JPH1133949A - 産業用ロボット - Google Patents

産業用ロボット

Info

Publication number
JPH1133949A
JPH1133949A JP9205215A JP20521597A JPH1133949A JP H1133949 A JPH1133949 A JP H1133949A JP 9205215 A JP9205215 A JP 9205215A JP 20521597 A JP20521597 A JP 20521597A JP H1133949 A JPH1133949 A JP H1133949A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lubricating oil
human body
robot
arm
industrial robot
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9205215A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoshi Kinoshita
聡 木下
Jiyun Ibayashi
純 井林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Corp filed Critical Fanuc Corp
Priority to JP9205215A priority Critical patent/JPH1133949A/ja
Priority to PCT/JP1998/003156 priority patent/WO1999003649A1/ja
Priority to US09/242,637 priority patent/US6484067B1/en
Priority to EP98931098A priority patent/EP0937549A4/en
Publication of JPH1133949A publication Critical patent/JPH1133949A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0062—Lubrication means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 食品、医療、衛生等の分野で安全に使用出来
るロボット。 【解決手段】 設置ベースＢＳ上に固定されたコラム１
上のリニアガイド２にスライダ３が直進運動可能に支持
される。第１軸用モータ４の回転は、両端をベアリング
６、１６で支持されボールネジ５によって直進運動に変
換される。第２軸用モータ８はギア１０、減速機９を介
して第２軸アーム７を駆動する。第３軸用モータ１２は
ギア２０、減速機１９を介して第３軸アーム１１を駆動
する。第４軸用モータ１３はギア３０を介して作業ツー
ル１５を駆動し、向きを調節する。各減速機９、１９、
ギヤ１０、２０、３０、ボールネジ５、リニアガイド
２、ベアリング６には、食用潤滑油が使用される。食用
潤滑油を封入するオイルシール１５、２５、３５の摩耗
を考慮して、人体に無害な材料、例えば弗素樹脂材料か
らなるものを使用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は産業用ロボットに関
し、更に詳しく言えば、食品、医療、あるいは衛生関連
の加工、製造、移送、梱包、出荷等の現場で用いられる
産業用ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】産業用ロボット（以下、単に「ロボッ
ト」と言う。）は、その構造上、可動部に減速機、ギ
ア、ボールネジ、ベアリング、リニアガイドなど多くの
機械要素が使用されている。そして、これら可動部に用
いられる機械要素には、その動きを円滑に保つため、鉱
物系の潤滑油が使用されることが通例となっている。潤
滑油はロボット機構部に密封構造を持たせてそこに封入
・保持することが可能であるが、仮にこの封入・保持が
完全であったとしても潤滑油の劣化時には交換が必要と
なり、そのための潤滑油の排出・補給時には外部への漏
出や飛散が生じ易い。また、潤滑油を保持した部分周辺
の部品の保守、点検、交換等に際しても同様の可能性が
ある。
【０００３】そのため従来のロボットを食品、医療、あ
るいは衛生関連の加工、製造、移送、梱包、出荷等の現
場で用いた場合、そこで取り扱われる食品、医療、衛生
関連等の物品あるいはそのケース、包装等に鉱物油系の
潤滑油が付着あるいは混入する機会を完全に無くすこと
は非常に難しい。
【０００４】また、ロボットの可動部には潤滑油の漏出
やダスト侵入を防止する目的でオイルシール等のシール
類が多用されており、摩耗・劣化時にも潤滑油の漏出が
生じ易い。
【０００５】更に、それらシール類にはゴム系の材料が
用いられるのが一般的であり、摩耗に伴い摩耗粉が発生
することが避けられない。ところが通常使用されている
ゴム系の材料にはかなりの量の有害物質が含まれてお
り、外部に露出したシール類からは放出されたゴム系材
料の摩耗粉が、食品、医療、衛生関連等の取扱物品ある
いはそのケース、包装等に付着・混入して汚染を引き起
こすおそれがあった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】外部へ流出乃至漏出す
