JP2002122431A - 角速度センサおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検出電極および駆動電極を精度良く形成する
ことが可能な、出力精度の向上した角速度センサおよび
その製造方法を提供することを目的とするものである。 【解決手段】 第１の振動体１１における互いに隣り合
うように配置された駆動電極１３と検出電極１４間をレ
ーザー照射により分離し、互いに隣り合う駆動電極１３
と検出電極１４間の空隙の幅を一定とし、出力精度が安
定する構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、航空機、車両等の
移動体の姿勢制御やナビゲーションシステム等に用いら
れる角速度センサおよびその製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の角速度センサとしては特
開平９−２５７４９０号公報に開示されたものが知られ
ている。

【０００３】以下に従来の角速度センサについて、図面
を参照しながら説明する。

【０００４】図９は従来の角速度センサの斜視図であ
る。

【０００５】図９において、１は例えば水晶からなる第
１の振動体で、この第１の振動体１における表面には、
第１の検出電極２を設けるとともに、裏面に第２の検出
電極（図示せず）を設けている。３は第２の振動体で、
この第２の振動体３の表面には第３の検出電極４を設け
るとともに、裏面に第４の検出電極（図示せず）を設け
ている。５は駆動電極で、この駆動電極５は前記第１の
振動体１および第２の振動体３の接続部分に設けられて
いる。また、前記駆動電極５の裏面側にも同様に駆動電
極（図示せず）が設けられている。６は接続部で、この
接続部６は前記第１の振動体１および第２の振動体３の
一端部を一体に接続するとともに、この接続部６に前記
第１の検出電極２、第２の検出電極（図示せず）、第３
の検出電極４、第４の検出電極（図示せず）および駆動
電極５から延出される回路パターン７を設けており、さ
らにこの回路パターン７を３つの外部電極８に電気的に
接続させている。

【０００６】以上のように構成された従来の角速度セン
サについて、次に、その組立方法を説明する。

【０００７】まず、フォトリソグラフィにより第１の振
動体１、第２の振動体３および接続部６を形成する。

【０００８】次に、第１の振動体１、第２の振動体３お
よび接続部６に銀を印刷することにより、第１の検出電
極２、第２の検出電極（図示せず）、第３の検出電極
４、第４の検出電極（図示せず）および駆動電極５を形
成する。

【０００９】次に、同様に、銀を印刷することにより、
回路パターン７および外部電極８を形成する。

【００１０】以上のように構成、組立てられた従来の角
速度センサについて、次に、その動作を説明する。

【００１１】外部電極８に交流電圧を印加させると駆動
電極５により、第１の振動体１および第２の振動体３が
Ｘ軸の方向に振動する。そして、この振動状態におい
て、Ｚ軸を中心として角速度センサに角速度が付与され
ると、第１の振動体１および第２の振動体３にコリオリ
力が生じ、第１の振動体１および第２の振動体３が変形
する。そして、この変形により生じた電荷を第１の検出
電極２、第２の検出電極（図示せず）、第３の検出電極
４および第４の検出電極（図示せず）から出力し、外部
電極８を介して、相手側コンピュータ（図示せず）等に
入力し、角速度を検出するものである。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成においては、第１の検出電極２、第２の検出電
極（図示せず）、第３の検出電極４、第４の検出電極
（図示せず）および駆動電極５を印刷により形成したた
め、印刷の精度により電極を形成する位置が移動するこ
ととなり、第１の振動体１および第２の振動体３に生じ
る電荷を検出するのが不安定となるから、角速度センサ
の出力精度が劣化してしまうという課題を有していた。

【００１３】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で、検出電極および駆動電極を精度良く形成することが
可能な、出力精度の向上した角速度センサおよびその製
造方法を提供することを目的とするものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、駆動電極と検出電極のいずれか一方、もし
くは両方を設けた第１の振動体と、検出電極と駆動電極
のいずれか一方、もしくは両方を設けた第２の振動体
と、前記第１の振動体の一端部と前記第２の振動体の一
端部とを接続する接続部とを備え、前記第１の振動体お
よび第２の振動体における互いに隣り合うように配置さ
れた電極間をレーザー照射により分離し、互いに隣り合
う電極間の空隙の幅を略一定としたもので、この構成に
よれば、出力精度の安定した角速度センサおよびその製
造方法を提供することができるものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、駆動電極と検出電極のいずれか一方、もしくは両方
を設けた第１の振動体と、検出電極と駆動電極のいずれ
か一方、もしくは両方を設けた第２の振動体と、前記第
１の振動体の一端部と前記第２の振動体の一端部とを接
続する接続部とを備え、前記第１の振動体および第２の
振動体における互いに隣り合うように配置された電極間
をレーザー照射により分離し、互いに隣り合う電極間の
空隙の幅を略一定としたもので、第１の振動体および第
２の振動体に駆動電極および検出電極を精度良く設ける
ことができるから、第１の振動体および第２の振動体に
生じる電荷を精度良く検出電極から出力することができ
るという作用を有するものである。

