JPH11316125A - 角速度センサ及びその製造方法 - Google Patents
角速度センサ及びその製造方法Info
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- JPH11316125A JPH11316125A JP12321698A JP12321698A JPH11316125A JP H11316125 A JPH11316125 A JP H11316125A JP 12321698 A JP12321698 A JP 12321698A JP 12321698 A JP12321698 A JP 12321698A JP H11316125 A JPH11316125 A JP H11316125A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 水晶等の単結晶圧電材料よりなる音叉振動子
を利用した角速度センサの検出感度を高めることを目的
とする。 【解決手段】 ２枚の音叉振動子を厚み方向に直接接合
して一体化してなり、これらの各音叉振動子はその幅方
向もしくは厚み方向において互いに逆極性の圧電現象を
生ずる結晶軸方向となるように接合した。
を利用した角速度センサの検出感度を高めることを目的
とする。 【解決手段】 ２枚の音叉振動子を厚み方向に直接接合
して一体化してなり、これらの各音叉振動子はその幅方
向もしくは厚み方向において互いに逆極性の圧電現象を
生ずる結晶軸方向となるように接合した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車のナ
ビゲーションシステムや走行制御システム、及びカメラ
の手ぶれ補正システム等に使用される角速度センサ及び
その製造方法に関するものである。
ビゲーションシステムや走行制御システム、及びカメラ
の手ぶれ補正システム等に使用される角速度センサ及び
その製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の角速度センサは、航空機や船舶に
使用される高価でかつ大型のコマ式ジャイロスコープが
主流であったが、近年では安価な振動ジャイロの本格的
な実用化もあり、自動車の走行制御やカーナビゲーショ
ンシステム、更にビデオカメラやスチルカメラの手ぶれ
補正システム等にまで用途が拡大するなか、角速度セン
サにはより小型・低価格化が強く要求されている。
使用される高価でかつ大型のコマ式ジャイロスコープが
主流であったが、近年では安価な振動ジャイロの本格的
な実用化もあり、自動車の走行制御やカーナビゲーショ
ンシステム、更にビデオカメラやスチルカメラの手ぶれ
補正システム等にまで用途が拡大するなか、角速度セン
サにはより小型・低価格化が強く要求されている。
【０００３】この様な環境の中で、近年では、水晶やリ
チウムタンタレート等の単結晶圧電素子を振動子材料と
して用いた角速度センサが提案されている。これらによ
れば従来のように金属材料の振動子にセラミックの圧電
素子を貼り付けるタイプの構造よりも小型で、かつ安価
な角速度センサを供給できる可能性がある。
チウムタンタレート等の単結晶圧電素子を振動子材料と
して用いた角速度センサが提案されている。これらによ
れば従来のように金属材料の振動子にセラミックの圧電
素子を貼り付けるタイプの構造よりも小型で、かつ安価
な角速度センサを供給できる可能性がある。
【０００４】従来、単結晶圧電素子を利用した角速度セ
ンサは、一対のアームの各々の端部で基部により接続固
定されて音叉振動子を形成している。これらは例えば水
晶板より切り出された一体構造である。このように構成
された音叉振動子の前記アームの一方には音叉振動子を
その共振周波数で主面方向に圧電駆動する為の１組の駆
動電極が設けられており、外部の発振回路により電気的
に駆動される。そして、もう一方のアームにはこの音叉
振動子の前記発振回路により引き起こされた振動振幅を
検出する為のモニター電極と、この音叉振動子の軸回り
に入力した角速度に対して前記アームの主面に垂直方向
に作用するコリオリ力による応力を圧電的に検出するセ
ンス電極と、接地電極が設けられている。
ンサは、一対のアームの各々の端部で基部により接続固
定されて音叉振動子を形成している。これらは例えば水
晶板より切り出された一体構造である。このように構成
された音叉振動子の前記アームの一方には音叉振動子を
その共振周波数で主面方向に圧電駆動する為の１組の駆
動電極が設けられており、外部の発振回路により電気的
に駆動される。そして、もう一方のアームにはこの音叉
振動子の前記発振回路により引き起こされた振動振幅を
検出する為のモニター電極と、この音叉振動子の軸回り
に入力した角速度に対して前記アームの主面に垂直方向
に作用するコリオリ力による応力を圧電的に検出するセ
ンス電極と、接地電極が設けられている。
【０００５】ここで、モニター電極に発生した電荷は外
部回路により増幅された後、ＡＧＣ（オート・ゲイン・
コントロール）によりあらかじめ設定された基準信号と
の比較により音叉振動子の振動振幅が一定になるように
前記発振回路を制御している。
部回路により増幅された後、ＡＧＣ（オート・ゲイン・
コントロール）によりあらかじめ設定された基準信号と
の比較により音叉振動子の振動振幅が一定になるように
前記発振回路を制御している。
【０００６】一方、前記センス電極はコリオリ力による
信号を外部の増幅回路により増幅した後、前記モニター
電極から検出した音叉振動のタイミングで同期検波を行
い、音叉振動子により変調がかけられたコリオリ力によ
る信号を復調し、この後、ＬＰＦ（ロー・パス・フィル
ター）により不要帯域を遮断し、センサ出力としてい
る。
信号を外部の増幅回路により増幅した後、前記モニター
電極から検出した音叉振動のタイミングで同期検波を行
い、音叉振動子により変調がかけられたコリオリ力によ
る信号を復調し、この後、ＬＰＦ（ロー・パス・フィル
ター）により不要帯域を遮断し、センサ出力としてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような構成の角速度センサにおいては以下に述べるよう
な問題点があり、本格的な実用化には至らなかった。
ような構成の角速度センサにおいては以下に述べるよう
な問題点があり、本格的な実用化には至らなかった。
【０００８】例えば、水晶は代表的な単結晶圧電材料で
あるが、これはＳｉＯ2が配列して単結晶になったもの
で、Ｓｉは正、Ｏ2は負の電荷を持ち、対称に配列する
事で電気的に中和しているが、これに歪みが加わると電
気的対称性が崩れて電荷が発生する。
あるが、これはＳｉＯ2が配列して単結晶になったもの
で、Ｓｉは正、Ｏ2は負の電荷を持ち、対称に配列する
事で電気的に中和しているが、これに歪みが加わると電
気的対称性が崩れて電荷が発生する。
【０００９】図３０（ａ）はこの水晶の各軸を示した図
であり、稜線を結ぶ軸をＸ軸（電気軸）といい、それに
対して直角な方向をＹ軸（機械軸）といい、このＸ−Ｙ
軸が作る平面に対して垂直な軸をＺ軸（光軸）と言う。
また図３０（ｂ）はＸ−Ｙ軸により構成される断面を示
したもので、図のように極性を持つ。以上述べたごとく
水晶のような単結晶圧電体はその分子配列により圧電特
性を示し、その結果結晶方位に対して特定の極性を示
す。
であり、稜線を結ぶ軸をＸ軸（電気軸）といい、それに
対して直角な方向をＹ軸（機械軸）といい、このＸ−Ｙ
軸が作る平面に対して垂直な軸をＺ軸（光軸）と言う。
また図３０（ｂ）はＸ−Ｙ軸により構成される断面を示
したもので、図のように極性を持つ。以上述べたごとく
水晶のような単結晶圧電体はその分子配列により圧電特
性を示し、その結果結晶方位に対して特定の極性を示
す。
【００１０】一方、振動型の角速度センサは、振動する
物体に角速度が入力すると、その振動と直角方向に働く
コリオリ力を検出する事により物体の回転を検出してい
る為、振動を与える手段と、その直角方向の振動を検出
する手段の２つの方位に対して圧電特性を必要としてい
る。一般に音叉振動子は図３１のような方向で切り出さ
れるが、この様な切り出し方位では駆動振動を与える事
は容易であるが、それに対して直角方向の振動であるコ
リオリ力の検出感度は極めて低いと言った問題を抱えて
いる。
物体に角速度が入力すると、その振動と直角方向に働く
コリオリ力を検出する事により物体の回転を検出してい
る為、振動を与える手段と、その直角方向の振動を検出
する手段の２つの方位に対して圧電特性を必要としてい
る。一般に音叉振動子は図３１のような方向で切り出さ
れるが、この様な切り出し方位では駆動振動を与える事
は容易であるが、それに対して直角方向の振動であるコ
リオリ力の検出感度は極めて低いと言った問題を抱えて
いる。
【００１１】本発明は、センス電極による検出感度を高
めた角速度センサを提供することを目的とするものであ
る。
めた角速度センサを提供することを目的とするものであ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ため、本発明の角速度センサは、単結晶圧電材料からな
る少なくとも２本のアームと前記アームを連結する少な
くとも１つの基部から構成される第１の音叉振動子と、
前記第１の音叉振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料か
ら構成される第２の音叉振動子とを備え、前記第１の音
叉振動子と第２の音叉振動子を厚み方向に直接接合して
一体化しており、前記第１の音叉振動子と第２の音叉振
動子は前記各音叉振動子の幅方向もしくは厚み方向にお
いて互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向にて接
合したことを特徴とするものである。
ため、本発明の角速度センサは、単結晶圧電材料からな
る少なくとも２本のアームと前記アームを連結する少な
くとも１つの基部から構成される第１の音叉振動子と、
前記第１の音叉振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料か
ら構成される第２の音叉振動子とを備え、前記第１の音
叉振動子と第２の音叉振動子を厚み方向に直接接合して