る可能性のあるこれら鉱物油系の潤滑油やゴム系材料の
摩耗粉には、人体に吸収されると有害な物質が含まれて
いるため、従来のロボットを食品、医療、衛生関連等の
物品を取り扱う作業に用いた場合には、安全確保が難か
しく、また、保守点検作業時の負担が大きかった。そし
て、この事が放出物質の無害化が要求される分野、例え
ば食品の製造・加工の分野へのロボット導入が遅れてい
る一因となっている。
【０００７】そこで本発明の目的は、食品、医療、衛生
関連等の物品の製造、移送、包装、梱包等の取り扱う作
業のように放出物質の無害化が要求される作業に適合し
たロボットを提供することにある。また、そのことを通
して、放出物質の無害化が要求される上記作業にロボッ
トを導入する際の障害要因を除去することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、ロボットの可
動部に組み込まれる機械要素に使用される潤滑油として
人体に有害でない材料からなるものを使用することによ
り、潤滑油の外部放出に伴う安全衛生上の問題を回避し
たものである。更に本発明は、ロボットの可動部に組み
込まれるシール類の材料に人体に有害な物質を含まない
もの使用することにより、摩耗粉の外部放出に伴う安全
衛生上の問題を回避したものである。これら両解決手段
は同時に適用されることが好ましい。
【０００９】本発明は、典型的には少なくとも３自由度
を有するアームを備えたロボット、特に、アーム先端に
作業ツールの取付が可能で、そのアーム先端は少なくと
も１自由度を有し、作業ツールの姿勢が可変であるよう
なロボットに適用される。また、本発明のロボットの安
全衛生上の利点が特に有効に発揮される典型的な事例
は、食品を取り扱う作業現場でロボットを使用するケー
スである。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明が適用されるロボットの一
例について、その概略構造を図１に示した。本ロボット
の場合、第１軸Ｊ１は直動軸であり、設置ベースＢＳ上
に固定されたコラム１上に設けられたリニアガイド２上
にスライダ３が直進運動可能に支持されている。第１軸
用モータ４の回転は、両端をベアリング６、１６で支持
されボールネジ５によって直進運動に変換される。
【００１１】第２軸Ｊ２は旋回軸であり、スライダ３の
上端部には第２軸アーム７、第２軸用モータ８並びに減
速機９が搭載されており、第２軸用モータ８がギア１０
を介して減速機９を駆動し、減速機９の出力軸が第２軸
アーム７を駆動する。第３軸Ｊ３も旋回軸であり、第２
軸アーム７の先端部に第３軸アーム１１、第３軸用モー
タ１２並びに減速機１９が搭載され、第３軸用モータ１
２がギア２０を介して減速機１９を駆動し、減速機１９
の出力軸が第３軸アーム１１を駆動する。以上の構成に
より、ロボットのアームの運動に関して３自由度が与え
られている。
【００１２】次に、第４軸Ｊ４について説明する。この
軸も旋回軸であるが、本例のロボットにおいては、この
旋回軸はロボットの手先部に取り付けられる作業ツール
１４の駆動軸として設けられている。即ち、第４軸用モ
ータ１３とその出力軸に接続されるギア３０が第３軸ア
ーム１１の先端部に設けられ、第４軸用モータ１３がギ
ア３０を介して作業ツール（例えばハンド、液状物注入
器など）１５を駆動し、その向きを調節することが出来
るようになっている。
【００１３】このようにロボットの各軸Ｊ１〜Ｊ４の駆
動機構には、減速機９、１９、ギヤ１０、２０、３０、
ボールネジ５、リニアガイド２、ベアリング６など、潤
滑油を必要とする機械要素が多数含まれているが、本ロ
ボットにおいてはこれら機械要素に対する潤滑油にはす
べて食品用潤滑油（Food Grade Lubrication）あるいは
食品用グリースと呼ばれるもの等、安全性が確認された
ものが使用される。具体的には、例えばアモコＦＧグリ
ース（Amoco Food Grease；登録商標）やネバステェイ
ンＨＴ／ＡＷ（Nevastane HT/AW；登録商標）が入手可
能である。
【００１４】なお、各部に使用する潤滑油は、人体に有
害でないことが確認されているものであればこれら食品
用潤滑油以外のものを使用しても良い。人体に対する無
害性を判定する国際的な規格としては、Ｕ．Ｓ．Ｄ．Ａ
（United States Departmentof Agriculture ；米国農
務省）の定めたものがあり、その規格てグレードＨ１あ
るいはＨ２の認定を受けたものを使用することが実際的
である。
【００１５】第２軸Ｊ２、第３軸Ｊ３、第３軸Ｊ３の各
出力軸については、オイルシール１５、２５、３５が設
けられており、これらオイルシール１５、２５、３５の
内部に上記無害な潤滑油が封入され、潤滑油漏出とダス
ト侵入を防止しているが、これらオイルシール１５、２
５、３５の摩耗に伴い微細な摩耗粉が飛散する可能性を
考慮して、人体に対する無害性が確認されている材料か
らなるものが使用される。
【００１６】より具体的に言えば、例えば、回転シール
には有害成分の含有量を低レベルに抑えたニトリルゴム
を用いたもの（武蔵オイルシール工業（株）製；型式Ｍ
Ｎ８５７）や弗素樹脂（ＰＴＦＥ＝ポリテトラフロロエ
チレン）を用いたものが入手可能である。なお、シール
材料には人体に有害でないことが確認されているもので
あれば、他のものを使用しても良いことは言うまでもな
い。
