JPH1140450A - 圧着成形方法 - Google Patents
圧着成形方法Info
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- JPH1140450A JPH1140450A JP20987997A JP20987997A JPH1140450A JP H1140450 A JPH1140450 A JP H1140450A JP 20987997 A JP20987997 A JP 20987997A JP 20987997 A JP20987997 A JP 20987997A JP H1140450 A JPH1140450 A JP H1140450A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 所定の位置に電極が付与されたセラミックグ
リーンシートを、電極の位置ずれを招いたりすることな
く、確実に積層、圧着することが可能な圧着成形方法を
提供する。 【解決手段】 セラミックグリーンシートを積み重ねて
なる積層体５３の電極５２が疎な部分Ａにおいて、積層
されたセラミックグリーンシート５１間に隙間が実質的
に形成されず、電気特性に悪影響を及ぼさないような静
水圧下で静水圧プレスすることにより積層体５３を予成
形した後、積層体５３の電極５２の密な部分Ｂの厚み
（予成形後の厚み）Ｌ０を検出し、所定の圧下率となる
ように積層体５３の電極５２の密な部分Ｂをプレスす
る。
リーンシートを、電極の位置ずれを招いたりすることな
く、確実に積層、圧着することが可能な圧着成形方法を
提供する。 【解決手段】 セラミックグリーンシートを積み重ねて
なる積層体５３の電極５２が疎な部分Ａにおいて、積層
されたセラミックグリーンシート５１間に隙間が実質的
に形成されず、電気特性に悪影響を及ぼさないような静
水圧下で静水圧プレスすることにより積層体５３を予成
形した後、積層体５３の電極５２の密な部分Ｂの厚み
（予成形後の厚み）Ｌ０を検出し、所定の圧下率となる
ように積層体５３の電極５２の密な部分Ｂをプレスす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧着成形方法に関
し、詳しくは、積層セラミック電子部品を製造する場合
などに、電極（電極パターン）の配設された複数のセラ
ミックグリーンシートを積層することにより形成された
積層体をプレスして圧着成形する方法に関する。
し、詳しくは、積層セラミック電子部品を製造する場合
などに、電極（電極パターン）の配設された複数のセラ
ミックグリーンシートを積層することにより形成された
積層体をプレスして圧着成形する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、積層セラミックコンデンサのよ
うに、セラミック中に電極（内部電極）が配設された構
造を有する積層セラミック電子部品は、通常、電極の配
設されたセラミックグリーンシートを複数枚積層すると
ともに、その上下両面側に電極が配設されていない外層
用のセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成
し、これを圧着した後、得られた圧着ブロックを所定の
位置で切断して個々の素子を切り出し、焼成を行った
後、外部電極を配設することにより製造されている。
うに、セラミック中に電極（内部電極）が配設された構
造を有する積層セラミック電子部品は、通常、電極の配
設されたセラミックグリーンシートを複数枚積層すると
ともに、その上下両面側に電極が配設されていない外層
用のセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成
し、これを圧着した後、得られた圧着ブロックを所定の
位置で切断して個々の素子を切り出し、焼成を行った
後、外部電極を配設することにより製造されている。
【０００３】ところで、従来は、図３に示すように、電
極５２が配設された複数のセラミックグリーンシート５
１を積層することにより形成された積層体５３を圧着す
る方法として、 図５に示すように、油圧などにより動作する、金属や
ゴムなどの弾性材料からなる上パンチ５４と下パンチ５
５との間に積層体５３を載置し、上パンチ５４及び下パ
ンチ５５を動作させて積層体５３を押圧することによ
り、積層体５３を構成する各セラミックグリーンシート
を互いに圧着させる方法、 図６に示すように、積層体５３を上パンチ５４と下パ
ンチ５５との間に配置し、上パンチ５４、下パンチ５５
及び積層体５３を、密閉可能な袋（例えばラバー製の
袋）５６に入れて真空吸引した後、袋５６ごと水（ある
