JPH0712910Y2 - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH0712910Y2 JPH0712910Y2 JP1988023002U JP2300288U JPH0712910Y2 JP H0712910 Y2 JPH0712910 Y2 JP H0712910Y2 JP 1988023002 U JP1988023002 U JP 1988023002U JP 2300288 U JP2300288 U JP 2300288U JP H0712910 Y2 JPH0712910 Y2 JP H0712910Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- main body
- pressure
- outer peripheral
- peripheral wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、流体等の圧力を検出するダイヤフラム型圧力
センサに関する。
センサに関する。
圧力は化学工業など様々な分野で計測制御の対象になる
重要な要素の一つであり、測定対象も腐蝕性の液体から
気体に至るまで様々である。
重要な要素の一つであり、測定対象も腐蝕性の液体から
気体に至るまで様々である。
欺る圧力を測定するためのダイヤフラムにはステンレス
鋼などの金属製のものと、ゴムやテフロンなどの非金属
製のものとに大別され、金属製ダイヤフラムは入力の圧
力範囲が大きくとれ、ダイヤフラム自身の弾性で圧力の
変位の線形的関係が得られるため多用されている。
鋼などの金属製のものと、ゴムやテフロンなどの非金属
製のものとに大別され、金属製ダイヤフラムは入力の圧
力範囲が大きくとれ、ダイヤフラム自身の弾性で圧力の
変位の線形的関係が得られるため多用されている。
前記金属製ダイヤフラムとしては、ステンレス製の筒状
の本体の一端を薄肉壁で閉じてそれをダイヤフラム部と
し、このダイヤフラム部の表面に歪ゲージを取付け、前
記筒状の本体の他端を開口して受圧孔口とし、この受圧
孔口から被測定体をダイヤフラム部に導いて歪ゲージを
動作せしめるようなタイプのものがある。このようなタ
イプの金属製ダイヤフラムを用いた圧力センサを本件出
願人は実願昭60−42414号において開示している。
の本体の一端を薄肉壁で閉じてそれをダイヤフラム部と
し、このダイヤフラム部の表面に歪ゲージを取付け、前
記筒状の本体の他端を開口して受圧孔口とし、この受圧
孔口から被測定体をダイヤフラム部に導いて歪ゲージを
動作せしめるようなタイプのものがある。このようなタ
イプの金属製ダイヤフラムを用いた圧力センサを本件出
願人は実願昭60−42414号において開示している。
ところが、ダイヤフラム自体が圧力を測定する被測定体
に直接接触するため、被測定体が腐蝕性の流体等の場合
にはダイヤフラム自体の腐蝕という問題もあるが、それ
のみならず半導体工業や食品工業さらには生化学工業な
どのように製造工程で異物混入を特に嫌うクリーン度が
要求される分野では、ダイヤフラム側から測定体側への
金属イオン等の不純物が溶出するという新たな問題があ
った。
に直接接触するため、被測定体が腐蝕性の流体等の場合
にはダイヤフラム自体の腐蝕という問題もあるが、それ
のみならず半導体工業や食品工業さらには生化学工業な
どのように製造工程で異物混入を特に嫌うクリーン度が
要求される分野では、ダイヤフラム側から測定体側への
金属イオン等の不純物が溶出するという新たな問題があ
った。
そこで、本体内の受圧孔内面に通常耐蝕性樹脂をコーテ
ィングしたり、耐蝕性金属をメッキしたり、耐蝕性圭素
系薄膜を蒸着法により付着せしめたりしている。
ィングしたり、耐蝕性金属をメッキしたり、耐蝕性圭素
系薄膜を蒸着法により付着せしめたりしている。
しかしながら、圧力センサの製造工程において高温によ
る薄膜形成および化学処理等を行なうためコーティング
又はメッキ処理が不可能であったり、これら処理が可能
であっても圧力センサの性能に悪影響を与えるおそれが
あり実用上も問題があった。また、耐蝕性圭素系薄膜を
蒸着法で形成した場合、膜が非常に薄く、ダストあるい
はピンホールを皆無にすることが困難である。
る薄膜形成および化学処理等を行なうためコーティング
又はメッキ処理が不可能であったり、これら処理が可能
であっても圧力センサの性能に悪影響を与えるおそれが
あり実用上も問題があった。また、耐蝕性圭素系薄膜を
蒸着法で形成した場合、膜が非常に薄く、ダストあるい
はピンホールを皆無にすることが困難である。
本考案は、かかる点に鑑み、簡単かつ安価に圧力センサ
本体特にダイヤフラム部の耐蝕性を著しく増大できるよ
うな圧力センサを提供することを目的とする。
本体特にダイヤフラム部の耐蝕性を著しく増大できるよ
うな圧力センサを提供することを目的とする。
そこで本考案は、一端を閉塞するように内部に受圧孔を
