JPH11349289A - 長尺物搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長尺物の移動を、別体の搬送装置ないしは多
数の人手で搬送しなくても、容易に搬送できる長尺物搬
送方法を提供する。 【解決手段】 分割解体された筐体のうちのフロント筐
体下部２２との取り付けを外され、長尺物吊り上げ装置
６０によって吊り上げられ、フロント筐体下部の外に移
動されたカセットローダ３０は、長尺物吊り上げ装置６
０によって降下されたときに、底面に装着されたキャス
タ３８，３９によって、その底面が着地点からスライド
して離れるように、容易にずらすことができ、したがっ
て、容易に斜めから横置きにすることができる。さら
に、カセットローダは、横置き状態で他の搬送装置や多
数の人手の助力を得ないでも側面のキャスタ３７により
容易に移動することができ、作業能率の向上を図ること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、筐体内に配置さ
れる長尺物を搬送する長尺物搬送方法に関し、特に、半
導体製造装置において分割解体可能な筐体内に配置され
るカセットローダ等の背の高い装置を狭隘な搬送路を通
して設置場所に搬送する長尺物搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の縦型拡散ＣＶＤ装置等の内部に
は、カセットローダ等の長尺物の装置が立てて配置され
ている。この縦型拡散ＣＶＤ装置の据え付けを行う場
合、据え付け場所への搬入路が狭かったり低かったりす
るために、縦型拡散ＣＶＤ装置をそのまま搬入できない
ということが屡々発生する。そこで、このような場合に
対処するために、従来は、図５に示されるように、縦型
拡散ＣＶＤ装置の全体を縦方向の分割ラインＶＬ１によ
って、本筐体１０とフロント筐体２０とに分割可能に
し、さらに、本筐体１０を水平方向の分割ラインＨＬ１
によって本筐体上部１１と本筐体下部１２とに分割可能
に、フロント筐体２０を水平方向の分割ラインＨＬ２に
よってフロント筐体上部２１とフロント筐体下部２２と
に分割可能にしている。搬入に分割が必要な場合には、
筐体は上述のように分割解体し梱包し据え付け場所に搬
送する。

【０００３】このように筐体は分割解体して搬入できる
ので対処できるが、長尺物である例えばカセットローダ
３０は、フロント筐体下部２２に取り付けたままだと、
フロント筐体下部２２から上方に突出してしまう。そこ
で、背が高く重量が重いカセットローダ３０（例えば、
高さ２８００ｍｍ、重量１００ｋｇ）は、簡単に分割で
きないこともあって、図６に示されるように、カセット
ローダ３０の最上部に取り付けたアイボルト３１にホイ
ストクレーン４０から延びる吊りベルト４１を取り付
け、フロント筐体下部２２との取り付けを外し、ホイス
トクレーン４０によって、フロント筐体下部２２の上方
にカセットローダ３０を吊り上げてフロント筐体下部２
２から取り出す。カセットローダ３０をフロント筐体下
部２２から取り出した後に、ホイストクレーン４０を梱
包箱５０のある所まで天井レール４２に沿って矢印ＨＳ
方向に移動させ、吊りベルト４１で吊り下げられたカセ
ットローダ３０を下降させ、梱包箱５０に横置きして梱
包し、据え付け場所に搬送する。据え付け場所では、カ
セットローダ３０について、前述の梱包までの順序とは
逆の順序で開梱および取り付けを行う。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述の従来の長尺物搬
送方法では、例えば、搬送先に長尺物が到着しても据え
付け場所まで長尺物とは別体の搬送装置ないしは多数の
人手で搬送しなければならず、不便である。また、到着
した長尺物をフロント筐体２２に取り付けてから据え付
け場所に搬送する場合にも、一般に、取り付けに必要な
ホイストクレーンが設置されている場所と据え付け場所
とは離れているので、長尺物を取り付け後に移動させる
距離が長く作業が容易でない。