【００１７】人体に対する摩耗性部品の無害性を判定す
る国内的な規格としては、厚生省告示第８５号で定めら
れたものがあり、それに適合したものを使用することが
実際的である。
【００１８】本ロボットを例えば食品製造・加工工程あ
るいはそれに後続する包装、梱包等における食品あるい
は食品容器等の把持、移送、液状物注入などに使用した
場合、万一稼働中に潤滑油の漏出があり、また、それが
微量であるために気がつかない等の事態が発生しても、
人体に危害を及ぼすような事故には至る恐れがない。オ
イルシールの摩耗粉による汚染についても、同様に人体
に危害を及ぼす恐れがない。
【００１９】更に、潤滑油交換、オイルシールの交換あ
るいは保守点検時には特に潤滑油の漏出やオイルシール
の摩耗粉の飛散が起こり易いが、従来のロボットと異な
り、仮に微量の漏出、飛散があっても、重大事態を招か
ないので、交換あるいは保守点検の作業負担（例えば、
ロボットを食品の製造・加工ラインから隔離するなどの
負担）を軽減することが出来る。
【００２０】
【発明の効果】本発明のロボットは、可動部に組み込ま
れる機械要素に使用される潤滑油あるいはシール類に人
体に安全な材料を用いているため、食品、医療、衛生関
連等の物品の加工、製造、移送、包装、梱包等の作業に
用いても、人体に有害な潤滑油あるいは摩耗粉の放出に
起因する危険が回避される。また、本発明に従ってロボ
ットを放出物質に関して無害化することにより、上記作
業へのロボット導入を妨げる要因が除去される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用されるロボットの一例について、
その概略構造を示した図である。
【符号の説明】
１ コラム ２ リニアガイド ３ スライダ ４ 第１軸用モータ ５ ボールネジ ６ ベアリング ７ 第２軸アーム ８ 第２軸用モータ ９、１９ 減速機 １０、２０ ギア １１ 第３軸アーム １２ 第３軸用モータ １３ 第４軸用モータ １４ 作業用ツール １５、２５、３５ オイルシール
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年８月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、ロボットの可
動部に組み込まれる機械要素に使用される潤滑油とし
て、例えば食品用潤滑油あるいは食品用グリースのよう
に、人体に有害でない材料からなるものを使用すること
により、潤滑油の外部放出に伴う安全衛生上の問題を回
避したものである。更に本発明は、ロボットの可動部に
組み込まれるシール類の材料として、人体に有害な物質
を含まないもの、例えばニトリルゴムあるいは弗素樹脂
からなるものを使用することにより、摩耗粉の外部放出
に伴う安全衛生上の問題を回避したものである。これら
両解決手段は、同時に適用されることが好ましい。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 可動部に組み込まれる機械要素に使用さ
    れる潤滑油として、人体に有害でない材料からなるもの
    を使用した産業用ロボット。
  2. 【請求項２】 可動部に組み込まれるシール類として、
    人体に有害でない材料からなるものを使用した産業用ロ
    ボット。
  3. 【請求項３】 可動部に組み込まれる機械要素に使用さ
    れる潤滑油として人体に有害でない材料からなるものを
    使用し、且つ、前記可動部に組み込まれるシール類とし
    て、人体に有害でない材料からなるものを使用した産業
    用ロボット。
  4. 【請求項４】 少なくとも３自由度を有するアームを備
    えている、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載さ
    れた産業用ロボット。
  5. 【請求項５】 少なくとも３自由度を有するアームを備
    え、前記アームの先端には作業ツールの取付が可能であ
    り、前記前記アームの先端は少なくとも１自由度を有
    し、前記作業ツールの向きを可変とする駆動手段が設け
    られている、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載
    された産業用ロボット。
  6. 【請求項６】 食品を取り扱う作業現場で使用される、
    請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載された産業用
    ロボット。
JP9205215A 1997-07-14 1997-07-14 産業用ロボット Pending JPH1133949A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9205215A JPH1133949A (ja) 1997-07-14 1997-07-14 産業用ロボット
PCT/JP1998/003156 WO1999003649A1 (fr) 1997-07-14 1998-07-14 Robot industriel
US09/242,637 US6484067B1 (en) 1997-07-14 1998-07-14 Industrial robot
EP98931098A EP0937549A4 (en) 1997-07-14 1998-07-14 INDUSTRIAL ROBOT

