JPH11504615A - ガラス上に反射層を被着する方法及び得られる製品 - Google Patents

ガラス上に反射層を被着する方法及び得られる製品

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JPH11504615A
JPH11504615A JP9531528A JP53152897A JPH11504615A JP H11504615 A JPH11504615 A JP H11504615A JP 9531528 A JP9531528 A JP 9531528A JP 53152897 A JP53152897 A JP 53152897A JP H11504615 A JPH11504615 A JP H11504615A
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aluminum
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ボワール,フィリップ
ジョレ,ローラン
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サン−ゴバン ビトラージュ
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Abstract

(57)【要約】 フロートラインガラスストリップ(10)の上に反射層(3)を被着し、特に連続的に被着し、この際、上記層が上記ガラスストリップが寸法安定性を得る温度以下の融点を持つ金属を含む。被着は、制御された不活性な又は還元性の雰囲気中で、上記ガラスストリップ(10)が寸法安定性を得た後、上記ストリップ表面を粉末状の又は溶融状態の金属(22)と接触させ、上記ストリップが上記粉末が溶融して合体し、又は上記溶融した金属が上記ストリップの表面上でフィルムを形成し、上記ストリップが上記金属の融点以下の温度になって連続的な固体層を与えるようにして、行われる。

Description

【発明の詳細な説明】 ガラス上に反射層を被着する方法及び得られる製品 本発明は、ガラス上に反射層、より詳しくは金属層を被着する方法に関する。 その厚さによって、金属層は、グレージングパネル(glazing pan el)にしようとするガラス基体に、実際、種々の性質を与えることができる。 比較的薄い厚さでは、この金属層は、太陽の放射線に対する保護のための被膜と して及び/又は低放射率の被膜として作用する。より大きな厚さでは、非常に高 い光反射率を有する真の鏡を得ることが可能になる。 最も普及した例は銀である。スパッター型の真空法を用いて特に干渉性の厚さ を有する薄膜として、又は例えば従来のシルバーリングライン(silveri ng line)の湿潤法を用いて鏡を作るために、より厚い層として銀を被着 することは知られている。しかしながら、銀は、化学的に攻撃的な媒体に曝され ると、薄いフィルムとして耐久性の限られた材料であり、上記の被着法は、フロ ート法製造ラインのガラスリボンから一旦裁断されたガラス板上に不連続な工程 においてのみ、実施できる。 それ故、銀に類似の性質を持つが、フロートラインのガラスリボン上に直接被 着することが可能であり、優れた耐久性を持つ他の材料、例えばアルミニウムを 検討するのは価値のあることである。 従って、フランス特許No.2011563から、ガラスリボンがフロート浴の 当該室中にあるとき、そのガラスに向けてアルミニウム蒸気を放出する溶融金属 の塊を用い、その蒸気がそのガラスリボンの表面上に凝縮して、連続的な被膜を 与えるようにしたガラスリ ボン上へのアルミニウム層の被着をすることは、公知である。しかしながら、こ の種の方法は欠点を有する。即ち、これは実行するのに油断のならないものであ り、均一な厚さの被着を確保するのは容易でなく、とりわけ、被着速度が低く、 その制限ファクターは金属アルミニウムの蒸気分圧が非常に低いことである。 GB−A−2248853から、少なくとも100℃の温度のフロートガラス のリボン上にアルミニウム層を被着することも公知である。ここでは、使用され る方法は液相中での熱分解の一種で、この場合、溶媒に溶解された有機金属化合 物がガラスに向けてスプレーされ、このガラスと接触したとき元素状の金属に分 解する。この種の熱分解も欠陥を免れない−特に、それは多量の溶媒の放出と処 理が必要である。 従って、本発明の目的は、上記の欠点を緩和し、特に、グレージングパネルの 工業的製造の要請に適合した高品質の層を得ることを可能にする、フロートガラ スのリボンの上に金属の反射層を連続的に製造する新規な方法を開発することで ある。 本発明の主題は、その融点がガラスリボンが寸法安定性を得る温度に等しいか 又はそれより低い金属をベースにした反射層をフロートラインのガラスリボンの 上に、特に連続的に被着する方法である。これは、前記ガラスリボンが既に寸法 安定性を獲得したとき不活性な又は還元性の調節された雰囲気中で被着を実施す ることからなり、このリボンの表面を問題の金属を粉末の形又は溶融した形で接 触させ、接触中のリボンの表面の温度を前記粉末が溶融し合体するように選び、 この溶融した金属が、リボンの表面でシートを形成し、平滑ガラス形成プロセス の間にリボンの温度が前記金属の融点に等しいか又はこれより低い温度に下がっ たとき、固体連続層を与えることによるものである。 本発明のコンテキスト(context)の中で、「金属」とは、本質的に伝 導型の電気的挙動をする物質を意味するものと理解される。それは、例えば金属 間化合物、合金又は共晶化合物の形をした少なくとも2つの金属のいずれかを基 礎とする本質的に金属的な物質である。 有利には、本発明の「金属」は、アルミニウム、亜鉛、錫及びカドミウムを含 む群に属する物質の少なくとも1つを基礎とする。任意に、それはケイ素又は他 の金属(特に、15原子%未満の濃度で)を含んでいてもよい。 本発明の好ましい物質の具体例としては、アルミニウム、アルミニウム−錫合 金、アルミニウム−亜鉛合金、アルミニウム−ケイ素化合物、及び、特に12原 子%のケイ素を含み、融点が約575℃であるアルミニウム−ケイ素共晶化合物 を挙げることができるが、これらに限られない。 更に、「連続」層とは、全部でないにしてもその表面の殆どを覆うようにガラ スリボン上に被着できる層の意味であるものと理解される。しかしながら、これ は例えば平行なストリップの形で被着し、それ故ガラスの表面を意図された望み の態様に、部分的にのみ、例えば装飾目的で、覆う複数の層をも含む。 これは、肉眼で見て連続的であるが、肉眼のスケールでは前記ガラスリボンの 一部のみを覆うことのある層も含む。 本発明のコンテキストの範囲内で、「リボンの表面」とは裸のガラスの表面だ けでなく任意に事前に少なくとも1つの与えられた被膜で処理された/被覆され たガラスの表面をも意味するものと理解される。 本発明は、好ましくはフロートラインのガラスリボンに適用される。しかしな がら、本発明はそれに限られるものではなく、フロー トラインから得られたものでないガラスリボン、又は不連続ガラス基体、例えば ガラス板にも適用できることは勿論である。 本発明の方法は多数の利点を有する。一方では、本発明においては、金属は固 相又は液相でのみ使用され、上記のフランス特許FR−2011563における ように気相では使用されない。結局、ガラスの表面で蒸気よりも粉末又は液体の 配給の方が調節が容易であるから、この方法の実施は非常に便利になる。