【００１６】また、請求項２に記載の発明は、表面およ
び裏面に駆動電極を設けるとともに両側面から稜線をま
たいで表面および裏面にわたって一対の検出電極を設け
た第１の振動体と、表面および裏面に駆動電極を設ける
とともに両側面から稜線をまたいで表面および裏面にわ
たって一対の検出電極を設けた第２の振動体と、前記第
１の振動体における一端部と第２の駆動体における一端
部とを接続した接続部とを備え、前記第１の振動体およ
び第２の振動体における表面および裏面で互いに隣り合
うように配置された駆動電極と検出電極との間をレーザ
ー照射により分離し、駆動電極と検出電極との空隙の幅
を略一定としたもので、コンデンサ成分を互いに足し合
わせることによりゼロとすることができるから、容量結
合により生じた不要な信号をキャンセルすることができ
ることとなり、これにより、角速度センサの出力特性が
向上するという作用を有するものである。

【００１７】請求項３に記載の発明は、フォトリソグラ
フィにより第１の振動体、第２の振動体および接続部を
形成する工程と、前記第１の振動体および第２の振動体
に電極を蒸着により形成する工程と、前記第１の振動体
および第２の振動体における電極にレーザーを照射する
ことにより、隣り合うように配置された電極間を分離
し、駆動電極および検出電極を第１の振動体および第２
の振動体に形成する工程とからなるもので、第１の振動
体および第２の振動体における電極にレーザーを照射す
ることにより、隣り合うように配置された電極間を分離
し、駆動電極および検出電極を第１の振動体および第２
の振動体に形成したため、駆動電極および検出電極を容
易にかつ精度良く形成することができるという作用を有
するものである。

【００１８】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の第１の振動体および第２の振動体における互いに隣り
合うように配置された表側および裏側の電極間を第１の
振動体あるいは第２の振動体を貫通するレーザー照射に
より同時に分離し、駆動電極および検出電極の空隙を表
面と裏面とで同時に形成するようにした角速度センサの
製造方法で、この方法によれば、第１の振動体あるいは
第２の振動体を貫通するレーザー照射により同時に分離
し、駆動電極および検出電極の空隙を表面と裏面とで同
時に形成するようにしたため、第１の振動体および第２
の振動体に結晶欠陥が生じ、第１の振動体および第２の
振動体の結晶の配列が不規則になった場合には、その不
規則になった部分でレーザーの進む角度が曲がることと
なり、裏面側の電極を連続的に形成することができない
ということになるから、第１の振動体および第２の振動
体における結晶欠陥の有無を検出することができるとい
う作用を有するものである。

【００１９】請求項５に記載の発明は、請求項３に記載
の隣り合うように配置された電極間を１回目のレーザー
照射により分離した後、さらに、同一の箇所に２回目の
レーザー照射を行い、隣り合うように配置された電極間
の残渣異物を除去した角速度センサの製造方法で、この
方法によれば、隣り合うように配置された電極間を１回
目のレーザー照射により分離した後、さらに、同一の箇
所に２回目のレーザー照射を行い、隣り合うように配置
された電極間の残渣異物を除去したため、１回目のレー
ザー照射により発生した残渣異物を確実に電極間から除
去することができることとなり、残渣異物が特性を変動
させるということが無いから、出力特性の安定した角速
度センサを提供することができるという作用を有するも
のである。

【００２０】請求項６に記載の発明は、請求項３に記載
の第１の振動体および第２の振動体における互いに隣り
合うように配置された電極間を分離するレーザー照射の
開始点を、駆動電極あるいは検出電極を形成していない
箇所から開始するようにした製造方法で、この方法によ
れば、第１の振動体および第２の振動体における互いに
隣り合うように配置された電極間を分離するレーザー照
射の開始点を、駆動電極あるいは検出電極を形成してい
ない箇所から開始するようにしたため、出力の不安定な
レーザー照射の開始点で電極を形成することが無くな
り、検出電極および駆動電極を精度良く形成することが
できるという作用を有するものである。