いはオイル）中に浸漬し、圧力を加えて積層体５３を押
圧することにより、積層体５３を構成する各セラミック
グリーンシートを互いに圧着させる方法（静水圧プレス
法）、 図７に示すように、液体５７を入れた柔軟性を有する
袋状部材（例えば、ラバー製の袋状部材）５８からなる
上部押圧パッド５９と下部押圧パッド６０の間に積層体
５３を置き、上下両側から押圧パッド５９，６０を介し
て積層体５３を押圧することにより、積層体５３を構成
する各セラミックグリーンシートを圧着させる方法（乾
式ＣＩＰ法）などが用いられている。
極５２が配設された複数のセラミックグリーンシート５
１を積層することにより形成された積層体５３を圧着す
る方法として、 図５に示すように、油圧などにより動作する、金属や
ゴムなどの弾性材料からなる上パンチ５４と下パンチ５
５との間に積層体５３を載置し、上パンチ５４及び下パ
ンチ５５を動作させて積層体５３を押圧することによ
り、積層体５３を構成する各セラミックグリーンシート
を互いに圧着させる方法、 図６に示すように、積層体５３を上パンチ５４と下パ
ンチ５５との間に配置し、上パンチ５４、下パンチ５５
及び積層体５３を、密閉可能な袋（例えばラバー製の
袋）５６に入れて真空吸引した後、袋５６ごと水（ある
いはオイル）中に浸漬し、圧力を加えて積層体５３を押
圧することにより、積層体５３を構成する各セラミック
グリーンシートを互いに圧着させる方法（静水圧プレス
法）、 図７に示すように、液体５７を入れた柔軟性を有する
袋状部材（例えば、ラバー製の袋状部材）５８からなる
上部押圧パッド５９と下部押圧パッド６０の間に積層体
５３を置き、上下両側から押圧パッド５９，６０を介し
て積層体５３を押圧することにより、積層体５３を構成
する各セラミックグリーンシートを圧着させる方法（乾
式ＣＩＰ法）などが用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、積層体５３に
は、図３に示すように、電極５２の疎な部分Ａと密な部
分Ｂがあり、上パンチ５４と下パンチ５５、あるいは上
部押圧パッド５９と下部押圧パッド６０に均一に力を加
えても、積層体５３の電極５２の疎な部分Ａと密な部分
Ｂには均一に押圧力が加わらない場合が生じたり、図８
に示すように、上パンチ５４と下パンチ５５（あるいは
上部押圧パッド５９と下部押圧パッド６０）が変形し
て、積層体５３の中央部と周辺部で圧下率に差が生じ、
積層体５３の形状が中央部では厚みが大きく、周辺部で
は厚みが小さい太鼓状の形状となったりする場合があ
る。
は、図３に示すように、電極５２の疎な部分Ａと密な部
分Ｂがあり、上パンチ５４と下パンチ５５、あるいは上
部押圧パッド５９と下部押圧パッド６０に均一に力を加
えても、積層体５３の電極５２の疎な部分Ａと密な部分
Ｂには均一に押圧力が加わらない場合が生じたり、図８
に示すように、上パンチ５４と下パンチ５５（あるいは
上部押圧パッド５９と下部押圧パッド６０）が変形し
て、積層体５３の中央部と周辺部で圧下率に差が生じ、
積層体５３の形状が中央部では厚みが大きく、周辺部で
は厚みが小さい太鼓状の形状となったりする場合があ
る。
【０００５】そして、その結果、圧着後の積層体５３に
電極５２の位置ずれが生じたり、積層体５３から切り出
される個々の素子の側面（切断面）から電極までの距離
（ギャップ寸法）が不足したり、素子の側面（切断面）
に電極が露出したりするというような電極の位置ずれ不
良を発生するという問題点がある。
電極５２の位置ずれが生じたり、積層体５３から切り出
される個々の素子の側面（切断面）から電極までの距離
（ギャップ寸法）が不足したり、素子の側面（切断面）
に電極が露出したりするというような電極の位置ずれ不
良を発生するという問題点がある。
【０００６】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、所定の位置に電極が付与されたセラミックグリーン
シートを、電極の位置ずれを招いたりすることなく、確
実に積層、圧着することが可能な圧着成形方法を提供す
ることを目的とする。
り、所定の位置に電極が付与されたセラミックグリーン
シートを、電極の位置ずれを招いたりすることなく、確
実に積層、圧着することが可能な圧着成形方法を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の圧着成形方法は、所定の位置に電極が付与
された複数枚のセラミックグリーンシートを積層、圧着
して成形する圧着成形方法において、セラミックグリー
ンシートを積み重ねて積層体を形成する工程と、前記積
層体の電極が疎な部分において、積層されたセラミック
グリーンシート間に実質的に隙間が形成されず、電気特
