JP5079492B2 - 環状静電容量式圧力センサ - Google Patents
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Description
本発明は、流体の流れに関連する圧力または差圧を測定するための圧力センサに関する。さらに具体的には、本発明は、静電容量式環状エレメントを用いて、流体の圧力または流体の流れ方向および流量を測定するための圧力センサに関する。
圧力センサおよび流量センサは、多くの異なった用途に用いることができる。工業用プロセス制御環境において、たとえば、圧力センサは、ゲージ圧力、絶対圧力等を測定するために利用することができる。加えて、流量センサは、たとえば、プロセス流体の流量を測定して、流量表示計、制御部、および流量測定部へ流量信号を供給するために用いることができる。明細書中で用いられる用語「流体」とは、液体とガスとの双方、およびそれらの組み合わせをいう。
パイプ内のプロセス流体の圧力を測定するための圧力センサは、電極およびダイヤフラムを有する。電極は、パイプの内壁と一体化されている。ダイヤフラムは、電極の少なくとも一部分を覆うように延び、プロセス流体の圧力に反応する電極に関連して動くように構成されている。電極とダイヤフラムとの間の静電容量は、プロセス流体の圧力に関連する。
図1は、処理プラントの一例を描写し、本発明の静電容量式および差圧式流量センサ10を用いることができる環境を図示している。流量センサ10は、パイプ12とインライン状に設置されている。流体の流れは、パイプ12を通して矢印(A)で示される方向へ流れる。流体センサ10は、流体の圧力低下を感知し、これを用いてパイプ12を通過する流体の流量を測定することができる。明細書中に用いられる用語「流体」およびフレーズ「流体の流れ」は、液体およびガスの双方を指す。したがって、流体の流れとは、液体またはガスでもよい。
ここで、Rは開口部46の内径であり、Wは流体の流れ方向(A)の静電容量電極50の幅であり、dは静電容量電極50に関連するダイヤフラムの平均的な変位である。このように、センサ28内部の360°全体にわたって静電容量の変化が測定される。
ここで、
Qm=質量流量
Qv=体積流量
N=単位変換係数(定数)
Cd=一次エレメント流出係数(スロート部の形状に関連する)
Y=気体の膨張係数(液体については、Y=1.0)
d=一次エレメントスロート部直径
β=一次エレメントベータ比(パイプ領域に対するスロート領域の比率)
ρ=流体密度
h=差圧センサ22により測定された差圧の絶対値
である。マイクロプロセッサ66はさらに、流体の流れ方向および流量を示す流量信号を、I/Oポート68を通して生成するよう構成されている。前述のとおり、流量信号を制御システム16(図1)に伝送することができる。
Claims (21)
- 導管内のプロセス流体の圧力を測定するため、前記導管中に挿入される圧力センサであって、
プロセス流体を受ける円環状の導電性容器と、
前記導電性容器の内壁を覆うように延びる電気絶縁体と、
前記電気絶縁体に一体化しかつ前記導電性容器と絶縁された電極と、
前記電極を覆うように延び、前記導電性容器の内壁と同一平面で結合し、かつ前記導電性容器を通過するプロセス流体の流れと全体的に平行であり、プロセス流体の圧力に応じて電極に関連して動くよう構成されたダイヤフラムとを含み、
前記電気絶縁体、前記電極および前記ダイヤフラムが前記導電性容器の内壁全周にわたって延びており、
前記電極と前記ダイヤフラムとの間の静電容量がプロセス流体の圧力に関連する圧力センサ。 - 前記電気絶縁体および前記電極が前記プロセス流体の流れ方向において前記導電性容器の内壁の一部に延びている、請求項1記載の圧力センサ。
- 前記ダイヤフラムが前記プロセス流体の流れ方向において前記導電性容器の内壁の一部に延びている、請求項2記載の圧力センサ。
- 前記導電性容器の内壁と一体化した温度センサであって、流体温度を測定し、流体の温度を示す温度信号を生成する温度センサ
をさらに含む、請求項1記載の圧力センサ。 - 温度信号と関係のある圧力信号を生成するよう適合された電子処理機器
をさらに含む、請求項4記載の圧力センサ。 - 静電容量に基づいて圧力信号を生成するよう適合された測定回路