【００２１】以下、本発明の一実施の形態における角速
度センサについて、図面を参照しながら説明する。

【００２２】図１は本発明の一実施の形態における角速
度センサの表側から見た斜視図、図２は同裏側から見た
斜視図である。

【００２３】図１、図２において、１１は互いに結晶軸
の異なる単結晶の水晶製の薄板を貼り合わせた第１の振
動体で、この第１の振動体１１の表面に図１に示すよう
に、金からなる第１の駆動電極１２を設けるとともに、
裏面に図２に示すように、第２の駆動電極１３を設け、
かつ外側面に第１の検出電極１４を稜線１５をまたいで
表面および裏面にわたって設けている。さらに、第１の
振動体１１の内側面に金からなる第２の検出電極１６を
設けており、この第２の検出電極１６を、第１の検出電
極１４と同様に、稜線１５をまたいで第１の振動体１１
の表面および裏面にわたって設けている。そして、第１
の駆動電極１２、第２の駆動電極１３、第１の検出電極
１４および第２の検出電極１６は互いに隣り合う電極間
の空隙の幅を略一定となるように構成されている。１７
は互いに結晶軸の異なる単結晶の水晶製の薄板を貼り合
わせた第２の振動体で、この第２の振動体１７は表面に
金からなる第３の駆動電極１８を設けるとともに、裏面
に第４の駆動電極１９を設け、かつ外側面に第２の振動
体１７における稜線１５をまたいで表面から裏面にわた
って、第３の検出電極２０を設け、さらに内側面に第２
の振動体１７における稜線１５をまたいで表面および裏
面にわたって、第４の検出電極２３を設けている。そし
てまた、第３の駆動電極１８、第４の駆動電極１９、第
３の検出電極２０および第４の検出電極２３は互いに隣
り合う電極間の空隙の幅を略一定となるように構成され
ている。２１は水晶からなる接続部で、この接続部２１
は、第１の振動体１１および第２の振動体１７の一端を
接続するとともに、この接続部２１に前記第１の駆動電
極１２、第２の駆動電極１３、第３の駆動電極１８、第
４の駆動電極１９、第１の検出電極１４、第２の検出電
極１６、第３の検出電極２０および第４の検出電極２３
から延出された回路パターン２４を設け、さらに、この
回路パターン２４を根元に設けた外部電極２５に電気的
に接続させている。

【００２４】以上のように構成された本発明の一実施の
形態における角速度センサについて、次に、その組立方
法を説明する。

【００２５】まず、互いに結晶軸の異なる単結晶からな
る水晶製の薄板を貼り合わせた後、フォトリソグラフィ
により切断し、第１の振動体１１、第２の振動体１７お
よび接続部２１からなる音叉を形成する。

【００２６】次に、第１の振動体１１および第２の振動
体１７の全面、接続部２１の回路パターン２４および外
部電極２５を設ける位置に、金を蒸着することにより、
分離前の電極、回路パターン２４および外部電極２５を
形成する。

【００２７】次に、図３に示すように、第１の振動体１
１における裏側から、薄膜を設けていない箇所を開始点
２６とし、この開始点２６からレーザー光を第１の振動
体１１を貫通するように照射し、第１の検出電極１４と
第２の駆動電極１３との間を分離するとともに、第１の
検出電極１４と第１の駆動電極１２との間を分離する。
これは、第１の振動体１１に透過性のある水晶を用いて
いるので可能となるものである。

【００２８】また、レーザーは平行光なので、第１の検
出電極１４と第２の駆動電極１３のレーザーによる分離
した電極形状と、第１の検出電極１４と第１の駆動電極
１２のレーザーによる分離した電極形状とが同一にな
る。

【００２９】このとき、第１の振動体１１における電極
にレーザーを照射することにより、隣り合うように配置
された第１の検出電極１４と第２の駆動電極１３との間
および第１の検出電極１４と第１の駆動電極１２との間
を分離し、第１の検出電極１４を第１の振動体１１に形
成したため、第１の検出電極１４を容易にかつ精度良く
形成することができるという効果を有するものである。

【００３０】また、第１の振動体１１における互いに隣
り合うように配置された第１の検出電極１４と第２の駆
動電極１３との間および第１の検出電極１４と第１の駆
動電極１２との間を分離するレーザー照射の開始点２６
を、第１の検出電極１４、第２の駆動電極１３および第
１の駆動電極１２を設けていない箇所から開始するよう
にしたため、出力の不安定なレーザー照射の開始点２６
で第１の検出電極１４を形成することが無くなり、第１
の検出電極１４を精度良く形成することができるという
効果を有するものである。

【００３１】ここで、フォトリソグラフィにより、切断
する際に過大な応力が第１の振動体１１に加わり、図４
に示すように、第１の振動体１１の内部に結晶欠陥２７
が発生し、この結晶欠陥２７により、第１の振動体１１
から発生する電荷の量が不安定になる場合を考えると、
本発明の一実施の形態における角速度センサの製造方法
においては、第１の振動体１１を貫通するレーザー照射
により、第１の検出電極１４と第２の駆動電極１３との
間および第１の検出電極１４と第１の駆動電極１２との
間を同時に分離し、第２の駆動電極１３および第１の駆
動電極１２と第１の検出電極１４との間の空隙を第１の
振動体１１における表面と裏面とで同時に形成するよう
にしたため、第１の振動体１１に結晶欠陥２７が生じ、
第１の振動体１１の結晶の配列が不規則になった場合に
は、その不規則になった結晶欠陥２７でレーザーの進む
角度が図４に示すように、曲がることとなり、結果とし
て、第１の検出電極１４における裏面側を連続的に形成
することができないこととなるから、第１の振動体１１
における結晶欠陥２７の有無を検出することができると
いう効果を有するものである。

【００３２】次に、第１の振動体１１における裏側か
ら、薄膜を設けていない箇所を開始点２６とし、この開
始点２６からレーザー光を第１の振動体１１を貫通する
ように照射し、第２の検出電極１６と第２の駆動電極１
３との間を分離するとともに、第２の検出電極１６と第
１の駆動電極１２との間を分離する。

【００３３】このとき、第１の振動体１１における互い
に隣り合うように配置された第２の駆動電極１３と第１
の検出電極１４との間、第１の検出電極１４と第１の駆
動電極１２との間、第１の駆動電極１２と第２の検出電
極１６との間および第２の検出電極１６と第２の駆動電
極１３との間をレーザー照射により分離し、互いに隣り
合う電極間の空隙の幅を略一定としたため、レーザーを
照射する位置および精度を調整することにより、電極を
設ける位置を正確に調整できることとなり、第１の振動
体１１に第１の駆動電極１２、第２の駆動電極１３、第
１の検出電極１４および第２の検出電極１６を精度良く
設けることができるから、第１の振動体１１に生じる電
荷を精度良く第１の検出電極１４および第２の検出電極
１６から出力することができるという効果を有するもの
である。

【００３４】次に、第２の振動体１７における裏側か
ら、レーザー光を第２の振動体１７を貫通するように照
射し、第４の検出電極２３と第４の駆動電極１９との間
を分離するとともに、第４の検出電極２３と第３の駆動
電極１８との間を分離した後、同様に、第２の振動体１
７における裏側から、レーザー光を第２の振動体１７を
貫通するように照射し、第３の検出電極２０と第４の駆
動電極１９との間を分離するとともに、第３の検出電極
２０と第３の駆動電極１８との間を分離する。

【００３５】最後に、第１の振動体１１および第２の振
動体１７の１回目のレーザー照射をした箇所に２回目の
レーザー照射を行う。

【００３６】ここで、図５に示すように、１回目のレー
ザー照射により、第２の駆動電極１３あるいは第１の検
出電極１４がレーザーの熱により溶融し、飛散した金か
らなる残渣異物２８が、第１の振動体１１における第２
の駆動電極１３と第１の検出電極１４との間の空隙に付
着し、第２の駆動電極１３と第１の検出電極１４とが導
通してしまい、第２の駆動電極１３および第１の検出電
極１４としての機能をしなくなる場合を考えると、本発
明の一実施の形態における角速度センサおよびその製造
方法においては、隣り合うように配置された第１の検出
電極１４と第２の駆動電極１３間を１回目のレーザー照
射により分離した後、さらに、同一の箇所に２回目のレ
ーザー照射を行い、隣り合うように配置された第１の検
出電極１４と第２の駆動電極１３間の残渣異物２８を除
去したため、１回目のレーザー照射により発生した残渣
異物２８を確実に第１の検出電極１４と第２の駆動電極
１３間から除去することができることとなり、結果とし
て、残渣異物２８が特性を変動させるということがない
から、出力特性の安定した角速度センサを提供すること
ができるという効果を有するものである。