性に悪影響を及ぼさないような静水圧下で積層体を静水
圧プレスすることにより予成形する工程と、予成形され
た積層体の電極の密な部分の厚みを検出し、所定の圧下
率となるように積層体の電極の密な部分をプレスする工
程とを具備することを特徴としている。
に、本発明の圧着成形方法は、所定の位置に電極が付与
された複数枚のセラミックグリーンシートを積層、圧着
して成形する圧着成形方法において、セラミックグリー
ンシートを積み重ねて積層体を形成する工程と、前記積
層体の電極が疎な部分において、積層されたセラミック
グリーンシート間に実質的に隙間が形成されず、電気特
性に悪影響を及ぼさないような静水圧下で積層体を静水
圧プレスすることにより予成形する工程と、予成形され
た積層体の電極の密な部分の厚みを検出し、所定の圧下
率となるように積層体の電極の密な部分をプレスする工
程とを具備することを特徴としている。
【０００８】積層体の電極が疎な部分において、積層さ
れたセラミックグリーンシート間に実質的に隙間が形成
されず、電気特性に悪影響を及ぼさないような静水圧下
で、積層体をプレスして予成形することにより、その後
の電極の密な部分を圧着する工程での電極の流動を防止
することが可能になり、必要な電気特性を得るための予
備的な条件が満たされるとともに、予成形された積層体
の電極の密な部分の厚みを検出して、所定の圧下率とな
るように電極の密な部分をプレスすることにより、電極
の密な部分についても適正な圧力でプレスが行われる。
その結果、積層体の電極の疎な部分と密な部分のそれぞ
れを適正な圧力でプレスすることが可能になり、電極の
位置ずれを招いたりすることなく、所定の位置に電極が
付与されたセラミックグリーンシートを確実に積層、圧
着することができるようになる。
れたセラミックグリーンシート間に実質的に隙間が形成
されず、電気特性に悪影響を及ぼさないような静水圧下
で、積層体をプレスして予成形することにより、その後
の電極の密な部分を圧着する工程での電極の流動を防止
することが可能になり、必要な電気特性を得るための予
備的な条件が満たされるとともに、予成形された積層体
の電極の密な部分の厚みを検出して、所定の圧下率とな
るように電極の密な部分をプレスすることにより、電極
の密な部分についても適正な圧力でプレスが行われる。
その結果、積層体の電極の疎な部分と密な部分のそれぞ
れを適正な圧力でプレスすることが可能になり、電極の
位置ずれを招いたりすることなく、所定の位置に電極が
付与されたセラミックグリーンシートを確実に積層、圧
着することができるようになる。
【０００９】また、本発明の圧着成形方法は、予成形さ
れた積層体の電極の密な部分に対応する、表裏両面側の
表面位置を検出し、積層体の電極の密な部分の圧下率が
予め設定された値となるように、上面側から積層体を押
圧する上パンチと、下面側から積層体を押圧する下パン
チのそれぞれの変位量を求めておき、上パンチと下パン
チを前記所定の変位量だけ変位させることにより、積層
体の電極の密な部分を所定の圧下率となるようにプレス
することを特徴としている。
れた積層体の電極の密な部分に対応する、表裏両面側の
表面位置を検出し、積層体の電極の密な部分の圧下率が
予め設定された値となるように、上面側から積層体を押
圧する上パンチと、下面側から積層体を押圧する下パン
チのそれぞれの変位量を求めておき、上パンチと下パン
チを前記所定の変位量だけ変位させることにより、積層
体の電極の密な部分を所定の圧下率となるようにプレス
することを特徴としている。
【００１０】積層体の電極の密な部分の表面位置を検出
し、圧下率が予め設定された値となるように、上パンチ
と下パンチの変位量を求めておき、上パンチと下パンチ
を所定の変位量だけ変位させることにより、積層体の電
極の密な部分を確実に所定の圧下率となるようにプレス
することが可能になり、本発明を実効あらしめることが
できる。
し、圧下率が予め設定された値となるように、上パンチ
と下パンチの変位量を求めておき、上パンチと下パンチ
を所定の変位量だけ変位させることにより、積層体の電
極の密な部分を確実に所定の圧下率となるようにプレス
することが可能になり、本発明を実効あらしめることが
できる。
【００１１】また、本発明の圧着成形方法は、前記上パ
ンチと前記下パンチにより積層体の電極の密な部分を所
定の圧下率になるようにプレスするにあたって、一度に
積層体の電極の密な部分の複数箇所を同時にプレスする
ことを特徴としている。
ンチと前記下パンチにより積層体の電極の密な部分を所
定の圧下率になるようにプレスするにあたって、一度に
積層体の電極の密な部分の複数箇所を同時にプレスする
ことを特徴としている。
