漏れを回避すべく同じポリマーで作成さ れる。好適な実施例においては、テトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリ マーが使用される。これらポリマーは磨耗微粒子の量を減少させると共に化学的 に不活性であって非汚染性の圧力トランスジューサモジュールを提供する。目的 したがって、本発明の主たる目的は、流体流動回路にインライン接続するのに 適した非汚染性圧力トランスジューサを提供することにある。 本発明の他の目的は、圧力センサ部品が非汚染性バリヤにより流体流動回路か ら隔離される圧力トランスジューサモジュールを提供することにある。 さらに本発明の他の目的は、圧力センサと直接接触する絶縁膜を備えた圧力ト ランスジューサモジュールを提供することにあり、前記絶縁膜はセンサおよび関 連電子回路を潜在的には腐食性の処理薬品から隔離するように作用すると共に、 汚染性物質が輸送される処理流体に導入されるのを排除する。 さらに本発明の他の目的は、流動回路のゲージ圧もしくは絶対圧を無理なく測 定する圧力トランスジューサを提供することにある。 本発明のこれらおよび他の目的、並びにこれらおよび他の特徴および利点は、 添付図面を参照して説明する以下の好適な実施例の詳細な説明を鑑みれば、当業 者には一層明らかとなるであろう。図面において同じ参照符号は対応部品を意味 する。図面の説明 第１図は、圧力トランスジューサの斜視図であり、 第２図は、第１図に示す種類の圧力トランスジューサの側面図であり、 第３図は、キャップを取り外した第１図に示す種類の圧力トランスジューサモ ジュールの部分断面側面図であり、 第４図は、第３図に示す圧力トランスジューサモジュールの拡大部分断面図で あり、 第５図は、第１図乃至第３図のアセンブリで使用された可撓性膜の斜視図であ り、 第６図は、絶縁部材に当接するアルミナセラミック製容量型圧力計の側面図で あり、 第７図は、本発明の他の実施例による代案としての好ましい圧力トランスジュ ーサモジュールの拡大部分断面側面図であり、 第８図は、他の代案としての好ましい圧力トランスジューサモジュールの拡大 部分断面側面図であり、 第９図は、さらに他の好ましい圧力トランスジューサモジュールの拡大部分断 面側面図であり、 第１０図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トランスジューサモジュー ルの拡大部分断面側面図であり、 第１１図は、本発明により作成されたさらに他の圧力トランスジューサモジュ ールの拡大部分断面側面図であり、 第１２図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トランスジューサモジュー ルの拡大部分断面側面図であり、 第１３図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トランスジューサモジュー ルの拡大部分断面側面図であり、 第１４図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トランスジューサモジュー ルの拡大部分断面側面図であり、 第１５図は、さらに他の代案としての好ましい圧力トランスジューサモジュー ルの拡大部分断面側面図である。好適な実施例の詳細な説明 最初に第１図および第２図を参照する。圧力トランスジューサモジュールは、 一般に、参照符号１０により特定される。圧力トランスジューサはベース１２を 備えて示され、このベース１２は圧力トランスジューサモジュール１０を処理装 置（図示せず）に装着する際に使用される。モジュールは一般にハウジングもし くは本体１４と圧力部品部１６および１８とカバーもしくはキャップ２０とを備 える。公知の構造を有する電気コネクタ２２をカバー２０に着脱自在に取り付け ることができる。圧力部品部１６および１８はトランスジューサ本体１４に対す る入口および出口として作用すると共に公知の構造を有する。 当業者は圧力トランスジューサハウジングが各種の形状を有しうることを認識 するであろうが、一般に図示した円筒形状が好適である。円筒状の圧力トランス ジューサ本体は容易に作成され、流体はトランスジューサ内の円筒状孔部もしく はキャビティを一層容易に流過する。ハウジング１４およびカバー２０は、好ま しくは、化学的に不活性な非汚染性ポリマー（たとえばポリテトラフルオロエチ レン）で作成される。 カバーは内表面に形成されたネジを有して、ハウジングの外表面に形成された 第３図に参照符号２４で示すネジと係合する。したがって、カバーをハウジング にネジ付けすることができ、さらに適用するｏ−リングシール（図示せず）をそ の間に位置せしめて、カバーはハウジングに対し気密封止することができる。第 ２図に示した口部２６はハウジング壁部に貫通形成され、これによりハウジング の内部への排出口とする。口部２６は、ハウジング内に内蔵された圧力センサに よりゲージ圧を測定することができる。この種の口部を用いなければ、流体流動 回路内の絶対圧が測定される。圧力トランスジューサの各部品の格別な特徴につ き以下説明する。 第３図および第４図を参照して、圧力トランスジューサの内部構造を示す。孔 部２８はハウジングを貫通延在して導管を形成し、これにより圧力トランスジュ ーサモジュール１０が圧力部品部１６および１８を介し流体流動回路とインライ ン接続された際に、孔部２８は流体流動回路内の通路として作用する。孔部の開 口部の一端部は入口を形成すると共に、孔部の他端部は流体流動回路に対する出 口を形成する。流体流動回路内の圧力トランスジューサモジュールの方向は、圧 力トランスジューサの効果に影響を与えることなく逆転させることもできる。 キャビティ３０は、ハウジング２０の外表面から孔部２８まで全体的に延在す る。キャビティ３０および孔部２８が交差するハウジング内の領域の近傍には環 状リップ３２を形成する。リップ３２はさらに孔部からキャビティへの開口部を 画成する。さらに、以下に説明するように、リップは各種の形状を有することが できる。 薄い可撓性ポリマーの円盤膜３４をキャビティのリップ３２上に位置せしめる 。好適な実施例において、ハウジング１４と可撓性膜３４との両者はテトラフル オロエチレンフルオロカーボンポリマーから作成される。