JPH06129927A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH06129927A JPH06129927A JP27637392A JP27637392A JPH06129927A JP H06129927 A JPH06129927 A JP H06129927A JP 27637392 A JP27637392 A JP 27637392A JP 27637392 A JP27637392 A JP 27637392A JP H06129927 A JPH06129927 A JP H06129927A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- housing
- sensor
- sensor element
- responsiveness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明の圧力センサ２１は、ガラスからなる
感圧部５ａを有するセンサ素子５と、センサ素子５を収
容するハウジング２２とを備え、ハウジング２２はフッ
素樹脂を主成分とする材料からなり、感圧部５ａが密着
するハウジング２２の壁面２２ａは厚みを周囲の壁面よ
り薄くしてなるダイヤフラム部２３からなり、ハウジン
グ２２を流体中に挿入することにより、前記感圧部５ａ
がダイヤフラム部２３を介して前記流体の圧力を検知す
ることを特徴とする。 【効果】 硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸
（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を含む腐食性溶
液に腐食され難く、耐薬品性を大幅に向上させることが
できる。また、従来のようにシリコンオイルによる測定
精度及び応答性の低下がなく、測定精度及び応答性を大
幅に向上させることができる。
感圧部５ａを有するセンサ素子５と、センサ素子５を収
容するハウジング２２とを備え、ハウジング２２はフッ
素樹脂を主成分とする材料からなり、感圧部５ａが密着
するハウジング２２の壁面２２ａは厚みを周囲の壁面よ
り薄くしてなるダイヤフラム部２３からなり、ハウジン
グ２２を流体中に挿入することにより、前記感圧部５ａ
がダイヤフラム部２３を介して前記流体の圧力を検知す
ることを特徴とする。 【効果】 硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸
（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を含む腐食性溶
液に腐食され難く、耐薬品性を大幅に向上させることが
できる。また、従来のようにシリコンオイルによる測定
精度及び応答性の低下がなく、測定精度及び応答性を大
幅に向上させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は流体の圧力を検知する圧
力センサに係り、特に、例えば、半導体のウエット処理
において用いられる硝酸、塩酸等のような腐食性溶液の
圧力を検知するための圧力センサに関するものである。
力センサに係り、特に、例えば、半導体のウエット処理
において用いられる硝酸、塩酸等のような腐食性溶液の
圧力を検知するための圧力センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、超ＬＳＩ等の半導体製造プロセス
においては、ウェハの表面洗浄やエッチング処理等にお
いて多数のウエット処理が行なわれており、これらの処
理では、通常の半導体用グレードより高純度、高清浄度
の腐食性溶液、すなわち、硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（Ｈ
Ｃｌ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を
含む腐食性溶液が用いられている。
においては、ウェハの表面洗浄やエッチング処理等にお
いて多数のウエット処理が行なわれており、これらの処
理では、通常の半導体用グレードより高純度、高清浄度
の腐食性溶液、すなわち、硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（Ｈ
Ｃｌ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を
含む腐食性溶液が用いられている。
【０００３】図２は、これらの溶液の圧力を検知するセ
ンサの一例である圧力センサ１を示す図であって、略円
筒状のステンレス製のハウジング２の先端部壁面２a中
央に、厚みを周囲より薄くしてなるダイヤフラム部３が
形成され、該ダイヤフラム部３には注入されたシリコン
オイル４を介してセンサ素子５の感圧部５ａが密着さ
れ、該センサ素子５はＯリング６、センサ押え板７及び
センサ押え螺子８により該ハウジング２内に固定され、
センサ押え螺子８には温度補償回路が形成された温度補
償基板９が当接され、該温度補償基板９にはケーブル１
０が接続され、このケーブル１０はキャップ１１及びＯ
リング１２，１３によりハウジング２に固定されてい
る。この圧力センサ１は、Ｏリング１４を介して腐食性
溶液Ｓが充填されたケース１５に密着した状態で固定さ
れている。
ンサの一例である圧力センサ１を示す図であって、略円
筒状のステンレス製のハウジング２の先端部壁面２a中