【０００５】この発明は、上記問題を解決すべく、長尺
物の移動を、別体の搬送装置ないしは多数の人手で搬送
しなくても、容易に搬送できる長尺物搬送方法を提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、この発明は、筐体内に配置される長尺物を搬送す
る長尺物搬送方法において、前記筐体を分割解体し、前
記長尺物と前記筐体との結合を解除するとともに吊り上
げ装置によって前記長尺物をそれの長手方向に吊り上げ
前記分割解体された筐体外に吊り出し、前記長尺物を吊
り上げた状態で、前記長尺物の底面と一方の側面にそれ
ぞれ複数のキャスタを装着し、前記吊り上げ装置により
前記長尺物を降下させ、前記底面のキャスタを着地さ
せ、前記底面のキャスタを滑らせながら、前記長尺物の
側面のキャスタが下を向き、前記長尺物が斜めになるよ
うに、前記吊り上げ装置により前記長尺物をさらに降下
させ、前記長尺物の側面のキャスタが安定に着地するま
で前記降下を継続し、前記長尺物が安定に着地した後
に、前記長尺物を前記吊り上げ装置から取り外し、前記
側面のキャスタにより前記長尺物が搬送可能となるよう
にするというステップを有する。

【０００７】この発明の実施の形態の長尺物搬送方法に
よれば、筐体１１，１２，２１，２２の中に配置され、
フロント筐体下部２２に取り付けられたカセットローダ
３０を搬送する長尺物搬送方法において、前記カセット
ローダと前記フロント筐体下部との結合を解除するとと
もに吊り上げ装置６０によってカセットローダをそれの
長手方向に吊り上げフロント筐体下部の外に吊り出し、
吊り上げた状態で、底面と一方の側面にそれぞれ複数の
キャスタを装着し、次に、降下させ、底面のキャスタを
着地させ、滑らせながら、前記側面のキャスタが下を向
き、カセットローダが斜めになるように、カセットロー
ダをさらに降下させ、側面のキャスタが安定に着地する
まで前記降下を継続し、カセットローダが安定に着地し
た後に、吊り上げ装置から取り外し、側面のキャスタに
よりカセットローダが搬送可能となるようにするという
ステップを有する。

【０００８】なお、上述の吊り上げ装置は、水平に平行
に延びた２本の脚部と２本の脚部のそれぞれの一端を連
結する脚連結部とからなるコの字状のベースフレーム
と、水平面上の前記ベースフレームを水平移動可能に支
持する複数のキャスタと、下端が前記連結部の中央部分
に固定され、垂直に延びるメイン支柱と、前記２本の脚
部が延びる側にある前記メイン支柱の側面に昇降可能に
組み付けられたスライドベースと、前記スライドベース
を前記メイン支柱に沿って昇降させるパワーリフタと、
前記２本の脚部が延びる側にある前記スライドベースの
側面に下端が固定され、前記メイン支柱に平行に垂直に
延びる昇降支柱と、一端が前記昇降支柱の上端に固定さ
れ、前記昇降支柱の上端から前記２本の脚部が延びる側
に迫り出している吊り上げアームと、前記吊り上げアー
ムの他端に吊り下げられたチェーンブロックとを有する
のが好ましい。

【０００９】このような構成によれば、吊り上げられた
長尺物は、降下されたときに、底面に装着されたキャス
タによって、その底面が着地点からスライドして離れる
ように容易にずらすことができ、したがって、容易に斜
めから横置きにすることができ、長尺物は、横置き状態
で他の搬送装置の助力を得ないでも側面のキャスタによ
り容易に移動することができるようになる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて添付図面に基づいて説明する。図１（ａ）は、この
発明の長尺物搬送方法を実行するための長尺物吊り上げ
装置によって長尺物がフロント筐体下部から吊り上げら
れるところを示す図、図１（ｂ）は、図１（ａ）の状態
を上方から見た図、図２（ａ）は、図１に示された長尺
物搬送方法の実行の仕方をさらに詳細に説明する図、図
２（ｂ）は、図２（ａ）の昇降支柱を前方から見た図、
図２（ｃ）は、カセットローダを横にする途中における
キャスタの働きを説明する図、図３（ａ）は、図２にお
いて使用されている長尺物吊り上げ装置の昇降支柱の部
分を詳細に示す図、図３（ｂ）は、図３（ａ）を前方か
ら見た図、図４（ａ）は、図１ないし図２において示さ
れた長尺物であるカセットローダにキャスタが取り付け
られたところを詳細に示すための図、図４（ｂ）は、図
４（ａ）の正面図である。なお、以降の説明を簡明にす
るために、長尺物吊り上げ装置の２本の脚部の先端が開
放となっている方向を前方とし、メイン支柱のある方向
を後方とする。