この種のテトラフルオ ロエチレンフルオロカーボンポリマーの一種はイ．アイ．デュポン・ネモアスに よりテフロン（商標）のもとに販売されている。好適な実施例において、円盤膜 は、好ましくは内部にピンホール通路を残しうるスプレー、或いは他の方法より もむしろ成形される。圧力トランスジューサモジュールを完全に組み立てれば、 可撓性膜とハウジングリップ３２との間の環状表面接触部は気密シールがその間 に形成されるように構成される。 次に第５図を参照すると、薄い可撓性のテフロン膜３４が一層詳細に示されて いる。限定はしないが、膜は好ましくは０．００１〜０．０４０インチの範囲の 厚さを有するよう構成される。上表面３６は溝部もしくはチャンネルのパターン を形成するように研磨される。次いで、膜の上表面３６を圧力センサ４０のベー ス３８に押圧すれば、センサベース３８と膜との間に形成されるであろう全ゆる エアポケットが軽減されて、膜と圧力センサ４０との間の一層緊密な接触を可能 にする。スペーサ５０のフランジ５２およびｏ−リング５４は、センサ４０とｏ −リング５４とスペーサ５０との間に僅かな空隙部を与えるような寸法とする。 スペーサ５０の内表面はさらにそこに形成された溝部もしくはチャンネルのパタ ーンを有して、放出された空気がキャビティの中央領域中へ逸散する通路を形成 する。 さらに第３図および第４図に示すように、圧力センサ４０は可撓性膜３４の頂 部に設置される。圧力センサは当業者に知られたキャパシタンス型または圧電式 とすることができる。圧力センサのベース３８は膜と直接接触し、さらに接着剤 、熱溶着または他の公知の手段により膜に圧力接触させ或いは接着することがで きる。 第６図に一般的に示した一つの実施例において、アルミナセラミック圧力セン サは薄い一般に柔軟性のセラミックシート４２で構成され、このシートはより厚 い非柔軟性のセラミックシート４６の間に挟持された隔離スペーサリング４４を 備える。第１の薄いセラミックシートもしくはダイヤフラムは厚さ約０．００５ 〜０．０５０インチであり、典型的には０．０２０インチの厚さである。より厚 いセラミックシートは０．１００〜０．２００インチの範囲の厚さを有する。ス ペーサは適するポリマーで作成することができる。セラミック円盤４２および４ ６の対向面はたとえば金、ニッケルもしくはクロムのような金属により金属処理 されて、キャパシタのプレートを形成する。同様な容量型圧力トランスジューサ がベル等により米国特許第４，１７７，４９６号（以下、’４９６特許として参 照する）に記載されている。前記’４９６特許に説明されているものと同様な他 の容量型圧力トランスジューサも入手でき、当業界において公知である。 再び第４図を参照して、電子回路モジュール４８をセラミック圧力センサ４０ の上部に位置せしめ、セラミック圧力センサの導電性表面に電気的に連結する。 さらに電子回路モジュール４８を適するリード線（図示せず）によりコネクタ２ ２の離間接点に接続する（第１図）。好適な実施例において電気コネクタ２２は 化学的に不活性な材料から作成され、好ましくはニューマチコ（Pneumatico）社 から入手しうるタイプのパーツＮｏ．ｐｏ３ｒｓｄ−００００４−２４とするこ とができる。 電子回路モジュール４８は流動回路内の圧力に比例した制御信号を発生し、こ れには部材４２に対し作用する流体圧力によって前記部材４２の変形に基づいて キャパシタンスの変化に関連した圧力センサ４０から受信されるアナログ情報を 用いる。電子回路はさらに、サーミスタなどの部品を含ませることにより、流動 回路内の温度が変化する際に圧力を調整することもできる。 第３図および第４図において、カップ形状のスペーサ部材５０を圧力センサ４ ０の上部に配置して、圧力センサ４０の上表面に力を加えることによりセンサを 膜３４に対し扁平に保持する。さらにスペーサ５０は円形状のフランジ５２（第 ４図参照）を備え、これは膜３４およびキャビティのリップ３２に対し力を伝達 する。ｏ−リング５４をセンサのフランジ５２と膜との間に位置せしめることが でき、そのエラストマー特性により力をスペーサ部材５０から膜に対し移動させ て膜を環状部およびキャビティリップ３２に対し把持することができる。ネジ付 き据付リング５６をハウジングもしくは本体１４のキャビティの内ネジに対し係 合関係を有して回転させることにより、スペーサ部材５０を係合させると共にこ れを圧力センサ４０および膜３４に対し押圧させる。 デッドスペースを減少させるには、可撓性膜が孔部２８の空腔部から離間した 距離「ｄ」（第４図）を最小に保つべきである。デッドスペースの減少は、残骸 の蓄積および汚染の機会を減少させる。さらにデッドスペースの減少は、気泡が デッドスペースに捕獲され、次いで突然に流動回路中へ放出される機会を減少し もしくは排除する。デッドスペースからのこれら気泡の放出は半導体加工に対し マイナス作用を有する。空腔部の内径「Ｄ」は２^*（ｄ）を越えてはならない。 理想的には、寸法ｄは測定値において寸法Ｄよりずっと小さい。 第７図は、スペーサ部材５０が参照符号５８のような丸みのある縁部を有する 代案としての実施例を示す。丸みのある縁部はスペーサ５０の力を可撓性膜３４ およびキャビティのリップ３２に対し集中させるよう作用する。この配置は、さ らに、ｏ−リング５４の必要性をも排除する。しかしながら、ｏ−リング５４を 膜とリップ３２との間に設置することもできる（第１３図参照）。スペーサ５０ のフランジ５２およびｏ−リング５４は、センサ４０とｏ−リング５４とスペー サ５０との間に僅かな空隙部を形成するような寸法とする。さらにスペーサ５０ の内表面はそこに形成された溝部もしくはチャンネルのパターンを有して、放出 された空気が逸散するための通路を形成することもできる。さらにスペーサ５０ ’は、中心セクションを貫通延在する孔部を有することによりハウジングのキャ ビティ中へ通路を延ばすことができる。 第８図は、キャビティのリップ３２’がステップ付きである他の好適な実施例 を示す。ｏ−リング５４は、スペーサ部材５０により圧縮されると、ステップの 形状に一致して可撓性膜３４を押圧し或いは力を加えて、これを屈曲させると共 にステップ付きリップ３２の形状まで成形して流体の浸入に対しシールを形成す る。