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9205215A JPH1133949A (ja) 1997-07-14 1997-07-14 産業用ロボット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1133949A true JPH1133949A (ja) 1999-02-09

Family

ID=16503320

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9205215A Pending JPH1133949A (ja) 1997-07-14 1997-07-14 産業用ロボット

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6484067B1 (ja)
EP (1) EP0937549A4 (ja)
JP (1) JPH1133949A (ja)
WO (1) WO1999003649A1 (ja)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100797537B1 (ko) * 2005-09-30 2008-01-24 가부시키가이샤 다이헨 반송장치
WO2008114630A1 (ja) * 2007-03-19 2008-09-25 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha 移送ロボット
JP2008264980A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送ロボット
JP2008309336A (ja) * 2008-07-29 2008-12-25 Sumitomo Heavy Ind Ltd 食品工場用の変速機
JP2009107116A (ja) * 2009-01-26 2009-05-21 Fanuc Ltd ロボットの関節部の密封装置及び関節ロボット
WO2009116574A1 (ja) * 2008-03-21 2009-09-24 トヨタ自動車株式会社 クランプ装置及び移送用ロボット
JP2010194654A (ja) * 2009-02-24 2010-09-09 Nsk Ltd マニピュレータの関節用軸受
KR100990718B1 (ko) 2003-08-20 2010-10-29 주식회사 포스코 선재코일 이송기의 선재코일 선단 위치 변경장치
US7878088B2 (en) 2006-08-31 2011-02-01 Fanuc Ltd Sealing device for joint section of robot and articulated robot having the same
KR20130063765A (ko) * 2011-12-07 2013-06-17 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 패널 이송용 로봇
USRE45772E1 (en) 2006-07-20 2015-10-20 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Wafer transfer apparatus and substrate transfer apparatus
CN107000202A (zh) * 2014-12-26 2017-08-01 川崎重工业株式会社 多关节机器人及其模块
JP2020074440A (ja) * 2020-01-17 2020-05-14 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
WO2024047921A1 (ja) * 2022-08-30 2024-03-07 住友重機械工業株式会社 動力伝達装置、ロボット

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003089301A1 (en) * 2002-04-22 2003-10-30 Restaurant Technology, Inc. Automated food processing system and method
TWI273009B (en) * 2003-01-21 2007-02-11 Yaskawa Electric Corp Speed reducer for industrial robot
US20080178749A1 (en) * 2007-01-25 2008-07-31 Stutman Peter S Remotely controlled system and method for the preparation of a user-defined food product or beverage
RU2481067C1 (ru) * 2011-12-20 2013-05-10 Юрий Иванович Русанов Устройство разворота аппарата диагностики многофункциональной диагностико-хирургической робототехнической системы для операционного стола с возможностью информационно-компьютерного управления им. ю.и. русанова
JP2014181767A (ja) * 2013-03-19 2014-09-29 Yaskawa Electric Corp 駆動機構およびロボット
SG2013075338A (en) * 2013-10-08 2015-05-28 K One Ind Pte Ltd Set meal preparation system
JP2015171746A (ja) * 2014-03-12 2015-10-01 ファナック株式会社 制動部を備えた駆動軸を有する産業用ロボット
CN104308832A (zh) * 2014-10-23 2015-01-28 重庆华数机器人有限公司 一种四轴摆臂关节机器人
DE102014226144A1 (de) * 2014-12-16 2016-06-16 Kuka Roboter Gmbh Industrieroboter und Verfahren zum Bewegen eines Roboterarms in einem Reinraum
CN104493810B (zh) * 2014-12-18 2015-12-30 苗健 一种机器人
JP6691353B2 (ja) * 2015-05-22 2020-04-28 川崎重工業株式会社 潤滑剤注入システム
JP6845128B2 (ja) * 2017-12-25 2021-03-17 ファナック株式会社 オイルバス内のオイルを撹拌するオイル循環装置及びオイル循環システム
US20220161448A1 (en) * 2019-03-22 2022-05-26 Abb Schweiz Ag Seal Arrangement For A Robot Joint

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57116970A (en) 1981-01-10 1982-07-21 Marine Food Kk Gasket for food apparatus and its production
JPS58165978A (ja) * 1982-03-24 1983-10-01 三菱電機株式会社 工業用ロボツト
JPS6179585A (ja) * 1984-09-28 1986-04-23 ぺんてる株式会社 ダブルア−ム型ロボツト
JPS61254633A (ja) * 1985-05-07 1986-11-12 Uchiyama Mfg Corp 軸受用密封材の製造方法
JPS6263092A (ja) 1985-09-11 1987-03-19 フアナツク株式会社 工業用ロボツトにおける防塵構造
JPS63117632A (ja) * 1986-11-04 1988-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd キヤンド式封液形モ−タ
JPH01228792A (ja) * 1988-03-07 1989-09-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 直進回転ユニット
US4922435A (en) * 1988-04-01 1990-05-01 Restaurant Technology, Inc. Food preparation robot
JP2694457B2 (ja) 1988-11-18 1997-12-24 三洋電機株式会社 飲料用フレキシブルチューブ
JPH0678549B2 (ja) 1989-02-10 1994-10-05 日本石油株式会社 食品加工機械用潤滑油組成物
DE4113807A1 (de) * 1991-04-27 1992-10-29 Vemag Maschinenbau Gmbh Zubringeinrichtung in einem beschickungsbehaelter, insbesondere fuer eine wurstfuellmaschine
JPH05209187A (ja) * 1992-01-30 1993-08-20 Tsukishima Shokuhin Kogyo Kk 耐寒性植物油
JPH05262333A (ja) 1992-02-06 1993-10-12 Matsuda Hewtec:Kk 食品盛付け装置
US5456679A (en) * 1992-02-18 1995-10-10 Alza Corporation Delivery devices with pulsatile effect
US5386762A (en) * 1992-09-14 1995-02-07 Gokey; Phillip E. Robotic chef
JPH0732284A (ja) 1993-07-15 1995-02-03 Nakai:Kk 食品搬送ロボット装置
JP3411650B2 (ja) 1993-12-17 2003-06-03 太陽化学株式会社 潤滑油組成物
JP2905091B2 (ja) * 1994-06-24 1999-06-14 日本バルカー工業株式会社 フッ素樹脂被覆ガスケットの製造方法
JPH08104863A (ja) 1994-10-05 1996-04-23 Mitsubishi Cable Ind Ltd 抗菌性ゴムシール
US5538654A (en) * 1994-12-02 1996-07-23 The Lubrizol Corporation Environmental friendly food grade lubricants from edible triglycerides containing FDA approved additives
JPH08226548A (ja) 1995-02-22 1996-09-03 Nippon Valqua Ind Ltd メカニカルシール
DE19743041B4 (de) * 1996-10-01 2009-04-16 Akira Matsui Verwendung eines Schmieröls für Wälzlager in einer mit hoher Drehzahl rotierenden Anordnung

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100990718B1 (ko) 2003-08-20 2010-10-29 주식회사 포스코 선재코일 이송기의 선재코일 선단 위치 변경장치
KR100797537B1 (ko) * 2005-09-30 2008-01-24 가부시키가이샤 다이헨 반송장치
USRE47909E1 (en) 2006-07-20 2020-03-17 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Wafer transfer apparatus and substrate transfer apparatus
USRE49671E1 (en) 2006-07-20 2023-09-26 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Wafer transfer apparatus and substrate transfer apparatus
USRE48792E1 (en) 2006-07-20 2021-10-26 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Wafer transfer apparatus and substrate transfer apparatus
USRE45772E1 (en) 2006-07-20 2015-10-20 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Wafer transfer apparatus and substrate transfer apparatus
USRE48031E1 (en) 2006-07-20 2020-06-02 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Wafer transfer apparatus and substrate transfer apparatus
USRE47145E1 (en) 2006-07-20 2018-11-27 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Wafer transfer apparatus and substrate transfer apparatus
USRE46465E1 (en) 2006-07-20 2017-07-04 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Wafer transfer apparatus and substrate transfer apparatus
US7878088B2 (en) 2006-08-31 2011-02-01 Fanuc Ltd Sealing device for joint section of robot and articulated robot having the same
JP2008230327A (ja) * 2007-03-19 2008-10-02 Toyota Motor Corp 移送ロボット
WO2008114630A1 (ja) * 2007-03-19 2008-09-25 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha 移送ロボット
JP4737123B2 (ja) * 2007-03-19 2011-07-27 トヨタ自動車株式会社 移送ロボット
US8096380B2 (en) 2007-03-19 2012-01-17 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Transfer robot
JP2008264980A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送ロボット
WO2009116574A1 (ja) * 2008-03-21 2009-09-24 トヨタ自動車株式会社 クランプ装置及び移送用ロボット
JP2009226525A (ja) * 2008-03-21 2009-10-08 Toyota Motor Corp クランプ装置及び移送用ロボット
JP2008309336A (ja) * 2008-07-29 2008-12-25 Sumitomo Heavy Ind Ltd 食品工場用の変速機
JP4763063B2 (ja) * 2009-01-26 2011-08-31 ファナック株式会社 密封装置を備えた関節ロボット
JP2009107116A (ja) * 2009-01-26 2009-05-21 Fanuc Ltd ロボットの関節部の密封装置及び関節ロボット
JP2010194654A (ja) * 2009-02-24 2010-09-09 Nsk Ltd マニピュレータの関節用軸受
KR20130063765A (ko) * 2011-12-07 2013-06-17 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 패널 이송용 로봇
CN107000202A (zh) * 2014-12-26 2017-08-01 川崎重工业株式会社 多关节机器人及其模块
CN107000202B (zh) * 2014-12-26 2020-03-17 川崎重工业株式会社 多关节机器人及其模块
US10695903B2 (en) 2014-12-26 2020-06-30 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Articulated robot and module thereof
JP2020074440A (ja) * 2020-01-17 2020-05-14 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
WO2024047921A1 (ja) * 2022-08-30 2024-03-07 住友重機械工業株式会社 動力伝達装置、ロボット

Also Published As

Publication number Publication date
US6484067B1 (en) 2002-11-19
EP0937549A4 (en) 2001-11-07
WO1999003649A1 (fr) 1999-01-28
EP0937549A1 (en) 1999-08-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1133949A (ja) 産業用ロボット
US20220331948A9 (en) Articulated arm apparatus
EP1894684B1 (en) Joint section of robot comprising a sealing device, and articulated robot having the same
JP4763063B2 (ja) 密封装置を備えた関節ロボット
EP3446836B1 (en) Work device and dual-arm work device
US10099389B2 (en) Industrial robot comprising drive shaft provided with brake unit
JP2007229906A (ja) 清潔空間用ロボット
JP2011089609A (ja) ロボットの関節駆動装置
TW202224883A (zh) 機器人
WO1999003653A1 (fr) Robot industriel protege
CN107662203B (zh) 机器人和齿轮装置
US6004909A (en) Non-toxic antimicrobial lubricant
CN114074319A (zh) 齿轮装置及机器人
US20050111940A1 (en) Device with parts rotatble in relation to one another and a sealing means
CN108567335A (zh) 驱动装置
JP2000141272A (ja) 産業用ロボット
WO1988000515A1 (en) Wrist mechanism of a robot used in a clean air atmosphere
CN113573854A (zh) 用于机器人关节的密封装置
CN110561495B (zh) 机器人用罩及检测系统
KR101798086B1 (ko) 방수 및 이송물 오염 방지기능을 갖는 산업용 이송로봇
EP0135777A2 (en) Robot joint
AU686454B2 (en) Robotic arm assembly
JP6154498B2 (ja) 制動部を備えた駆動軸を有する産業用ロボット
JP2014009738A (ja) 防錆剤付き転がり軸受
JP2004340376A (ja) １軸２自由度アクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20010306