央に、厚みを周囲より薄くしてなるダイヤフラム部３が
形成され、該ダイヤフラム部３には注入されたシリコン
オイル４を介してセンサ素子５の感圧部５ａが密着さ
れ、該センサ素子５はＯリング６、センサ押え板７及び
センサ押え螺子８により該ハウジング２内に固定され、
センサ押え螺子８には温度補償回路が形成された温度補
償基板９が当接され、該温度補償基板９にはケーブル１
０が接続され、このケーブル１０はキャップ１１及びＯ
リング１２，１３によりハウジング２に固定されてい
る。この圧力センサ１は、Ｏリング１４を介して腐食性
溶液Ｓが充填されたケース１５に密着した状態で固定さ
れている。
【０００４】この圧力センサ１においては、センサ素子
５の感圧部５ａがシリコンオイル４及びダイヤフラム部
３を介して腐食性溶液Ｓの圧力を検知し、この圧力値は
電気信号に変換されて温度補償基板９により抵抗値の温
度変化が補正され、外部に取り出される。
５の感圧部５ａがシリコンオイル４及びダイヤフラム部
３を介して腐食性溶液Ｓの圧力を検知し、この圧力値は
電気信号に変換されて温度補償基板９により抵抗値の温
度変化が補正され、外部に取り出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
圧力センサ１では、ハウジング２の材質がステンレスで
あるために硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸
（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等の強酸に侵され
易く、耐薬品性が不十分であるという欠点があった。
また、感圧部５ａがシリコンオイル４及びダイヤフラム
部３を介して腐食性溶液Ｓの圧力を検知しているため
に、シリコンオイル４により測定精度及び応答性が低下
し、測定精度及び応答性を向上させることが難しいとい
う欠点もあった。
圧力センサ１では、ハウジング２の材質がステンレスで
あるために硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸
（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等の強酸に侵され
易く、耐薬品性が不十分であるという欠点があった。
また、感圧部５ａがシリコンオイル４及びダイヤフラム
部３を介して腐食性溶液Ｓの圧力を検知しているため
に、シリコンオイル４により測定精度及び応答性が低下
し、測定精度及び応答性を向上させることが難しいとい
う欠点もあった。
【０００６】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、耐薬品性を向上させることができ、また、
センサとしての測定精度及び応答性を向上させることが
できる圧力センサを提供することにある。
のであって、耐薬品性を向上させることができ、また、
センサとしての測定精度及び応答性を向上させることが
できる圧力センサを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次の様な圧力センサを採用した。すなわ
ち、ガラスからなる感圧部を有するセンサ素子と、該セ
ンサ素子を収容するハウジングとを備え、該ハウジング
はフッ素樹脂を主成分とする材料からなり、前記感圧部
が密着するハウジングの壁面は厚みを周囲の壁面より薄
くしてなるダイヤフラム部からなり、前記ハウジングを
流体中に挿入することにより、前記感圧部がダイヤフラ
ム部を介して前記流体の圧力を検知することを特徴とし
ている。
に、本発明は次の様な圧力センサを採用した。すなわ
ち、ガラスからなる感圧部を有するセンサ素子と、該セ
ンサ素子を収容するハウジングとを備え、該ハウジング
はフッ素樹脂を主成分とする材料からなり、前記感圧部
が密着するハウジングの壁面は厚みを周囲の壁面より薄
くしてなるダイヤフラム部からなり、前記ハウジングを
流体中に挿入することにより、前記感圧部がダイヤフラ
ム部を介して前記流体の圧力を検知することを特徴とし
ている。
【０００８】
【作用】本発明の圧力センサでは、ハウジングをフッ素
樹脂を主成分とする材料とすることにより、硝酸（ＨＮ
Ｏ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水
素酸（ＨＦ）等を含む腐食性溶液に対する耐薬品性が向
上する。このフッ素樹脂は、腐食性溶液に対する耐薬品
性は優れているが、一般的に樹脂にはガス透過があるた
めに腐食性ガスがダイヤフラム部を透過してハウジング
内に侵入しセンサ素子を劣化させてしまうという欠点が
ある。そこで、前記センサ素子の感圧部を耐薬品性に優
れたガラスとすることにより、センサ素子の劣化を防止
する。
樹脂を主成分とする材料とすることにより、硝酸（ＨＮ
Ｏ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水
素酸（ＨＦ）等を含む腐食性溶液に対する耐薬品性が向
上する。このフッ素樹脂は、腐食性溶液に対する耐薬品
性は優れているが、一般的に樹脂にはガス透過があるた
めに腐食性ガスがダイヤフラム部を透過してハウジング
内に侵入しセンサ素子を劣化させてしまうという欠点が
ある。そこで、前記センサ素子の感圧部を耐薬品性に優
れたガラスとすることにより、センサ素子の劣化を防止
する。
【０００９】また、センサ素子の感圧部をハウジングの
ダイヤフラム部に密着させることにより、従来のように
シリコンオイルによる測定精度及び応答性の低下がな