さらに他の実施例において、ｏ−リング５４は膜とリップ３２’との間に設 置することもできる（第１５図参照）。 第９図は、スペーサ部材フランジ５２の端部に丸みを付けた他の好適な実施例 を示し、フランジはｏ−リング５４に対し押圧され、次いでｏ−リングを可撓性 膜３４に対し押圧する。 第１０図は、ｏ−リングシール５４’がリップ３２’内に形成された環状溝部 もしくは凹部６０内に内蔵されるさらに他の好適な実施例を示す。可撓性膜３２ はｏ−リング５４’に対し押圧されてリップ３２’の縁部を封止することにより 、流動回路の流体がハウジングのキャビティ中へ漏れるのを防止する。この遮蔽 構造は、流体流動圧力が大気圧以下である環境において好適である。この種の環 境において、遮蔽構造はｏ−リングが流体流動回路中へ引き込まれる可能性を排 除する。 第１１図は、環状リッジ６２がリップ３２の表面に沿って形成されたさらに他 の実施例を示す。膜をリップに対し圧縮すれば、膜はリッジの形状に一致する。 このようにして、効果的なシールが膜シートとハウジングリップとの間に形成さ れる。 第１２図は、ｏ−リング５４を膜３２の下の下側ステップに位置せしめてなる リップが多重ステップを有するさらに他の実施例を示す。ｏ−リング６８を収容 する外側溝部６６とｏ−リング７２を収容する内側溝部７０を有する付加的な環 状封止リング６４は、ハウジング１４と圧力センサ４０との間に付加的なシール を形成する。この付加された環状封止リング６４は、頂部ステップ７４と第１ス ペーサリング７６との間に位置せしめて示される。スペーサ部材５０は第１スペ ーサリング７６と圧力センサ４０との両者に直接接触する。このようにして、ハ ウジングの内部は、膜３２と圧力センサ４０との間に形成されたシールとは無関 係に流体回路から封止される。排液チャンネル７８がハウジング１４を貫通して 外部表面まで延在する。排液チャンネル７８は頂部ステップ７４とシール５４が 接触する下側ステップとの間に設置される。流動回路からの流体がｏ−リング５ ４を介して漏出すれば、排液チャンネル７８はこの流体をセンサ４０の汚染また は悪影響なしにハウジングから排液することを可能にする。 ｏ−リング５４を流体流動回路側に位置せしめる場合（第１０図および第１２ 図乃至第１５図参照）、ｏ−リングは化学的に不活性な材料で作成せねばなせら ない。たとえばデュポン・ネモアス・インコーポレーテッドから入手しうるカル レッツ（KALREZ）のようなペルフルオロエラストマーがこの目的に適している。 たとえばグリーン、ツイード・アンド・カンパニー・インコーポレーテッドから 入手しうるエラストマーＰＴＦＥであるケミラッツ（CHEMRAZ）のような他の材 料も同等に適している。 本発明の構造的特徴につき説明したが、使用の態様につき以下説明する。 使用者は圧力トランスジューサモジュール１０を圧力部品部１６および１８を 介し流体流動回路に連結する。流体が流動回路を流過する際、圧力はその関数と して圧力センサ４０の薄いセラミックプレート３８を歪め、したがってセラミッ ク圧力センサのキャパシタンスを変化させる。キャパシタンスにおける変化は流 動回路内の圧力に関連する。このキャパシタンスの変化は電気回路４８により検 出され、次いで圧力に比例したアナログ信号を発生する。ゲージ圧もしくは絶対 圧も同等に測定することができる。 当業者は、トランスジューサ出力を較正して最小出力値を最小圧力に関連させ ると共に最大出力値を最大圧力に関連させうることを認識するであろう。たとえ ば、０〜１００ｐｓｉｇ（ポンド／平方インチゲージ）を測定することを意図し たトランスジューサは、０ｐｓｉｇにおいて４ｍＡ（ミリアンペア）および１０ ０ｐｓｉｇにおいて２０ｍＡを読み取るように較正することができる。 圧力センサのセラミックダイヤフラム３８と緊密に接触する不活性のテフロン 膜を設けることにより、作業流体はセンサの表面と接触せずに汚染をもたらさな い。説明した封止構造は、作業流体がハウジング１４のキャビティに流入して電 子回路に悪影響を及ぼさないように確保する。 以上、本発明を特許条項に従い且つ従来技術と比較し、新規な特徴を与えると 共に必要とされる特殊部品を作成および使用するのに必要な情報を当業者に示す ために極めて詳細に説明した。しかしながら、本発明は、装置の詳細および操作 手順の両者に関し種々異なる装置および各種の改変も可能であり、本発明の範囲 を逸脱することなく各種の改変をなしうることが当業者には了解されよう。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９７年７月２日 【補正内容】 補正請求の範囲 １． 流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力トラ ンスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングからなり、前記ハウジングを貫通する孔部を備えることによ り流体流動導管を形成し、導管の入口端部および出口端部が流体流動回路にイン ライン接続され、さらに前記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面 から前記ハウジングの孔部中へ延在する化学的に不活性なハウジングと、 （ｂ） 前記ハウジングの孔部近傍においてキャビティ内に封入され、第１およ び第２の対向した主表面を有し、前記第１主表面が導管内に流動する流体に露呈 し、封止部材が可撓性膜を前記ハウジングに封止係合させる化学的に不活性な可 撓性膜と、 （ｃ） 流動回路内の圧力を検知するための、前記可撓性膜の第２主平面に対し 隣接すると共に接触する前記キャビティ内に内蔵されて回路内を流動する流体か ら隔離された検知手段と、 （ｄ） 膜および検知手段をハウジングのキャビティ内の固定位置に拘束する手 段と、 （ｅ） ハウジングのキャビティ内に内蔵されると共に流動回路内の圧力変化を 検知する手段に連結されて、孔部内の圧力に比例した電気信号を発生する電子回 路と を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ２． 