形成した筒状金属製の圧力センサの本体を備え、この本
体の前記閉塞された一端を薄肉に形成してダイヤフラム
部とし、このダイヤフラム部の表側に歪ゲージを取付
け、前記本体の他端を開口せしめて被測定体を受圧孔内
に導入するようにした圧力センサにおいて、前記受圧孔
内に弾力性のある耐蝕性樹脂からなる受圧保護キャップ
を嵌込み、このキャップの前記受圧孔内に入り込む部分
を薄肉の筒体部とし、前記圧力センサ本体の外側壁に接
触する部分を厚肉の外周壁部とし、前記筒体部と前記外
周壁部との間を薄肉の連結部とし、前記筒体部、外周壁
部及び連結部を圧力センサの本体の表面に密着させ、前
記外周壁部を圧力センサの本体の外側壁と圧力センサの
収納される筐体の内壁との間に収納し、前記連結部と前
記筐体との間には隙間を形成するようにした。
形成した筒状金属製の圧力センサの本体を備え、この本
体の前記閉塞された一端を薄肉に形成してダイヤフラム
部とし、このダイヤフラム部の表側に歪ゲージを取付
け、前記本体の他端を開口せしめて被測定体を受圧孔内
に導入するようにした圧力センサにおいて、前記受圧孔
内に弾力性のある耐蝕性樹脂からなる受圧保護キャップ
を嵌込み、このキャップの前記受圧孔内に入り込む部分
を薄肉の筒体部とし、前記圧力センサ本体の外側壁に接
触する部分を厚肉の外周壁部とし、前記筒体部と前記外
周壁部との間を薄肉の連結部とし、前記筒体部、外周壁
部及び連結部を圧力センサの本体の表面に密着させ、前
記外周壁部を圧力センサの本体の外側壁と圧力センサの
収納される筐体の内壁との間に収納し、前記連結部と前
記筐体との間には隙間を形成するようにした。
圧力センサ本体の受圧孔内に別途成形又は加工した耐蝕
性樹脂又はゴムからなるキャップを嵌込む。前記キャッ
プの圧力センサ本体のダイヤフラム部に対向する壁面は
薄肉に形成される。このように、キャップによって耐蝕
性は著しく増大されるのみならず、成形も容易であり、
ダイヤフラム部の出力特性（感度）も落ちない。
性樹脂又はゴムからなるキャップを嵌込む。前記キャッ
プの圧力センサ本体のダイヤフラム部に対向する壁面は
薄肉に形成される。このように、キャップによって耐蝕
性は著しく増大されるのみならず、成形も容易であり、
ダイヤフラム部の出力特性（感度）も落ちない。
以下、図面を参照して、本考案の一実施例について説明
する。
する。
第１図において、圧力センサＭは、筒状の圧力センサ本
体１を有し、この本体１内には受圧孔２が形成され、受
圧孔２の上端は薄肉のダイヤフラム部３で閉塞され、そ
の下端は開口して被測定体の圧力を受圧孔２内に導入す
るようになっている。前記本体１の側壁にはフランジ４
が形成され、前記ダイヤフラム部３の表面には歪ゲージ
５が付着されている。
体１を有し、この本体１内には受圧孔２が形成され、受
圧孔２の上端は薄肉のダイヤフラム部３で閉塞され、そ
の下端は開口して被測定体の圧力を受圧孔２内に導入す
るようになっている。前記本体１の側壁にはフランジ４
が形成され、前記ダイヤフラム部３の表面には歪ゲージ
５が付着されている。
前記歪ゲージ５は、蓋状のシールキャップ６によって保
護され、このシールキャップ６はボンディング用貫通孔
７を有し、前記シールキャップ６上には図示しないボン
ディング用パッド及び外部接続用パッドが形成されてい
る。そして、前記ボンディング用パッドと歪ゲージ５と
はボンディング用貫通孔７内を通る電線w0で接続され、
前記外部接続用パッドからはリード線w1,w1かが引出さ
れている。
護され、このシールキャップ６はボンディング用貫通孔
７を有し、前記シールキャップ６上には図示しないボン
ディング用パッド及び外部接続用パッドが形成されてい
る。そして、前記ボンディング用パッドと歪ゲージ５と
はボンディング用貫通孔７内を通る電線w0で接続され、
前記外部接続用パッドからはリード線w1,w1かが引出さ
れている。
前記シールキャップ６の周囲でかつ外筒９内には樹脂ポ
ッティング８が充填され、この外筒９は、前記本体１の
フランジ４上に載置されつつ、圧力センサＭを収納した
筐体10の内壁に接触している。前記外筒９の上面は押え
枠11によって押えられ、これによって圧力センサＭが筐
体10内に収納固定されている。
ッティング８が充填され、この外筒９は、前記本体１の
フランジ４上に載置されつつ、圧力センサＭを収納した
筐体10の内壁に接触している。前記外筒９の上面は押え
枠11によって押えられ、これによって圧力センサＭが筐
体10内に収納固定されている。
前記受圧孔２内には、第２図に示すような形状の受圧保
護キャップ20の筒体部21が嵌め込まれている。前記受圧
保護キャップ20はテフロン等の耐蝕性樹脂又はゴムで形
成されている。前記受圧保護キャップ20はその中心部に
薄肉の前記筒体部21を備え、この筒体部21の周囲に厚肉
の外周壁部22が形成され、これら筒体部21と外周壁部22
が薄肉の水平連結部23で連結されている。前記筒体部21
は本体１の受圧孔２内に嵌着され、その上面21aはダイ