【００１２】上パンチと下パンチにより、一度に積層体
の電極の密な部分の複数箇所を同時にプレスすることに
より、積層体の電極の密な部分を効率よく所定の圧下率
となるようにプレスすることが可能になり、生産性を向
上させることができる。
の電極の密な部分の複数箇所を同時にプレスすることに
より、積層体の電極の密な部分を効率よく所定の圧下率
となるようにプレスすることが可能になり、生産性を向
上させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を示し
てその特徴とするところをさらに詳しく説明する。図１
は積層体を予成形するのに用いた予成形装置を要部を断
面として示す概略構成図、図２は予成形された積層体の
電極の密な部分をプレスする工程を示す図である。な
お、この実施形態においては、図３に示すように、電極
５２が配設されたセラミックグリーンシート５１を積層
してなる積層体５３（積層セラミックコンデンサ製造用
の積層体）を圧着成形する場合を例にとって説明する。
てその特徴とするところをさらに詳しく説明する。図１
は積層体を予成形するのに用いた予成形装置を要部を断
面として示す概略構成図、図２は予成形された積層体の
電極の密な部分をプレスする工程を示す図である。な
お、この実施形態においては、図３に示すように、電極
５２が配設されたセラミックグリーンシート５１を積層
してなる積層体５３（積層セラミックコンデンサ製造用
の積層体）を圧着成形する場合を例にとって説明する。
【００１４】［積層体の予成形］積層体を予成形するに
あたって、図１に示すような予成形装置を用いた。この
予成形装置は、積層体５３を上下からプレスする、内部
に液体２を入れた柔軟性を有する袋状部材（例えばラバ
ー製袋状部材）３からなる上部押圧パッド４及び下部押
圧パッド５と、上部押圧パッド４を保持する上部ダイ６
と、下部押圧パッド５を保持する下部ダイ７と、上部油
圧機構８及び下部油圧機構９により上下方向に動作し
て、上部押圧パッド４を押圧する上部加圧板１０，及び
下部押圧パッド５を押圧する下部加圧板１１と、上部ダ
イ６に取り付けられ、油圧機構１２により上下方向に駆
動されて上部ダイ６を上下動させる上部プラテン１３
と、下部ダイ７を保持する下部プラテン１４とを備えて
構成されている。
あたって、図１に示すような予成形装置を用いた。この
予成形装置は、積層体５３を上下からプレスする、内部
に液体２を入れた柔軟性を有する袋状部材（例えばラバ
ー製袋状部材）３からなる上部押圧パッド４及び下部押
圧パッド５と、上部押圧パッド４を保持する上部ダイ６
と、下部押圧パッド５を保持する下部ダイ７と、上部油
圧機構８及び下部油圧機構９により上下方向に動作し
て、上部押圧パッド４を押圧する上部加圧板１０，及び
下部押圧パッド５を押圧する下部加圧板１１と、上部ダ
イ６に取り付けられ、油圧機構１２により上下方向に駆
動されて上部ダイ６を上下動させる上部プラテン１３
と、下部ダイ７を保持する下部プラテン１４とを備えて
構成されている。
【００１５】次に、上記の予成形装置を用いて積層体を
予成形する方法について説明する。まず、油圧機構１２
により上部プラテン１３を上昇させることにより、上部
ダイ６及び上部押圧パッド４を上昇させて、下部押圧パ
ッド５上に積層体５３を載置する。それから、上部プラ
テン１３を下降させることにより、上部ダイ６及び上部
押圧パッド４を下降させて、積層体５３を上部押圧パッ
ド４及び下部押圧パッド５の間に保持する。
予成形する方法について説明する。まず、油圧機構１２
により上部プラテン１３を上昇させることにより、上部
ダイ６及び上部押圧パッド４を上昇させて、下部押圧パ
ッド５上に積層体５３を載置する。それから、上部プラ
テン１３を下降させることにより、上部ダイ６及び上部
押圧パッド４を下降させて、積層体５３を上部押圧パッ
ド４及び下部押圧パッド５の間に保持する。
【００１６】そして、上部油圧機構８により上部加圧板
１０を下降させて上部押圧パッド４を押圧するととも
に、下部油圧機構９により下部加圧板１１を上昇させて
下部押圧パッド５を押圧することにより、上部押圧パッ
ド４及び下部押圧パッド５内の液体２に静水圧を発生さ
せ、積層体５３を所定の静水圧下で予成形する。
１０を下降させて上部押圧パッド４を押圧するととも
に、下部油圧機構９により下部加圧板１１を上昇させて
下部押圧パッド５を押圧することにより、上部押圧パッ
ド４及び下部押圧パッド５内の液体２に静水圧を発生さ
せ、積層体５３を所定の静水圧下で予成形する。
【００１７】これにより、積層体５３の電極５２の疎な
部分Ａのセラミックグリーンシート５１間に実質的に隙
間が形成されず、電気特性に悪影響を及ぼさないような