前記拘束手段がスペーサと据付リングとを備え、据付リングがキャビティ の内表面に形成されたネジと係合する外表面に形成されたネジを有し、前記スペ ーサが前記検知手段と前記据付リングとの間に位置し、据付リングがキャビティ の内表面に対しネジ付けられた際に据付リングに対しスペーサを検知手段に押圧 する請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ３． キャビティに対し被覆関係においてハウジングに取り付けるのに適したキ ャップをさらに備え、キャップが電子回路に電気連結された化学的に不活性な電 気コネクタを備える請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール 。 ４． 前記膜がテトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーから作成され る請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ５． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから製造 される請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ６． 前記化学的に不活性なポリマーがポリテトラフルオロエチレンからなる請 求の範囲第５項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ７． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから作成 される請求の範囲第４項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ８． 検知手段がアルミナセラミック製ダイヤフラムセンサからなる請求の範囲 第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ９． 検知手段が圧電式センサからなる請求の範囲第１項に記載の圧力トランス ジューサモジュール。 １０． 電子回路が、流動回路内の温度変動を補償すべく制御信号を調整するた めの手段を備える請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １１． 前記膜がこの膜の上表面に形成された複数のチャンネルを備え、前記チ ャンネルが前記膜の縁部に沿った第１の位置から前記膜の前記縁部に沿った第２ の離間位置まで延在する請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュ ール。 １２． 流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力ト ランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングを貫通する孔部を有して導管を形 成し、導管の入口端部および出口端部が流体流動回路にインライン接続され、さ らに前記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハウジング の孔部中へ延びるキャビティを有するハウジングと、 （ｂ） 前記ハウジングの孔部近傍においてキャビティ内に内蔵され膜がこの膜 の上表面に形成された複数のチャンネルを備え、前記チャンネルが前記膜の縁部 に沿った第１の位置から前記膜の前記縁部に沿った第２の離間位置まで延びる化 学的に不活性な可撓性膜と、 （ｃ） 前記可撓性膜と接触する圧力センサのある部分が配置された前記キャビ ティ内に内蔵される圧力センサと、 （ｄ） 膜および圧力センサをハウジングのキャビティ内の固定位置に拘束し、 圧力センサを流体流動回路に流動する流体から隔離する拘束手段と、 （ｅ） ハウジングのキャビティ内に内蔵されると共に圧力センサに作動的に連 結されて、電子回路が孔部内の圧力に比例した制御信号を発生する電子回路と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 １３． 前記拘束手段がスペーサおよび据付リングを備え、据付リングがキャビ ティの内表面に形成されたネジと係合する外表面に形成されたネジを有し、前記 スペーサが前記圧力センサと前記据付リングとの間に位置し、据付リングをキャ ビティの内表面に対しネジ付けた際に据付リングがスペーサを圧力センサに対し 押圧する請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １４． キャビティに対し被覆関係においてハウジングに取り付けるのに適した キャップをさらに備え、キャップが電子回路に電気的に連結された化学的に不活 性な電気コネクタを備える請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモ ジュール。 １５． 前記膜がテトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーから製造さ れる請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １６． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから製 造される請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １７． 前記化学的に不活性なポリマーがポリテトラフルオロエチレンからなる 請求の範囲第１６項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １８． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから製 造される請求の範囲第１５項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １９． 電子回路が、流動回路内の温度変動を補償すべく制御信号を調整する手 段を備える請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ２０． 