く、測定精度及び応答性が向上する。
ダイヤフラム部に密着させることにより、従来のように
シリコンオイルによる測定精度及び応答性の低下がな
く、測定精度及び応答性が向上する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明に係る一実施例の圧力センサに
ついて説明する。図１は、圧力センサ２１を示す図であ
る。なお、この圧力センサ２１は従来の圧力センサ１を
改良したものであり、図１において図２と同一の構成要
素には同一の符号を付し説明を省略する。
ついて説明する。図１は、圧力センサ２１を示す図であ
る。なお、この圧力センサ２１は従来の圧力センサ１を
改良したものであり、図１において図２と同一の構成要
素には同一の符号を付し説明を省略する。
【００１１】この圧力センサ２１は、略円筒状のテフロ
ン（フッ素樹脂）製のハウジング２２の先端部壁面２２
ａ中央に、厚みを周囲より薄くしてなるダイヤフラム部
２３が形成され、該ダイヤフラム部２３にはセンサ素子
２４の感圧部２４ａが密着されている。テフロン（フッ
素樹脂）は、硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸
（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を含む腐食性溶
液に腐食され難く、極めて耐薬品性に優れている。ま
た、ここでは、感圧部２４ａを耐薬品性に優れたガラス
とすることにより、ダイヤフラム部２３を透過した腐食
性ガスによる劣化を防止している。
ン（フッ素樹脂）製のハウジング２２の先端部壁面２２
ａ中央に、厚みを周囲より薄くしてなるダイヤフラム部
２３が形成され、該ダイヤフラム部２３にはセンサ素子
２４の感圧部２４ａが密着されている。テフロン（フッ
素樹脂）は、硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸
（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を含む腐食性溶
液に腐食され難く、極めて耐薬品性に優れている。ま
た、ここでは、感圧部２４ａを耐薬品性に優れたガラス
とすることにより、ダイヤフラム部２３を透過した腐食
性ガスによる劣化を防止している。
【００１２】この圧力センサ２１においては、センサ素
子２４の感圧部２４ａがダイヤフラム部２３に掛かる腐
食性溶液Ｓの圧力を直接検知し、この圧力値は電気信号
に変換されて温度補償基板９により抵抗値の温度変化が
補正され、外部に取り出される。したがって、従来のよ
うにシリコンオイルによる測定精度及び応答性の低下が
なく、測定精度及び応答性が向上する。
子２４の感圧部２４ａがダイヤフラム部２３に掛かる腐
食性溶液Ｓの圧力を直接検知し、この圧力値は電気信号
に変換されて温度補償基板９により抵抗値の温度変化が
補正され、外部に取り出される。したがって、従来のよ
うにシリコンオイルによる測定精度及び応答性の低下が
なく、測定精度及び応答性が向上する。
【００１３】以上説明した様に、この実施例の圧力セン
サ２１によれば、ハウジング２２をテフロン（フッ素樹
脂）製としたので、硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣ
ｌ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を含
む腐食性溶液に腐食され難く、耐薬品性を大幅に向上さ
せることができる。また、感圧部２４ａを耐薬品性に優
れたガラスとしたので、ダイヤフラム部２３を透過した
腐食性ガスによる劣化を防止することができ、耐薬品性
を大幅に向上させることができる。
サ２１によれば、ハウジング２２をテフロン（フッ素樹
脂）製としたので、硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣ
ｌ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を含
む腐食性溶液に腐食され難く、耐薬品性を大幅に向上さ
せることができる。また、感圧部２４ａを耐薬品性に優
れたガラスとしたので、ダイヤフラム部２３を透過した
腐食性ガスによる劣化を防止することができ、耐薬品性
を大幅に向上させることができる。
【００１４】また、ダイヤフラム部２３にセンサ素子２
４の感圧部２４ａを密着することとしたので、従来のよ
うにシリコンオイルによる測定精度及び応答性の低下が
なく、測定精度及び応答性を大幅に向上させることがで
きる。
４の感圧部２４ａを密着することとしたので、従来のよ
うにシリコンオイルによる測定精度及び応答性の低下が
なく、測定精度及び応答性を大幅に向上させることがで
きる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の圧力センサ
によれば、ガラスからなる感圧部を有するセンサ素子
と、該センサ素子を収容するハウジングとを備え、該ハ
ウジングはフッ素樹脂を主成分とする材料からなること
としたので、硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸
（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を含む腐食性溶
液に腐食され難く、耐薬品性を大幅に向上させることが
できる。
によれば、ガラスからなる感圧部を有するセンサ素子