態様で予成形を行うことが可能になり、必要な電気特性
を得るための予備的な条件が満たされる。
部分Ａのセラミックグリーンシート５１間に実質的に隙
間が形成されず、電気特性に悪影響を及ぼさないような
態様で予成形を行うことが可能になり、必要な電気特性
を得るための予備的な条件が満たされる。
【００１８】［積層体の電極の密な部分のプレス］次
に、図２に示すように、予成形された積層体５３の電極
５２（図２）の密な部分（厚みの大きい部分）Ｂの厚み
を検出し、所定の圧下率となるように積層体５３の電極
の密な部分Ｂをプレスする。なお、この実施形態では、
積層体５３の電極の密な部分Ｂをプレスするにあたっ
て、図２に示すような装置を用いた。
に、図２に示すように、予成形された積層体５３の電極
５２（図２）の密な部分（厚みの大きい部分）Ｂの厚み
を検出し、所定の圧下率となるように積層体５３の電極
の密な部分Ｂをプレスする。なお、この実施形態では、
積層体５３の電極の密な部分Ｂをプレスするにあたっ
て、図２に示すような装置を用いた。
【００１９】この装置は、上パンチ３１及び下パンチ３
２から、積層体５３の電極の密な部分Ｂの上下両面側の
表面１ａ，１ｂまでの距離を測定する上部レーザ測長器
３３及び下部レーザ測長器３４と、上部及び下部レーザ
測長器３３，３４により測定した積層体５３の表面１ａ
までの距離から、所定の圧下率となるように上パンチ３
１及び下パンチ３２の変位量を求める演算手段３５とを
備えて構成されている。なお、この実施形態において、
上パンチ３１及び下パンチ３２は、例えば、モータやモ
ータにより駆動されるギアなどを備えた駆動機構（図示
せず）により、演算手段３５で求めた変位量だけ上下方
向に動作するように構成されている。
２から、積層体５３の電極の密な部分Ｂの上下両面側の
表面１ａ，１ｂまでの距離を測定する上部レーザ測長器
３３及び下部レーザ測長器３４と、上部及び下部レーザ
測長器３３，３４により測定した積層体５３の表面１ａ
までの距離から、所定の圧下率となるように上パンチ３
１及び下パンチ３２の変位量を求める演算手段３５とを
備えて構成されている。なお、この実施形態において、
上パンチ３１及び下パンチ３２は、例えば、モータやモ
ータにより駆動されるギアなどを備えた駆動機構（図示
せず）により、演算手段３５で求めた変位量だけ上下方
向に動作するように構成されている。
【００２０】次に、この装置を用いて、予成形された積
層体５３の電極の密な部分Ｂの厚みを検出し、所定の圧
下率となるように積層体５３の電極の密な部分Ｂをプレ
スする方法について説明する。
層体５３の電極の密な部分Ｂの厚みを検出し、所定の圧
下率となるように積層体５３の電極の密な部分Ｂをプレ
スする方法について説明する。
【００２１】まず、予成形された積層体５３の電極の密
な部分Ｂの圧下率をどの程度にすれば所望の特性が得ら
れるかを予め調べておく。それから、上部レーザ測長器
３３及び下部レーザ測長器３４により上パンチ３１及び
下パンチ３２と積層体５３の上下両面側の表面１ａ，１
ｂまでの距離Ｌ１，Ｌ２を測定し、予成形後の積層体５
３の厚みＬ０を求め、所望の特性が得られる所定の圧下
率ｒにするために必要な上パンチ３１及び下パンチ３２
の変位量を求める。
な部分Ｂの圧下率をどの程度にすれば所望の特性が得ら
れるかを予め調べておく。それから、上部レーザ測長器
３３及び下部レーザ測長器３４により上パンチ３１及び
下パンチ３２と積層体５３の上下両面側の表面１ａ，１
ｂまでの距離Ｌ１，Ｌ２を測定し、予成形後の積層体５
３の厚みＬ０を求め、所望の特性が得られる所定の圧下
率ｒにするために必要な上パンチ３１及び下パンチ３２
の変位量を求める。
【００２２】圧下率ｒは、上パンチ３１及び下パンチ３
２によりプレスした後の積層体５３の電極が密な部分Ｂ
の厚みをＬとすると、下記の式(1)で表される。 ｒ＝（Ｌ０−Ｌ）／Ｌ０ (1) また、上パンチ３１の変位量Ｄ１及び下パンチ３２の変
位量Ｄ２は、それぞれ下記の式(2)，(3)で表される。 Ｄ１＝Ｌ１＋（１／２）（Ｌ０−Ｌ） (2) Ｄ２＝Ｌ２＋（１／２）（Ｌ０−Ｌ） (3) また、上パンチ３１及び下パンチ３２によりプレスした
後の積層体５３の電極が密な部分Ｂの厚みＬは、下記の
式(4)で表される。 Ｌ＝（１−ｒ）Ｌ０ (4)
２によりプレスした後の積層体５３の電極が密な部分Ｂ
の厚みをＬとすると、下記の式(1)で表される。 ｒ＝（Ｌ０−Ｌ）／Ｌ０ (1) また、上パンチ３１の変位量Ｄ１及び下パンチ３２の変
位量Ｄ２は、それぞれ下記の式(2)，(3)で表される。 Ｄ１＝Ｌ１＋（１／２）（Ｌ０−Ｌ） (2) Ｄ２＝Ｌ２＋（１／２）（Ｌ０−Ｌ） (3) また、上パンチ３１及び下パンチ３２によりプレスした