流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力ト ランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングを貫通する孔部を有して流体流動 導管を形成し、導管の入口端部および出口端部が流体流動回路にインライン接続 され、さらに前記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハ ウジングの孔部中へ延びるキャビティを有するハウジングと、 （ｂ） 流体流動回路内の圧力を検知するための、前記キャビティ内に内蔵され る検知手段と、 （ｃ） 前記ハウジングの孔部近傍において前記ハウジング内に封止係合し、第 １および第２の対向する主表面を有し、前記第１主表面が導管内を流動する流体 に露呈されると共に第２主表面が前記検知手段に隣接してこれに連通するよう露 呈されることにより、回路内を流動する流体から前記検知手段を作動的に隔離す る化学的に不活性な可撓性膜と、 （ｄ） 膜および検知手段をハウジングのキャビティ内の固定位置に拘束する手 段と、 （ｅ） 前記可撓性膜を前記ハウジングに封止係合させる封止部材と、 （ｆ） 前記ハウジングのキャビティから前記ハウジングの外表面まで延びる排 液チャンネルと、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ２１． ハウジングのキャビティ内に内蔵されて流動回路内の圧力を検知する手 段に連結されることにより、前記ハウジングの孔部内の圧力に比例した電気信号 を発生する電子回路をさらに備える請求の範囲第２０項に記載の圧力トランスジ ューサモジュール。 ２２． 前記ハウジングが、前記ハウジングの外表面から前記ハウジングのキャ ビティ中へ延びる口部をさらに有する請求の範囲第２０項に記載の圧力トランス ジューサモジュール。 ２３． 流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力ト ランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングを貫通する孔部を有して流体流動 導管を形成し、導管の入口端部および出口端部が流体流動回路にインライン接続 され、さらに前記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハ ウジングの孔部中に延びるキャビティを有するハウジングと、 （ｂ） 流体流動回路内の圧力を検知するための、前記キャビティ内に内蔵され る検知手段と、 （ｃ） 前記ハウジングの孔部近傍において前記ハウジング内に封止係合し、第 １および第２の対向する主表面を有し、前記第１主表面が導管内を流動する流体 に露呈されると共に第２主表面が前記検知手段に隣接してこれに連通するよう露 呈されることにより、回路内を流動する流体から前記検知手段を操作隔離する化 学的に不活性な可撓性膜と、 （ｄ） 膜および検知手段をハウジングのキャビティ内の固定位置に拘束する手 段と、 （ｅ） 前記可撓性膜を前記ハウジングに封止係合させる第１の封止部材と、 （ｆ） 前記検知手段を前記ハウジングに封止係合させる第２の封止部材と、 （ｇ） 前記ハウジングのキャビティから前記ハウジングの外表面まで前記第１ 封止部材と第２封止部材との間に延びる排液チャンネルと、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ２４． ハウジングのキャビティ内に内蔵されて流動回路内の圧力を検知する手 段に連結されることにより、前記ハウジングの孔部内の圧力に比例した電気信号 を発生する電子回路をさらに備える請求の範囲第２３項に記載の圧力トランスジ ューサモジュール。 ２５． 前記ハウジングが、前記ハウジングの外表面から前記ハウジングのキャ ビティ中へ延びる口部をさらに有する請求の範囲第２３項に記載の圧力トランス ジューサモジュール。 【手続補正書】 【提出日】１９９９年５月１７日 【補正内容】 補正請求の範囲 １．流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力 トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） 化学的に不活性なハウジングであって、前記ハウジングの少なくとも 一部を貫通する孔部を有し、前記孔部の入口端部が流体流動回路にインライン接 続され、前記ハウジング内部に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハウ ジングの前記孔部に向かって延在するキャビティをさらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記キャビティと前記孔部とを分離し、第１および第２の対向する主 表面を有し、前記第１主表面が前記回路内を流動する流体に露呈され、前記第２ 主表面が前記流動回路内で圧力を検知する非流体伝導手段に近接且つ隣接する化 学的に不活性な可撓性隔離部材と、 （ｃ） 前記流動回路内で圧力を検知するための前記非流体伝導手段は、前記 回路内を流動する流体から隔離されており、 （ｄ） 前記隔離部材および圧力を検知する前記非流体伝導手段を前記ハウジ ングの前記キャビティ内の固定位置に拘束する手段と、 （ｅ） 前記ハウジングの前記キャビティ内に内蔵されて前記流動回路内で圧 力を検知する前記非流体伝導手段に連結され、前記孔部内の圧力に比例した電気 信号を発生させる電子回路と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ２．