ヤフラム部３に対向して密着される。前記連結部23は本
体１の下面に接触し、前記外周壁部22はその上面が前記
フランジ４の下面に当接しつつ筐体10の内壁と本体１の
外側壁間に収納されている。前記筒体部21の上面21aは
直接ダイヤフラム部３に当接しているので圧力の変化に
対して敏感に対応する必要があるので薄肉に形成され
る。
護キャップ20の筒体部21が嵌め込まれている。前記受圧
保護キャップ20はテフロン等の耐蝕性樹脂又はゴムで形
成されている。前記受圧保護キャップ20はその中心部に
薄肉の前記筒体部21を備え、この筒体部21の周囲に厚肉
の外周壁部22が形成され、これら筒体部21と外周壁部22
が薄肉の水平連結部23で連結されている。前記筒体部21
は本体１の受圧孔２内に嵌着され、その上面21aはダイ
ヤフラム部３に対向して密着される。前記連結部23は本
体１の下面に接触し、前記外周壁部22はその上面が前記
フランジ４の下面に当接しつつ筐体10の内壁と本体１の
外側壁間に収納されている。前記筒体部21の上面21aは
直接ダイヤフラム部３に当接しているので圧力の変化に
対して敏感に対応する必要があるので薄肉に形成され
る。
このように、耐蝕性材からなる受圧保護キャップ20を別
体に形成し、圧力センサの組立時に圧力センサ本体１に
嵌込むようにして筐体内に収納すれば、簡単に組立てる
こともできるし、本体１、特にダイヤフラム部３の耐蝕
性を著しく増大することができる。
体に形成し、圧力センサの組立時に圧力センサ本体１に
嵌込むようにして筐体内に収納すれば、簡単に組立てる
こともできるし、本体１、特にダイヤフラム部３の耐蝕
性を著しく増大することができる。
前記ダイヤフラム部３にキャップ20を被せた場合の出力
特性（圧力感応度）を以下の条件で行なった。すなわ
ち、テフロン製のキャップを成形し、その筒体部21の肉
厚を0.5mmとし、圧力レンジを０〜500kg/cm2とし、圧力
センサに基準重錘形圧力計（基準器）にて圧力を０から
100kg/cm2毎に500kg/cm2まで加圧し、その後100kg/cm2
毎に０まで減圧し、そのときの出力値をプロットした。
その結果をキャップ20を装着しない場合の出力特性と比
較してみた。第３（ａ）図はキャップ20を装着しない場
合の出力特性を示し、第３（ｂ）図はキャップ20を装着
した場合の出力特性を示す。両者を比較してみると、加
圧時（実線）および減圧時（破線）において圧力センサ
の出力値は直線的ヒステリシス特性を示し、キャップを
装着した場合と装着しない場合のヒステリシスはほぼ等
しく、実用上特に問題はない。
特性（圧力感応度）を以下の条件で行なった。すなわ
ち、テフロン製のキャップを成形し、その筒体部21の肉
厚を0.5mmとし、圧力レンジを０〜500kg/cm2とし、圧力
センサに基準重錘形圧力計（基準器）にて圧力を０から
100kg/cm2毎に500kg/cm2まで加圧し、その後100kg/cm2
毎に０まで減圧し、そのときの出力値をプロットした。
その結果をキャップ20を装着しない場合の出力特性と比
較してみた。第３（ａ）図はキャップ20を装着しない場
合の出力特性を示し、第３（ｂ）図はキャップ20を装着
した場合の出力特性を示す。両者を比較してみると、加
圧時（実線）および減圧時（破線）において圧力センサ
の出力値は直線的ヒステリシス特性を示し、キャップを
装着した場合と装着しない場合のヒステリシスはほぼ等
しく、実用上特に問題はない。
本考案は、以上のように、圧力センサ本体の受圧側を耐
蝕性樹脂からなる受圧保護キャップで覆うので、圧力セ
ンサの耐蝕性を向上できるのはもちろんのこと、該キャ
ップの筒体部は薄くかつダイヤフラムの表面に密着して
いるので、変形し難く常に安定した密着状態を保ち、圧
力センサの出力を安定させることができる。また、連結
部と筐体との間に隙間を形成しているので、外周壁部の
シールに伴う変形等が筒体部に及ばないよう連結部で吸
収し圧力センサの零点、感度等の出力変化を回避し、筒
体部が薄くかつダイヤフラムの表面に密着していること
と相俟って圧力センサの出力をさらに安定させることが
できる。
蝕性樹脂からなる受圧保護キャップで覆うので、圧力セ
ンサの耐蝕性を向上できるのはもちろんのこと、該キャ
ップの筒体部は薄くかつダイヤフラムの表面に密着して
いるので、変形し難く常に安定した密着状態を保ち、圧
力センサの出力を安定させることができる。また、連結
部と筐体との間に隙間を形成しているので、外周壁部の
シールに伴う変形等が筒体部に及ばないよう連結部で吸
収し圧力センサの零点、感度等の出力変化を回避し、筒
体部が薄くかつダイヤフラムの表面に密着していること
と相俟って圧力センサの出力をさらに安定させることが
できる。
第１図は本考案の圧力センサの縦断面図、第２図は受圧
保護キャップの縦断面図、第３（ａ）図は受圧保護キャ
ップを装着しない場合の圧力センサの出力特性グラフ、