一体化しており、前記第１の音叉振動子と第２の音叉振
動子は前記各音叉振動子の幅方向もしくは厚み方向にお
いて互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向にて接
合したことを特徴とするものである。
【００１３】かかる構成によれば、第１の音叉振動子と
第２の音叉振動子とは電気的に作用するＸ軸方向の極性
を逆方向にしているため、アームの相対向する１組の周
面に単一のセンサ電極を設けることが可能となり、Ｘ軸
方向に電界を加えてもアームの表面側では電界方向と分
極方向が同じとなり、その裏面側では電界方向と分極方
向が逆になるため、Ｘ軸方向と直交する平面と平行方向
に作用する振動に対してそれぞれ反対方向の伸縮力が作
用し、電界に損失を生じて電界強度を弱める要因を少な
くして検出感度を高めることができる。
第２の音叉振動子とは電気的に作用するＸ軸方向の極性
を逆方向にしているため、アームの相対向する１組の周
面に単一のセンサ電極を設けることが可能となり、Ｘ軸
方向に電界を加えてもアームの表面側では電界方向と分
極方向が同じとなり、その裏面側では電界方向と分極方
向が逆になるため、Ｘ軸方向と直交する平面と平行方向
に作用する振動に対してそれぞれ反対方向の伸縮力が作
用し、電界に損失を生じて電界強度を弱める要因を少な
くして検出感度を高めることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１記載の発明は、
単結晶圧電材料からなる少なくとも２本のアームと前記
アークを連結する少なくとも１つの基部から構成される
第１の音叉振動子と、前記第１の音叉振動子とほぼ相似
形で単結晶圧電材料から構成された第２の音叉振動子と
を備え、前記第１の音叉振動子と第２の音叉振動子を厚
み方向に直接接合して一体化してなり、前記第１の音叉
振動子と前記第２の音叉振動子は前記音叉振動子の幅方
向において互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向
にて接合された事を特徴とする角速度センサであり、極
めて単純な電極構成が可能となり、フォトリソ工程にお
ける電極形成が可能となるばかりでは無く、従来の構成
ではコリオリ力に起因する電荷成分がアームの断面中央
付近ではキャンセルされる事による損失があったが、圧
電材料の極性を反転させた事によりアーム断面内でのコ
リオリ力に起因する電荷の向きがそろった事により、極
めて効率が高くなる。
単結晶圧電材料からなる少なくとも２本のアームと前記
アークを連結する少なくとも１つの基部から構成される
第１の音叉振動子と、前記第１の音叉振動子とほぼ相似
形で単結晶圧電材料から構成された第２の音叉振動子と
を備え、前記第１の音叉振動子と第２の音叉振動子を厚
み方向に直接接合して一体化してなり、前記第１の音叉
振動子と前記第２の音叉振動子は前記音叉振動子の幅方
向において互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向
にて接合された事を特徴とする角速度センサであり、極
めて単純な電極構成が可能となり、フォトリソ工程にお
ける電極形成が可能となるばかりでは無く、従来の構成
ではコリオリ力に起因する電荷成分がアームの断面中央
付近ではキャンセルされる事による損失があったが、圧
電材料の極性を反転させた事によりアーム断面内でのコ
リオリ力に起因する電荷の向きがそろった事により、極
めて効率が高くなる。
【００１５】また、請求項２記載の発明は、単結晶圧電
材料からなる少なくとも２本のアームと前記アームを連
結する少なくとも１つの基部から構成される第１の音叉
振動子と、前記第１の音叉振動子とほぼ相似形で単結晶
圧電材料から構成された第２の音叉振動子とを備え、前
記第１の音叉振動子と第２の音叉振動子を厚み方向に直
接接合して一体化してなり、前記第１の音叉振動子と前
記第２の音叉振動子は前記音叉振動子の厚み方向におい
て互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向にて接合
された事を特徴とする角速度センサであり、音叉振動子
の側面における電極の分割が不要であるため、従来の工
法においても電極構成が容易であり、かつコリオリ力の
検出においてもバイモルフ構造がゆえに従来の構成に対
しては２倍の感度が得られ、かつコリオリ力の検出方向
に対して圧電特性が高い軸方向を利用している為に、極
めて高感度が得られ、トータルとしてＳ／Ｎの良好な角
速度センサを構成できるメリットがある。
材料からなる少なくとも２本のアームと前記アームを連
結する少なくとも１つの基部から構成される第１の音叉
振動子と、前記第１の音叉振動子とほぼ相似形で単結晶
圧電材料から構成された第２の音叉振動子とを備え、前
記第１の音叉振動子と第２の音叉振動子を厚み方向に直
接接合して一体化してなり、前記第１の音叉振動子と前
記第２の音叉振動子は前記音叉振動子の厚み方向におい
て互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向にて接合
された事を特徴とする角速度センサであり、音叉振動子
の側面における電極の分割が不要であるため、従来の工
法においても電極構成が容易であり、かつコリオリ力の
検出においてもバイモルフ構造がゆえに従来の構成に対
しては２倍の感度が得られ、かつコリオリ力の検出方向
に対して圧電特性が高い軸方向を利用している為に、極
めて高感度が得られ、トータルとしてＳ／Ｎの良好な角
速度センサを構成できるメリットがある。
【００１６】また、請求項３記載の発明は、単結晶圧電
材料からなる第１と第２のアームと前記第１と第２のア
ームを連結する少なくとも１つの基部から構成される音
叉振動子を有し、前記第１のアームと第２のアームは音
叉振動子の厚み方向において互いに逆極性の圧電現象を
生ずる結晶軸方向にて接合された事を特徴とする角速度
センサであり、２本のアームで（音叉の中心で）圧電材
料の極性を反転させた事により、２本のアームから検出
されるコリオリ力に起因した電荷成分は同相となり、逆
に加速度成分に対しては逆相となる。この事からセンス
電極をコモン接続する事が容易となり、アンプの増幅段
数を減らす事が可能となるばかりではなく、従来この独
立した２つのアンプの位相ずれや、その温度特性による
中点電圧のドリフトの問題を払拭できるメリットがあ
る。
材料からなる第１と第２のアームと前記第１と第２のア
ームを連結する少なくとも１つの基部から構成される音
叉振動子を有し、前記第１のアームと第２のアームは音
叉振動子の厚み方向において互いに逆極性の圧電現象を
生ずる結晶軸方向にて接合された事を特徴とする角速度
センサであり、２本のアームで（音叉の中心で）圧電材
料の極性を反転させた事により、２本のアームから検出
されるコリオリ力に起因した電荷成分は同相となり、逆
に加速度成分に対しては逆相となる。この事からセンス
電極をコモン接続する事が容易となり、アンプの増幅段
数を減らす事が可能となるばかりではなく、従来この独
立した２つのアンプの位相ずれや、その温度特性による
中点電圧のドリフトの問題を払拭できるメリットがあ
る。
【００１７】また、請求項４記載の発明は、単結晶圧電
材料からなる第１と第２のアームと前記第１と第２のア
ームを連結する少なくとも１つの基部から構成される音
叉振動子を有し、前記第１のアームと第２のアームは単
結晶圧電材料の結晶軸方向を直交させて接合された事を
特徴とする角速度センサであり、２本のアームで（音叉
の中心で）圧電材料の極性を異にし、片側のアームを駆
動専用、もしくは駆動とモニターに使用し、残りのアー
ムをセンスとモニターの検出、もしくはセンスのみに使
用する事により、音叉振動子の駆動と、コリオリ力に起
因する応力の検出といった直交する２方向の振動を圧電
的に効率良く処理する事が可能となる。
材料からなる第１と第２のアームと前記第１と第２のア
ームを連結する少なくとも１つの基部から構成される音
叉振動子を有し、前記第１のアームと第２のアームは単
結晶圧電材料の結晶軸方向を直交させて接合された事を
特徴とする角速度センサであり、２本のアームで（音叉
の中心で）圧電材料の極性を異にし、片側のアームを駆
動専用、もしくは駆動とモニターに使用し、残りのアー
ムをセンスとモニターの検出、もしくはセンスのみに使
用する事により、音叉振動子の駆動と、コリオリ力に起
因する応力の検出といった直交する２方向の振動を圧電
的に効率良く処理する事が可能となる。
【００１８】また、請求項５記載の発明は、請求項１ま
たは２記載の角速度センサの製造方法であって、少なく
とも２枚の単結晶圧電材料からなるウエハーをその結晶
軸方向を変えて直接接合した板材から、フォトリソグラ
フィで音叉振動子を加工する事を特徴とする角速度セン
サの製造方法であり、振動子をフォトリソ工程を用いて
製造する事が可能であり、これらは接合工程を除いて従
来の腕時計用音叉振動子の製造工程を流用できるため、
極めて安価に、かつ大量に製造する事が可能となる。
たは２記載の角速度センサの製造方法であって、少なく
とも２枚の単結晶圧電材料からなるウエハーをその結晶
軸方向を変えて直接接合した板材から、フォトリソグラ
フィで音叉振動子を加工する事を特徴とする角速度セン
サの製造方法であり、振動子をフォトリソ工程を用いて
製造する事が可能であり、これらは接合工程を除いて従
来の腕時計用音叉振動子の製造工程を流用できるため、
極めて安価に、かつ大量に製造する事が可能となる。
【００１９】また請求項６記載の発明は、請求項１また
は２記載の角速度センサの製造方法であって、少なくと
も２枚の単結晶圧電材料からなるウエハーからフォトリ
ソグラフィで音叉振動子を加工し、その結晶軸方位を変
えてウエハー上で直接接合する事を特徴とする角速度セ
ンサの製造方法であり、エッチングにより音叉振動子を
構成した後に接合する事により、厚物の音叉振動子をも
フォトリソ工程により製造が可能となり、高精度・高Ｓ
／Ｎを求められるような用途においても前記技術を利用
する事が可能となる。
は２記載の角速度センサの製造方法であって、少なくと
も２枚の単結晶圧電材料からなるウエハーからフォトリ
ソグラフィで音叉振動子を加工し、その結晶軸方位を変
えてウエハー上で直接接合する事を特徴とする角速度セ