流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力 トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングを貫通する孔部を有して導管を 形成し、前記導管の入口端部および出口端部が流体流動回路にインライン接続さ れ、前記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハウジング の孔部内へ延在するキャビティをさらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記ハウジングの孔部近傍において前記キャビティ内に内蔵された化 学的に不活性な可撓性膜であって、前記膜の上表面に形成された複数のチャンネ ルを備え、前記チャンネルが前記膜の縁部に沿った第１の位置から前記膜の前記 縁部に沿った第２の離間した位置まで延在する膜と、 （ｃ） 前記可撓性膜と接触する部分を有して前記キャビティ内に内蔵される 圧力センサと、 （ｄ） 前記膜および前記圧力センサを前記ハウジングの前記キャビティ内の 固定位置に拘束し、前記圧力センサを前記流体流動回路で流動する流体から隔離 する拘束手段と、 （ｅ） 前記ハウジングの前記キャビティ内に内蔵されると共に前記圧力セン サに作動可能に連結されて、前記孔部内の圧力に比例した制御信号を発生させる 電子回路と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ３．化学的に腐食性を有する超高純度の流体流動回路内でインライン接続 するのに適した化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングの少なくとも一部を貫通する孔 部を有し、前記孔部の入口端部が流体流動回路にインライン接続され、さらに前 記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハウジングの前記 孔部内に向かって延在するキャビティをさらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記孔部に近接して前記キャビティ内に位置する前記流体流動回路内 の圧力を検知する圧力センサと、 （ｃ） 前記キャビティと前記孔部とを分離する化学的に不活性な隔離部材で あって、第１および第２の対向する主表面を有し、前記第１主表面が前記孔部内 を流動する流体に露呈され、前記第２主表面が前記圧力センサに近接且つ隣接し て前記圧力センサの前記孔部に対する流体の連通を隔離する隔離部材と、 （ｄ） 前記ハウジングに対し前記隔離部材を封止自在に係合させる第１の封 止部材と、 （ｅ） 前記ハウジングに対し前記圧力センサを封止自在に係合させる第２の 封止部材と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ４．流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力 トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングを貫通する孔部を有して流体流 動導管を形成し、前記導管の入口端部および出口端部が流体流動回路にインライ ン接続され、前記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハ ウジングの孔部内に延在するキャビティをさらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記キャビティ内に内蔵されて流体流動回路内の圧力を検知する手段 と、 （ｃ） 前記ハウジングの孔部近傍において前記ハウジング内に封止自在に係 合し、第１および第２の対向する主表面を有し、前記第１主表面が前記導管内を 流動する流体に露呈され、第２主表面が前記検知手段に近接且つ連通するように 露呈されることにより、前記回路内を流動する流体から前記検知手段を作動可能 に隔離する化学的に不活性な可撓性膜と、 （ｄ） 前記膜および前記検知手段を前記ハウジングの前記キャビティ内の固 定位置に拘束する手段と、 （ｅ） 前記可撓性膜を前記ハウジングに封止自在に係合させる第１の封止部 材と、 （ｆ） 前記検知手段を前記ハウジングに封止自在に係合させる第２の封止部 材と、 （ｇ） 前記第１封止部材と第２封止部材との間にあって前記ハウジングの前 記キャビティから前記ハウジングの前記外表面まで延在する排液チャンネルと、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ５．化学的に腐食性を有する超高純度の流体流動回路内でインライン接続 するのに適した化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） 化学的に不活性なハウジングであって、前記ハウジングの少なくとも 一部を貫通する孔部を有し、前記孔部の入口端部が前記流体流動回路にインライ ン接続され、前記ハウジング内部に形成されて前記ハウジングの外表面から前記 ハウジングの前記孔部に向かって延在するキャビティをさらに有するハウジング と、 （ｂ） 前記孔部に近接して前記キャビティ内に位置する前記流体流動回路内 の圧力を検知する非流体伝導圧力センサと、 （ｃ） 前記キャビティと前記孔部を分離する化学的に不活性な隔離部材であ って、第１および第２の対向する主表面を有し、前記第１主表面が前記孔部内を 流動する流体に露呈され、前記第２主表面は、前記圧力センサに近接して前記圧 力センサを前記隔離部材に隣接させ、前記圧力センサの前記孔部に対する流体の 連通を隔離する隔離部材と、 （ｄ） 前記圧力センサに連結され孔部内の前記圧力に比例した電気信号を発 生させる手段と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ６．化学的に腐食性を有する超高純度の流体流動回路内でインライン接続 するのに適した化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） 化学的に不活性なハウジングであって、前記ハウジングの少なくとも 一部を貫通する孔部を有し、前記孔部の入口端部が流体流動回路にインライン接 続され、内部に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハウジングの前記孔 部に向かって延在するキャビティをさらに有するハウジングと、 （ｂ） 前記孔部に近接して前記キャビティ内に位置する前記流体流動回路内 の圧力を検知する非流体伝導圧力センサと、 （ｃ） 前記キャビティと前記孔部とを分離する化学的に不活性な隔離部材で あって、第１および第２の対向する主表面を有し、前記第１主表面が前記孔部内 を流動する流体に露呈され、前記第２主表面は、前記圧力センサに近接且つ隣接 し、前記圧力センサの前記孔部に対する流体の連通を隔離する隔離部材と、 （ｄ） 前記隔離部材を前記ハウジングに封止自在に係合させる第１の封止部 材と、 （ｅ） 前記圧力センサを前記ハウジングに封止自在に係合させる第２の封止 部材と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ７．