後の積層体５３の電極が密な部分Ｂの厚みＬは、下記の
式(4)で表される。 Ｌ＝（１−ｒ）Ｌ０ (4)
【００２３】そして、上パンチ３１及び下パンチ３２
を、上記のようにして求めた変位量Ｄ１，Ｄ２だけ変位
させることにより、積層体５３の電極の密な部分Ｂを所
定の圧下率になるようにプレスする。そして、例えば、
上パンチ３１及び下パンチ３２を水平方向に移動させる
か、あるいは、積層体５３を水平方向に移動させて、次
々と積層体５３の電極の密な部分Ｂを所定の圧下率とな
るようにプレスする。これにより、積層体５３の電極の
密な部分Ｂについても適正な圧力でプレスが行われる。
を、上記のようにして求めた変位量Ｄ１，Ｄ２だけ変位
させることにより、積層体５３の電極の密な部分Ｂを所
定の圧下率になるようにプレスする。そして、例えば、
上パンチ３１及び下パンチ３２を水平方向に移動させる
か、あるいは、積層体５３を水平方向に移動させて、次
々と積層体５３の電極の密な部分Ｂを所定の圧下率とな
るようにプレスする。これにより、積層体５３の電極の
密な部分Ｂについても適正な圧力でプレスが行われる。
【００２４】その結果、積層体５３の電極の疎な部分Ａ
と密な部分Ｂのそれぞれを適正な圧力でプレスすること
が可能になり、所定の位置に電極５２が付与されたセラ
ミックグリーンシート５１を電極の位置ずれを招いたり
することなく、確実に積層、圧着することができる。
と密な部分Ｂのそれぞれを適正な圧力でプレスすること
が可能になり、所定の位置に電極５２が付与されたセラ
ミックグリーンシート５１を電極の位置ずれを招いたり
することなく、確実に積層、圧着することができる。
【００２５】なお、上記実施形態では、積層体５３の電
極の密な部分Ｂを１箇所ずつ上パンチ３１及び下パンチ
３２によりプレスするように構成した場合について説明
したが、図４に示すように、上パンチ３１及び下パンチ
３２として幅の広いものを用い、積層体５３の電極の密
な部分Ｂを複数箇所同時にプレスするように構成するこ
とも可能である。これにより、電極の密な部分を一箇所
ずつプレスする場合よりも効率よくプレスすることが可
能になり、生産性を向上させることができる。
極の密な部分Ｂを１箇所ずつ上パンチ３１及び下パンチ
３２によりプレスするように構成した場合について説明
したが、図４に示すように、上パンチ３１及び下パンチ
３２として幅の広いものを用い、積層体５３の電極の密
な部分Ｂを複数箇所同時にプレスするように構成するこ
とも可能である。これにより、電極の密な部分を一箇所
ずつプレスする場合よりも効率よくプレスすることが可
能になり、生産性を向上させることができる。
【００２６】また、上記実施形態では、積層セラミック
コンデンサ製造用の積層体を圧着成形する場合を例にと
って説明したが、本発明はこれに限られるものではな
く、ＬＣ複合部品、インダクタなど、所定の位置に電極
を配設したセラミックグリーンシートが積層された積層
体を圧着成形する場合に広く適用することが可能であ
る。また、上記実施形態では、上パンチ及び下パンチか
ら、積層体の電極の密な部分の上下両面側の表面までの
距離を測定するのに非接触式測定装置であるレーザ測長
器を用いているが、これは、積層体の変形を招かないよ
うに配慮したものである。但し、積層体の変形を招くお
それのないものであれば、接触式の測定装置を用いるこ
とも可能である。
コンデンサ製造用の積層体を圧着成形する場合を例にと
って説明したが、本発明はこれに限られるものではな
く、ＬＣ複合部品、インダクタなど、所定の位置に電極
を配設したセラミックグリーンシートが積層された積層
体を圧着成形する場合に広く適用することが可能であ
る。また、上記実施形態では、上パンチ及び下パンチか
ら、積層体の電極の密な部分の上下両面側の表面までの
距離を測定するのに非接触式測定装置であるレーザ測長
器を用いているが、これは、積層体の変形を招かないよ
うに配慮したものである。但し、積層体の変形を招くお
それのないものであれば、接触式の測定装置を用いるこ
とも可能である。
【００２７】また、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、積層体の具体的な構成、例えば、電極パ
ターンやその配設位置、積層数、予成形工程における静
水圧力、予成形後の積層体の表面位置の検出方法、圧下
率の値、上パンチ及び下パンチの具体的な構成などに関
し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を
加えることが可能である。また、電極の構成材料、セラ
ミックグリーンシートを構成するセラミックの種類など
に関しても特別の制約はない。