ンサの製造方法であり、エッチングにより音叉振動子を
構成した後に接合する事により、厚物の音叉振動子をも
フォトリソ工程により製造が可能となり、高精度・高Ｓ
／Ｎを求められるような用途においても前記技術を利用
する事が可能となる。
【００２０】請求項７記載の発明は、請求項１記載の角
速度センサにおいて、２本のアームのうち一方のアーム
の外周４面に音叉振動子の主面に平行方向となるように
励振する駆動電極を形成し、他方のアームの相対向する
側面に音叉振動子の主面に垂直方向となる振動によって
生ずる電荷を検出するセンス電極を形成した角速度セン
サである。
速度センサにおいて、２本のアームのうち一方のアーム
の外周４面に音叉振動子の主面に平行方向となるように
励振する駆動電極を形成し、他方のアームの相対向する
側面に音叉振動子の主面に垂直方向となる振動によって
生ずる電荷を検出するセンス電極を形成した角速度セン
サである。
【００２１】請求項８記載の発明は、請求項２記載の角
速度センサにおいて、２本のアームのうち一方のアーム
の外周４面に音叉振動子の主面に平行方向となるように
励振する駆動電極を形成し、他方のアームの相対向する
主面に音叉振動子の主面に垂直方向となる振動によって
生ずる電荷を検出するセンス電極を形成した角速度セン
サである。
速度センサにおいて、２本のアームのうち一方のアーム
の外周４面に音叉振動子の主面に平行方向となるように
励振する駆動電極を形成し、他方のアームの相対向する
主面に音叉振動子の主面に垂直方向となる振動によって
生ずる電荷を検出するセンス電極を形成した角速度セン
サである。
【００２２】請求項９記載の発明は、圧電現象及び圧電
逆現象を有する結晶体の電気的に作用するＸ軸方向の一
端を＋極性及び他端を−極性とした圧電板から形成さ
れ、一対のアームを音叉基部から延出して前記Ｘ軸方向
を幅又は厚み方向とした２枚の音叉振動子からなり、前
記２枚の音叉振動子は前記Ｘ軸方向の極性を互いに逆方
向として直接接合した角速度センサである。
逆現象を有する結晶体の電気的に作用するＸ軸方向の一
端を＋極性及び他端を−極性とした圧電板から形成さ
れ、一対のアームを音叉基部から延出して前記Ｘ軸方向
を幅又は厚み方向とした２枚の音叉振動子からなり、前
記２枚の音叉振動子は前記Ｘ軸方向の極性を互いに逆方
向として直接接合した角速度センサである。
【００２３】上記した各請求項７，８，９に記載の角速
度センサは、センス電極を分割することなく単一の構造
として形成可能となり、極性を逆方向とした音叉振動子
のそれぞれのアームに反対方向の伸縮力が作用し、検出
感度を高めることができる。
度センサは、センス電極を分割することなく単一の構造
として形成可能となり、極性を逆方向とした音叉振動子
のそれぞれのアームに反対方向の伸縮力が作用し、検出
感度を高めることができる。
【００２４】（実施の形態１）図１乃至図８は本発明の
実施の形態１における角速度センサを示す。
実施の形態１における角速度センサを示す。
【００２５】図１は音叉振動子を用いた本発明の角速度
センサの実施の形態１における構造図を示しており、こ
こで１ａ，１ｂはアームで、これらは基部１ｃにより連
結され音叉振動子１を形成している。同じく２ａ，２ｂ
はアームで、これらは基部２ｃにより連結され音叉振動
子２を形成している。これらの音叉振動子１，２は水晶
等の単結晶圧電材料から構成され、両者は直接接合によ
り接続され、一種のバイモルフ構造をなしている。直接
接合は被着体の表面を十分に平滑にして親水化処理後に
水酸基を吸着させて被着体を重ねあわせて熱処理を施す
事により、界面から水酸基や水素が離脱して被着体が接
合され、一体構造と同等の接合状態を得るものである。
センサの実施の形態１における構造図を示しており、こ
こで１ａ，１ｂはアームで、これらは基部１ｃにより連
結され音叉振動子１を形成している。同じく２ａ，２ｂ
はアームで、これらは基部２ｃにより連結され音叉振動
子２を形成している。これらの音叉振動子１，２は水晶
等の単結晶圧電材料から構成され、両者は直接接合によ
り接続され、一種のバイモルフ構造をなしている。直接
接合は被着体の表面を十分に平滑にして親水化処理後に
水酸基を吸着させて被着体を重ねあわせて熱処理を施す
事により、界面から水酸基や水素が離脱して被着体が接
合され、一体構造と同等の接合状態を得るものである。
【００２６】この時、音叉振動子１は１ｄに示すような
結晶軸方向で、音叉振動子２はＸ軸を反転させた２ｄに
示すような結晶軸方向で接合されている。すなわち、音
叉振動子１，２はその主面方向においてＸ軸方向が互い
に逆方向となるように接合されている。
結晶軸方向で、音叉振動子２はＸ軸を反転させた２ｄに
示すような結晶軸方向で接合されている。すなわち、音
叉振動子１，２はその主面方向においてＸ軸方向が互い
に逆方向となるように接合されている。
【００２７】次にこのようにして構成された角速度セン
サ用音叉振動子を、図２から図７を用いて具体的な構成
を説明する。
サ用音叉振動子を、図２から図７を用いて具体的な構成
を説明する。
【００２８】アーム１ａ，２ａのＡ−Ｂ平面側には音叉
振動子を共振周波数でＡ−Ｂ平面に圧電駆動する為の駆
動電極３ａ，３ｂが設けられており、外部の発振回路に
より電気的に駆動される。
振動子を共振周波数でＡ−Ｂ平面に圧電駆動する為の駆
動電極３ａ，３ｂが設けられており、外部の発振回路に
より電気的に駆動される。
【００２９】別のアーム１ｂ，２ｂのＡ−Ｂ平面側には
この音叉振動子の前記発振回路により引き起こされた振
動振幅を検出する為のモニター電極５と接地電極６が設
けられている。一方、アーム１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂの
Ｂ−Ｃ平面側には音叉振動子のＢ軸回りに入力した角速
度に対して発生したコリオリ力による応力を圧電的に検
出するセンス電極７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄが設けられて
いる。本例において、センス電極７ａ，７ｂは実効的に
接地電極にあり、駆動電極と兼用されている。
この音叉振動子の前記発振回路により引き起こされた振
動振幅を検出する為のモニター電極５と接地電極６が設
けられている。一方、アーム１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂの
Ｂ−Ｃ平面側には音叉振動子のＢ軸回りに入力した角速
度に対して発生したコリオリ力による応力を圧電的に検
出するセンス電極７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄが設けられて
いる。本例において、センス電極７ａ，７ｂは実効的に
接地電極にあり、駆動電極と兼用されている。
【００３０】ここでモニター電極５より発生した電荷は
図８に示すような外部回路により増幅された後、ＡＧＣ
（オート・ゲイン・コントロール）によりあらかじめ設
定された基準信号との比較により音叉振動子の振動振幅
が一定になるように前記発振回路を制御している。
図８に示すような外部回路により増幅された後、ＡＧＣ
（オート・ゲイン・コントロール）によりあらかじめ設
定された基準信号との比較により音叉振動子の振動振幅
が一定になるように前記発振回路を制御している。
【００３１】一方前記センス電極７ａ〜７ｄはコリオリ
力による信号を外部の増幅回路により増幅した後、前記
モニター電極５から検出した音叉振動のタイミングで同
期検波を行い、音叉振動子により変調がかけられたコリ
オリ力による信号を復調し、その後ＬＰＦ（ロー・パス
・フィルター）により不要帯域を遮断し、センサ出力と
している。
力による信号を外部の増幅回路により増幅した後、前記
モニター電極５から検出した音叉振動のタイミングで同
期検波を行い、音叉振動子により変調がかけられたコリ
オリ力による信号を復調し、その後ＬＰＦ（ロー・パス
・フィルター）により不要帯域を遮断し、センサ出力と
している。
【００３２】図６は駆動モード（Ａ−Ｂ平面振動）にお
けるアームの断面の歪みと電荷の流れを示している。駆
動時は各アームの幅方向に伸びと縮みを発生させる必要
があり、駆動電極３ａ、駆動電極３ｂには反転した駆動
信号を印加する事により、図に示すような電荷の流れが
生じる。この時、アーム１ａと２ａはＸ軸が反転してい
るため、図６（ｂ）の様にアームの幅方向で歪みが反転
するような応力が発生し、これを繰り返す事によりアー
ムをＡ−Ｂ平面に振動させる事が可能となる。この時、
モニター電極５は駆動モードと逆のプロセスで音叉振動
子の振動振幅による電荷を圧電的に検出する。
けるアームの断面の歪みと電荷の流れを示している。駆
動時は各アームの幅方向に伸びと縮みを発生させる必要
があり、駆動電極３ａ、駆動電極３ｂには反転した駆動
信号を印加する事により、図に示すような電荷の流れが
生じる。この時、アーム１ａと２ａはＸ軸が反転してい
るため、図６（ｂ）の様にアームの幅方向で歪みが反転
するような応力が発生し、これを繰り返す事によりアー
ムをＡ−Ｂ平面に振動させる事が可能となる。この時、
モニター電極５は駆動モードと逆のプロセスで音叉振動
子の振動振幅による電荷を圧電的に検出する。
【００３３】次に、図７はコリオリ力に対する検出モー
ド（Ｂ−Ｃ平面）におけるアームの断面の歪みと電荷の
流れを示している。
ド（Ｂ−Ｃ平面）におけるアームの断面の歪みと電荷の
流れを示している。
【００３４】コリオリ力はＢ−Ｃ平面方向の振動である
為、図７（ｂ）に示すようにアームの厚み方向に伸びと
縮みが生じる。これにより発生する電荷は、音叉振動子
１と音叉振動子２のアームのＸ軸が反転している為に図
７（ａ）に示すように同方向となり、センス電極７ａ，
７ｂ、及び７ｃ，７ｄにより効率よく検出可能となる。
為、図７（ｂ）に示すようにアームの厚み方向に伸びと
縮みが生じる。これにより発生する電荷は、音叉振動子
１と音叉振動子２のアームのＸ軸が反転している為に図
７（ａ）に示すように同方向となり、センス電極７ａ，
７ｂ、及び７ｃ，７ｄにより効率よく検出可能となる。
【００３５】図９は本実施の形態１における角速度セン
サの製造工程を示している。図９において、８，９は水
晶等の単結晶圧電材料からなるウエハーを示し、ウエハ