【００１１】図１（ａ）のようにフロント筐体下部２２
（図５参照）に取り付けられた長尺物（この例では、カ
セットローダ３０）を吊り上げるために、長尺物吊り上
げ装置６０の２本の脚部６１，６２の間にフロント筐体
下部２２が来て、フロント筐体下部２２に取り付けられ
たカセットローダ３０がチェーンブロック７３の真下に
来るように、長尺物吊り上げ装置６０を前方に移動す
る。ここで用いられる長尺物吊り上げ装置６０は、図
１、図２および図３に示されるように、水平方向に平行
に延びた２本の脚部６１，６２と、脚部６１，６２の一
方の端末同士を結合させる脚連結部６３とによってコの
字状に形成されたベースフレームを有する。脚連結部６
３の中央部分にはメイン支柱６４が垂直に取り付けられ
ている。メイン支柱６４の前面には、スライドベース６
５がメイン支柱６４の前面に沿って昇降可能に組み付け
られている。メイン支柱６４の下端近辺の後面には、ス
ライドベース６５を昇降させるパワーリフタ６６が取り
付けられている。

【００１２】上述のように組み立てられた部材６１，
〜，６６は、脚部６１，６２の前端と、パワーリフタ６
６の下面とに取り付けられたキャスタ６７，６８によっ
て水平面の上を水平に移動できるようにされている。ま
た、メイン支柱６４の前面に取り付けられたスライドベ
ース６５の前面には、Ｈ型鋼材を主体とする昇降支柱７
１の下端が固定されており、昇降支柱７１は、そこから
メイン支柱６４に対して平行に垂直上方に延びている。
昇降支柱７１の上端には、吊り上げアーム７２の一端が
固定されている。吊り上げアーム７２は、昇降支柱７１
の上端から、前方に延び、脚部６１，６２の前端の直上
に至る距離の１／３程度の距離の所まで迫り出してい
る。吊り上げアーム７２の先端部分には、チェーンブロ
ック７３が吊り下げられている。チェーンブロック７３
からは、吊りベルト７４が吊り下げられている。

【００１３】次に、上述の長尺物吊り上げ装置６０を用
いたカセットローダ３０のための長尺物搬送方法につい
て説明する。先ず、カセットローダ３０の取り外しおよ
び梱包までを説明する。図１（ｂ）のようにフロント筐
体下部２２に固定されたカセットローダ３０が脚部６
１，６２に挟まれた領域の中でチェーンブロック７３の
真下にくるように、長尺物吊り下げ装置６０を移動す
る。チェーンブロック７３を手動で操作して吊りベルト
７４を下降させるとともに、パワーリフタ６６を制御し
てスライドベースとそれに固定された昇降支柱７１を下
降させる。カセットローダ３０の最上部にアイボルト３
１を取り付け、そのアイボルト３１に吊りベルト７４を
取り付ける。そこで、カセットローダ３０をフロント筐
体下部２２に固定している固定用ボルト３６を取り外
し、カセットローダ３０とフロント筐体下部２２との結
合を解除する。