更に、 これはその金属の蒸気圧からなる制限要因の問題を回避し、それ故非常に高い被 着速度を達成する。これは、比較的大きな厚さ、特にガラスを鏡に変えるに充分 な厚さを有する層を製造する鍵となる利点である。その理由は、フロート浴室に おけるフロートラインでの被着操作においては、ガラスは更に既に寸法的に安定 していなければならないことを知れば、被着が実施される空間は非常に小さく、 従って比較的長い被着時間又は比較的長い金属/ガラス接触時間によって、低い 被着速度を「補償する」のは必ずしも可能ではないからである。 更に、本発明方法は、ガラス表面上での金属粉末の溶融の操作、又は予め溶融 された金属の「シート化」の操作を含む。それ故、これが固相又は液相又はガス 相(この場合には、CVD又は化学蒸着なる言葉によっても知られている)のい ずれであれ、用語の通常の意味で熱分解はない。その理由は、反対に、熱分解は 、熱いガラスと接触して有機金属誘導体型の前駆体の分解の化学反応ステップを 含むからである。 この相違は得られる相の性質に非常に積極的な効果を持つ。本発明の層は、元 素状の金属の溶融から生じるという事実の故に、熱分解された層より接着性で、 密度が高く、「粗さ」が小さい傾向がある。それらはまた、フロートラインにお けるガラスリボンの通過の際の冷却速度に対応する速度でその結晶化が起こるの で、それらは よりよく結晶化する傾向がある。熱分解した層の少なくとも部分的な結晶化は、 一般に前駆体の分解の間により一層「急に」起こり、しばしば機械的応力を伴う 。 例えば、ガラスの所で分解から来るある量の残留炭素を含むことのある熱分解 層の場合と異なって、何らかの不純物が、層形成の間に層中に入り込む危険性は 殆どないので、本発明の層はより純粋である傾向がある。 更に、これら全ての改善は比較的高い品質と比較的大きな耐久性を持った層に 導く。この層が密なほど及びそれのガラスへの接着性が高いほど、特に湿った媒 体において、その腐食に抵抗する能力、又は酸化に抵抗する能力が大きく、これ は、ガラスリボンをその後に基体に裁断して、熱処理、例えば曲げ作業及び/又 は焼き入れ操作するならば、有利である。表面粗さの低いことはよりよい腐食抵 抗性も確保し、ある量の拡散反射による「曇り(haze)」効果を最小にもす る。最後に、比較的高度の結晶性と結合した比較的高い純度、特に非常に少量の 炭素質吸収性粒子は、本発明の層に非常に高い光反射性を与え、これは鏡を製造 するにあたって何よりも望ましいことである。 それ故、本発明方法の工業的適性は、予想に反して、このようにして製造され た反射層の性能に損害を与えるように作用することはない。金属粉末がガラスリ ボンと接触する前に金属粉末にも、層が形成されている間に層それ自体にも酸化 が起こらないようにするために、被着は不活性ガス又は還元性雰囲気中で行われ るのが重要である。この被着はフロート浴室中で実施されてもよく、これによっ て窒素と水素の混合物であるその制御された雰囲気を利用することができる。こ れに代えて、フロート浴室の下流で、特に任意に前記室から延びる本質的にシー ルされた箱中で、被着を実施することが できる。そのような「延長」は特に特許FR−2348896に詳しく記載され ている。 有利には、反射層の被着は、ガラスリボンが前記金属の融点又はそれより高い 温度で実施される。これにより、ガラスに到達する金属粒子が溶融し及び/又は 溶融した金属がその表面に充分に分布するようにする。 粉末の形態の金属はガラスの表面と、2つの異なった形態で接触しうる。 第1の態様は、特に分配ノズルを用いて、前記金属の酸化を防ぐために不活性 又は還元性であるキャリヤーガス中に懸濁させて前記金属粉末を噴霧することか らなる。これはガラスの上に、そして前記リボンの幅の全体に亘って又は部分的 にガラスの走行軸を実質的に横切るように配置された静止ノズルであってよい。 それはまた、ガラスリボンの走行軸を実質的に横切る軸に沿って往復運動するよ うにされた運動ノズルであってもよい。単一の金属、例えばAlで出来た層を被 着する場合は、この粉末は前記金属の粒子のみで作られる。最終層が合金である ときは、この粉末は好ましくは最終被膜の成分の各々の粉末の混合物であり、こ の混合物の割合を要求に応じて調節することが可能であるし、また前記合金から 直接製造された粉末であってもよい。 この粉末の混合物の粒度(実際にはそれを構成する粒子の平均直径)は、有利 には0.1μm〜100μm、特に1.0〜50μm、例えば5〜10μmである。 そのような粒度範囲においては、その粉末「粒子」は、最善の態様でガラス上で 溶融し合体することができるであろう。 第2の態様は、熱活性化により、及び/又は相互に反応することのできる誘導 体を相互に接触させることにより、分解して金属をも たらす少なくとも1つの金属の誘導体、特にガス状のものから、ガラスリボンの 上で「その場で」粉末の形で、金属を発生させることからなる。これは、ガラス の上に存在する不活性又は還元性の雰囲気中で形成された金属が酸化されないよ うにする他の方法である。更に、ガスの形態の原料から出発して、上述の全ての 欠点無しに化学蒸着(CVD)技術を使用することができる。それは、本発明の コンテキストの範囲内で、何らかの分解があるとすれば、それはガラスの上で起 こるのであり、ガラスと接触して起こるのではないからである。 このようにして形成された粉末は、好ましくは先に述べたのと同じ粒度を持っ ている。 好ましくは、アンモニアにより又はアミンにより錯化された金属アルキル、金 属水素化物又は金属水素化物/金属アルキル化合物の混合物、特にアルミニウム の場合にはアランから選ばれる1つの金属誘導体(又は複数の金属誘導体)から 、前記金属は「その場で」形成される。単一のタイプの「前駆体」が選ばれるか 又は、特に前記層が合金から作られるべきときは種々のタイプの複数の前駆体が 選ばれる。 それらの金属への分解温度は一般に50℃〜600℃、特に100℃〜450 ℃である。それ故、そのような温度範囲は、前記層の被着着の間にガラスリボン 持っている温度とは一致しない。化学蒸着と相違して、選ばれた金属誘導体の分 解温度及び被着の際のガラスの温度の間には相互関係がなく、それ故、それらの 他から独立に最適化し、適当な金属誘導体を選択するより多くの自由度がある。 本発明の範囲内において、金属誘導体と、制御された核生成又は金属粒子の成 長を促進する少なくとも1つの添加剤とを組み合わせることが可能である。この 添加剤は、ガラスの上で形成される粉末 の粒度を調節する助けとなる。 それ故、金属誘導体はガラスリボンの上に、有利には、その壁が前記発生した 粉末を案内する通路を画定する装置を用いて、ガスの形で、導入される。この空 洞は完全に実質的に鉛直で、可能ならば末広がりになっているか、反対にガラス リボンに向かって収斂し、その高さの少なくとも一部に亘って適当な「温度勾配 」が作りだされる。「温度勾配」とは、比較的なだらかに、好ましくはガラスに 向かって上昇するように選ばれる温度の正確な制御を意味する。この温度勾配の 調節は、一方では金属誘導体の金属への分解が起こり、他方では金属粒子の良好 な成長が起こって満足な粒度、特に本発明の第1の具体例におけるように、5〜 10μmに達する時期と空洞内での領域の制御を与える。 好ましい態様において、本発明方法はこの装置の空洞の上部において金属誘導 体を注入し、それらの分解から生じた流出物をこの空洞の壁の中に作った排出手 段によって取り出すことからなる。取り出しは、好ましくは、金属粉末が形成さ れ、それが充分な粒度に達するレベル又はその付近で起こる。