ー８，９のそれぞれは最終的に出来上がる音叉振動子１
２の厚みの約半分の厚みを有している。さらに、これら
はその結晶軸方位を異にしている。本例ではウエハー
８，９の主面に互いに逆方向の関係にある。
サの製造工程を示している。図９において、８，９は水
晶等の単結晶圧電材料からなるウエハーを示し、ウエハ
ー８，９のそれぞれは最終的に出来上がる音叉振動子１
２の厚みの約半分の厚みを有している。さらに、これら
はその結晶軸方位を異にしている。本例ではウエハー
８，９の主面に互いに逆方向の関係にある。
【００３６】このウエハー８，９を前記直接接合により
接合した状態が図９（ｂ）であり、この１枚の板となっ
たもの１０を通常の音叉振動子等と同様のプロセスであ
るフォトリソグラフィで音叉振動子を形成した状態が図
９（ｃ）に示す１１であり、この後、電極形成を経て一
個一個の音叉振動子に分割をしたものが１２である。
接合した状態が図９（ｂ）であり、この１枚の板となっ
たもの１０を通常の音叉振動子等と同様のプロセスであ
るフォトリソグラフィで音叉振動子を形成した状態が図
９（ｃ）に示す１１であり、この後、電極形成を経て一
個一個の音叉振動子に分割をしたものが１２である。
【００３７】このようにウエハー状態で結晶軸方向を変
化させた単結晶圧電材料を接合する事で、通常の音叉振
動子等と同様のプロセスを利用しながら前記の結晶軸方
向を変えた各音叉振動子を製造する事が可能となる。
化させた単結晶圧電材料を接合する事で、通常の音叉振
動子等と同様のプロセスを利用しながら前記の結晶軸方
向を変えた各音叉振動子を製造する事が可能となる。
【００３８】図１０は本実施の形態１における角速度セ
ンサの他の製造工程を示している。図１０において、ウ
エハー１３，１４は水晶等の単結晶圧電材料からなる薄
板をフォトリソグラフィで音叉振動子を形成したもので
あり、これらは最終的に出来上がる音叉振動子１６の厚
みの約半分の厚みを有している。さらに、これらはその
結晶軸方位を異にしている。
ンサの他の製造工程を示している。図１０において、ウ
エハー１３，１４は水晶等の単結晶圧電材料からなる薄
板をフォトリソグラフィで音叉振動子を形成したもので
あり、これらは最終的に出来上がる音叉振動子１６の厚
みの約半分の厚みを有している。さらに、これらはその
結晶軸方位を異にしている。
【００３９】図１０（ｂ）はこれらのウエハー１３，１
４をアライナーにより正確に位置決めを行った後に直接
接合により一体化させた状態のもの１５で、この後、電
極形成を経て一個一個の音叉振動子に分割をしたものが
１６である。
４をアライナーにより正確に位置決めを行った後に直接
接合により一体化させた状態のもの１５で、この後、電
極形成を経て一個一個の音叉振動子に分割をしたものが
１６である。
【００４０】このように最終の音叉振動子の約半分の厚
み状態でエッチングにより音叉形状を作り出す事によ
り、通常のエッチング時間の半分で加工が可能となるば
かりでなく、エッチングによる断面の平面性を確保しや
すく、分厚い振動子の形成も容易に、かつ精度良く加工
できる。
み状態でエッチングにより音叉形状を作り出す事によ
り、通常のエッチング時間の半分で加工が可能となるば
かりでなく、エッチングによる断面の平面性を確保しや
すく、分厚い振動子の形成も容易に、かつ精度良く加工
できる。
【００４１】尚、本実施の形態１においては、一方のア
ーム１ａ，２ａに駆動を兼ねるセンス電極７ａ，７ｂを
設けたが、このセンス電極７ａ，７ｂは図１１に示すよ
うに駆動電極に専用のものとして利用しても良く、また
図１２に示すようにモニター電極５および接地電極６を
省略しても良い。
ーム１ａ，２ａに駆動を兼ねるセンス電極７ａ，７ｂを
設けたが、このセンス電極７ａ，７ｂは図１１に示すよ
うに駆動電極に専用のものとして利用しても良く、また
図１２に示すようにモニター電極５および接地電極６を
省略しても良い。
【００４２】（実施の形態２）図１３乃至図１９に本発
明の実施の形態２における角速度センサを示す。図１３
において、１ａ，１ｂはアームで、これらは基部１ｃに
より連結され音叉振動子１を形成している。同じく２
ａ，２ｂはアームで、これらは基部２ｃにより連結され
音叉振動子２を形成している。これら音叉振動子１，２
は水晶等の単結晶圧電材料から構成され、両者は直接接
合により接続され、バイモルフ構造をなしている。この
時、音叉振動子１は１ｄに示すような結晶軸方向で、音
叉振動子２はＸ軸を反転させた２ｄに示すような結晶軸
方向で接合されている。すなわち、音叉振動子１，２は
その厚み方向においてＸ軸方向が互いに逆方向となるよ
うに構成されている。
明の実施の形態２における角速度センサを示す。図１３
において、１ａ，１ｂはアームで、これらは基部１ｃに
より連結され音叉振動子１を形成している。同じく２
ａ，２ｂはアームで、これらは基部２ｃにより連結され
音叉振動子２を形成している。これら音叉振動子１，２
は水晶等の単結晶圧電材料から構成され、両者は直接接
合により接続され、バイモルフ構造をなしている。この
時、音叉振動子１は１ｄに示すような結晶軸方向で、音
叉振動子２はＸ軸を反転させた２ｄに示すような結晶軸
方向で接合されている。すなわち、音叉振動子１，２は
その厚み方向においてＸ軸方向が互いに逆方向となるよ
うに構成されている。
【００４３】次に、図１４から図１９でその具体的動作
を説明する。３ａと３ｂは駆動電極で、５はモニター電
極、６は接地電極で、７ａ，７ｂはセンス電極の役割を
果たす。
を説明する。３ａと３ｂは駆動電極で、５はモニター電
極、６は接地電極で、７ａ，７ｂはセンス電極の役割を
果たす。
【００４４】まず、駆動モードは図１８に示すごとく、
アーム１ｂ，２ｂに設けられた２つの駆動電極３ａから
３ｂに電荷の流れが発生する。
アーム１ｂ，２ｂに設けられた２つの駆動電極３ａから
３ｂに電荷の流れが発生する。
【００４５】この時、アーム１ｂと２ｂはＸ軸が反転し
ている為、アームの幅方向に歪みが反転するような応力
が発生し、これを繰り返す事によりアームをＡ−Ｂ平面
に振動させる事が可能となる。この振動下において、モ
ニター電極５は駆動モードと逆のプロセスで音叉振動子
の振動振幅を検出する。
ている為、アームの幅方向に歪みが反転するような応力
が発生し、これを繰り返す事によりアームをＡ−Ｂ平面
に振動させる事が可能となる。この振動下において、モ
ニター電極５は駆動モードと逆のプロセスで音叉振動子
の振動振幅を検出する。
【００４６】一方、コリオリ力の検出モードは図１９に
示すように、アーム１ａ，２ａでＸ軸が反転している為
にＣ軸方向の一様な電荷の流れになり、アーム１ａ，２
ａのＡ−Ｂ平面に設けられたセンス電極７ａ，７ｂによ
り検出する事ができる。
示すように、アーム１ａ，２ａでＸ軸が反転している為
にＣ軸方向の一様な電荷の流れになり、アーム１ａ，２
ａのＡ−Ｂ平面に設けられたセンス電極７ａ，７ｂによ
り検出する事ができる。
【００４７】尚、本実施の形態２においては、アーム１
ｂ，２ｂに対して駆動電極３ａ，３ｂおよびモニター電
極５、接地電極６を設けたが、図２０に示すように４つ
の平面にそれぞれ単一構造の駆動電極３ａ，３ｂを設け
てもよい。
ｂ，２ｂに対して駆動電極３ａ，３ｂおよびモニター電
極５、接地電極６を設けたが、図２０に示すように４つ
の平面にそれぞれ単一構造の駆動電極３ａ，３ｂを設け
てもよい。
【００４８】（実施の形態３）図２１は本発明の実施の
形態３における角速度センサを示している。図２１にお
いて、１は水晶等の単結晶圧電材料から構成され、一対
のアーム１ａと１ｂとそれらを連結する基部１ｃからな
音叉振動子で、この時、アーム１ａとアーム１ｂのＸ軸
の結晶軸方位がアームの厚み方向で逆向きになるよう
に、基部１ｃの部分で直接接合して構成されたものであ
る。
形態３における角速度センサを示している。図２１にお
いて、１は水晶等の単結晶圧電材料から構成され、一対
のアーム１ａと１ｂとそれらを連結する基部１ｃからな
音叉振動子で、この時、アーム１ａとアーム１ｂのＸ軸
の結晶軸方位がアームの厚み方向で逆向きになるよう
に、基部１ｃの部分で直接接合して構成されたものであ
る。
【００４９】ここで、アーム１ａは１ｄに示すような結
晶軸方向を持ち、アーム１ｂはＸ軸を反転させた２ｄに
示すような結晶軸方向を持つように直接接合されてい
る。
晶軸方向を持ち、アーム１ｂはＸ軸を反転させた２ｄに
示すような結晶軸方向を持つように直接接合されてい
る。
【００５０】本実施の形態３においては、図２２乃至図
２５に示すように一方のアーム１ａの１つの主面に対し
て駆動電極３ａ，３ｂおよびセンス電極７ａが設けら
れ、かつ、一方のアーム１ａの他の主面に対して接地電
極６が設けられる。また、他方のアーム１ｂの１つの主
面にモニター電極５およびセンス電極７ｂが設けられか
つ他方のアーム１ｂの他の主面に対して接地電極６が設
けられる。
２５に示すように一方のアーム１ａの１つの主面に対し
て駆動電極３ａ，３ｂおよびセンス電極７ａが設けら
れ、かつ、一方のアーム１ａの他の主面に対して接地電
極６が設けられる。また、他方のアーム１ｂの１つの主
面にモニター電極５およびセンス電極７ｂが設けられか
つ他方のアーム１ｂの他の主面に対して接地電極６が設
けられる。
【００５１】まず、駆動モードは図２６に示すごとく、
駆動電極３ａから接地電極６を経て３ｂに至る電荷の流
れが発生し、アーム１ａの幅方向に歪みが反転する繰り
返し応力を発生させる事によりアーム１ａに伸縮力を発
生させ、音叉振動子を振動させる。一方、モニター電極
５は接地電極６に対して音叉振動子の振動振幅に比例し
た電荷を検出する。
駆動電極３ａから接地電極６を経て３ｂに至る電荷の流
れが発生し、アーム１ａの幅方向に歪みが反転する繰り
返し応力を発生させる事によりアーム１ａに伸縮力を発
生させ、音叉振動子を振動させる。一方、モニター電極
５は接地電極６に対して音叉振動子の振動振幅に比例し
た電荷を検出する。
【００５２】次に、コリオリ力の検出モードは図２７に
示すような電荷の流れにより、センス電極７ａ，７ｂに
電荷が発生する。この時、センス電極７ａ，７ｂはＸ軸
の極性が反転している為にコモン接続するだけでコリオ
リ力の検出と加速度のキャンセルが可能となり、外部回
路は差動増幅する必要が無くなる。