【００１４】カセットローダ３０とフロント筐体下部２
２との結合が解除されたら、パワーリフタを制御してス
ライドベース６５とそれに固定された昇降支柱７１を上
昇させ、カセットローダ３０をフロント筐体下部２２の
上に引き上げる。この状態で、長尺物吊り上げ装置６０
を後退させて、カセットローダ３０をフロント筐体下部
２２の外部に移動し、カセットローダ３０を若干下降さ
せながら、図２（ａ）と図３とに示されるように、カセ
ットローダ３０の底部にキャスタ３８．３９を、後方側
の側面にキャスタ３７をそれぞれ取り付ける。このと
き、カセットローダ３０をさらに離れた梱包場所に運ぶ
必要がある場合には、梱包場所に到着するまで、カセッ
トローダ３０の後方側の側面を昇降支柱７１の下部の前
面に取り付けられた振れ止め７５に軽く当接するように
昇降支柱７１とカセットローダ３０とを固定バンド７６
（ラッシングベルト）によって緩やかに結束する。カセ
ットローダ３０にキャスタを着けた場所で梱包できる場
合には、固定バンド７６の装着は不要である。

【００１５】パワーリフタ６６を制御するとともに、チ
ェーンブロック７３を用いて、上述のようにキャスタ３
７，３８，３９が装着されたカセットローダ３０を梱包
のために下降させる。底部に装着されたキャスタ３８，
３９が着地したならば、カセットローダ３０がさらに下
降するのにしたがって、図２（ａ）のように、カセット
ローダ３０の底部をキャスタ３８に載せて前方にスライ
ドさせる。カセットローダ３０が次第に水平に近付くと
側面の最下部に取り付けられたキャスタ３７と底部に取
り付けられたキャスタ３８とは、図２（ｃ）のような状
態になり、カセットローダ３０の本体の角が着地面に当
接するのを防止し、スムーズに移動できるように工夫さ
れている。さらに、カセットローダ３０を下降させ、水
平に近付いたら、主にチェーンブロック７３を用いてキ
ャスタ３７が全部着地するように徐々に下降させ、キャ
スタ３７が全部安定に着地したならば、吊りベルト７４
をアイボルト３１から切り離す。その後に、アイボルト
３１をつけたままで、あるいは、取り外して、カセット
ローダ３０を梱包する。この場合、キャスタ３７は、露
出したままで梱包するのが、以降のカセットローダ３０
の移動のために便利である。

【００１６】梱包されたカセットローダ３０が搬送先に
到着すると、カセットローダ３０は、梱包されたまま
で、キャスタ３７を利用することによって、長尺物吊り
上げ装置６０のある所に移動される。カセットローダ３
０の梱包が解かれ、最上部に取り付けられたアイボルト
３１に長尺物吊り上げ装置６０のチェーンブロック７３
に吊り下げられた吊りベルト７４が繋がれる。そこで、
チェーンブロック７３とパワーリフタ６６を操作して、
カセットローダ３０を垂直に吊り上げるとともに、キャ
スタ３７，３８，３９を取り外す。カセットローダ３０
を取り付けるべきフロント筐体下部２２が遠くにある場
合には、カセットローダ３０を図２（ａ）および図３
（ａ）に示されるように長尺物吊り上げ装置６０の昇降
支柱７１に固定バンド７６で固定してその場所まで搬送
する。フロント筐体下部２２がある場所において、パワ
ーリフタ６６が制御され、昇降支柱７１は上昇され、カ
セットローダ３０はフロント筐体下部２２の上に持ち上
げられる。

【００１７】そこで、長尺物吊り上げ装置６０は、フロ
ント筐体下部２２におけるカセットローダ３０の取り付
け位置が吊り上げられたカセットローダ３０の真下にく
るように移動される。次に、昇降支柱７１は下降され、
カセットローダ３０の底部は、図１（ａ）のように、固
定ボルト３６によってフロント筐体下部２２に固定され
る。その後、フロント筐体上部２１、本筐体下部１２、
本筐体上部１１と合体されて縦型拡散ＣＶＤ装置１とし
て組み立てられる。このように、カセットローダ３０の
側面にキャスタを取り付けたことによって、他の装置の
助けを借りなくともカセットローダ自身で組み立て場所
に移動することができるので便利で能率的である。ま
た、上述の長尺物吊り上げ装置６０を用いれば、解体ま
たは組み立てがホイストクレーンのある場所に限定され
ず実行でき、さらに、カセットローダのような長尺物を
吊り上げたままで自在に移動できるのでさらに効率的と
なるのは明らかであろう。

