JP7157477B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
2 圧力検出素子
3 流体通路
4 ボディ
5 筒状部材
5a 溶接用フランジ部
5a′接続用フランジ部
5b 取付け用フランジ部
6 圧力センサ部
7 受圧室
8 センサボディ
8a ダイヤフラム
8b 円筒部
8c 接続用筒部
8d 溶接用フランジ部
8d′接続用フランジ部
16 ガスケット
22 ボルト
23 ナット
W 溶接
Claims (7)
- 流体通路を形成したボディに前記流体通路と連通する状態で気密状に取り付けられる筒状部材と、前記筒状部材に接続されて前記ボディの前記流体通路内を流れる流体の圧力を検出する圧力センサ部とを備えた圧力センサであって、
前記筒状部材は、ニッケル-モリブデン-クロム合金材又はステンレス鋼材により前記圧力センサ部の最大外径よりも小径に形成され、
前記圧力センサ部は、前記流体が流入する受圧室及び前記受圧室に流入した前記流体に接するダイヤフラムを有し前記ダイヤフラムにより一端が閉塞されたセンサボディと、前記ダイヤフラムの変位を圧力として出力する圧力検出素子とを備え、
前記センサボディは、コバルト-ニッケル合金材により形成され、開口側端部が前記筒状部材の一端部に気密状に接続されていることを特徴とする圧力センサ。 - 流体通路を形成したボディに前記流体通路と連通する状態で気密状に取り付けられる筒状部材と、前記筒状部材に接続されて前記ボディの前記流体通路内を流れる流体の圧力を検出する圧力センサ部とを備えた圧力センサであって、
前記筒状部材は、ニッケル-モリブデン-クロム合金材又はステンレス鋼材により形成され、
前記圧力センサ部は、前記流体が流入する受圧室及び前記受圧室に流入した前記流体に接するダイヤフラムを有し前記ダイヤフラムにより一端が閉塞されたセンサボディと、前記ダイヤフラムの変位を圧力として出力する圧力検出素子とを備え、
前記圧力センサ部のセンサボディの開口側端部の端面に、前記圧力センサ部の最大外径よりも小径で且つ内径が前記筒状部材の内径と同一の接続用筒部を突出形成し、
前記センサボディは、コバルト-ニッケル合金材により形成され、前記センサボディの前記接続用筒部の開口側端部が前記筒状部材の一端部に気密状に接続されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記筒状部材と前記センサボディは、溶接により気密状に接続されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記筒状部材の一端部に溶接用フランジ部を設けると共に、前記筒状部材の他端部に取付け用フランジ部を設け、
前記センサボディの前記接続用筒部の開口側端部に、前記筒状部材の溶接用フランジ部に当接する溶接用フランジ部を設け、
前記筒状部材の溶接用フランジ部と前記センサボディに形成した前記接続用筒部の溶接用フランジ部とを溶接により気密状に接続固着したことを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。 - 前記筒状部材と前記センサボディは、フランジ接続により気密状に接続されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記筒状部材の一端部に接続用フランジ部を設けると共に、前記筒状部材の他端部に取付け用フランジ部を設け、
前記センサボディの前記接続用筒部の開口側端部に、前記筒状部材の接続用フランジ部に当接する接続用フランジ部を設け、
前記筒状部材の接続用フランジ部と前記センサボディに形成した接続用筒部の接続用フランジ部との間にガスケットを挟み込み、前記筒状部材の接続用フランジ部と前記接続用筒部の接続用フランジ部とを、ボルト及びナットで締め付けて気密状に接続固定したことを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。 - 前記筒状部材の一端部に接続用フランジ部を設けると共に、前記筒状部材の他端部に取付け用フランジ部を設け、
前記センサボディの前記接続用筒部の開口側端部に、前記筒状部材の接続用フランジ部に当接する接続用フランジ部を設け、
前記筒状部材の接続用フランジ部と前記センサボディに形成した接続用筒部の接続用フランジ部との間にガスケットを挟み込み、前記筒状部材の接続用フランジ部と前記接続用筒部の接続用フランジ部とを、クランプによって外部から挟んで気密状に接続固定したことを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。
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JP7370028B2 (ja) * | 2020-12-23 | 2023-10-27 | 株式会社フジキン | 圧力センサ |
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KR102632048B1 (ko) * | 2023-07-14 | 2024-02-01 | (주)유니콘 | 압력변환식 수위지시계 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005148002A (ja) | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Yokogawa Electric Corp | 圧力センサ |
JP4185477B2 (ja) | 2004-07-23 | 2008-11-26 | 長野計器株式会社 | 圧力センサ |
JP6115935B2 (ja) | 2013-01-25 | 2017-04-19 | セイコーインスツル株式会社 | 二相ステンレス鋼からなる時効熱処理加工材とそれを用いたダイヤフラムと圧力センサとダイヤフラムバルブ及び二相ステンレス鋼の製造方法 |
JP6327633B2 (ja) | 2013-09-19 | 2018-05-23 | セイコーインスツル株式会社 | 二相ステンレス鋼からなるダイヤフラム |
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Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3084304B2 (ja) * | 1991-07-04 | 2000-09-04 | 長野計器株式会社 | 圧力センサの金属製ダイヤフラム |
JPH0569647A (ja) | 1991-09-12 | 1993-03-23 | Nec Eng Ltd | プリンタのインクリボン交換情報表示方式 |
JPH0714345U (ja) * | 1993-08-19 | 1995-03-10 | エヌオーケー株式会社 | 圧力センサ |
JP3378092B2 (ja) * | 1994-08-09 | 2003-02-17 | カルソニックカンセイ株式会社 | 圧力センサ |
JP3403294B2 (ja) | 1996-09-10 | 2003-05-06 | 忠弘 大見 | 圧力検出器 |
JPH10142088A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
DE50303304D1 (de) * | 2002-06-22 | 2006-06-14 | Bosch Gmbh Robert | Hochdruck-sensor-gehaeuse mit verbindungsteil (emv-abschirmung) |
CN101208528B (zh) * | 2005-06-23 | 2010-05-19 | 日本精工株式会社 | 推力滚子轴承 |
JP2007033075A (ja) | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Jfe Advantech Co Ltd | 光学式水位計 |
JP2007057395A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ |
US8286496B2 (en) * | 2009-02-17 | 2012-10-16 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Fluid pressure sensor incorporating flexible circuit board |
JP5714395B2 (ja) * | 2010-05-25 | 2015-05-07 | 株式会社堀場エステック | 静電容量型圧力センサ |
JP6231812B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2017-11-15 | アズビル株式会社 | 静電容量型圧力センサ |
CN204154433U (zh) * | 2014-09-10 | 2015-02-11 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种压力弹性体 |
JP6480375B2 (ja) * | 2016-04-07 | 2019-03-06 | 長野計器株式会社 | 圧力センサ |
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Patent Citations (5)
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JP2005148002A (ja) | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Yokogawa Electric Corp | 圧力センサ |
JP4185477B2 (ja) | 2004-07-23 | 2008-11-26 | 長野計器株式会社 | 圧力センサ |
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JP6327633B2 (ja) | 2013-09-19 | 2018-05-23 | セイコーインスツル株式会社 | 二相ステンレス鋼からなるダイヤフラム |
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