このようにして、 それらはガラスと接触し、又は化学反応により金属粒子中に包含されて、例えば 問題の金属の炭化物又は窒化物を形成する前に、排出され、粉末それ自体は、単 に重力の下でガラス上に「落下する」。前記空洞中の少なくとも1つの点で、不 活性の又は還元性のガスを注入するための設備が作られてもよい。これは、この 空洞の壁の上に金属が凝集する危険性を避けるのを助けるであろう。 更に、この空洞は少なくとも部分的に、ガラスの上に存在する不活性の及び/ 又は還元性の雰囲気中にあるので、それ自体、そのような雰囲気で満たされるよ うに設計される。もしガス状の金属誘導体がキャリヤーガス中の懸濁物として導 入されるならば、前記ガス は、勿論不活性及び/又は還元性であるように選ばれるであろう。 金属粉末が直接噴霧されようが、金属誘導体を用いようが、本発明において、 それは、ガラスと接触し又はガラスの付近、その少し上において、ガラスリボン によって短距離で放出される熱の効果の下に、液化し又は溶融することを理解す る必要がある。それ故、この粉末は、ガラスの上に小滴のシャワーとなって降り 注ぐことができる。 本発明の他の可能性は、金属粉末又はガス状金属誘導体からではなく、既に溶 融した金属から出発することである。この溶融金属は、ガラスの上に、そしてそ の走行軸を横切って配置され、静止した分配ノズルを用いて分配される。このノ ズルは溶融金属の「カーテン」をガラス上に供給する。これに代えて、ガラスの 上で往復運動するようにされたスプレーガンタイプの移動ノズルを用いることも 可能である。 先に述べたように、本発明の反射層は2つの非常に有利な性質を持つ: ○一方では、それらは稠密であり、例えば熱分解により得られるものよりも、 また尚更スパッターもしくは蒸発型の蒸着法により得られる層よりも稠密である 。この密度、特にアルミニウム層のそれは、前記物質の理論密度の少なくとも8 0%であり、更には少なくとも90〜95%である。更に、そのように高い密度 は、与えられた厚さについて達成される比較的大きな光反射を可能にする(これ らの密度は、X線反射率計によって測定される電子密度を用いて、間接的に測定 することができることに注意すべきである); ○他方では、これらの例は不純物を含まないか非常に少量の不純物を含む。炭 素型の、酸素型の、又は窒素型の不純物はその層の光反射性に損害を与えてその 層の吸収性及び/又は透過性を増す傾向 を有する。それ故、このように不純物の量が少ないことは、与えられた厚さにつ いて、最大のミラー(mirror)効果を得るために、高い密度と調和する。 最大不純物レベルは、本発明のどの方法が選択されるかに依存して少し変化する 。もし、少なくとも部分的に有機の前駆体の分解を含まない粉末の又は溶融した 形の、その層を形成する材料から「出発する」ならば、その層は非常に純粋であ ろう。従って、それは多くともたった1原子%のO又はCのような不純物を一般 に含む。この不純物はそれが形成される間に、例えば大気の汚染により、又は出 発粉末中に存在する汚染物によりその層中に恐らく含まれるようになったもので ある。通常、不純物の量は1原子%未満であり、測定装置、この場合には走査電 子顕微鏡の検出限界未満に止まる。これと対照的に、もし、少なくとも部分的に 有機の金属誘導体の形の前駆体から出発するときは、前記反射層は非常に純粋で あるが、恐らく上記のケースにおけるよりもやや高い量の、特に多くても2〜3 原子%の不純物を含むであろう。これらは、特にアラン型化合物から出発すると きは、炭素、酸素又は窒素であり得る。 前記金属がガラスと接触する態様がどの様なものであれ、前記金属層そのもの を被着する前にガラスの表面を処理するのが有利であろう。そのような予備処理 をするのには少なくとも2つの理由がある。一方では、その層のガラスへの湿潤 /結合を促進することが意図されることがある。他方では、前記金属及びガラス 中に含まれる酸化ケイ素から、前記金属及びケイ素に対応する金属酸化物を形成 する傾向があるガラス/金属界面での疑似の反応を抑制することが意図されるこ とがある。 それは、ガス状製品を、真の化学反応はないが、ガラスの表面によるガスの少 なくとも部分的な吸着を伴う、ガラスとの接触をもた らすことに存在する単なる表面「増感現象」であるかも知れない。このガスは、 例えば四塩化チタンTiCl4であり得る。 しかしながら、前記予備処理は、前記層の被着の前に少なくとも1つの所謂「 中間層」を被着することを含んでもよい。前記1つ又は複数の中間層は、有利に は、以下の群に属する物質の少なくとも1つに基づいて選んでよい:ケイ素、酸 化物、例えば酸化ケイ素、酸炭化物又は酸窒化物、酸化チタンTiO2、酸化亜 鉛ZnO、窒化物、例えば窒化アルミニウムAlN、窒化ケイ素Si34、窒化 チタンTiN、窒化ジルコニウム、酸化ホウ素、酸化イットリウム、酸化マグネ シウム、AlとSiの混合酸化物、フッ化アルミニウムオキサイド、及びフッ化 マグネシウムMgF2。それは炭化物も含んでよい。それらは被着は、好ましく は化学蒸着(CVD)によって実施される。この中間層は、好ましくは最大反射 率が1.8であり、光吸収が、多くても3%である。その光学的厚さは40〜1 20nm、好ましくは70〜100nmである。この中間層の化学的役割は、それ故 、フロート浴室を離れたときの鏡の製造の後、又は後の、続きの鏡の熱処理の間 、又は更に長期の、通常の使用、例えば浴室での使用の寿命の間、薄い金属反射 層を保護することである。 一旦反射金属層がフロートガラスのリボンの上に被着されたときは、それの酸 化からの保存を意図した後処理をもくろむことが勧められる。これを行う最も効 果的な方法は、特に反射層の被着が実施された不活性又は還元性の雰囲気中にリ ボンが未だあるとき、それを少なくとも1つの所謂「追加の」層で覆うことであ る。 1つ又は複数の追加の層は、特に窒化物、例えば窒化アルミニウム、窒化ケイ 素又は窒化チタンを基礎として選択できる。 しかしながら、それらは1つの酸化物(又は複数の酸化物)、特 に次の群に属する少なくとも1つの酸化物を含む:酸化チタンTiO2、酸化錫 SnO2、酸化ジルコニウムZrO2、酸化亜鉛、酸化ニオブ、酸化タングステン 、酸化アンチモン、酸化ビスマス、酸化タンタル又は酸化イットリウム。またそ れらは窒化アルミニウム又は窒化ケイ素、又はフッ化錫酸化物でできていてもよ く、ダイヤモンド様カーボン(DLC)、酸化アルミニウムAl23で出来てい てもよく、酸化ケイ素、酸炭化物及び/又は酸窒化物、又は酸化バナジウムで出 来ていてもよい。後者の場合、反射金属層と酸素含有化合物の拙速を更に制限す るために、前記金属層と前記1又はそれ以上の酸化物層の間に、金属/酸化物接 触を回避するに充分であるが、光の吸収に関して複数の層の積み重ねを不利にし ないようにするに充分薄い「犠牲」シリコン層(この表現は純粋なシリコンが選 ばれたときにも当てはまる。その厚さを数nmに限定することも有利である)の被 着をさせてもよい。追加の層の被着は、好ましくは化学蒸着で実施される。 反射金属層を覆う追加の層は、化学組成の勾配及び/又は屈折率勾配をその厚 さに亘って持っていてもよい。これは増大する率の勾配であってもよく、減少す る率の勾配であってもよく(特に低屈折率(例えば、1.45〜1.60)を有 する物質を被着することによって)、これは、この層が形成されている間に、比 較的高い屈折率を有する物質に徐々に富んだものになり、特に2より大きくなり 、又はその反対になる。化学組成勾配は2つの性質を1つの層に与え、他の性質 の利益のために1の性質を犠牲にすることなくそれらを平行的に最適化すること を可能にする。