流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力 トランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングの少なくとも一部を貫通する孔 部を有し、前記孔部の入口端部が流体流動回路にインライン接続され、内部に形 成されたキャビティをさらに有するハウジングと、 （ｂ）前記孔部と前記ハウジングの前記キャビティとを分離する隔離部材と、 （ｃ） 前記ハウジングの前記キャビティに少なくとも部分的に内蔵され、前 記隔離部材と接触する非流体伝導圧力センサと、 （ｄ） 前記孔部内の計測された圧力に比例する信号を発生させる手段と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力トラ ンスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングは貫通する孔部を備えることによ り流体流動導管を形成し、前記導管の入口端部および出口端部が流体流動回路に インライン接続されたハウジングであり、さらに前記ハウジングはその内部に前 記ハウジングの外表面から前記ハウジングの孔部内へ延在するキャビティを有す るハウジングと、 （ｂ） 前記ハウジングの孔部近傍において前記キャビティ内に内蔵され、第１ および第２の対向した主表面を有し、前記第１主表面が導管内に流動する流体に 露呈される化学的に不活性な可撓性膜と、 （ｃ） 流動回路内の圧力変化を検知するための、前記可撓性膜の第２主平面に 対し隣接すると共に接触する前記キャビティ内に内蔵された検知手段と、 （ｄ） 膜および検知手段をハウジングの前記キャビティ内の固定位置に拘束す る手段と、 （ｅ） ハウジングのキャビティ内に内蔵されると共に流動回路内の圧力変化を 検知する手段に連結されて、電子回路が前記孔部内の圧力に比例した電気信号を 発生する電子回路と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ２． 前記拘束手段がスペーサと据付リングとを備え、据付リングがキャビティ の内表面に形成されたネジと係合する外表面に形成されたネジを有し、前記スペ ーサが前記検知手段と前記据付リングとの間に位置し、据付リングがキャビティ の内表面に対しネジ付けられた際に据付リングに対しスペーサを検知手段に押圧 する請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ３． キャビティに対し被覆関係によってハウジングに取り付けるのに適したキ ャップをさらに備え、キャップが電子回路に電気的に連結された化学的に不活性 な電気コネクタを備える請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュ ール。 ４． 前記膜がテトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーから作成され る請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ５． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから形成 される請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ６． 前記化学的不活性なポリマーがポリテトラフルオロエチレンからなる請求 の範囲第５項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ７． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから製造 される請求の範囲第４項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ８． 検知手段がアルミナセラミック製ダイヤフラム容量型センサからなる請求 の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ９． 検知手段が圧電式センサからなる請求の範囲第１項に記載の圧力トランス ジューサモジュール。 １０． 電子回路が、流動回路内の温度変動を補償すべく制御信号を調整するた めの手段を備える請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １１． 前記膜がこの膜の上表面に形成された複数のチャンネルを備え、前記チ ャンネルが前記膜の１つの縁部から前記膜の他の離間した縁部まで延在している 請求の範囲第１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １２． 流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力ト ランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングを貫通する孔部を有して導管を形 成し、導管の入口端部および出口端部が流体流動回路にインライン接続され、さ らに前記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハウジング の孔部中へ延在するキャビティを有するハウジングと、 （ｂ） 前記ハウジングの孔部の近傍において前記キャビティ内に内蔵された化 学的に不活性な可撓性膜と、 （ｃ） 前記可撓性膜に隣接すると共にこれに対向するダイヤフラムを配置した 前記キャビティ内に内蔵されるアルミナセラミック製ダイヤフラム容量型センサ と、 （ｄ） 膜および検知手段をハウジングのキャビティ内の固定位置に拘束する手 段と、 （ｅ） ハウジングのキャビティ内に内蔵されると共に流動回路内の圧力変化を 検知する手段に作動的に連結されて、電子回路が孔部内の圧力に比例した制御信 号を発生する電子回路と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 １３． 