をさらに含む、請求項1記載の圧力センサ。 - ハウジングに搭載されたワイヤレストランシーバであって、前記電極に電気的に接続され、圧力信号をワイヤレス送信するワイヤレストランシーバ
をさらに含む、請求項1記載の圧力センサ。 - 前記電極および前記ダイヤフラムが第1のコンデンサを形成する圧力センサであって、
前記導電性容器の内壁からプロセス流体内へ延びる流れ絞りエレメントと、
前記導電性容器の内壁を覆うように延びる第2の電気絶縁体と、
前記第2の電気絶縁体に一体化しかつ前記導電性容器と絶縁された第2の電極と、
前記第2の電極を覆うように延び、前記導電性容器の内壁と同一平面で結合し、かつ前記導電性容器を通過するプロセス流体の流れと全体的に平行であり、プロセス流体の圧力に応じて前記第2の電極に関連して動くよう構成された第2のダイヤフラムとをさらに含み、
前記第2の電極および前記第2のダイヤフラムから第2のコンデンサを形成し、
前記第2の電気絶縁体、前記第2の電極および前記第2のダイヤフラムが前記導電性容器の内壁全周にわたって延びている、
請求項1記載の圧力センサ。 - 前記ダイヤフラムが前記導電性容器の内壁から離れてプロセス流体内へ延びる、請求項1記載の圧力センサ。
- 前記ダイヤフラムが前記導電性容器の内壁と同一平面をなし、前記電気絶縁体および前記電極が内壁の凹んだ所に設けられる、請求項1記載の圧力センサ。
- 前記電気絶縁体がガラスを含む、請求項1記載の圧力センサ。
- 前記電気絶縁体がセラミックを含む、請求項1記載の圧力センサ。
- 前記ダイヤフラムが溶接により前記導電性容器に封止される、請求項1記載の圧力センサ。
- 導管内のプロセス流体の差圧を測定するための差圧センサであって、
前記導管の導電性内壁と一体化し、流体の流れにインライン状に配置されたときに、圧力低下を生成するよう適合された流れ絞りエレメントと、
前記導管の導電性内壁と一体化した第1の電気絶縁体と、
第1の静電容量を有し、前記第1の電気絶縁体と一体化しかつ前記導管と絶縁された第1の電極と、前記電極を覆うように延び、前記導管の導電性内壁と同一平面で結合し、かつ前記導菅内を通過するプロセス流体の流れと全体的に平行であり、プロセス流体の圧力に応じて前記第1の電極に関連して動くよう構成された第1のダイヤフラムとから形成される、流れ絞りエレメントの上流に、プロセス流体にインライン状に位置付けられた第1のコンデンサと、
前記導管の導電性内壁と一体化した第2の電気絶縁体と、
第2の静電容量を有し、前記第2の電気絶縁体に一体化しかつ前記導管と絶縁された第2の電極と、前記電極を覆うように延び、前記導管の導電性内壁と同一平面で結合し、かつ前記導菅内を通過するプロセス流体の流れと全体的に平行であり、プロセス流体の圧力に応じて前記第2の電極に関連して動くよう構成された第2のダイヤフラムとから形成される、流れ絞りエレメントの下流に、プロセス流体にインライン状に位置付けられた第2のコンデンサとを含み、
前記第1のコンデンサと前記第2のコンデンサとがそれぞれ、前記導管の内壁全周にわたって延び、
前記第1の静電容量および前記第2の静電容量が、プロセス流体の差圧に関連する差圧センサ。 - 前記第1および第2の静電容量の関数として、プロセス流体の方向および流量を示す流量信号を生成するよう適合された電子処理機器
をさらに含む、請求項14記載の差圧センサ。 - 流れ絞りエレメントが、対称になった第1および第2のスロート部の間に延び、狭い流体通路を有する、請求項14に記載の差圧センサ。
- 流体の流れの温度の少なくとも一部と圧力センサの運転温度とを感知し、感知した温度を示す温度信号を生成するよう適合された温度センサ
をさらに含む、請求項14記載の差圧センサ。 - 流量信号が温度信号と関係がある、請求項17記載の差圧センサ。
- 前記第1の電気絶縁体および前記第2の電気絶縁体がガラスを含む、請求項14記載の差圧センサ。
- 前記第1の電気絶縁体および前記第2の電気絶縁体がセラミックを含む、請求項14記載の差圧センサ。
- 前記第1のダイヤフラムおよび前記第2のダイヤフラムが溶接により前記導管に封止される、請求項14記載の差圧センサ。
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