特に、その層のそれが接触している他の層との接着性に関して、 及びその機械的/化学的耐久性、等に関して最適化する。 この率勾配及び/又はこの化学的組成勾配は、2つの低率及び高 率の物質を得るために必要な各ガス状前駆体のためのものである、2つの注入ス ロットを持つ分配ノズルを用い、また2つの注入スロットから出てくる2つの2 つのガス流の間の、ガラスに沿った部分的でなだらかな混合が起こるようにそれ を設計することによって、得ることができる。 好ましい「組成勾配を持った追加の層」として、なだらかに酸化チタンに富む ようになっている酸化ケイ素をベースとした層が使用される。もし、前記反射層 上に犠牲シリコンの薄い層が被着されれば、優れたSi/SiO2又はSi/S iOxy接着が反射層側に得られ、この積み重ねは酸化チタンによって「完了さ れる」。この酸化チタンは、もし良く結晶化されていれば、その公知の光化学触 媒特性は別にして、非常に有利な防汚性及び/又は防曇性を示す。 前記金属反射層を少なくとも1つの一連の高率及び低率を持った層、例えばS iO2/TiO2層列で覆うことを選択するのも可能である。 各追加の層は、好ましくは幾何学的厚さが少なくとも10nm、特に20〜15 0nm、とりわけ、50〜120nmである。 より一般的には、「外部」補助中間層及び「内部」追加層を作り上げている物 質の性質に関しては、これらは反射層を光学的にできるだけ「干渉」しないよう に選択される。 それ故、好ましくは、それらは可視光線の範囲内の波長において透明である1 又はそれ以上の物質を基礎として選択される。 従って、それらは周期律表の第IIA、IIIB、IVB、IIIA及びIVA族、並びに ランタナイド族の元素の酸化物、酸炭化物、又は酸窒化物、特にマグネシウムM g、カルシウムCa、イットリウムY、チタンTi、ジルコニウムZr、ハフニ ウムHf、セリウムCe (CeO2又はCe23)、アルミニウムAl、ケイ素Si、又は錫Snの酸化 物、酸炭化物、又は酸窒化物に基づく。透明な酸化物として、それはドープされ た金属酸化物、例えばフッ素でドープされた酸化錫F:SnO2を使用すること も可能である。 これらの化合物の全ての内で、例えばエリンガム図としても知られている温度 の関数としての酸化物の生成の自由エンタルピーを示す図、を参照して、前記反 射層が作られている金属の酸素1モルあたりの標準生成自由エンタルピーに等し いか又はそれより低い、高温での、特に約500〜600℃での酸素1モル当た りの標準生成自由エンタルピーΔG°を持つ酸化物を選ぶのが有利である。従っ て、反射層の金属の酸化は、熱力学的に好ましくなく、それ故、その被着の間の 熱いときの反射層の酸化又は劣化の全ての危険性はできるだけ限定される。その 被着は、それがフロートガラスのリボンの上で実施されるならば、450〜70 0℃の領域で実際に起こる。 従って、反射層がアルミニウムに基づくように選択されるときは、外部の及び /又は内部の補足的な層として、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化マ グネシウム又は酸化ランタンに基づく層を選ぶのが有利である。これらの酸化物 層は、特に固相もしくは液相の熱分解法又は化学蒸着を用いて被着できる。もし 被着がフロート浴室中で実施されるならば、それは化学蒸着、CVDである可能 性が高い。フロート室の外では、CVD法、固相熱分解法、又は液相熱分解法が 使用され得る。従って、CVDによって、EP−0518755に記載されてい るように、シラン及びエチレン型のガス状前駆体から酸化ケイ素又は酸炭化ケイ 素のような酸化物の層を被着するのが可能である。TiO2層は、CVDにより アルコキサイド、例えばチタニウムテトライソプロピレートから被着でき、酸化 錫は、やはりCVDにより、ブチル錫トリオキサイド又はジブチル錫ジアセテー トから被着できる。酸化アルミニウム層は、アルミニウムアセチルアセトネート 又はヘキサフルオロアセトネートのような有機金属前駆体から、液層熱分解又は 化学蒸着によって被着できる。 透明な補足的な層は、窒化物又は周期律表の第IIIA族の元素の内の少なくと も1つの窒化物、例えば窒化アルミニウムAlN、窒化ガリウムGaNx又は窒 化ホウ素BNxの混合物を基礎として選択することもできる。前駆体AlN層は 、例えばCVDにより、アンモニア及び/又はアミン型の窒素含有前駆体と組み 合わせたアルミニウムアルキル又はアルミニウム水素化物前駆体から、公知の方 法で被着できる。透明な窒化物として、窒化ケイ素Si34も使用できる。これ は、窒化ケイ素Si34が反射層を酸化から保護するのに非常に有効な物質でも あるからである。それは、シラン並びにアンモニア及び/又はアミンからCVD により被着できる。 補足層の少なくとも1つ、より具体的には外部層は、ダイヤモンド又はダイヤ モンド様カーボン(DLC)タイプの透明な物質を基礎として選択することもで きる。このタイプの物質は高い硬度を持ち、従って下にある積み重ねの層を磨耗 から保護する必要が生じたときは、非常に有効に保護する(これは、程度は低い が、酸化チタンについても言える)。 「内部の」及び「外部の」補足的な層は可視光線の範囲において透明な物質で なく、反対に多かれ少なかれ可視光線の範囲で吸収を示す物質を基礎として選択 することもできる。この又はこれらの物質は、反射層を作り上げている物質とは 異なる。それらが光学的に干渉せず、上に掲げた透明な物質の場合のように、ど の点から見てもそうでないようにするために、このタイプの補足的な層を小さな 厚さ、特に10nm又はそれ未満、特に約1〜8nmに限定するのが好ましい。遷移 金属、例えば、タングステンW、ジルコニウムZr、ハフニウムHf、ニオブN b、及びチタンTiの窒化物、又は炭窒化物を使用できる。半導体物質、例えば シリコン、も使用できる。 この場合には、前記物質は、ガラスに対する親和性に、及び/又は反射層の物 質に、及び後者に対する化学的不活性さに依存して選択される。従って、反射層 が金属でできているときは、Siの薄い中間層を選択するのが便利であろう。こ の物質はガラスから来るアルカリ及び酸素の拡散に対する有効な障壁であり、ま たガラス/金属接着促進剤として作用することもできる。このシリコンはSiH4 からのCVDによって被着できる。 補足的層の少なくとも1つは、その全体の厚さに亘って、化学組成勾配をも持 ってよく、これにより2つの性質を単一の層に与えることを可能にする。 従って、これはシリコンが徐々に富んでいくSiO2又はSiOxyに基づく 「内部の」補足的な層であってもよいし、あるいは反射層の金属の酸化物が徐々 に富んでいくSiO2又はSiOxy、例えばもし反射層がアルミニウムででき ているならば、Al23を基礎としてもよい。中間層のガラスとの界面での及び 反射層の界面での改善された親和性による、中間層の接着を促進し、機械的応力 を減らす役割は、こうして最適化される。 外部の補足的な層は、反射層の金属の酸化物、例えばAl23に基づいた、又 は酸化チタンにだんだんと富んでいくSiOxyに基づいた化学組成勾配をも持 ってよい。前記Al23タイプの酸化物は、アルミニウムが反射層を作り上げて いるこのタイプの物質であるときは、アルミニウムに対して良好な親和性と高い 化学的不活性を持つ。TiO2それ自体は、積み重ね物の機械的耐久性を 改善することができ、特許FR95/10839(1995年9月15日出願) に記載されているように、恐らくそれに、有利な防曇性/耐汚染性を与えること ができるであろう。 これらの化学組成勾配は、例えば特許PCT/FR96/01073(199 6年7月10出願)に記載されているような2つの注入スロット、2つの物質を 得るために必要な各ガス状前駆体のためのものを使用することにより、またそれ をガラスに沿って2つの注入スロットから出てくる2つのガス流の間の部分的で 徐々の混合を引き起こすように設計することにより、化学蒸着により得ることが できる。 前記内部的及び外部的な補足的層は、一般に幾何学的厚さが、それらが透明で あるときは1〜200nm、特に30〜160nm、それらが吸収性であるときは1 〜5nmである。 実際、補足的層の厚さは、これらの層の性質、反射層の性質、及び積層が曝さ れる攻撃の種類を含む多数のパラメーターに依存して変えなければならない。従 って、反射層は、その熱い被着の間にその性質を保持するために、内部補足層及 び外部補足層の両方を用いて、化学的に「隔離されている」ことが好ましい。更 に、もしガラス基体がその後に焼きなまし、曲げ(bending)又は焼き戻 しのタイプの熱処理を経由するのであれば、これらの層はそれらの保護の役割を 再度満たさなければならない。後者の場合は、基体がこの種の後被着処理を経由 する必要がない場合よりも、それらを厚くするのが有利であろう。 本発明の積層の具体例は次のようである: TiN又はAlN/Al/AlN AlN/Al/SiOxy Al/SiOxy SiOxy/Al/SiOxy Si/Al/SiOxy Al23/Al/Al23 本発明は、先に述べ、その外部層がTiO2で出来ている外部層(又は組成勾 配を有する層の場合にはTiO2で終わっているもの)のようなガラス基体の耐 汚染性及び/又は防曇性鏡又はグレージングパネルの製造への適用を具体的に述 べる。同じことは、その外部の補足的層が反射層よりも硬く、特にダイヤモンド 又はダイヤモンド様カーボンに基づく基体の、耐磨耗性鏡の製造への適用にもあ てはまる。 本発明のガラス基体は、適当な厚さの反射層を通る電流によって熱くなる加熱 窓の製造にも適用されることが意図されている。 本発明の主題は、また、好ましくは先に述べた方法を用いて、又は、特に密度 及び低レベル(又は実際にゼロ又は殆どゼロレベル)の不純物に関して、特に反 射層における低レベルの不純物に関して、同様な特性を得ることを可能にする全 ての他の方法により得られる全てのもの、特にフロートガラスのリボンを裁断し た後に得られるものである。 2つの用途が特に意図されている:第1に、これらの製品はグレージングパネ ルとして、ビルディング用及び自動車用の両方に使用することが意図されている 。前記金属反射層は、特にアルミニウムで出来ており、これらグレージングパネ ルに太陽光保護機能を与える。この場合には、前記反射層の厚さは、充分な量の 光透過性を維持するために、通常せいぜい30nmに限られる。 第2に、それらは鏡として使用できる。この場合には、非常に高い光反射率を 達成する必要があり、それ故この場合には厚さが少なくとも30nmである金属層 を使用するのが好ましい。 より一般的には、本発明によって被覆されたガラス基体は非常に多様な用途を 持ち、反射性の又は半反射性の鏡に使用できる。これら鏡の例としては、光起電 力セルのボトムミラー、水盤におけるボトムミラー及び写真複写機における鏡、 ビルディング又は全ての自動車用の太陽光保護グレージングパネル(低放射率又 は耐太陽光タイプのもの)、耐電磁放射線(レーダー波又はラジオ波)窓、バッ クミラー、ガラスベースの家具要素、水槽の容器又はスイミングプールタイプの 壁、内部仕切り、装飾ガラスが含まれる。本発明の基体は、反射層を導電電極と して用いることにより、例えば電気化学的に活性なグレージングパネル、例えば エレクトロクロミックグレージングパネル、「ビオロゲニック」グレージングパ ネル、液晶グレージングパネル、又は光学バルブ(optical−valve )グレージングパネルにも使用できる。 本発明は、ガラス基体がそれで、特に上記の“D.P.M.”法によって溶融 金属粉末から反射層の熱被着により、被覆されている積層を製造する方法にも関 する。前記補足的な1つの又は複数の層は、好ましくは化学蒸着により、又は液 相もしくは固相熱分解蒸着により被着される。 製造の好ましい方法は、好ましくは少なくとも始めの2つの層をフロート浴室 中で被着することにより、全ての層を熱くしてフロートガラスのリボン上に被着 することにある。こうして、この被着は連続的に実施され、加えて、高温で被着 される複数の層に特徴的な稠密さ及び基体接着性をもって、スパッター、ゾル− ゲル又はシルバーリング(silvering)浴中への浸漬を含むタイプの後 続の工程で被着が実施される方法に較べて、時間及び製造コストに関して大きな 節約をする。 本発明の製品の1つの具体例は、鏡であれグレージングパネルで あれ、ガラス基体でもあり、これは次の連続層を含む: アルミニウム/窒化アルミニウム、又は アルミニウム/シリコン/酸化物、又は アルミニウム/窒化アルミニウム。 他の詳細及び特徴的な利点は、以下の記載から明らかとなるが、これらは本発 明を限定するものではない。これら記載にあたって以下の図面が参照される。 図1:本発明によって被覆されたガラス基体の断面図。 図2:本発明の金属反射層の被着が実施されるフロートガラス室の部分の断面 図。 図1及び図2は両方とも非常に概略的な表示であり、それらの理解を容易にす るために比率をきっちりと表していない。 以下の例は、透明なソーダ石灰シリカガラスで、一旦裁断されて、商品名Pl aniluxの下にSAIT−GOBAIN VITRAGE社によって市販さ れている、厚さ4mmのフロートガラスのリボンの上に製造された。 それは、超透明ガラス、又は一旦裁断されて、SAIT−GOBAIN VI TRAGE社によって、商品名Diamantの下に及び商品名Parsolの 下にそれぞれ市販されているガラス製品のような、全体に薄い色合いを付けたガ ラスであっても全くかまわない。 裁断の後、図1に示されるようなガラス基体が得られ、これは以下の方法で積 層が設けられている:基体1は、中間層と呼ばれ、シリコンで作られた任意の第 1層2で被覆されており、この中間層はそれ自体金属反射層3で覆われている。 後者は追加の任意層4で覆われており、これはやはりシリコンを基礎としており 、その上に第2の追加の層5が被着されている。 全ての例において、反射層3はアルミニウムで出来ており、図2の助けを借り て説明をする方法によりガラスリボン上に被着される。 この図に示すように、ガラスリボン10の部分は、フロート浴室内に横たわる 。このリボン10は錫浴を含み、窒素及び水素の混合物からなる調節された雰囲 気で満たされた、図示していない室の中の溶融錫浴11の表面上に浮かぶ。この ガラスは、図2の左側にあり、図示していないガラス溶融炉から錫浴11の上を 走行し、その上で拡がってリボンを形成し、このリボンはこの浴から一定速度で 矢印の方向に、図の右側の、浴の出口側に配置された取り出し手段によって取り 出される。 ガラスがその寸法安定性を獲得したフロート浴の領域で約3.30メートルの 幅を持つリボン10の上に、前記フロート浴室の完全に内側に配列された装置1 2が載せられている。この装置は、ガラスリボン10の上にあって、ガス分配ノ ズルの形をしており、その走行軸を横切って、その全体の幅に亘って配列されて いる。この装置12は、横内部壁14及び上部内部壁14’によりほぼ平行六面 体の形状の空洞15を画定しており、壁14はガラス軸に対して直角であり、実 質的に鉛直であるか、又はガラスに向かって少し収斂性であるかもしくは末広が りになっている。これらの壁は、下部で、例えばガラスの表面から20ミリメー トル未満の距離dで、ガラスの表面に非常に近くで終わっている。種々の開口部 がこれらの壁の中に作られている。 ・上部壁14’及び/又は横壁14の中にあってN2/H2ガス混合物を空洞1 5の内側のフロート浴室内に提供する通路; ・図示されていないガス混合物xを供給するための手段に連結された入口パイ プ17が、注射器のようにその中に現れる空洞15の 全幅に亘って均一に一列に配列され、上部壁14’に、又は壁14の上部に作ら れた複数の開口部16; ・少なくとも1つの直角な横壁14中に、特にほぼ4分の1又は前記壁の上部 3/4の所に設けられ、図示されていない抜き出し手段に連結されたガス排出パ イプがその中に現れる、複数の開口部18; ・前記空洞15の横壁の少なくとも1つに、特にこの空洞の3分の1の高さの 所に設けられ、その中に、図示されていないN2/H2混合物(この混合物は前記 フロート室内に存在するものと類似であるか又は同じである)を供給する手段に 連結されたガス入口パイプ20が現れている、複数の開口部19。 装置12の内部壁14、14’及び外部壁21の厚みの中に、空洞15の温度 をその全高さhに亘って制御し調節できる手段、特に包み手段/冷却手段と組み 合わされた加熱手段であって、その稼働がその空洞の内側の温度の測定(これら の測定は適当なセンサーによって規則的に行われる)に連係されているもの:前 記空洞の全高さhに亘る鉛直温度分布が、前記包み手段/冷却手段の手動調節に より、又は電子/コンピューターベースの自動制御によって作りだされ、温度勾 配がガラスリボン10に向かって増加するようにされ、開口部16付近の上部で 約30〜100℃で出発し、ガラス付近で600℃超に達するようにされる。 この装置12は以下のようにして作動する:窒素のような不活性ガス中に懸濁 されたアルミニウム誘導体からの蒸気(これが蒸気の混合物xである)は開口部 16を経由して連続的に注入される。この誘導体は特にAl(CH33、Al( C253、AlH3(NH3)又はAlH3(アミン)であり得る。ここで、それ はより特別に、ジメチルアミン、アラン、アミンによって安定化された 水素化物(約180〜200℃で金属アルミニウムに分解し、その式がAlH3 (N(C25)(CH32であるものである)。 前記空洞中の注入領域において、温度は約40℃であり、混合物xはこの空洞 中にガラスリボン10によって画定される平面に向かって実質的に垂直に噴霧さ れる。前記空洞中の温度はガラスに近づくに従ってだんだんと増大し、アランは 、それがその分解温度に達する空洞15内の領域h1(この領域はこの空洞のほ ぼ上半分に位置する)中で分解して粉末状のアルミニウム22を形成する;次い で前記アルミニウム粒子は単に重力の下で移動されガラスと接触し、一方前記ア ランの分解から来る流出物はこの粉末形成領域h1において開口部18を経由し て抜き出される。アラン分解反応のパラメーターは、特に充分に大きな直径の粉 末粒子を得、形成された粉末22が抜き出しパイプ中に移動されることなく留出 物を抜き出すことが可能なように、また流出物が比較的高い温度で望ましくない 化学機構に従ってアルミニウム粒子と反応するのを避けるように、調節される。 前記粉末はガラスリボンに「達し」、一方後者は660〜700℃、特に約6 80℃である。即ち、ガラスが寸法安定である最高温度(700〜750℃)と アルミニウムの融点(約650〜660℃)の間の温度である。ガラスと接触し たアルミニウム粒子は直ちに融解し、小滴は合体して溶融アルミニウムの連続フ ィルムを残し、これは、ガラスの温度が低下してアルミニウムの融点より下がる に連れて徐々に固化する。 こうして被着されたアルミニウム層の最終厚さは、種々の被着パラメーター、 特に前記ガス混合物x中のアラン濃度、前記混合物の流速、等を調節することに より調節することができる。 更に、H2/N2ガス混合物は開口部19を経由して注入され、 この混合物は空洞15の頂部に向かって噴霧され、特に横壁14にほぼ接線方向 に注入される:このようにして壁に沿ってのアルミニウム粉末の付着が回避され 、それ故空洞15の付着の速度は低下され、凝集粒子のリボン上の一点への突然 の落下(これは被膜の品質を損なうことがある)のリスクが防がれる。 図1の略図を参照して、アルミニウム層3は、それ故、丁度先に述べた装置1 2を用いて被着される。この被着に先立って、ガラスリボンが既にその寸法安定 性を獲得したとき、即ちそれが約700℃になったとき、前記装置12の丁度上 流に配置されたノズルを用いて、例えばフランス特許FR−2382511に記 載されているようにして、シランから公知の方法で、CVDにより、純粋なシリ コンの薄い層2が被着される。 シリコン中間層2及びアルミニウム反射層3が設けられたガラスリボンがフロ ート浴室を離れる前に、1又はそれ以上の追加の層が被着される。その手順を以 下の例に詳細に記載する。これらは、アルミニウムアルキル又はアルミニウム水 素化物前駆体とアンモニア又はアミンから公知の方法でCVDにより被着される 窒化アルミニウム層、及び/又は特許EP−0518755に記載されているシ ラン及びエチレンからCVDにより公知の方法で被着される酸化ケイ素又は酸炭 化ケイ素のような酸化物の層、又はガス状前駆体、例えばブチル錫トリクロライ ド又はジブチル錫ジアセテートから公知の方法でCVDにより被着された酸化錫 の層、又はチタニウム−テトライソプロピレートタイプのチタニウムアルコキサ イドのようなガス状前駆体から公知の方法でCVDにより被着された酸化チタン の層である。 SnO2又はTiO2酸化物層の代わりに、又はそれらと組み合わせてテトラエ トキシシランのようなガス状前駆体からCVDによ り被着された酸化ケイ素層を使用する方がよい可能性があることに注意してもよ い。アルミニウムアセチルアセトネート又はヘキサフルオロアセトネートのよう なガス状前駆体からCVDにより被着された酸化アルミニウム層を使用すること も可能であろう。バナジウムテトラエチレートのようなバナジウム−アルコキサ イドタイプの、又はVCl5のようなハライドタイブの、又はVOCl3のような オキシクロライドタイプのガス状前駆体からCVDにより被着できる酸化バナジ ウム層も選択できる。 窒化アルミニウム層の代わりに、又はそれと組み合わせて、シラン及びアンモ ニア及び/又はアミンを含むガス混合物からCVDにより得られる窒化ケイ素層 を使用することも可能である。 アルミニウム層3の上に窒化物層でなく、酸化物層5を被着することが意図さ れるときは、上述の層1のようにCVDにより被着された薄いシリコン層3が挿 入される。 それ故、以下の例において、全ての被着は、フロート室中で、即ち、厳密に非 酸化性雰囲気中で、ガラスが最初のシリコン層の被着のために約750〜700 ℃の段階の温度にあり、積層体の最終層の被着のため少なくとも580〜590 ℃にあるとき実施され、ガラスリボンは通常フロート浴室を約580℃の温度で 「離れる」。 (例1) 上に詳細に説明した方法を用いて、一連の以下の層をガラスリボン10の表面 に被着した(幾何学的厚さを各層の各々の下に示し、ナノメートルで表す): (例2) 連続層は次の通りである: (例3) (例4) この場合は連続層は以下のようである: 窒化アルミニウムの率は約1.85である。 (例5) 連続層は以下のようである: (例6) 連続層は次のようである: 前記SiO2/TiO2勾配層は、CVDにより得られる層であり、下にあるシ リコン層(4)との界面で少なくとも80wt%のSiO2を含み、空気との界 面ではTiO2が少なくとも80wt%に達する。これは、特許出願FR−95 /08421(1995年7月12日)に、特にその例9に説明された方法に従 って、上述の酸化ケイ素の前駆体及び酸化チタンの前駆体得ることができる。 次に、これら6つの例の各々のガラスリボンを裁断し、次いで6つのガラス板 の各々の上でD65の光源についてのパーセンテージで表した光反射率RLを測定 する。以下の結果が得られる。 L 例1 92% 例2 92% 例3 96% 例4 95% 例5 92% 例6 95% 結論として、これら6つの板は有利には所謂「フェース1(face 1)」 ミラー、即ち、観察者は、ガラス基体をそれが反射層3によって与えられる側に 見る鏡として使用することができる。 一連の所謂中間層2及び/又は追加の層4、5を適当に適合することによって 、本発明は、所謂「フェース2(face 2)」ミラー、即ち、観察者は、反 射層によって与えられるものとは反対側に前記基体を見る鏡を作ることも可能で ある。 更に、このようにして製造されているが、やや薄い、例えば約10〜20nmの アルミニウム層3の設けられた基体を、太陽光保護グレージングパネルとして非 常に満足に使用することができる。 しかしながら、アルミニウム層を、それがフロート浴室から出るや否やオンラ インで酸化のリスクからできるだけ保護し、また曲げ又は焼戻しタイプの酸化性 熱処理の間にそれを保護するのが重要であることが明らかであろう。本発明によ る追加の層5はこれを効果的に達成する。シリコン中間層2は任意である。それ はアルミニウムの前記ガラスへの接着を促進し、ガラス/アルミニウム界面での アルミナを生成する傾向のある反応を抑制する。しかしながら、そ れは省き、ガス処理、例えばアルミニウム層の被着の丁度前にガラスの表面上に TiCl4を通すことで置き換えることができる。 アルミニウム上のシリコン層4も任意である。それは、アルミニウム層が次の 酸化物層の被着の間に酸化しないことを補償することができる。 光学的な理由で、特に光反射性を増すために、追加の層、特に酸化物層をガラ スリボンの他方の面の上に、例えば続きの工程で被着することも可能である。 それ故、本発明は鏡又は太陽光保護グレージングパネルのフロートライン上で の連続的な製造を開発した。この製造は収率及びコストの点で非常に有利である 。このようにして被着されたアルミニウム層は、高品質であり、特に非常に稠密 であり、非常に純粋であり、特にガラスに(又はその下にある層に)接着性であ る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,DE, DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,IT,L U,MC,NL,PT,SE),BR,CN,CZ,J P,KR,MX,PL,TR,US

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.フロートラインのガラスリボン(10)上に、その融点が前記ガラスリボ ンが寸法安定性を得る温度に等しいか又はそれ未満である金属を基礎とする反射 層(3)を、特に連続的に、被着する方法において、前記被着を、不活性又は還 元性に調節された雰囲気中で、ガラスリボン(10)が既にその寸法安定性を得 たとき、前記リボンの表面を粉末の形にあるか又は溶融した形にある金属(22 )と接触させ、接触の間の前記リボンの温度を前記リボンの表面で前記粉末が溶 融し、合体し、又はこの溶融金属がシートを形成するようにして実施し、前記リ ボンの温度が前記金属の融点に等しいか又はこれよりも低い温度になったとき固 体の連続層を残す方法。 2.前記「金属」が、単一の金属を基礎とするか、又は金属間化合物、合金も しくは共晶化合物を基礎とすることを特徴とする請求項1の方法。 3.前記「金属」がアルミニウム、亜鉛、錫、カドミウム及び任意にシリコン を含む群に属する金属の少なくとも1つを基礎とすることを特徴とする請求項1 又は2の方法。 4.前記被着がフロート浴室中で実施されることを特徴とする先行の請求項の いずれか1つに記載の方法。 5.前記被着が前記フロート浴室の下流、特に任意に前記室から延びる本質的 にシールされた箱中で実施されることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の 方法。 6.前記被着が、前記ガラスが前記金属の融点に等しいか又はそれより高い温 度にあるとき実施されることを特徴とする先行の請求項のいずれか1つに記載の 方法。 7.前記粉末状である金属の、前記ガラスの表面との接触が、特 に、前記ガラスリボンの上にその走行軸に直角に配置され、前記粉末を前記リボ ンの全体の幅に亘って散布することのできる分配ノズルを用いて、不活性又は還 元性のキャリヤーガス中に懸濁された粉末を噴霧することにより生じることを特 徴とする請求項6に記載の方法。 8.粉末の粒度を0.1〜100μm、特に1.0〜50μmに選択することを 特徴とする請求項7に記載の方法。 9.前記金属が前記ガラスリボンの上方で、金属誘導体、特にガス状のものか ら粉末の形(22)で発生させられ、それの金属への分解が熱活性化及び/又は それらを相互に接触させることによりもたらされることを特徴とする請求項4に 記載の方法。 10.前記誘導体が、金属アルキル、金属ハロゲン化物、アンモニアにより又 は第1級、第2級もしくは第3級アミンにより錯化された混合金属水素化物/金 属アルキル化合物から選ばれることを特徴とする請求項9に記載の方法。 11.前記誘導体が50℃〜600℃、特に100℃〜400℃の温度で金属 へ分解することを特徴とする請求項9又は10の方法。 12.前記金属粒子の核生成又は成長を促進する少なくとも1つの添加剤が、 前記金属誘導体と組み合わされていることを特徴とする請求項9又は10に記載 の方法。 13.前記金属誘導体が、その壁(14、14’)が、前記誘導体によって発 生させられた前記粉末(22)を前記ガラスリボン(10)に向けて案内するた めの通路を画定する空洞(15)を含む装置(12)を用いて、ガスの形で前記 ガラスリボン(10)の上に導入されることを特徴とする請求項9又は12のい ずれか1項に記載の方法。 14.前記空洞(15)の壁(14)が実質的に垂直であり、場合によっては ガラスリボン(10)に向かって収斂性又は末広がりであり、熱勾配が前記空洞 の高さ(h)の少なくとも一部に亘って作りだされていることを特徴とする請求 項13に記載の方法。 15.前記金属誘導体が前記空洞(15)の上部(16)に注入され、この誘 導体の分解物から生じる流出物が、好ましくは前記金属粉末が形成され、それが 十分な粒度に到達するレベルで、前記空洞(15)の壁の中に作られた排出手段 (23)によって抜き出されることを特徴とする請求項13及び14のいずれか 1項に記載の方法。 16.不活性又は還元性のガスが前記空洞(15)中の少なくとも1つの点( 19)で注入されることを特徴とする請求項13〜15のいずれか1項に記載の 方法。 17.前記金属粉末が前記ガラスリボン(10)上又はその付近で液化するこ とを特徴とする請求項7〜16のいずれか1項に記載の方法。 18.特に前記リボンの上方に、そのリボンの走行軸に直角に溶融金属のカー テンを供給する静止分配ノズルを用い、又は前記リボンの走行軸に直角な往復運 動を与えられた移動式ノズルを用いて、前記ガラスリボンに向けて溶融金属を噴 霧することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。 19.特に、TiCl4型の蒸気の接触/吸着により、あるいは、特に、シリ コンSiでできた、酸化物、例えば酸化アルミニウムAl23、酸化ケイ素、酸 窒化物もしくは酸炭化物、SiO2、SiONもしくはSiOC、酸化ジルコニ ウムZrO2、酸化セリウム、酸化チタンTiO2、酸化亜鉛ZnO、もしくは酸 化ホウ素、酸化イットリウム、酸化マグネシウム、もしくはAl及びSiの 混合酸化物でできた、フッ化アルミニウム酸化物でできた、フッ化マグネシウム でできた、又は窒化物、例えば窒化アルミニウムAlN、窒化ケイ素Si34、 窒化チタン、窒化ジルコニウムでできた、又は炭化物でできた少なくとも1つの 中間層を被着することにより、前記金属ベースの反射層(3)を被着する前に( この層は、例えば化学蒸着により被着される)、ガラスリボンの表面を処理する ことを特徴とする先行の請求項のいずれか1項に記載の方法。 20.前記金属ベースの反射層(3)が、特に、その反射層の被着がその中で 実施された不活性の及び/又は還元性の制御された雰囲気中に未だ存在するとき 、酸化からそれを保護するための少なくとも1つの追加の層(5)で被覆される ことを特徴とする、先行の請求項のいずれか1項に記載の方法。 21.選択された前記追加の層が、窒化アルミニウム、窒化ケイ素又は窒化チ タンのような窒化物を基礎とすることを特徴とする請求項19に記載の方法。 22.任意に薄いシリコン「犠牲」層(4)上に被着された、選択された前記 追加の層が、次の群の少なくとも1つの酸化物を含む酸化物を基礎とするか:酸 化チタンTiO2、酸化錫SnO2、酸化ジルコニウムZrO2、酸化ケイ素、酸 炭化物及び/又は酸窒化物、SiO2、SiOCもしくはSiON、酸化アルミ ニウムAl23、酸化バナジウム、酸化亜鉛、酸化ニオブ、酸化タングステン、 酸化アンチモン、酸化ビスマス、酸化タンタル又は酸化イットリウム;又は窒化 アルミニウムもしくは窒化ケイ素でできているか;又はフッ化錫酸化物でできて いるか;又はカーボン様ダイヤモンドで出来ていることを特徴とする請求項19 又は20に記載の方法。 23.前記反射層(3)が、特に、徐々に酸化チタンのような物 質に富むようになっている酸化ケイ素のような物質を被着することにより、その 厚さを通して組成勾配又は反射率勾配を有する追加の層(5)で被覆されている ことを特徴とする請求項19又は20に記載の方法。 24.前記反射層(3)が、少なくとも1つの一連の低率及び高率層、例えば SiO2/TiO2連続層で被覆されていることを特徴とする請求項19〜21の いずれか1項に記載の方法。 25.フロートラインの前記ガラスリボンが、フロートラインから来るもので ないガラスリボン、又は不連続ガラス基体、例えばガラス板で置き換えられるこ とを特徴とする先行の請求項のいずれか1項に記載の方法。 26.太陽光保護に依存して、30nm又はこれ未満の厚さを有するアルミニウ ム反射層(3)を設けられていることを特徴とする、先行の請求項のいずれか1 項に記載の方法によって被覆されたフロートガラスリボン(10)を裁断するこ とによって得られるグレージングパネル(glazing panel)(1) 。 27.30nm又はこれを超える厚さを有するアルミニウム反射層(3)を設け られていることを特徴とする、先行の請求項のいずれか1項に記載の方法によっ て被覆されたフロートリボン(10)を裁断することによって得られる鏡(1) 。 28.アルミニウム/SiOC又はアルミニウム/AlN又はアルミニウム/ TiN又はアルミニウム/Si/酸化物連続層を設けられたことを特徴とする、 請求項26のグレージングパネル又は請求項26の鏡。 29.金属間化合物、合金又は共晶化合物タイプの金属を基礎とする、特にア ルミニウム、亜鉛、錫及びカドミウム並びに、任意にシリコンを含む群に属する 金属の内の少なくとも1つを基礎とする 、少なくとも1つの反射層(3)を設けられたガラス基体において、前記基体( 1)が、前記反射層(3)に関して「外部」補足層(4)及び/又は内部補足層 (2)を備えられ、前記補足層がその前記反射層の化学的及び/又は機械的耐久 性を確保するようにしてなるガラス基体。 30.前記「内部」補足層(2)及び/又は「外部」補足層(4)が可視光線 の波長の範囲で透明である物質に基づき、周期律表第IIA、IIIB、IVB、IIIA 及びIVA族の及びランタナイド族の元素、例えばMg、Ca、Y、Ti、Zr、 Hf、Ce、Al、Si、Snの酸化物、酸炭化物又は酸窒化物を含む少なくと も1つの化合物から選ばれた酸化物タイプからできているか、又は透明なドープ された金属酸化物、例えばF:SnO2を基礎としていることを特徴とする請求 項29に記載のガラス基体(1)。 31.前記「内部」補足層(2)及び/又は「外部」補足層(4)が可視光線 の波長の範囲で透明である物質を基礎とし、窒化物タイプからできており、特に 周期律表第IIIA族の少なくとも1つの元素の窒化物、例えばAl、Ga又はホ ウ素の窒化物を基礎とし、又は窒化ケイ素を基礎とすることを特徴とする請求項 29又は30に記載のガラス基体(1)。 32.前記「内部」補足層(2)及び/又は「外部」補足層(4)が可視光線 の範囲の波長の範囲で透明な物質を基礎とし、カーボン様ダイヤモンドタイプで 出来ていることを特徴とする請求項28に記載のガラス基体(1)。 33.前記「内部」補足層(2)及び/又は「外部」補足層(4)が可視光線 の範囲の波長において吸収性である物質を基礎とし、反射層(3)が出来ている ものと異なり、遷移金属窒化物タイプ、例えばW、Zr、Hf、NbもしくはT iの窒化物、又は炭窒化物 、あるいはシリコンSi出来ており、これらは好ましくは幾何学的厚さが10nm 又はそれ未満、特に約1〜8nmに限られることを特徴とする請求項29に記載の ガラス基体(1)。 34.前記「内部」補足層(2)及び/又は「外部」補足層〕(4)がその厚 さを通して化学組成勾配を持ち、特に「外部」補足層(2)はシリコンに徐々に 富んでいるSiO2もしくはSiOxyを基礎とし、又はAl23に徐々に富ん でいるSiO2もしくはSiOxyを基礎とし、及び/あるいは「外部」補足層 (4)は徐々にTiO2に富んでいるAl23もしくはSiO2もしくはSiOx yを基礎とし、又はSiOxyもしくはSiO2に徐々に富んでいるSiを基礎 としていることを特徴とする請求項29に記載のガラス基体(1)。 35.前記「内部」補足層(2)及び「外部」補足層(4)の幾何学的厚さが 、1〜200nm、特に30〜160nmであることを特徴とする請求項29〜34 のいずれか1項に記載のガラス基体(1)。 36.前記反射層(3)が「内部」補足層(2)及び「外部」補足層(4)の 間に横たわり、反射層の熱被着、及び任意にその後、ガラス基体(1)を前記複 数の層の被着の後、焼きなまし、曲げ又は焼き戻しタイプの熱後処理を経由させ る場合に、それらの間に前記反射層(3)の性質を維持するようにそれらの層の 性質及び厚みを選択することを特徴とする請求項29〜35のいずれか1項に記 載のガラス基体(1)。 37.前記反射層(3)が、その理論的密度の少なくとも80%より大きく、 特に少なくとも90%又は95%であることを特徴とする請求項29〜36のい ずれか1項に記載のガラス基体。 38.前記反射層(3)は不純物、特にC、N、Oの量が多くて も3原子%、特に多くても1原子%であることを特徴とする請求項29〜37の いずれか1項に記載のガラス基体。
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