ものではなく、積層体の具体的な構成、例えば、電極パ
ターンやその配設位置、積層数、予成形工程における静
水圧力、予成形後の積層体の表面位置の検出方法、圧下
率の値、上パンチ及び下パンチの具体的な構成などに関
し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を
加えることが可能である。また、電極の構成材料、セラ
ミックグリーンシートを構成するセラミックの種類など
に関しても特別の制約はない。
【００２８】
【発明の効果】上述のように、本発明の圧着成形方法
は、積層体の電極が疎な部分において積層されたセラミ
ックグリーンシート間に実質的に隙間が形成されず、電
気特性に悪影響を及ぼさないような静水圧下で積層体を
プレスして予成形した後、予成形された積層体の電極の
密な部分の厚みを検出し、所定の圧下率となるように積
層体の電極の密な部分をプレスするようにしているの
で、予成形工程でセラミックグリーンシート間に実質的
に隙間が形成されず、その後の電極の密な部分を圧着す
る工程での電極の流動を防止することが可能になるとと
もに、電極の密な部分が適正な圧力でプレスされるた
め、セラミックグリーンシートを電極の位置ずれを招い
たりすることなく、確実に積層、圧着することができ
る。
は、積層体の電極が疎な部分において積層されたセラミ
ックグリーンシート間に実質的に隙間が形成されず、電
気特性に悪影響を及ぼさないような静水圧下で積層体を
プレスして予成形した後、予成形された積層体の電極の
密な部分の厚みを検出し、所定の圧下率となるように積
層体の電極の密な部分をプレスするようにしているの
で、予成形工程でセラミックグリーンシート間に実質的
に隙間が形成されず、その後の電極の密な部分を圧着す
る工程での電極の流動を防止することが可能になるとと
もに、電極の密な部分が適正な圧力でプレスされるた
め、セラミックグリーンシートを電極の位置ずれを招い
たりすることなく、確実に積層、圧着することができ
る。
【００２９】また、積層体の電極の密な部分の表面位置
を検出し、圧下率が予め設定された値となるように、上
パンチと下パンチの変位量を求めておき、上パンチと下
パンチを所定の変位量だけ変位させるようにした場合、
積層体の電極の密な部分を確実に所定の圧下率となるよ
うにプレスすることが可能になり、本発明を実効あらし
めることができる。
を検出し、圧下率が予め設定された値となるように、上
パンチと下パンチの変位量を求めておき、上パンチと下
パンチを所定の変位量だけ変位させるようにした場合、
積層体の電極の密な部分を確実に所定の圧下率となるよ
うにプレスすることが可能になり、本発明を実効あらし
めることができる。
【００３０】また、上パンチと下パンチにより、一度に
積層体の電極の密な部分の複数箇所を同時にプレスする
ようにした場合、積層体の電極の密な部分を効率よく所
定の圧下率になるようにプレスすることが可能になり、
生産性を向上させることができる。
積層体の電極の密な部分の複数箇所を同時にプレスする
ようにした場合、積層体の電極の密な部分を効率よく所
定の圧下率になるようにプレスすることが可能になり、
生産性を向上させることができる。
【図１】本発明の一実施形態にかかる圧着成形方法を実
施するのに用いた予成形装置を示す概略構成図である。
施するのに用いた予成形装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる圧着成形方法にお
いて積層体の電極の密な部分をプレスする工程を示す図
である。
いて積層体の電極の密な部分をプレスする工程を示す図
である。
【図３】本発明の一実施形態にかかる圧着成形方法にお
いて圧着成形に供した積層体を示す断面図である。
いて圧着成形に供した積層体を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態にかかる圧着成形方法に
おいて積層体の電極の密な部分をプレスする工程を示す
図である。
おいて積層体の電極の密な部分をプレスする工程を示す
図である。
【図５】従来の圧着成形方法を示す図である。
【図６】従来の他の圧着成形方法を示す図である。
【図７】従来のさらに他の圧着成形方法を示す図であ
る。
る。
【図８】従来の圧着成形方法により圧着成形された積層
体を示す図である。
体を示す図である。
１ａ 積層体の電極の密な部分の上面側の
表面 １ｂ 積層体の電極の密な部分の下面側の