示すような電荷の流れにより、センス電極７ａ，７ｂに
電荷が発生する。この時、センス電極７ａ，７ｂはＸ軸
の極性が反転している為にコモン接続するだけでコリオ
リ力の検出と加速度のキャンセルが可能となり、外部回
路は差動増幅する必要が無くなる。
【００５３】他に、本実施の形態３においては、図２８
に示すように、アーム１ａと１ｂのＸ軸の結晶軸方位を
直交させるように接合し、アーム１ａは音叉振動子の駆
動及びモニターを行い、アーム１ｂはコリオリ力の検出
を行うように構成しても良い。このような構成をとる事
により駆動及びモニタリングと、コリオリ力の検出とい
う２つの振動モードを圧電的に効率よく行う事が可能と
なる。
に示すように、アーム１ａと１ｂのＸ軸の結晶軸方位を
直交させるように接合し、アーム１ａは音叉振動子の駆
動及びモニターを行い、アーム１ｂはコリオリ力の検出
を行うように構成しても良い。このような構成をとる事
により駆動及びモニタリングと、コリオリ力の検出とい
う２つの振動モードを圧電的に効率よく行う事が可能と
なる。
【００５４】本発明の音叉振動子を用いた角速度センサ
は、他に図２９（ａ），（ｅ）に示すような三脚音叉型
や、図２９（ｂ），（ｆ）のクローズドエンド型音叉振
動子、あるいは図２９（ｃ），（ｇ）のＨ型音叉振動子
等でも同様に実現可能であり、また図２９（ｈ）に示す
ように音叉振動子を３分割する場合も同様の効果を果た
す事は言うまでもない。
は、他に図２９（ａ），（ｅ）に示すような三脚音叉型
や、図２９（ｂ），（ｆ）のクローズドエンド型音叉振
動子、あるいは図２９（ｃ），（ｇ）のＨ型音叉振動子
等でも同様に実現可能であり、また図２９（ｈ）に示す
ように音叉振動子を３分割する場合も同様の効果を果た
す事は言うまでもない。
【００５５】なお、上記の各実施形態では、圧電材をＺ
軸及びＸ軸方向に直交する方向の水晶板として説明した
が、音叉振動を得る切断角度での水晶板であればいずれ
でもよく、さらには例えばタンタル酸リチウム（ＬｉＴ
ａ2Ｏ3）やニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ2Ｏ5）等の他の
単結晶体からなる圧電材から音叉状圧電片を形成しても
よい。
軸及びＸ軸方向に直交する方向の水晶板として説明した
が、音叉振動を得る切断角度での水晶板であればいずれ
でもよく、さらには例えばタンタル酸リチウム（ＬｉＴ
ａ2Ｏ3）やニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ2Ｏ5）等の他の
単結晶体からなる圧電材から音叉状圧電片を形成しても
よい。
【００５６】また、圧電材は単結晶体として説明した
が、セラミックス等の多結晶体からなる圧電材であって
も適用できる。但し、多結晶体はそれぞれが単結晶の粒
塊を例えば焼結により集合（凝集）してなるので、各粒
塊の±極性は不揃いである。したがって、多結晶体に高
圧を印加して各粒塊の±極性を整列させる所謂分極処理
をする必要がある。そして、この場合の分極方向が電気
的に作用するＸ軸となる。
が、セラミックス等の多結晶体からなる圧電材であって
も適用できる。但し、多結晶体はそれぞれが単結晶の粒
塊を例えば焼結により集合（凝集）してなるので、各粒
塊の±極性は不揃いである。したがって、多結晶体に高
圧を印加して各粒塊の±極性を整列させる所謂分極処理
をする必要がある。そして、この場合の分極方向が電気
的に作用するＸ軸となる。
【００５７】
【発明の効果】以上述べたように角速度センサにおい
て、単結晶圧電材料を圧電特性の極性が異なる軸で直接
接合する事により、従来の構成では成し得なかった数々
の効果を得る事が可能となった。
て、単結晶圧電材料を圧電特性の極性が異なる軸で直接
接合する事により、従来の構成では成し得なかった数々
の効果を得る事が可能となった。
【図１】本発明の実施の形態１における角速度センサの
音叉振動子の構成図
音叉振動子の構成図
【図２】同音叉振動子の左側面図
【図３】同正面図
【図４】同右側面図
【図５】同背面図
【図６】同音叉振動子の駆動モードの説明図
【図７】同音叉振動子の検出モードの説明図
【図８】同角速度センサの回路ブロック図
【図９】同音叉振動子の製造工程の説明図
【図１０】同音叉振動子の他の製造工程の説明図
【図１１】同音叉振動子の他の例を示す駆動電極の配置
図
図
【図１２】同音叉振動子の他の例を示すセンス電極の配
置図
置図
【図１３】本発明の実施の形態２における角速度センサ
の音叉振動子の構成図
の音叉振動子の構成図
【図１４】同音叉振動子の左側面図
【図１５】同正面図
【図１６】同右側面図
【図１７】同背面図
【図１８】同音叉振動子の駆動モードの説明図
【図１９】同音叉振動子の検出モードの説明図
【図２０】同音叉振動子の他の例を示す駆動電極の配置
図
図
【図２１】本発明の実施の形態３における角速度センサ
の音叉振動子の構成図
の音叉振動子の構成図
【図２２】同音叉振動子の左側面図
【図２３】同正面図
【図２４】同右側面図
【図２５】同背面図
【図２６】同音叉振動子の駆動モードの説明図
【図２７】同音叉振動子の検出モードの説明図
【図２８】同音叉振動子の他の例を示す構成図
【図２９】本発明の更なる実施の形態における角速度セ
ンサの音叉振動子の構成図
ンサの音叉振動子の構成図
【図３０】（ａ）水晶の各軸を説明するための図 （ｂ）同水晶のＸ−Ｙ軸により構成される断面を示す図
【図３１】従来の音叉振動子の構成図
１，２ 音叉振動子 １ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ アーム ３ａ，３ｂ 駆動電極 ５ モニター電極 ６ 接地電極 ７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ センス電極 ８，９，１３，１４ ウエハー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中丸 邦春 埼玉県狭山市大字上広瀬1275番地の２ 日 本電波工業株式会社狭山事業所内 (72)発明者 石原 実 埼玉県狭山市大字上広瀬1275番地の２ 日 本電波工業株式会社狭山事業所内 (72)発明者 小野 公三 埼玉県狭山市大字上広瀬1275番地の２ 日 本電波工業株式会社狭山事業所内
Claims (9)
- 【請求項１】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２本
のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基部
から構成される第１の音叉振動子と、前記第１の音叉振
動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２
の音叉振動子とを備え、前記第１の音叉振動子と第２の
音叉振動子を厚み方向に直接接合して一体化してなり、
前記第１の音叉振動子と前記第２の音叉振動子は前記各
音叉振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を
生ずる結晶軸方向にて接合された事を特徴とする角速度
センサ。 - 【請求項２】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２本
のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基部
から構成される第１の音叉振動子と、前記第１の音叉振
動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２
の音叉振動子とを備え、前記第１の音叉振動子と第２の
音叉振動子を厚み方向に直接接合して一体化してなり、
前記第１の音叉振動子と前記第２の音叉振動子は前記各
音叉振動子の厚み方向において互いに逆極性の圧電現象
を生ずる結晶軸方向にて接合された事を特徴とする角速
度センサ。 - 【請求項３】 単結晶圧電材料からなる第１と第２のア
ームと前記第１と第２のアームを連結する少なくとも１
つの基部から構成される音叉振動子を有し、前記第１の
アームと第２のアームは音叉振動子の厚み方向において
互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向にて接合さ
れた事を特徴とする角速度センサ。 - 【請求項４】 単結晶圧電材料からなる第１と第２のア
ームと前記第１と第２のアームを連結する少なくとも１
つの基部から構成される音叉振動子を有し、前記第１の
アームと第２のアームは単結晶圧電材料の結晶軸方向を
直交させて接合された事を特徴とする角速度センサ。 - 【請求項５】 請求項１または２記載の角速度センサの
製造方法であって、少なくとも２枚の単結晶圧電材料か
らなるウエハーをその結晶軸方向を変えて直接接合した
板材から、フォトリソグラフィで音叉振動子を加工する
事を特徴とする角速度センサの製造方法。 - 【請求項６】 請求項１または２記載の角速度センサの
製造方法であって、少なくとも２枚の単結晶圧電材料か
らなるウエハーからフォトリソグラフィで音叉振動子を
加工し、その結晶軸方位を変えてウエハー上で直接接合
する事を特徴とする角速度センサの製造方法。 - 【請求項７】 請求項１記載の角速度センサにおいて、
２本のアームのうち一方のアームの外周４面に音叉振動
子の主面に平行方向となるように励振する駆動電極を形
成し、他方のアームの相対向する側面に音叉振動子の主
面に垂直方向となる振動によって生ずる電荷を検出する
センス電極を形成した角速度センサ。 - 【請求項８】 請求項２記載の角速度センサにおいて、
２本のアームのうち一方のアームの外周４面に音叉振動
子の主面に平行方向となるように励振する駆動電極を形
成し、他方のアームの相対向する主面に音叉振動子の主
面に垂直方向となる振動によって生ずる電荷を検出する
センス電極を形成した角速度センサ。 - 【請求項９】 圧電現象及び圧電逆現象を有する結晶体
の電気的に作用するＸ軸方向の一端を＋極性及び他端を
−極性とした圧電板から形成され、一対のアームを音叉
基部から延出して前記Ｘ軸方向を幅又は厚み方向とした
２枚の音叉振動子からなり、前記２枚の音叉振動子は前
記Ｘ軸方向の極性を互いに逆方向として直接接合した角
速度センサ。
