JPH1131950A - レベルシフト回路 - Google Patents
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- JPH1131950A JPH1131950A JP9188659A JP18865997A JPH1131950A JP H1131950 A JPH1131950 A JP H1131950A JP 9188659 A JP9188659 A JP 9188659A JP 18865997 A JP18865997 A JP 18865997A JP H1131950 A JPH1131950 A JP H1131950A
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Abstract
ルシフト回路を提供することにある。 【解決手段】チャージポンプ型のレベルシフト回路にお
いて、NMOSトランジスタNT11a,NT12aお
よびNT13をウェル・イン・ウェル構造として、これ
らのウェル(pウェル23)の電位が出力電圧Vout の
上昇に追従して上がるように構成する。これにより、バ
ック−バイアス効果を減殺でき、2V以下の低電圧電源
化にも容易に対応ができる。
Description
他の電圧レベルに変換するレベルシフト回路に関するも
のである。
ラッシュメモリなどでは、5Vなどの外部電源電圧Vdd
レベルから、内部昇圧回路により発生させたたとえば1
2V〜20Vの高電圧VPPレベルへ信号の電圧レベルを
変換するレベルシフト回路を用い、書き込み・消去動作
時に昇圧電圧VPPを生成して、書き込み・消去の制御系
に供給するように構成される。
ルシフト回路としては、2種類の回路が知られている。
1つは高耐圧のnチャネルMOS(NMOS)トランジ
スタとpチャネルMOS(PMOS)トランジスタを使
用したCMOS型回路である。他の1つは、NMOSト
ランジスタあるいはPMOSトランジスタのいずれかの
MOSトランジスタのみを使うチャージポンプ型回路で
ある。
成例を示す回路図で、図12は図11の回路の入出力特
性を示す波形図である。図11に示すように、CMOS
型レベルシフト回路1は、高電源電圧Vppと接地GND
との間に直列に接続されたPMOSトランジスタPT1
およびNMOSトランジスタNT1、PMOSトランジ
スタPT2およびNMOSトランジスタNT2、並びに
インバータINV1により構成されている。
電源電圧Vddレベル、たとえば5Vで供給された入力電
圧Vinは、NMOSトランジスタNT1のゲートに供給
されるとともに、インバータINV1でレベル反転作用
を受けて、接地レベルでNMOSトランジスタNT2の
ゲートに供給される。これに伴い、NMOSトランジス
タNT1がオン状態となり、NMOSトランジスタNT
2がオフ状態となる。これにより、ノードND1は接地
レベルに引き込まれる。ノードND1の接地レベルはP
MOSトランジスタPT2のゲートに供給され、PMO
SトランジスタPT2はオン状態となる。その結果、出
力ノードND2は高電圧Vppに引き上げられる。すなわ
ち、Vddレベルの入力電圧Vinが20Vの高電圧に変換
され、Vout として出力される。
されると、NMOSトランジスタNT1がオフ状態とな
り、NMOSトランジスタNT2がオン状態となる。こ
れにより、出力ノードND2は接地レベルに引き込まれ
る。すなわち、0Vの入力電圧Vinが接地レベルのまま
で、Vout として出力される。
路10の構成例を示す回路図で、図14は図13の回路
の入出力特性を示す波形図である。このレベルシフト回
路10は、図13に示すように、デプレッション型NM
OSトランジスタNTd11、NMOSトランジスタN
T11,NT12、および昇圧用素子としてのキャパシ
タC11により構成されている。
Td11が入力端子Tinと出力端子Tout との間に接続
され、そのゲートは信号Sig1の入力端子TS1に接続
されている。NMOSトランジスタNT11のゲートは
出力端子Tout に接続され、ドレインは高電源電圧Vpp
の供給ラインに接続され、ドレインはNMOSトランジ
スタNT12のゲートに接続されている。NMOSトラ