【００１８】

【発明の効果】以上に詳述したように、この発明に係わ
る長尺物搬送方法は、筐体内に配置される長尺物を搬送
するために、前記筐体を分割解体し、前記長尺物と前記
筐体との結合を解除するとともに吊り上げ装置によって
前記長尺物をそれの長手方向に吊り上げ前記分割解体さ
れた筐体外に吊り出し、前記長尺物を吊り上げた状態
で、前記長尺物の底面と一方の側面にそれぞれ複数のキ
ャスタを装着し、前記吊り上げ装置により前記長尺物を
降下させ、前記底面のキャスタを着地させ、前記底面の
キャスタを滑らせながら、前記長尺物の側面のキャスタ
が下を向き、前記長尺物が斜めになるように、前記吊り
上げ装置により前記長尺物をさらに降下させ、前記長尺
物の側面のキャスタが安定に着地するまで前記降下を継
続し、前記長尺物が安定に着地した後に、前記長尺物を
前記吊り上げ装置から取り外し、前記側面のキャスタに
より前記長尺物が搬送可能となるようにするというステ
ップを有することにより、吊り上げられた長尺物は、降
下されたときに、底面に装着されたキャスタによって、
その底面が着地点から離れるように容易にずらすことが
でき、したがって、容易に斜めから横置きにすることが
でき、長尺物は、横置き状態で他の搬送装置の助力を得
ないでも側面のキャスタにより容易に移動することがで
き、作業が能率よく実行できるという効果がある。この
場合、上述のような長尺物吊り上げ装置を用いればその
効果はさらに向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）はこの発明の長尺物搬送方法を実行する
ための長尺物吊り上げ装置によって長尺物が吊り上げら
れるところを示す図、（ｂ）は（ａ）の状態を上方から
見た図である。

【図２】（ａ）は図１に示された長尺物搬送方法の実行
の仕方をさらに詳細に説明する図、（ｂ）は（ａ）の昇
降支柱を前方から見た図、（ｃ）はカセットローダを横
にする途中におけるキャスタの働きを説明する図であ
る。

【図３】（ａ）は図２において使用されている長尺物吊
り上げ装置の昇降支柱の部分を詳細に示す図、（ｂ）は
（ａ）を前方から見た図である。

【図４】（ａ）は図２の長尺物であるカセットローダに
キャスタが取り付けられたところを詳細に示すための
図、（ｂ）は（ａ）の正面図である。

【図５】縦型拡散ＣＶＤ装置の全体を分割する場合の方
法を説明するための図である。

【図６】長尺物の搬送方法の従来例を説明するための図
である。

【符号の説明】

３０ カセットローダ ３１ アイボルト ３７，３８，３９，６７，６８ キャスタ ６１，６２ 脚部 ６３ 脚連結部 ６４ メイン支柱 ６５ スライドベース ６６ パワーリフタ ７１ 昇降支柱 ７２ 吊り上げアーム ７３ チェーンブロック ７４ 吊りベルト ７５ 振れ止め ７６ 固定バンド

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 筐体内に配置される長尺物を搬送する長
   尺物搬送方法において、 前記筐体を分割解体し、前記長尺物と前記筐体との結合
   を解除するとともに吊り上げ装置によって前記長尺物を
   それの長手方向に吊り上げ前記分割解体された筐体外に
   吊り出し、 前記長尺物を吊り上げた状態で、前記長尺物の底面と一
   方の側面にそれぞれ複数のキャスタを装着し、 前記吊り上げ装置により前記長尺物を降下させ、前記底
   面のキャスタを着地させ、 前記底面のキャスタを滑らせながら、前記長尺物の側面
   のキャスタが下を向き、前記長尺物が斜めになるよう
   に、前記吊り上げ装置により前記長尺物をさらに降下さ
   せ、 前記長尺物の側面のキャスタが安定に着地するまで前記
   降下を継続し、 前記長尺物が安定に着地した後に、前記長尺物を前記吊
   り上げ装置から取り外し、前記側面のキャスタにより前
   記長尺物が搬送可能となるようにするというステップを
   有する長尺物搬送方法。