と、該センサ素子を収容するハウジングとを備え、該ハ
ウジングはフッ素樹脂を主成分とする材料からなること
としたので、硝酸（ＨＮＯ3）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸
（Ｈ2ＳＯ4）、フッ化水素酸（ＨＦ）等を含む腐食性溶
液に腐食され難く、耐薬品性を大幅に向上させることが
できる。
【００１６】また、前記感圧部が密着するハウジングの
壁面は厚みを周囲の壁面より薄くしてなるダイヤフラム
部からなることとしたので、従来のようにシリコンオイ
ルによる測定精度及び応答性の低下がなく、測定精度及
び応答性を大幅に向上させることができる。
壁面は厚みを周囲の壁面より薄くしてなるダイヤフラム
部からなることとしたので、従来のようにシリコンオイ
ルによる測定精度及び応答性の低下がなく、測定精度及
び応答性を大幅に向上させることができる。
【００１７】以上により、センサ素子及びハウジングの
耐薬品性を大幅に向上させることができ、また、測定精
度及び応答性も大幅に向上させることができる圧力セン
サを提供することができる。
耐薬品性を大幅に向上させることができ、また、測定精
度及び応答性も大幅に向上させることができる圧力セン
サを提供することができる。
【図１】本発明の圧力センサを示す断面図である。
【図２】従来の圧力センサを示す断面図である。
２１ 圧力センサ ２２ ハウジング ２２ａ 先端部壁面 ２３ ダイヤフラム部 ２４ センサ素子 ２４ａ 感圧部 ６ Ｏリング ７ センサ押え板 ８ センサ押え螺子 ９ 温度補償基板 １０ ケーブル １１ キャップ １２，１３ Ｏリング １４ Ｏリング １５ ケース Ｓ 腐食性溶液
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラスからなる感圧部を有するセンサ素
子と、該センサ素子を収容するハウジングとを備え、 該ハウジングはフッ素樹脂を主成分とする材料からな
り、 前記感圧部が密着するハウジングの壁面は厚みを周囲の
壁面より薄くしてなるダイヤフラム部からなり、 前記ハウジングを流体中に挿入することにより、前記感
圧部がダイヤフラム部を介して前記流体の圧力を検知す
ることを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27637392A JPH06129927A (ja) | 1992-10-14 | 1992-10-14 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27637392A JPH06129927A (ja) | 1992-10-14 | 1992-10-14 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06129927A true JPH06129927A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17568527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27637392A Withdrawn JPH06129927A (ja) | 1992-10-14 | 1992-10-14 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06129927A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6550338B1 (en) | 2000-07-07 | 2003-04-22 | Ardishir Rashidi | Pressure sensing device |
| USRE38300E1 (en) | 1995-10-03 | 2003-11-11 | Nt International, Inc. | Non-fluid conducting pressure module having non-contaminating body and isolation member |
| USRE38557E1 (en) | 1995-10-03 | 2004-07-20 | Nt International, Inc. | Non-contaminating pressure transducer module |
| US6948373B2 (en) | 2003-06-20 | 2005-09-27 | Surpass Industry Co., Ltd. | Inline pressure sensor |
| US7100454B2 (en) | 2004-01-23 | 2006-09-05 | Surpass Industry Co. Ltd. | In-line type fluid pressure sensor |
| WO2006129541A1 (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-07 | Surpass Industry Co., Ltd. | 圧力スイッチ |
| CN103454032A (zh) * | 2013-08-16 | 2013-12-18 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种带热敏电阻的压力敏感芯体 |
-
1992