前記拘束手段がスペーサおよび据付リングを備え、据付リングがキャビ ティの内表面に形成されたネジと係合する外表面に形成されたネジを有し、前記 スペーサが前記容量性アルミナセラミック製ダイヤフラムセンサと前記据付リン グとの間に位置し、据付リングをキャビティの内表面に対しネジ付けた際に据付 リングがスペーサを容量型アルミナセラミック製ダイヤフラムセンサに対し押圧 する請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １４． 前記キャビティに対し被覆関係においてハウジングに取り付けるのに適 したキャップをさらに備え、前記キャップが電子回路に電気的に連結された化学 的に不活性な電気コネクタを備える請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジ ューサモジュール。 １５． 前記膜がテトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーから製造さ れる請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １６． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから製 造される請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １７． 前記化学的に不活性なポリマーがポリテトラフルオロエチレンからなる 請求の範囲第１６項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １８． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから製 造される請求の範囲第１５項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 １９． 電子回路が流動回路内の温度変動を補償すべく制御信号を調整する手段 を備える請求の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ２０． 前記膜がこの膜の上表面に形成された複数のチャンネルを備え、前記チ ャンネルが前記膜の一つの縁部から前記膜の他の離間した縁部まで延在する請求 の範囲第１２項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ２１． 流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力ト ランスジューサモジュールにおいて、 （ａ） ハウジングであって、前記ハウジングを貫通する孔部を有することによ り、流体流動回路にインライン接続するのに適した入口端部および出口端部を有 する流動回路を形成し、前記ハウジング内に形成されて前記ハウジングの外表面 から前記ハウジングの孔部中へ延在するキャビティをさらに有するハウジングと 、 （ｂ） 前記ハウジングの孔部近傍においてキャビティ内に内蔵された化学的に 不活性な可撓性膜と、 （ｃ） 前記可撓性膜に隣接すると共にこれに接触する前記キャビティ内に内蔵 された圧電式圧力センサと、 （ｄ） 膜および検知手段をハウジングのキャビティ内の固定位置に拘束する手 段と、 （ｅ） ハウジングのキャビティ内に内蔵されると共に流動回路内の圧力変化を 検知する手段に連結されて、電子回路が孔部内の圧力に比例した制御信号を発生 する電子回路と、 を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール 。 ２２． 前記拘束手段がスペーサと据付リングとを備え、据付リングがキャビテ ィの内表面に形成されたネジと係合する外表面に形成されたネジを有し、前記ス ペーサが前記圧電式センサと前記据付リングとの間に位置し、据付リングをキャ ビティの内表面に対しネジ付けた際に据付リングがスペーサを圧電式センサに対 し押圧する請求の範囲第２１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ２３． キャビティに対し被覆関係においてハウジングに取り付けるのに適した キャップをさらに備え、キャップが電子回路に電気的に連結された化学的に不活 性な電気コネクタを備える請求の範囲第２１項に記載の圧力トランスジューサモ ジュール。 ２４． 前記膜がテトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーから製造さ れる請求の範囲第２１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ２５． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから製 造される請求の範囲第２１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ２６． 前記化学的に不活性なポリマーがポリテトラフルオロエチレンからなる 請求の範囲第２５項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ２７． 前記ハウジングおよび前記拘束手段が化学的に不活性なポリマーから製 造される請求の範囲第２４項に記載の圧力トランスジューサモジュール。 ２８． 電子回路が、流動回路内の温度変動を補償すべく制御信号を調整するた めの手段を備える請求の範囲第２１項に記載の圧力トランスジューサモジュール 。 ２９． 前記膜がこの膜の上表面に形成された複数のチャンネルを備え、前記チ ャンネルが前記膜の一つの縁部から前記膜の他の離間した縁部まで延在する請求 の範囲第２１項に記載の圧力トランスジューサモジュール。