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Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002122431A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびその製造方法 |
| JP2002329901A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水晶重合板の製造方法 |
| JP2003017965A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の製造方法 |
| US6930440B2 (en) | 2002-10-31 | 2005-08-16 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Tuning fork type crystal unit and bar type crystal unit |
| JP2008113380A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の製造方法、水晶振動子及び電子部品 |
| JP2009200706A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
| JP2010187063A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Seiko Epson Corp | 水晶基板の加工方法および音叉型水晶振動片の製造方法 |
| JP2014011652A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Murata Mfg Co Ltd | 水晶振動子 |
| JP2015114196A (ja) * | 2013-12-11 | 2015-06-22 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電センサ及びその製造方法 |
| CN105258713A (zh) * | 2015-11-17 | 2016-01-20 | 哈尔滨工业大学 | 一种使用低温玻璃焊料焊接的石英晶振传感器及其制备方法 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6564639B1 (en) | 1999-11-16 | 2003-05-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular speed sensor |
| JP2001208546A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-08-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
| JP4449128B2 (ja) * | 1999-12-14 | 2010-04-14 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
| EP1314962A4 (en) | 2000-08-30 | 2006-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ANGLE SPEED SENSOR |
| JP3767540B2 (ja) | 2002-10-28 | 2006-04-19 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ及び角速度センサー |
| JP2005098841A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型水晶振動子、角速度センサ素子、角速度センサ及び音叉型水晶振動子の製造方法。 |
| JP2005249645A (ja) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびその製造方法 |
| US7002349B2 (en) * | 2004-06-24 | 2006-02-21 | Telluric Exploration, Llc | Remote sensing electric field exploration system |
| EP1672316B1 (fr) * | 2004-12-20 | 2008-04-16 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Transducteur de mesure d'une vitesse angulaire |
| JP4395171B2 (ja) * | 2007-02-23 | 2010-01-06 | 多摩川精機株式会社 | 角速度センサおよびその製造方法 |
| EP2356743A1 (en) | 2008-11-07 | 2011-08-17 | Greenray Industries, Inc. | Crystal oscillator with reduced acceleration sensitivity |
| US11118906B2 (en) * | 2019-03-29 | 2021-09-14 | Property Management Co., Ltd. | Oscillator circuit including oscillator |
| US11768178B2 (en) * | 2020-02-28 | 2023-09-26 | Baker Hughes Oilfield Operations Llc | Embedded electrode tuning fork |
Family Cites Families (88)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3071007A (en) | 1963-01-01 | Unbalance detection apparatus | ||
| US2368052A (en) | 1941-04-29 | 1945-01-23 | Patents Res Corp | Electric translating system |
| US2479562A (en) | 1946-08-02 | 1949-08-23 | Sperry Corp | Reference apparatus |
| US2544646A (en) | 1948-06-16 | 1951-03-13 | Sperry Corp | Angular velocity measuring instrument |
| US2756353A (en) | 1950-04-10 | 1956-07-24 | Gen Electric | Bender-mode piezoelectric device and method of making the same |
| US2683596A (en) | 1950-07-11 | 1954-07-13 | Sperry Corp | Rate of turn instrument |
| US2683247A (en) | 1952-08-08 | 1954-07-06 | Goodyear Aircraft Corp | Space reference device |
| FR1176197A (fr) | 1957-05-24 | 1959-04-07 | Bronzavia Sa | Perfectionnements apportés aux moyens de mesure de la vitesse angulaire d'un organeou d'un objet rotatif |
| US3116466A (en) | 1958-03-31 | 1963-12-31 | Philamon Lab Inc | Transistorized tuning fork oscillator |
| US3307409A (en) | 1959-02-26 | 1967-03-07 | Jr George C Newton | Method of and apparatus for measuring angular motion |
| NL266211A (ja) | 1960-06-21 | |||
| US3113223A (en) | 1960-07-27 | 1963-12-03 | Space Technology Lab Inc | Bender-type accelerometer |
| US3143889A (en) | 1960-08-23 | 1964-08-11 | Westinghouse Electric Corp | Angular velocity measuring device |
| US3127775A (en) | 1960-10-28 | 1964-04-07 | Gyrex Corp | Vibratory rate gyroscope |
| US3238789A (en) | 1961-07-14 | 1966-03-08 | Litton Systems Inc | Vibrating bar transducer |
| US3141100A (en) | 1962-06-21 | 1964-07-14 | Avco Corp | Piezoelectric resonance device |
| US3269192A (en) | 1962-11-07 | 1966-08-30 | Gen Precision Inc | Tuning fork digital accelerometer |
| US3206986A (en) | 1963-01-04 | 1965-09-21 | Western Electric Co | Apparatus for sensing selected movements of a body |
| US3258617A (en) | 1963-02-07 | 1966-06-28 | Avco Corp | Piezoelectric device |
| US3319472A (en) | 1964-05-06 | 1967-05-16 | Varo | Combination time base accelerometer |
| US3465597A (en) | 1965-05-25 | 1969-09-09 | Singer General Precision | Vibrating-column accelerometer |
| US3520195A (en) | 1965-10-11 | 1970-07-14 | Gen Electric | Solid state angular velocity sensing device |
| US3371234A (en) | 1965-10-15 | 1968-02-27 | Walter G. Cady | Piezoelectric vibrators and systems embodying the same for converting the mechanical vibration thereof into electric energy |
| US3391547A (en) | 1966-02-28 | 1968-07-09 | Varian Associates | Capacitive liquid level sensor using phase sensitive detector means |
| US3479536A (en) | 1967-03-14 | 1969-11-18 | Singer General Precision | Piezoelectric force transducer |
| US3517288A (en) | 1968-09-03 | 1970-06-23 | Bulova Watch Co Inc | Transformer-coupled drive system for tuning-fork oscillator |
| US3656354A (en) | 1969-10-06 | 1972-04-18 | Gen Motors Corp | Bell gyro and improved means for operating same |
| US3680391A (en) | 1969-10-06 | 1972-08-01 | Gen Motors Corp | Bell gyro and method of making same |
| US3678762A (en) | 1969-10-06 | 1972-07-25 | Gen Motors Corp | Bell gyro and method of making same |
| US3654443A (en) | 1969-11-03 | 1972-04-04 | Sperry Rand Corp | Angle-of-attack computer |
| DE2009379C3 (de) | 1970-02-27 | 1975-01-30 | Gebrueder Junghans Gmbh, 7230 Schramberg | Piezoelektrischer Oszillator in Form einer Stimmgabel als Zeitnormal für zeithaltende Geräte |
| US3739202A (en) | 1970-08-28 | 1973-06-12 | W Cady | Instrument for responding to mechanical vibration of acceleration andfor converting the same into electric energy |
| US3683213A (en) | 1971-03-09 | 1972-08-08 | Statek Corp | Microresonator of tuning fork configuration |
| GB1304496A (ja) | 1971-11-11 | 1973-01-24 | ||
| US3805509A (en) | 1971-11-15 | 1974-04-23 | Junghans Gmbh Geb | Crystal vibrator as a time keeping vibrator for a timepiece |
| US3805097A (en) | 1972-08-07 | 1974-04-16 | B Kravtsov | Piezoelectric accelerometer |
| US3839915A (en) | 1973-03-19 | 1974-10-08 | Northrop Corp | Turn rate sensor |
| JPS539917B2 (ja) | 1973-05-02 | 1978-04-10 | Suwa Seikosha Kk | |
| US3842681A (en) | 1973-07-19 | 1974-10-22 | Sperry Rand Corp | Angular rate sensor |
| GB1455046A (en) | 1974-07-19 | 1976-11-10 | Shell Int Research | Arrangement and method for measuring the rate-of-turn of a ship |
| US3924474A (en) | 1974-11-12 | 1975-12-09 | Singer Co | Angular rate sensor |
| US3961318A (en) | 1975-01-17 | 1976-06-01 | Inductosyn Corporation | Electrostatic position-measuring transducer |
| US4019391A (en) | 1975-07-25 | 1977-04-26 | The Singer Company | Vibratory gyroscope |
| GB1540263A (en) | 1975-12-16 | 1979-02-07 | Sun Electric Corp | Engine test and display apparatus |
| US4212443A (en) | 1978-05-18 | 1980-07-15 | Sperry Corporation | Strapped down attitude and heading reference system for aircraft employing skewed axis two-degree-of-freedom rate gyros |
| CA1139393A (en) | 1978-07-12 | 1983-01-11 | Adrian P. Morris | Displacement transducer system |
| FR2438939A1 (fr) | 1978-10-09 | 1980-05-09 | France Etat | Bi-resonateur piezoelectrique |
| US4320320A (en) | 1978-12-01 | 1982-03-16 | Kabushiki Kaisha Suwa Seikosha | Coupled mode tuning fork type quartz crystal vibrator |
| US4215570A (en) | 1979-04-20 | 1980-08-05 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Miniature quartz resonator force transducer |
| US4421621A (en) | 1979-07-17 | 1983-12-20 | Kabushiki Kaisha Suwa Seikosha | Quartz crystal oscillator |
| CH644227A5 (de) | 1979-09-14 | 1984-07-13 | Kistler Instrumente Ag | Piezoelektrisches kristallelement fuer messwandler. |
| US4344010A (en) | 1979-10-19 | 1982-08-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Acceleration resistant combination of opposite-handed piezoelectric crystals |
| GB2061502A (en) | 1979-10-19 | 1981-05-13 | Marconi Co Ltd | A Sensor for Detecting Rotational Movement |
| US4365182A (en) | 1980-10-14 | 1982-12-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of fabricating acceleration resistant crystal resonators and acceleration resistant crystal resonators so formed |
| US4429248A (en) | 1981-05-27 | 1984-01-31 | Statek Corporation | Mounting apparatus and method for piezoelectric tuning fork |
| US4479098A (en) | 1981-07-06 | 1984-10-23 | Watson Industries, Inc. | Circuit for tracking and maintaining drive of actuator/mass at resonance |
| JPS5851204A (ja) | 1981-09-21 | 1983-03-25 | Honda Motor Co Ltd | 多気筒内燃機関の動弁装置 |
| US4654663A (en) | 1981-11-16 | 1987-03-31 | Piezoelectric Technology Investors, Ltd. | Angular rate sensor system |
| GB2111209B (en) | 1981-12-08 | 1986-03-19 | Nat Res Dev | Piezoelectric oscillatory gyroscopes |
| FR2531532A1 (fr) | 1982-08-05 | 1984-02-10 | Flopetrol | Capteur piezo-electrique, notamment pour la mesure de pressions |
| US4454443A (en) | 1983-03-21 | 1984-06-12 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Quartz resonators for acceleration environments |
| US4469979A (en) | 1983-05-27 | 1984-09-04 | Statek Corporation | Microresonator of double-ended tuning fork configuration |
| US4899587A (en) | 1984-01-23 | 1990-02-13 | Piezoelectric Technology Investors, Limited | Method for sensing rotation using vibrating piezoelectric elements |
| USRE32931E (en) | 1984-01-23 | 1989-05-30 | Piezoelectric Technology Investors, Inc. | Vibratory angular rate sensor system |
| US4538461A (en) | 1984-01-23 | 1985-09-03 | Piezoelectric Technology Investors, Inc. | Vibratory angular rate sensing system |
| JPH0743262B2 (ja) | 1985-06-21 | 1995-05-15 | 東京航空計器株式会社 | 振動ジャイロ |
| JPS6342417A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-23 | Japan Storage Battery Co Ltd | 圧電体角速度センサ− |
| SE466817B (sv) | 1989-02-27 | 1992-04-06 | Bofors Ab | Foer gyro avsett sensorelement |
| SE512378C2 (sv) | 1991-01-08 | 2000-03-06 | Colibri Pro Dev Ab | För stämgaffelgyro avsett elektrodmönster |
| DE69213976T2 (de) * | 1991-03-12 | 1997-04-03 | New Sd Inc | Stimmgabelinertialsensor mit einem Ende und Verfahren |
| DE69316745T2 (de) * | 1992-11-17 | 1998-07-16 | Citizen Watch Co Ltd | Drehgeschwindigkeitsdetektorschaltung |
| US5444639A (en) * | 1993-09-07 | 1995-08-22 | Rockwell International Corporation | Angular rate sensing system and method, with digital synthesizer and variable-frequency oscillator |
| JP3270239B2 (ja) | 1994-03-18 | 2002-04-02 | 松下電器産業株式会社 | 加速度センサ |
| JP2780643B2 (ja) * | 1994-06-03 | 1998-07-30 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| US5794080A (en) * | 1994-08-31 | 1998-08-11 | Nikon Corporation | Piezoelectric vibration angular velocity meter and camera using the same |
| JPH0894362A (ja) | 1994-09-20 | 1996-04-12 | Yoshiro Tomikawa | 振動型ジャイロスコープ |
| JPH08247768A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Nippondenso Co Ltd | 角速度センサ |
| JP3360491B2 (ja) | 1995-07-04 | 2002-12-24 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
| JP3360510B2 (ja) | 1995-12-19 | 2002-12-24 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
| JP3360500B2 (ja) | 1995-09-08 | 2002-12-24 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
| EP0791804B1 (en) | 1995-09-08 | 2004-11-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Angular velocity sensor |
| US6098460A (en) * | 1995-10-09 | 2000-08-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor and shock detecting device using the same |
| US5929555A (en) * | 1996-04-16 | 1999-07-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and method for fabricating the same |
| JP3646759B2 (ja) | 1996-10-03 | 2005-05-11 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| JPH10221087A (ja) | 1996-12-06 | 1998-08-21 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープ、その製造方法、振動子を励振する方法および振動子の振動を検出する方法 |
| JPH11201758A (ja) | 1998-01-13 | 1999-07-30 | Nikon Corp | 圧電振動子及びこれを用いた圧電振動角速度計 |
| JPH11218589A (ja) | 1998-02-02 | 1999-08-10 | Alps Electric Co Ltd | 電気部品の収納構造 |
| US6140748A (en) * | 1999-03-18 | 2000-10-31 | Board Of Regents Of The University Of Nebraska | High voltage sensitivity coriolis force driven peizoelectric transformer-gryoscope system, and method of use |
-
1998
- 1998-05-06 JP JP12321698A patent/JP3335122B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-04-27 US US09/300,009 patent/US6532817B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-04 AT AT99303456T patent/ATE301820T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-05-04 EP EP99303456A patent/EP0955519B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-05-04 DE DE1999626566 patent/DE69926566T2/de not_active Expired - Lifetime
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Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002122431A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびその製造方法 |
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| JP2008113380A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子の製造方法、水晶振動子及び電子部品 |
| JP2009200706A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
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