ンジスタNT12のドレインは自己のゲートおよびキャ
パシタC11の一方の電極に接続され、ソースは出力端
子Tout に接続されている。そして、キャパシタC11
の他方の電極がクロック信号CLKの入力端子TCLK に
接続されている。
0では、信号Sig1が電源電圧Vddレベルに保持され
た状態で、入力電圧Vinが電源電圧Vddレベルに設定さ
れると、出力電圧Vout は略電源電圧Vddレベルに遷移
する。この状態で、信号Sig1が0Vに立ち下げられ
て、クロック信号CLKが電源電圧Vddレベルのハイレ
ベルに設定されると、NMOSトランジスタNT11の
ソース側(NMOSトランジスタNT12のゲート側)
のノードNpの電圧VNpは、VNp=Vout −Vth
(NT11)+Vddとなる。なお、Vth(NT11)はNMOSト
ランジスタNT11のしきい値電圧である。その結果、
ノードNp→NMOSトランジスタNT12→出力端子
Tout とチャージが流れて出力電圧Vout が少し上昇す
る。
=Vout +Vth(NT12)まで上がる。ここで、クロック
信号CLKのレベルVCLK が接地レベルの0Vに切り換
えられると、ノードNpの電圧は、VNp=Vout +V
th(NT12)−Vddとなる。すなわち、NMOSトランジ
スタNT11のソース側ノードNpの電圧が出力電圧V
out より低くなる。その結果、高電圧Vppの供給源→N
MOSトランジスタNT11→ノードNpとチャージが
流れて、平衡状態ではVNp=Vout −Vth(NT11)と
なる。以後、上述した動作の繰り返しで、クロック信号
CLKのハイレベルからローレベルの切り換わりのたび
に、出力電圧Vout は少しずつ上昇する。
すCMOS型レベルシフト回路は、いわゆるバックバイ
アス(Back-Bias) 効果の問題がないので低電圧での動作
に優れ、その回路のトランジスタの最大電圧は高電圧V
ppに等しいという利点がある。また、高速動作、低消費
電流にも優れている。しかし、プロセス工程数とマスク
枚数が多くなりコスト的には不利である。
型レベルシフト回路の最大の利点は、高耐圧のPMOS
トランジスタあるいはNMOSトランジスタを使わない
ことからプロセス工程数とマスク枚数が少なくて済み低
コストであることにある。この特長から低コスト化を実
現できるNAND型フラッシュメモリに採用されてい
る。
バックバイアス効果からくるしきい値電圧Vth上昇の
ために低電圧動作に不利で、また、回路のトランジスタ
にかかる最大電圧はVpp+Vddにもなるのでトランジス
タのプロセス設計が難しくなる。
電圧化が進み、図13の回路でNMOSトランジスタの
低しきい値電圧(Vth)化では対応できないようにな
ってきている。Vdd≧3Vではトランジスタの低Vth
化で対応できるが、Vdd<2Vでは現実的に対応できな
い。以下に、この課題について、さらに詳細に考察す
る。
限条件は、次の,で示す2項目である。
るには、Vth(NT11)(VBB=Vpp)+Vth
(NT12)(VBB=Vpp)≦Vddでなければならない。した
がって、低電圧化のためにはVth(VBB=Vpp)を小
さくしなければならない。
1を叩く前に、信号Sig1のVddレベルを出力端子T
out 側に伝えて、少なくともVout ≧Vth(NT11)(V
BB=0V)としなければならない。この条件を満足しな
い場合には、NMOSトランジスタNT11カットオフ
したままとなってレベル変換動作に至らない。したがっ
て、低電圧化のためにはNMOSトランジスタNTd1
1のしきい値電圧Vthを小さくしなければならない。
図13の回路では、この点を考慮してデプレッショント
ランジスタとしているが、このときは逆に、|Vth
(NTd11) (VBB=Vdd)|≦Vdd(min)でなければ
ならない。この条件を満足しない場合には、ゲートを0
Vにしても信号Sig1の供給側にリーク電流が発生し
てしまう。
回路を構成するトランジスタには大きな制約条件が付
く。上記はデプレッショントランジスタの採用により
低電圧化にはそれほど問題はないが、は大きな問題に
なる。
察する。NMOSトランジスタNT11,NT12が同
じエンハンスメント型トランジスタとすると、Vth
(VBB=Vpp)≦0.9Vでなければならないが、Vpp
=20Vとした場合、この条件はVth(VBB=0V)
=−0.1〜−0.5V程度の値を要求することにな
る。ところが、NMOSトランジスタNT11,NT1
2のしきい値電圧VthがマイナスになるとVSig1
=0Vのときに、高電圧Vppの供給源→NMOSトラン
ジスタNT11→NMOSトランジスタNT12→NM
OSトランジスタNTd11→入力Inとリーク電流が
流れてしまう問題が発生する。このため、NMOSトラ
ンジスタNT11,NT12の両方のしきい値電圧をV
th<0Vとすることはできない。
12には、他の周辺回路でも使用するVth(VBB=0
V)=0.5〜0.8Vのエンハンスメント型トランジ
スタを使って、NMOSトランジスタNT11に特別な
トランジスタを使いたいわけであるが、この通常エンハ
ンスメント型トランジスタのしきい値電圧Vthだけ
で、Vth(VBB=Vpp)=1.5〜1.8Vになりば
らつきを考えると採用することは難しい。また、NMO
SトランジスタNT11には、特別なVth(VBB=V
pp)≦0Vを持つデプレッショントランジスタが必要と
なる可能性が大きい。NMOSトランジスタNTd11
のVthは(VBB=0V)=約Vdd/2=−1Vでこの
ときVth(VBB=20V)=0Vぐらいになるが、
うまい具合にいつも共有できるとは限らない。
のしきい値電圧Vth(VBB=Vpp)がマイナスでデプ
レッションであると、キャパシタC11でVpp+Vth
以上にノードNpをたたき上げた(昇圧した)ときに、
ノードNp→NMOSトランジスタNT11→高電圧V
ppの供給源とリークしてしまう。このため、出力電圧V
out がVppに近づいたところでの出力電圧Vout の上昇
スピードが鈍くなる。したがって、Vout =Vppになる
までの時間が余計にかかることになる。
常のエンハンスメント型トランジスタを使い、NMOS
トランジスタNT12にデプレッショントランジスタを
使うことも考えられるが、この場合は出力端子Tout →
NMOSトランジスタNT12→ノードNpと昇圧した
チャージが逆流するために、出力電圧Vout の上昇スピ
ードが全体的に遅くなる。
が通常の手段で何とかなる限界で、これ以下ではしきい
値電圧Vthを4種類(他の周辺回路用とレベルシフト
回路用のエンハンスメントとデプレッション)作らなけ
ればならなくなる。また、しきい値電圧Vthのバラツ
キ制御も困難である。
のであり、その目的は、消費電流の増加なしに低電圧動
作が可能なレベルシフト回路を提供することにある。
め、本発明は、外部電源電圧レベルの入力信号を内部電
源電圧レベルへ変換するレベルシフト回路であって、昇
圧用クロック信号が印加される容量素子と、上記入力信
号の入力端子と出力端子との間に接続された第1導電型
の第1の電界効果トランジスタと、上記容量素子と上記
出力端子間に接続され、ゲートが上記容量素子に接続さ
れた第1導電型の第2の電界効果トランジスタと、上記
内部電源電圧源と上記第2の電界効果トランジスタのゲ
ートとの間に接続され、ゲートが上記出力端子に接続さ
れた第3の電界効果トランジスタとを有し、上記第1、
第2および第3の電界効果トランジスタは第1導電型で
あり、上記第2および第3の電界効果トランジスタのう
ち、少なくとも第2の電界効果トランジスタが、第1導
電型の第1のウェル中に形成された第2導電型の第2の
ウェルに対して形成され、かつ、上記第2のウェルの電
位を出力電圧に追従させて上昇させるウェル電位調整回
路を有する。
ランジスタは、デプレッション型トランジスタである。
ランジスタは、デプレッション型トランジスタである。
を構成するトランジスタにウェル・イン・ウェルに作製
した第2の電界効果トランジスタを使用してレベル変換
した出力電圧に、ウェル電位調整回路により、この第2
の電界効果トランジスタの基板に相当する第1導電型の
第2のウェルの電圧が追従するように調整される。その
結果、バックバイアス効果が減殺される。
態を示す回路図であって、従来例を示す図13と同一構
成部分は同一符号をもって表す。すなわち、図1のレベ
ルシフト回路10aは、第1の電界効果トランジスタと
してのデプレッション型NMOSトランジスタNTd1
1、第3の電界効果トランジスタとしてのNMOSトラ
ンジスタNT11a、第2の電界効果トランジスタとし
てのNMOSトランジスタNT12a、昇圧用素子とし
てのキャパシタC11、ウェル電位調整回路を構成する
第4の電界効果トランジスタとしてのNMOSトランジ
スタNT13により構成されている。
スタNT11a〜NT13は、いわゆるウェル・イン・
ウェル(Well In Well ;トリプルウェル)構造の同一p
ウェル内に形成されている。ここで、ウェル・イン・ウ
ェル構造の基本的構成に図2を参照しつつ説明する。
ン・ウェル構造の基本構成を模式的に示すもので、同図
(a)は簡略断面図、同図(b)はウェル・イン・ウェ
ル構造をとるnMOSトランジスタを回路記号を用いて
表した図である。図2(a)において、21はp形半導
体基板、22はnウェル、23はpウェル、24〜26
はn+ 拡散層、27はp+ 拡散層、28はゲート電極を
それぞれ示している。
などで構成される半導体基板21の表面に、基板側拡散
層であるnウェル22が形成され、nウェル22の表面
にはn+ 拡散層24が形成されている。さらに、本構成
では、nウェル22内にpウェル23が形成されてい
る。pウェル23内の表面には素子側拡散層であるn+
拡散層25,26および取り出し電極用のp+ 拡散層2
7が形成されている。そして、n+ 拡散層25,26お
よびゲート電極28によりNMOSトランジスタが構成
され、たとえばn+ 拡散層25がソースとして機能し、
n+ 拡散層26がドレインとして機能する。
なウェル・イン・ウェル構造をとるnMOSトランジス
タを回路記号を用いて表したものであり、図1において
も図2(b)と同様の記号を用いて表している。
するか、フローティング状態に保持される。
ェル構造をとるNMOSトランジスタを用いた図1の回
路の接続関係について説明する。
Td11が入力端子Tinと出力端子Tout との間に接続
され、そのゲートは信号Sig1の入力端子TS1に接続
されている。NMOSトランジスタNT11aのゲート
は出力端子Tout に接続され、ドレインは高電源電圧V
ppの供給ラインに接続され、ドレインはNMOSトラン
ジスタNT12aのゲートに接続されている。NMOS
トランジスタNT12aのドレインは自己のゲートおよ
びキャパシタC11の一方の電極に接続され、ソースは
出力端子Tout に接続されている。キャパシタC11の
他方の電極がクロック信号CLKの入力端子TCLK に接
続されている。
ソースが高電圧Vppの供給ラインに接続され、ドレイン
が自己およびNMOSトランジスタNT11a,NT1
2aの端子Wpに共通に接続され、ゲートが出力端子T
out に接続されている。
スタNT11a,NT12aおよびNT13をウェル・
イン・ウェル構造として、これらのウェル(pウェル2
3)の電位が出力電圧Vout の上昇に追従して上がるよ
うに構成されている。
しつつ説明する。まず、入力電圧Vinが0Vのとき
は、NMOSトランジスタNT13と各ウェルとの接続
ノードNbは、フローティング状態で、平衡状態では接
合リーク(Junction Leak)のために0V
(Vsub=Vwn=Vwp)となる。
設定されて、ある一定時間経過してから信号Sig1を
0Vとした直後のノードNbの電圧、VNb=Vdd−V
th(NT13)となる。なお、Vth(NT13)はNMOSトラ
ンジスタNT13のしきい値電圧である。
ddレベルのハイレベルに設定されると、NMOSトラン
ジスタNT11aのソース側(NMOSトランジスタN
T12aのゲート側)のノードNpの電圧VNpは、V
Np=Vout −Vth(NT11a) +Vddとなる。なお、V
th(NT11a) はNMOSトランジスタNT11aのしき
い値電圧である。その結果、ノードNp→NMOSトラ
ンジスタNT12a→出力端子Tout とチャージが流れ
て出力電圧Vout が少し上昇する。
=Vout +Vth(NT12a) まで上がる。なお、Vth
(NT12a) はNMOSトランジスタNT12aのしきい値
電圧である。ここで、クロック信号CLKのレベルV
CLK が接地レベルの0Vに切り換えられると、ノードN
pの電圧は、VNp=Vout +Vth(NT12a) −Vddと
なる。すなわち、NMOSトランジスタNT11aのソ
ース側ノードNpの電圧が出力電圧Vout より低くな
る。その結果、高電圧Vppの供給源→NMOSトランジ
スタNT11a→ノードNpとチャージが流れて、平衡
状態ではVNp=Vout −Vth(NT11a) となる。
ルに切り換えられた瞬間は、VNb=Vout −Vth
(NT13)>VNp=Vout +Vth(NT12a) −Vddとな
り、pウェルからNMOSトランジスタNT11aのソ
ースとNMOSトランジスタNT12aのドレインに電
流が流れる状態が発生するが、ウェルコンタクトをしっ
かり取っておけばラッチアップの問題はない。
ク信号CLKのハイレベルからローレベルの切り換わり
のたびに、出力電圧Vout は少しずつ上昇する。
ェルもVNb=Vout −Vth(NT13)にしたがって上昇
するが、NMOSトランジスタNT13の基板Subに
相当するのがウェルで、かつ、Vsource(ソース電圧)
=Vp−ウェルであるから、常にバックバイアスはほぼ
Vth(VBB=0V)分しかない状態にある。すなわ
ち、本回路ではバックバイアス効果はほとんどキャンセ
ルできる。
態にすればVNb−0.6Vぐらいの電圧で上昇してい
き、入力電圧Vinをローレベルとしても電圧が残るがそ
のうちにリークにより低下していくことになる。
よれば、チャージポンプ型のレベルシフト回路におい
て、NMOSトランジスタNT11a,NT12aおよ
びNT13をウェル・イン・ウェル構造として、これら
のウェル(pウェル23)の電位が出力電圧Vout の上
昇に追従して上がるように構成したので、バック−バイ
アス効果を減殺でき、2V以下の低電圧電源化にも容易
に対応ができる。その結果、たとえば低電圧フラッシュ
メモリなど昇圧回路により供給される内部電源を使うI
Cにおいて、外部低電圧電源レベルからその高圧内部電
源レベルへ変換するレベルシフト回路をほとんどコスト
アップなし、消費電流の増加なしに2V以下の電源まで
実現できるようになる等の利点がある。
態を示す回路図である。本第2の実施形態が上述した第
1の実施形態と異なる点は、NMOSトランジスタNT
11のドレインとNMOSトランジスタNT13のソー
スとの接続ノードN3を直接、高電圧Vppの供給ライン
に接続する代わりに、ゲートが出力端子Tout に接続さ
れたデプレッション型の第5の電界効果トランジスタと
してのNMOSトランジスタNTd12により作動的に
接続したことにある。
ランジスタのソース/ドレインとpウェルの耐電圧が高
電圧Vppよりも小さいときのためのものである。
タNT11のドレイン電圧、すなわちノードN3の電圧
はVN3=Vout +|Vth(NTd12a)|に抑えられる。
したがって、NAND型フラッシュメモリのセルアレイ
は、図2と同じようにウェル・イン・ウェルに作られる
が、トランジスタのソース/ドレイン対pウェル間およ
びpウェル対nウェル間の耐圧はあまり高くなくて良い
ので、同じウェルを使うことができるようになる。
態を示す回路図である。本第3の実施形態が上述した第
1の実施形態と異なる点は、ウェル電位調整回路を構成
する第4の電界効果トランジスタとしてNMOSトラン
ジスタNT13aをpウェルと高電圧Vppの供給ライン
との間に接続する代わりに、各NMOSトランジスタN
T11a,NT12aおよびNT13aのpウェルと出
力端子Tout との間に接続し、そのゲートをキャパシタ
C11の一方の電極に接続したことにある。
の実施形態の効果と同様の効果を得ることができる。
態を示す回路図である。本第4の実施形態が上述した第
3の実施形態と異なる点は、NMOSトランジスタNT
11のドレインを直接、高電圧Vppの供給ラインに接続
する代わりに、ゲートが出力端子Tout に接続されたデ
プレッション型の第5の電界効果トランジスタとしての
NMOSトランジスタNTd12により作動的に接続し
たことにある。
および第2の実施形態の効果と同様の効果を得ることが
できる。
態を示す回路図である。本第5の実施形態が上述した第
3の実施形態と異なる点は、ウェル電位調整回路を構成
する第4の電界効果トランジスタとしてのNMOSトラ
ンジスタNT13bを各NMOSトランジスタNT11
a,NT12aおよびNT13bのpウェルと出力端子
Tout との間に接続する代わりに、pウェルとキャパシ
タC11の一方の電極に接続し、ゲートを出力端子T
out に接続したことにある。
の実施形態の効果と同様の効果を得ることができる。
態を示す回路図である。本第6の実施形態が上述した第
5の実施形態と異なる点は、第3の電界効果トランジス
タとしてのNMOSトランジスタを、デプレッション型
NMOSトランジスタNT11bとしたことにある。
態の効果に加えて、トランジスタ数を減らすことができ
るという利点がある。
態を示す回路図である。本第7の実施形態が上述した第
4の実施形態と異なる点は、第4の電界効果トランジス
タとしてのNMOSトランジスタNT13dのゲートを
キャパシタC11の一方の電極に接続する代わりに、出
力端子Tout に接続したことにある。
(NT13d) となる。また、トランジスタを2段つないで2
×Vthだけ下げることも可能である。
同様であり、第4の実施形態と同様の効果を得ることが
できる。
形態を示す回路図である。本第8の実施形態が上述した
第1の実施形態と異なる点は、ウェル電位調整回路の構
成素子として、NMOSトランジスタを用いる代わりに
抵抗素子R11を用いた点にある。抵抗素子R11はキ
ャパシタC11の一方の電極とNMOSトランジスタN
T11a,NT12aおよびNT13のpウェルとの間
に接続されている。この構成は、CNb(ノードNbの
容量)×Rをクロック信号CLKのリサイクルタイムよ
り充分長くしておくことにより可能となる。
の実施形態の効果と同様の効果を得ることができる。
電型としてn型の場合を例に説明したが、本発明がp型
の場合にも適用できることはいうまでもない。
バックバイアス効果を抑止することができ、消費電流の
増加なしに低電圧動作が可能なレベルシフト回路を実現
できる利点がある。
態を示す回路図である。
するための図で、(a)は簡略断面図、(b)は(a)
の構成を回路記号を用いて示す図である。
ャートである。
態を示す回路図である。
態を示す回路図である。
態を示す回路図である。
態を示す回路図である。
態を示す回路図である。
態を示す回路図である。
形態を示す回路図である。
回路図である。
る。
構成例を示す回路図である。
る。
レッション型NMOSトランジスタ(第1の電界効果ト
ランジスタ)、NT11a,NT11b…NMOSトラ
ンジスタ(第3の電界効果トランジスタ)、NT12a
…NMOSトランジスタ(第2の電界効果トランジス
タ)、NT13,NT13a〜NT13d…NMOSト
ランジスタ(ウェル電位調整回路)、R11…抵抗素
子。
Claims (22)
- 【請求項1】 外部電源電圧レベルの入力信号を内部電
源電圧レベルへ変換するレベルシフト回路であって、 昇圧用クロック信号が印加される容量素子と、 上記入力信号の入力端子と出力端子との間に接続された
第1導電型の第1の電界効果トランジスタと、 上記容量素子と上記出力端子間に接続され、ゲートが上
記容量素子に接続された第1導電型の第2の電界効果ト
ランジスタと、 上記内部電源電圧源と上記第2の電界効果トランジスタ
のゲートとの間に接続され、ゲートが上記出力端子に接
続された第3の電界効果トランジスタとを有し、 上記第1、第2および第3の電界効果トランジスタは第
1導電型であり、 上記第2および第3の電界効果トランジスタのうち、少
なくとも第2の電界効果トランジスタが、第1導電型の
第1のウェル中に形成された第2導電型の第2のウェル
に対して形成され、かつ、 上記第2のウェルの電位を出力電圧に追従させて上昇さ
せるウェル電位調整回路を有するレベルシフト回路。 - 【請求項2】 上記第1の電界効果トランジスタは、デ
プレッション型トランジスタである請求項1記載のレベ
ルシフト回路。 - 【請求項3】 上記第3の電界効果トランジスタは、デ
プレッション型トランジスタである請求項1記載のレベ
ルシフト回路。 - 【請求項4】 上記第3の電界効果トランジスタは、デ
プレッション型トランジスタである請求項2記載のレベ
ルシフト回路。 - 【請求項5】 上記ウェル電位調整回路は、上記内部電
源電圧源と上記第2のウェルとの間に接続され、ゲート
が上記出力端子に接続された第1導電型の第4の電界効
果トランジスタを有する請求項1記載のレベルシフト回
路。 - 【請求項6】 上記ウェル電位調整回路は、上記内部電
源電圧源と上記第2のウェルとの間に接続され、ゲート
が上記出力端子に接続された第1導電型の第4の電界効
果トランジスタを有する請求項2記載のレベルシフト回
路。 - 【請求項7】 上記第4の電界効果トランジスタは、第
2導電型の第1のウェル中に形成された第1導電型の第
2のウェルに対して形成されている請求項5記載のレベ
ルシフト回路。 - 【請求項8】 上記第4の電界効果トランジスタは、第
2導電型の第1のウェル中に形成された第1導電型の第
2のウェルに対して形成されている請求項6記載のレベ
ルシフト回路。 - 【請求項9】 上記ウェル電位調整回路は、上記出力端
子と上記第2のウェルとの間に接続され、ゲートが上記
容量素子と上記第2の電界効果トランジスタとの接続点
に接続された第1導電型の第4の電界効果トランジスタ
を有する請求項2記載のレベルシフト回路。 - 【請求項10】 上記第3の電界効果トランジスタと上
記内部電源電圧源との間に接続され、ゲートが上記出力
端子に接続されたデプレッション型の第1導電型の第5
の電界効果トランジスタをを有する請求項7記載のレベ
ルシフト回路。 - 【請求項11】 上記第4の電界効果トランジスタは、
第2導電型の第1のウェル中に形成された第1導電型の
第2のウェルに対して形成されている請求項9記載のレ
ベルシフト回路。 - 【請求項12】 上記第4の電界効果トランジスタは、
第2導電型の第1のウェル中に形成された第1導電型の
第2のウェルに対して形成されている請求項10記載の
レベルシフト回路。 - 【請求項13】 上記ウェル電位調整回路は、上記容量
素子と上記第2の電界効果トランジスタとの接続点と上
記第2のウェルとの間に接続され、ゲートが上記出力端
子に接続された第1導電型の第4の電界効果トランジス
タを有する請求項2記載のレベルシフト回路。 - 【請求項14】 上記第3の電界効果トランジスタと上
記内部電源電圧源との間に接続され、ゲートが上記出力
端子に接続されたデプレッション型の第1導電型の第5
の電界効果トランジスタをを有する請求項9記載のレベ
ルシフト回路。 - 【請求項15】 上記第4の電界効果トランジスタは、
第2導電型の第1のウェル中に形成された第1導電型の
第2のウェルに対して形成されている請求項13記載の
レベルシフト回路。 - 【請求項16】 上記第4の電界効果トランジスタは、
第2導電型の第1のウェル中に形成された第1導電型の
第2のウェルに対して形成されている請求項14記載の
レベルシフト回路。 - 【請求項17】 上記ウェル電位調整回路は、上記出力
端子と上記第2のウェルとの間に接続され、ゲートが当
該出力端子に接続された第1導電型の第4の電界効果ト
ランジスタを有する請求項1記載のレベルシフト回路。 - 【請求項18】 上記ウェル電位調整回路は、上記出力
端子と上記第2のウェルとの間に接続され、ゲートが当
該出力端子に接続された第1導電型の第4の電界効果ト
ランジスタを有する請求項2記載のレベルシフト回路。 - 【請求項19】 上記第4の電界効果トランジスタは、
第2導電型の第1のウェル中に形成された第1導電型の
第2のウェルに対して形成されている請求項17記載の
レベルシフト回路。 - 【請求項20】 上記第4の電界効果トランジスタは、
第2導電型の第1のウェル中に形成された第1導電型の
第2のウェルに対して形成されている請求項18記載の
レベルシフト回路。 - 【請求項21】 上記ウェル電位調整回路は、上記容量
素子と上記第2の電界効果トランジスタとの接続点と上
記第2のウェルとの間に接続された抵抗素子を有する請
求項1記載のレベルシフト回路。 - 【請求項22】 上記ウェル電位調整回路は、上記容量
素子と上記第2の電界効果トランジスタとの接続点と上
記第2のウェルとの間に接続された抵抗素子を有する請
求項2記載のレベルシフト回路。
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