表面 ２ 液体 ３ 袋状部材 ４ 上部押圧パッド ５ 下部押圧パッド ６ 上部ダイ ７ 下部ダイ ８ 上部油圧機構 ９ 下部油圧機構 １０ 上部加圧板 １１ 下部加圧板 １２ 油圧機構 １３ 上部プラテン １４ 下部プラテン ３１ 上パンチ ３２ 下パンチ ３３ 上部レーザ測長器 ３４ 下部レーザ測長器 ３５ 演算手段 ５１ セラミックグリーンシート ５２ 電極 ５３ 積層体 Ａ 電極の疎な部分 Ｂ 電極の密な部分 Ｌ１ 上パンチから積層体の上面側の表面
までの距離 Ｌ２ 下パンチから積層体の下面側の表面
までの距離 Ｌ０ 予成形後の積層体の厚み
表面 １ｂ 積層体の電極の密な部分の下面側の
表面 ２ 液体 ３ 袋状部材 ４ 上部押圧パッド ５ 下部押圧パッド ６ 上部ダイ ７ 下部ダイ ８ 上部油圧機構 ９ 下部油圧機構 １０ 上部加圧板 １１ 下部加圧板 １２ 油圧機構 １３ 上部プラテン １４ 下部プラテン ３１ 上パンチ ３２ 下パンチ ３３ 上部レーザ測長器 ３４ 下部レーザ測長器 ３５ 演算手段 ５１ セラミックグリーンシート ５２ 電極 ５３ 積層体 Ａ 電極の疎な部分 Ｂ 電極の密な部分 Ｌ１ 上パンチから積層体の上面側の表面
までの距離 Ｌ２ 下パンチから積層体の下面側の表面
までの距離 Ｌ０ 予成形後の積層体の厚み
Claims (3)
- 【請求項１】所定の位置に電極が付与された複数枚のセ
ラミックグリーンシートを積層、圧着して成形する圧着
成形方法において、 所定の位置に電極が付与されたセラミックグリーンシー
トを積み重ねて積層体を形成する工程と、 前記積層体の電極が疎な部分において、積層されたセラ
ミックグリーンシート間に実質的に隙間が形成されず、
電気特性に悪影響を及ぼさないような静水圧下で積層体
を静水圧プレスすることにより予成形する工程と、 予成形された積層体の電極の密な部分の厚みを検出し、
所定の圧下率となるように積層体の電極の密な部分をプ
レスする工程とを具備することを特徴とする圧着成形方
法。 - 【請求項２】予成形された積層体の電極の密な部分に対
応する、表裏両面側の表面位置を検出し、積層体の電極
の密な部分の圧下率が予め設定された値となるように、
上面側から積層体を押圧する上パンチと、下面側から積
層体を押圧する下パンチのそれぞれの変位量を求めてお
き、上パンチと下パンチを前記所定の変位量だけ変位さ
せることにより、積層体の電極の密な部分を所定の圧下
率となるようにプレスすることを特徴とする請求項１記
載の圧着成形方法。 - 【請求項３】前記上パンチと前記下パンチにより積層体
の電極の密な部分を所定の圧下率になるようにプレスす
るにあたって、一度に積層体の電極の密な部分の複数箇
所を同時にプレスすることを特徴とする請求項２記載の
圧着成形方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20987997A JPH1140450A (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | 圧着成形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20987997A JPH1140450A (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | 圧着成形方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1140450A true JPH1140450A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16580168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20987997A Withdrawn JPH1140450A (ja) | 1997-07-18 | 1997-07-18 | 圧着成形方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1140450A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115579242A (zh) * | 2022-10-19 | 2023-01-06 | 广东微容电子科技有限公司 | 一种高容mlcc巴块的层压工艺 |
-
1997
- 1997-07-18 JP JP20987997A patent/JPH1140450A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115579242A (zh) * | 2022-10-19 | 2023-01-06 | 广东微容电子科技有限公司 | 一种高容mlcc巴块的层压工艺 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |