JPS62259016A - 流量測定装置 - Google Patents
流量測定装置Info
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- JPS62259016A JPS62259016A JP9651186A JP9651186A JPS62259016A JP S62259016 A JPS62259016 A JP S62259016A JP 9651186 A JP9651186 A JP 9651186A JP 9651186 A JP9651186 A JP 9651186A JP S62259016 A JPS62259016 A JP S62259016A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 10
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- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 abstract description 2
- 101100491857 Columba livia ASL gene Proteins 0.000 abstract 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、油圧機器等における流体流量を測定する流量
測定装置に関する。
測定装置に関する。
（従来技術）
従来、この種の流量測定装置としては、例えば電磁式、
超音波式、タービン式、ギア式、オーバル式、差圧式等
の各種の装置が知られている。
超音波式、タービン式、ギア式、オーバル式、差圧式等
の各種の装置が知られている。
例えば高速応答性を有する最も一般的なものとして知ら
れたギア式流量測定装置を例にとると、流体流路に一対
のギアでなるギアポンプを介在させて通過流量に応じた
ギア回転を得るようにしており、ギア回転の検出はパル
スジェネレータによってギアの１歯が通過するごとに１
パルスを発生し、パルスジェネレータで得られたパルス
周波数を電圧信号に変換してに変換して流吊流母を指示
するようにしている。この周波数−電圧変換は、例えば
パルスジェネレータのパルス間隔を計測して電圧信号に
変換するもの、あるいは単位時間当りに得られるパルス
数を計数して電圧信号に変換するもの等が知られている
。
れたギア式流量測定装置を例にとると、流体流路に一対
のギアでなるギアポンプを介在させて通過流量に応じた
ギア回転を得るようにしており、ギア回転の検出はパル
スジェネレータによってギアの１歯が通過するごとに１
パルスを発生し、パルスジェネレータで得られたパルス
周波数を電圧信号に変換してに変換して流吊流母を指示
するようにしている。この周波数−電圧変換は、例えば
パルスジェネレータのパルス間隔を計測して電圧信号に
変換するもの、あるいは単位時間当りに得られるパルス
数を計数して電圧信号に変換するもの等が知られている
。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、このような従来のギア式流母測定装置に
あっては、ギア部におりるリーク防止のために高い加工
精度が要求されてコスト的に高価であり、更にパルス信
号の周期や数を計測してアナログ電圧に変換する回路を
必要とし、更にまた、低流量時には発生パルス間隔が広
くなるために、このパルス間隔内での流量変化を検出す
ることができず、低流星時の測定精度に限界があった。
あっては、ギア部におりるリーク防止のために高い加工
精度が要求されてコスト的に高価であり、更にパルス信
号の周期や数を計測してアナログ電圧に変換する回路を
必要とし、更にまた、低流量時には発生パルス間隔が広
くなるために、このパルス間隔内での流量変化を検出す
ることができず、低流星時の測定精度に限界があった。
このにうな問題は流体流路に回転部材を配置したタービ
ン式及びオーバル式についても同様であり、更に電磁式
及び超音波式は大流量の測定を対象としており、油圧機
器に使用する程度の流量測定には向いていない。
ン式及びオーバル式についても同様であり、更に電磁式
及び超音波式は大流量の測定を対象としており、油圧機
器に使用する程度の流量測定には向いていない。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたも
ので、高圧高速流体であっても簡単な構成で精度良く流
量を測定できるようにしたコスト的にも安価な流量測定
装置を提供することを目的とする。
ので、高圧高速流体であっても簡単な構成で精度良く流
量を測定できるようにしたコスト的にも安価な流量測定
装置を提供することを目的とする。
この目的を達成するため本発明におっては、入口ボート
と出口ボートを結ぶ流路の途中に通過流星に応じた開度
変位を生ずるポペット弁等の弁部材を備えた流量検出機
構を有し、この流量検出機構における弁部材の前後差圧
ΔＰと変位量（ストローク）Ｘに基づいて通過流ｆｆ１
Ｑを演算して求めるようにしたものである。
と出口ボートを結ぶ流路の途中に通過流星に応じた開度
変位を生ずるポペット弁等の弁部材を備えた流量検出機
構を有し、この流量検出機構における弁部材の前後差圧
ΔＰと変位量（ストローク）Ｘに基づいて通過流ｆｆ１
Ｑを演算して求めるようにしたものである。
更に通過流量の演算については、弁部材の前後差圧ΔＰ
及び変位♀Ｘから流量係数Ｃを演算し、この流量計数Ｃ
の演算については演算過程で得られるレイノルズ数Ｒｅ
が極大値に達するまではレイノルズ数Ｒｅに応じたｆ、
量係数Ｃを演算し、レイノルズ数Ｒｅが所定の極大値に
達したときには、リミッタ回路により流量係数Ｃを定数
として流量演停を行なうようにしたものである。
及び変位♀Ｘから流量係数Ｃを演算し、この流量計数Ｃ
の演算については演算過程で得られるレイノルズ数Ｒｅ
が極大値に達するまではレイノルズ数Ｒｅに応じたｆ、
量係数Ｃを演算し、レイノルズ数Ｒｅが所定の極大値に
達したときには、リミッタ回路により流量係数Ｃを定数
として流量演停を行なうようにしたものである。
（実施例）
第１図は本発明で用いる流量検出機構の一実施例を示し
た断面図である。
た断面図である。
まず構成を説明すると、１は本体ボディであり、本体ボ
ディ１の右側に液体の流入を受ける入口ポート２を形成
すると共に、側方に出口ポート３を形成しており、入口
ポート２と出口ポート３の間に弁′ａ、横の弁座を構成
するシート部材４を装着している。このシート部材４に
対しては本体ボディ１内に軸方向に摺動自在に設けたカ
ートリッジ部材５の先端に一体の形成したポペット弁体
６がスプリング７の抑圧を受けて当接されており、−ポ
ペット弁体６の背１多のスプリング７の収納部に対して
は連通穴８をもって出口ポー１〜３の液圧を導入してい
る。スプリング７で支持されたポペット弁体６は通過流
量Ｑに対し入口ポート２と出口ポート３との間の前後差
圧ΔＰをスプリング力に見合う値とするように作動する
。
ディ１の右側に液体の流入を受ける入口ポート２を形成
すると共に、側方に出口ポート３を形成しており、入口
ポート２と出口ポート３の間に弁′ａ、横の弁座を構成
するシート部材４を装着している。このシート部材４に
対しては本体ボディ１内に軸方向に摺動自在に設けたカ
ートリッジ部材５の先端に一体の形成したポペット弁体
６がスプリング７の抑圧を受けて当接されており、−ポ
ペット弁体６の背１多のスプリング７の収納部に対して
は連通穴８をもって出口ポー１〜３の液圧を導入してい
る。スプリング７で支持されたポペット弁体６は通過流
量Ｑに対し入口ポート２と出口ポート３との間の前後差
圧ΔＰをスプリング力に見合う値とするように作動する
。
一方、入口ポート２と出口ポート３の各液圧をＰｉ 、
Ｐ２を検出するため本体ボディ１に対しては圧力センサ
９，１０が設けられており、圧力センサ９，１０の検出
圧力は後の説明で明らかにする流量演算部に与えられる
。また、カートリッジ部材５と一体の形成されたポペッ
ト弁体６の背１多には、ロッド１１の先端がネジ込みに
より固定され、ロッド１１の他端は０リング等のシール
を介してボディ外部に取り出されており、このロッド１
１の他端にはフレーム１２内に支持された位置センサ１
５の、検出ロッド１６がネジ込みにより固定されている
。位置センサ１５はロッド１１、検出［１ツド１６を介
して受りるポペット弁体６の軸方向の移動量（ストロー
ク）Ｘを検出して、後の説明で明らかにする流量演算部
に出力するようにしている。
Ｐ２を検出するため本体ボディ１に対しては圧力センサ
９，１０が設けられており、圧力センサ９，１０の検出
圧力は後の説明で明らかにする流量演算部に与えられる
。また、カートリッジ部材５と一体の形成されたポペッ
ト弁体６の背１多には、ロッド１１の先端がネジ込みに
より固定され、ロッド１１の他端は０リング等のシール
を介してボディ外部に取り出されており、このロッド１
１の他端にはフレーム１２内に支持された位置センサ１
５の、検出ロッド１６がネジ込みにより固定されている
。位置センサ１５はロッド１１、検出［１ツド１６を介
して受りるポペット弁体６の軸方向の移動量（ストロー
ク）Ｘを検出して、後の説明で明らかにする流量演算部
に出力するようにしている。
第２図は第１図の流量検出機構に設りた圧力センサ９，
１０及び位置セン号１５からの検出出力に基づいて通過
流ｆｆ１Ｑを演算するための流■演算手段の一実施例を
示したブロック図である。
１０及び位置セン号１５からの検出出力に基づいて通過
流ｆｆ１Ｑを演算するための流■演算手段の一実施例を
示したブロック図である。
この第２図に示す流量演算手段の演算原理は次のにうに
なる。
なる。
まず、第１図に示した流量検出機構からは入口ポート２
及び出口ポート３の圧力ｐｌ 、 ｐ２ 、更にポペッ
ト弁体６の変位量（ストローク）Ｘが検出されることか
ら、ポペット弁体６の前後差圧△ＰをΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２
とすると、通過流量Ｑは次式で与えられる。
及び出口ポート３の圧力ｐｌ 、 ｐ２ 、更にポペッ
ト弁体６の変位量（ストローク）Ｘが検出されることか
ら、ポペット弁体６の前後差圧△ＰをΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２
とすると、通過流量Ｑは次式で与えられる。
Ｑ＝Ｃ−ｙｒ−Ｄ−ｘ−５ｉｎＯ−’ｉｓ ／万・・
・（１） １０し、Ｃは流量係数 りはシート径 θはポペット弁円錐角 Ｘはポペット弁ストローク ΔＰは前後差圧 ρは流体密度 この第（１）式にお（）る流量係数Ｃはレイノルズ数Ｒ
ｅにより変化する値を持ち、 Ｃ＝ｋ （Ｒｅ ＞ ”ｎ＝・（２＞ 但し、Ｒｅはレイノルズ数、ｋは定数、ｎは弁の形状で
決まる定数 となり、更にレイノルズ数Ｒｅは、 Ｒｃ＝（（Ａ−ｎ了可下）／ν）１１０・・・（３）但
し、νは動粘度 で与えられるようになる。
・（１） １０し、Ｃは流量係数 りはシート径 θはポペット弁円錐角 Ｘはポペット弁ストローク ΔＰは前後差圧 ρは流体密度 この第（１）式にお（）る流量係数Ｃはレイノルズ数Ｒ
ｅにより変化する値を持ち、 Ｃ＝ｋ （Ｒｅ ＞ ”ｎ＝・（２＞ 但し、Ｒｅはレイノルズ数、ｋは定数、ｎは弁の形状で
決まる定数 となり、更にレイノルズ数Ｒｅは、 Ｒｃ＝（（Ａ−ｎ了可下）／ν）１１０・・・（３）但
し、νは動粘度 で与えられるようになる。
第３図は前記第（３）式で与えられるレイノルズ数Ｒｅ
と前記第（２）式で与えられる流量係数Ｃの関係を示し
たグラフ図であり、一般に流量係数Ｃはレイノルズ数Ｒ
ｅのある値までは前記第（２）式に応じて変化するよう
になるが、その後はレイノルズ数Ｒｅが増加しても一定
値を保つようになる。そこで本発明に市ってはりミッタ
回路を設け、レイノルズ数Ｒｅがある極大値をもつまで
はレイノルズ数Ｒｅに応じて流Ｕｒ ’Ｉｆｆ数Ｃを変
化させるが、その後はリミッタ回路により一定値となる
ようにしている。
と前記第（２）式で与えられる流量係数Ｃの関係を示し
たグラフ図であり、一般に流量係数Ｃはレイノルズ数Ｒ
ｅのある値までは前記第（２）式に応じて変化するよう
になるが、その後はレイノルズ数Ｒｅが増加しても一定
値を保つようになる。そこで本発明に市ってはりミッタ
回路を設け、レイノルズ数Ｒｅがある極大値をもつまで
はレイノルズ数Ｒｅに応じて流Ｕｒ ’Ｉｆｆ数Ｃを変
化させるが、その後はリミッタ回路により一定値となる
ようにしている。
第４図は流量係数Ｃを一定にした時の基準流量に対する
測定流量の関係を示したグラフ図であり、流量が低い時
に実線で示すように直線性が低下しており、この直線性
が低下した領域がレイノルズ数Ｒｅによって流量係数Ｃ
が変化する領域となる。
測定流量の関係を示したグラフ図であり、流量が低い時
に実線で示すように直線性が低下しており、この直線性
が低下した領域がレイノルズ数Ｒｅによって流量係数Ｃ
が変化する領域となる。
一般的な用途にあっては、このレイノルズ数Ｒｅによっ
て流量係数Ｃが変化する領域の直線性の低下は無視して
こｂ差し支えないが、本発明にあっては非常に精密な流
量測定及び流量測定に基づく制御を対象としていること
から、レイノルズ数Ｒｅがある値に達して流量係数Ｃが
一定になるまではレイノルズ数Ｒｅに応じて流量係数Ｃ
を演算するようになる。
て流量係数Ｃが変化する領域の直線性の低下は無視して
こｂ差し支えないが、本発明にあっては非常に精密な流
量測定及び流量測定に基づく制御を対象としていること
から、レイノルズ数Ｒｅがある値に達して流量係数Ｃが
一定になるまではレイノルズ数Ｒｅに応じて流量係数Ｃ
を演算するようになる。
そこで前記第（１）〜（３）式に基づいて、通過流量Ｑ
を演算する第２図の装置］１４成を説明すると次のよう
になる。
を演算する第２図の装置］１４成を説明すると次のよう
になる。
まず、圧力センサ９，１０よりの検出圧力は増幅部１８
．１９で増幅され、減算器２０においてその前後差圧Δ
ＰがΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２として求められる。減算器２０で
演算された前後差圧ΔＰは演算部２１に与えられ、演算
部２１に対しては増幅部２２より位置センサ１５で検出
した変位量（ストローク）Ｘが与えられており、演算部
２１で前記第（１）式及び第（３）式における演算パラ
メータ Ｘ−１０ が演算される。演算部２１の出力は動粘度νが定数とし
て与えられた演算部２３に与えられ、前記第（３）式に
基づいたレイノルズ数Ｒｅの演算が行なわれる。演算部
２３で演算されたレイノルズ数Ｒｅはリミッタ回路２４
に与えられており、リミッタ回路２４はレイノルズ数Ｒ
ｅがある値に達するまでは演算部２３で演算された値を
そのまま出力しており、ある値を越えるとレイノルズ数
Ｒｅを一定として出力するリミッタ機能を有する。
．１９で増幅され、減算器２０においてその前後差圧Δ
ＰがΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２として求められる。減算器２０で
演算された前後差圧ΔＰは演算部２１に与えられ、演算
部２１に対しては増幅部２２より位置センサ１５で検出
した変位量（ストローク）Ｘが与えられており、演算部
２１で前記第（１）式及び第（３）式における演算パラ
メータ Ｘ−１０ が演算される。演算部２１の出力は動粘度νが定数とし
て与えられた演算部２３に与えられ、前記第（３）式に
基づいたレイノルズ数Ｒｅの演算が行なわれる。演算部
２３で演算されたレイノルズ数Ｒｅはリミッタ回路２４
に与えられており、リミッタ回路２４はレイノルズ数Ｒ
ｅがある値に達するまでは演算部２３で演算された値を
そのまま出力しており、ある値を越えるとレイノルズ数
Ｒｅを一定として出力するリミッタ機能を有する。
演算部２５はリミッタ回路２４を介して得られたレイノ
ルズ数Ｒｅと演算部２１で演算された演算パラメータ Ｘ−Ｆ７ＮＦ７万 とを掛は合わす掛算器であり、更に演算部２６において
前記第（１）式における定数として与えられるπ、［）
、ｓｉｎθ、２から得られる定数にと掛ｔプ合わすこと
で最終的に通過流ｆｆ１Ｑを出力するようになる。
ルズ数Ｒｅと演算部２１で演算された演算パラメータ Ｘ−Ｆ７ＮＦ７万 とを掛は合わす掛算器であり、更に演算部２６において
前記第（１）式における定数として与えられるπ、［）
、ｓｉｎθ、２から得られる定数にと掛ｔプ合わすこと
で最終的に通過流ｆｆ１Ｑを出力するようになる。
この第２図に示した本発明の流量演算手段によれば、演
峰部２３で演算されるレイノルズ数ｔｔｅがリミッタ回
路２４に設定したある値に達するまではレイノルズ数Ｒ
ｅの変化に応じた流量係数Ｃを求めていることから、第
４図に示した流ｍ特性において流量が低い時の実線で示
す直線性の低下した部分が正しい流星係数Ｃの演算をも
って点線で示ずように直線的な流量測定特性とすること
ができ、通過流ω全域について非常に精密な流星の測定
結果を１ｑることができる。
峰部２３で演算されるレイノルズ数ｔｔｅがリミッタ回
路２４に設定したある値に達するまではレイノルズ数Ｒ
ｅの変化に応じた流量係数Ｃを求めていることから、第
４図に示した流ｍ特性において流量が低い時の実線で示
す直線性の低下した部分が正しい流星係数Ｃの演算をも
って点線で示ずように直線的な流量測定特性とすること
ができ、通過流ω全域について非常に精密な流星の測定
結果を１ｑることができる。
尚、上記の実施例にあっては第２図の演算部に設けた減
算器２０により前後差圧ΔＰを演算するようにしている
が、第１図に示した流量検出機１Ｍに入口液圧と出口液
圧との液圧差を検出する外圧検出器を設け、この差圧検
出器による前後差圧ΔＰを第２図の演算部２１に直接与
えるようにしても良い。また、第２図に示した通過流ω
Ｑの演算処理はアナログ演算処理、デジタル演算処理の
いずれであっても良い。
算器２０により前後差圧ΔＰを演算するようにしている
が、第１図に示した流量検出機１Ｍに入口液圧と出口液
圧との液圧差を検出する外圧検出器を設け、この差圧検
出器による前後差圧ΔＰを第２図の演算部２１に直接与
えるようにしても良い。また、第２図に示した通過流ω
Ｑの演算処理はアナログ演算処理、デジタル演算処理の
いずれであっても良い。
（発明の効果）
以上説明してきたように本発明によれば、入口ポー１〜
と出口ポートを結ぶ流路の途中に通過流量に応じた開度
変位を生ずるポペット弁等の弁部材を備えた流量検出機
構を有し、この流量検出機、）１４におりる弁部材の前
後差圧ΔＰと変位量（ストローク）Ｘに基づいて通過流
ＩＱを演算し、更に通過流量の演算については弁゛部材
の前後差圧ΔＰ及び変位量Ｘから流星係数Ｃを演算し、
この流星係数Ｃの演算については演算過程で１ｑられる
レイノルズｖｌＲｅがある値に達するまではレイノルズ
数Ｒｅに応じて変化する流星係数Ｃを演算し、レイノル
ズ数が所定値を超えた時には、リミッタ回路によって流
量係数Ｃを定数として流ｍ演算を行なうようしたため、
流罪係数Ｃを一定として通過流量を演算した場合に比べ
、基準流量に対する測定流星の直線性が低下する低流量
領域においても測定誤差を生ずることなく非常に精密な
流量測定を行なうことができ、精密な流量測定結果が１
ｎられることから例えば精密な閉ループ制御等を確実に
行なうことができる。
と出口ポートを結ぶ流路の途中に通過流量に応じた開度
変位を生ずるポペット弁等の弁部材を備えた流量検出機
構を有し、この流量検出機、）１４におりる弁部材の前
後差圧ΔＰと変位量（ストローク）Ｘに基づいて通過流
ＩＱを演算し、更に通過流量の演算については弁゛部材
の前後差圧ΔＰ及び変位量Ｘから流星係数Ｃを演算し、
この流星係数Ｃの演算については演算過程で１ｑられる
レイノルズｖｌＲｅがある値に達するまではレイノルズ
数Ｒｅに応じて変化する流星係数Ｃを演算し、レイノル
ズ数が所定値を超えた時には、リミッタ回路によって流
量係数Ｃを定数として流ｍ演算を行なうようしたため、
流罪係数Ｃを一定として通過流量を演算した場合に比べ
、基準流量に対する測定流星の直線性が低下する低流量
領域においても測定誤差を生ずることなく非常に精密な
流量測定を行なうことができ、精密な流量測定結果が１
ｎられることから例えば精密な閉ループ制御等を確実に
行なうことができる。
第１図は本発明の流量検出機構の一実施例を示した断面
説明図、第２図は本発明の流量演算部の一実施例を示し
たブロック図、第３図は本発明におけるレイノルズ数と
流星係数との関係を示したグラフ図、第３図は基準流量
と測定流量の関係を示したグラフ図である。 １：本体ボディ ２：入口ポー１へ ３：出口ポート ４：シート部材 ５：カートリッジ部材 ６：ポペット弁体 ７：スプリング ８：通し穴 ９．１０：圧カセンザ １１：ロット １２：フレーム １５：位置センサ １６：検出ロッド １８．１９，２２：増幅部 ２０：減篩器 ２１．２３，２５，２６：演算部 ２４：リミッタ回路