第３（ｂ）図は受圧保護キャップを着装した場合の圧力
センサの出力特性グラフである。 １…本体、２…受圧孔、３…ダイヤフラム部、５…歪ゲ
ージ、６…シールキャップ、20…受圧保護キャップ。
保護キャップの縦断面図、第３（ａ）図は受圧保護キャ
ップを装着しない場合の圧力センサの出力特性グラフ、
第３（ｂ）図は受圧保護キャップを着装した場合の圧力
センサの出力特性グラフである。 １…本体、２…受圧孔、３…ダイヤフラム部、５…歪ゲ
ージ、６…シールキャップ、20…受圧保護キャップ。
Claims (1)
- 【請求項１】一端を閉塞するように内部に受圧孔を形成
した筒状金属製の圧力センサの本体を備え、この本体の
前記閉塞された一端を薄肉に形成してダイヤフラム部と
し、このダイヤフラム部の表側に歪ゲージを取付け、前
記本体の他端を開口せしめて被測定体を受圧孔内に導入
するようにした圧力センサにおいて、前記受圧孔内に弾
力性のある耐蝕性樹脂からなる受圧保護キャップを嵌込
み、このキャップの前記受圧孔内に入り込む部分を薄肉
の筒体部とし、前記圧力センサ本体の外側壁に接触する
部分を厚肉の外周壁部とし、前記筒体部と前記外周壁部
との間を薄肉の連結部とし、前記筒体部、外周壁部及び
連結部を圧力センサの本体の表面に密着させ、前記外周
壁部を圧力センサの本体の外側壁と圧力センサの収納さ
れる筐体の内壁との間に収納し、前記連結部と前記筐体
との間には隙間を形成したことを特徴とする圧力セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988023002U JPH0712910Y2 (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988023002U JPH0712910Y2 (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128141U JPH01128141U (ja) | 1989-09-01 |
| JPH0712910Y2 true JPH0712910Y2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=31241625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988023002U Expired - Lifetime JPH0712910Y2 (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712910Y2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2795292B2 (ja) * | 1991-03-28 | 1998-09-10 | 宇部興産株式会社 | ブロー成形機のパリソン肉厚制御方法および装置 |
| JP2547038Y2 (ja) * | 1991-10-07 | 1997-09-03 | 理化工業株式会社 | 圧力センサ |
| JPH08159904A (ja) * | 1994-12-02 | 1996-06-21 | Front Eng Kk | 圧力変換器 |
| JP3404563B2 (ja) * | 1997-10-09 | 2003-05-12 | 理化工業株式会社 | 圧力センサ |
| JP4777531B2 (ja) * | 2001-04-12 | 2011-09-21 | サーパス工業株式会社 | 圧力計 |
| JP2006010537A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Saginomiya Seisakusho Inc | 薬液用圧力センサ |
| KR101483279B1 (ko) * | 2012-06-11 | 2015-01-14 | 가부시키가이샤 사기노미야세이사쿠쇼 | 압력 센서 및 압력 센서의 제조 방법 |
| JP6903510B2 (ja) * | 2017-07-25 | 2021-07-14 | 京セラ株式会社 | タイヤ空気圧検知装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS613437U (ja) * | 1984-06-12 | 1986-01-10 | 株式会社 長野計器製作所 | 圧力センサ |
| JPS61121759U (ja) * | 1985-01-17 | 1986-07-31 |
-
1988
- 1988-02-25 JP JP1988023002U patent/JPH0712910Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01128141U (ja) | 1989-09-01 |
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