- 1992-10-14 JP JP27637392A patent/JPH06129927A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE38300E1 (en) | 1995-10-03 | 2003-11-11 | Nt International, Inc. | Non-fluid conducting pressure module having non-contaminating body and isolation member |
| USRE38557E1 (en) | 1995-10-03 | 2004-07-20 | Nt International, Inc. | Non-contaminating pressure transducer module |
| US6550338B1 (en) | 2000-07-07 | 2003-04-22 | Ardishir Rashidi | Pressure sensing device |
| US6948373B2 (en) | 2003-06-20 | 2005-09-27 | Surpass Industry Co., Ltd. | Inline pressure sensor |
| US7100454B2 (en) | 2004-01-23 | 2006-09-05 | Surpass Industry Co. Ltd. | In-line type fluid pressure sensor |
| WO2006129541A1 (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-07 | Surpass Industry Co., Ltd. | 圧力スイッチ |
| JP2006338998A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Surpass Kogyo Kk | 圧力スイッチ |
| US7777142B2 (en) | 2005-06-01 | 2010-08-17 | Surpass Industry Co. Ltd | Pressure switch |
| CN103454032A (zh) * | 2013-08-16 | 2013-12-18 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种带热敏电阻的压力敏感芯体 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2552093B2 (ja) | 圧力センサ | |
| EP0828147A2 (en) | Pressure detector | |
| US8423311B2 (en) | Method for calibrating and operating a measuring cell arrangement | |
| JP6668257B2 (ja) | 珪素濃度又はエッチング選択比の測定方法及び測定装置 | |
| JPH06129927A (ja) | 圧力センサ | |
| US6935181B2 (en) | Anticorrosive vacuum sensor | |
| JP4846140B2 (ja) | 圧力センサ | |
| US5221456A (en) | Insulated core electrode for ph sensor | |
| JPH06249733A (ja) | 容量型絶対圧測定センサおよび複数の容量型絶対圧測定センサを製造する方法 | |
| US5917264A (en) | Electrostatic capacitance type transducer and method for producing the same | |
| KR960010690B1 (ko) | 소형 유리전극 | |
| JPH0712910Y2 (ja) | 圧力センサ | |
| JP2002214059A (ja) | シリコンダイアフラムを有する静電容量型真空計 | |
| KR100397928B1 (ko) | 전극간의 절연층을 구비한 수소이온농도 측정센서 | |
| JP3571149B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JP2002022589A (ja) | 耐腐食性のダイヤフラム圧力センサ | |
| US6901806B2 (en) | Electrical capacitance sapphire diaphragm pressure sensor and a method of fabricating the same | |
| JP2007071594A (ja) | 力学量センサの製造方法 | |
| JP2578654Y2 (ja) | 導電率測定用セル | |
| JPS59169183A (ja) | ストレインゲ−ジ型半導体圧力センサ− | |
| JPH0658794A (ja) | 液面レベル計 | |
| JP3962677B2 (ja) | 圧力センサ | |
| KR100489297B1 (ko) | 씨브이디 디엘씨 박막을 이용한 오리피스형 가스 센서 및그 제조방법 | |
| CN110383054B (zh) | 电化学传感器 | |
| JPH11118650A (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000104 |