説明図、第２図は本発明の流量演算部の一実施例を示し
たブロック図、第３図は本発明におけるレイノルズ数と
流星係数との関係を示したグラフ図、第３図は基準流量
と測定流量の関係を示したグラフ図である。 １：本体ボディ ２：入口ポー１へ ３：出口ポート ４：シート部材 ５：カートリッジ部材 ６：ポペット弁体 ７：スプリング ８：通し穴 ９．１０：圧カセンザ １１：ロット １２：フレーム １５：位置センサ １６：検出ロッド １８．１９，２２：増幅部 ２０：減篩器 ２１．２３，２５，２６：演算部 ２４：リミッタ回路
Claims (1)
- 入口ポートと出口ポートを結ぶ流路の途中に通過流量に
応じた開度変位を生ずる弁部材を設けた流量検出機構と
、該流量検出機構における前記弁部材の前後差圧と変位
量に基づいて前記流量検出機構の流量係数を演算する演
算手段と、該演算手段における流量計数の演算過程でレ
イノルズ数が極大値に達したときに前記流量係数を該レ
イノルズ数の極大値で定まる定数に固定するリミッタ手
段と、前記流量検出機構における弁部材の前後差圧及び
変位量、更に前記リミッタ手段からの流量係数に基づい
て通過流量を演算する流量演算手段とを備えたことを特
徴とする流量測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9651186A JPS62259016A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 流量測定装置 |
| DE19873713542 DE3713542C2 (de) | 1986-04-25 | 1987-04-22 | Verfahren und Gerät zur Messung des Durchflußvolumens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9651186A JPS62259016A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 流量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62259016A true JPS62259016A (ja) | 1987-11-11 |
Family
ID=14167151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9651186A Pending JPS62259016A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 流量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62259016A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007529742A (ja) * | 2004-03-18 | 2007-10-25 | ローズマウント インコーポレイテッド | 環状静電容量式圧力センサ |
| US7493829B2 (en) | 2006-03-30 | 2009-02-24 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Flow meter for variable displacement compressor |
| JP2009115271A (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-28 | Yamatake Corp | 流量計測バルブ |
| JP2010072008A (ja) * | 2002-07-19 | 2010-04-02 | Entegris Inc | 流体フロー測定および比例流体フロー制御デバイス |
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