【００３７】以上のように構成された本発明の一実施の
形態における角速度センサについて、次に、その動作を
図面を参照しながら説明する。

【００３８】音叉における第１の駆動電極１２、第２の
駆動電極１３、第３の駆動電極１８および第４の駆動電
極１９に交流電圧を印加する。このとき、まず、図６に
示すように、第１の振動体１１における第２の駆動電極
１３に正電圧を印加するとともに、第１の駆動電極１２
に負電圧を印加すると、第１の検出電極１４側では、水
晶製の薄板における結晶軸の方向と電荷の方向が一致す
るため、伸びることとなるとともに、第２の検出電極１
６側では、結晶軸の方向と電荷の方向が反対になるため
縮むこととなり、第１の振動体１１が第２の検出電極１
６側に傾く。同様に、第２の振動体１７における第３の
駆動電極１８に正電圧を印加するとともに、第４の駆動
電極１９に負電圧を印加すると、第３の検出電極２０側
では、水晶製の薄板における結晶軸の方向と電荷の方向
が一致するため、伸びることとなるとともに、第４の検
出電極２３側では、結晶軸の方向と電荷の方向が反対に
なるため縮むこととなり、結果として、第２の振動体１
７が第４の検出電極２３側に傾く。次に、図７に示すよ
うに、第１の振動体１１における第２の駆動電極１３に
負電圧を印加するとともに、第１の駆動電極１２に正電
圧を印加すると、第１の検出電極１４側では、水晶製の
薄板における結晶軸の方向と電荷の方向が反対になるた
め、縮むことになるとともに、第２の検出電極１６側で
は、結晶軸の方向と電荷の方向が同じになるため伸びる
こととなり、結果として、第１の振動体が第１の検出電
極１４側に傾くことになる。そして、第１の駆動電極１
２に図８（ａ）に示すような電圧を印加するとともに、
第２の駆動電極１３に図８（ｂ）に示すような電圧を、
互いに極性が異なるように交流電圧を印加すると、第１
の振動体１１が接続部２１の長手方向に屈曲振動する。

【００３９】ここで、第１の駆動電極１２および第２の
駆動電極１３と第１の検出電極１４との間の空気層から
なる空隙が容量結合によりコンデンサとなり、第１の検
出電極１４には、第１の駆動電極１２からは図８（ａ）
の電圧よりも位相が約９０度遅れた不要な出力信号が生
じるとともに、第１の検出電極１４には、第２の駆動電
極１３からは図８（ｂ）の電圧よりも位相が約９０度遅
れた不要な出力信号が生じる場合を考えると、本発明の
一実施の形態における角速度センサおよびその製造方法
においては、表面および裏面で互いに隣り合うように配
置された第２の駆動電極１３と第１の検出電極１４との
間および第１の駆動電極１２と第１の検出電極１４との
間をレーザー照射により分離し、図６、図７に示すよう
に、第２の駆動電極１３と第１の検出電極１４との空隙
３０の幅と第１の駆動電極１２と第１の検出電極１４と
の間の空隙２９を略一定としたため、第１の駆動電極１
２から第１の検出電極１４に図８（ｃ）に示す不要な出
力信号を生じさせるとともに、第２の駆動電極１３から
第１の検出電極１４に図８（ｄ）に示す出力信号を生じ
させ、かつ、互いに位相が１８０度異なるとともに、振
幅が略同一となり、結果として、第１の検出電極１４に
て図８（ｃ）と図８（ｄ）の出力信号を足し合わせるこ
とにより、ゼロとすることができるから、容量結合によ
り生じた不要な信号をキャンセルすることができること
となり、これにより、角速度センサの出力特性が向上す
るという効果を有するものである。

【００４０】同様に、第２の振動体１７における第３の
駆動電極１８に負電圧を印加するとともに、第４の駆動
電極１９に正電圧を印加すると、第３の検出電極２０側
では、水晶製の薄板における結晶軸の方向と電荷の方向
が反対になるため、縮むことになるとともに、第４の検
出電極２３側では、結晶軸の方向と電荷の方向が同じに
なるため伸びることとなり、結果として、第２の振動体
が第３の検出電極２０側に傾くことになる。

【００４１】そして、交流電圧を印加することにより、
電極に正電圧および負電圧を交互に加えると、音叉は接
続部２１の長手方向に駆動方向の固有振動数で速度Ｖで
屈曲振動する。そしてまた、この第１の振動体１１およ
び第２の振動体１７が屈曲振動している状態において、
音叉が音叉の長手方向の中心軸周りに角速度ωで回転す
ると、第１の振動体１１および第２の振動体１７にＦ＝
２ｍｖωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力によ
り、第１の検出電極１４、第２の検出電極１６、第３の
検出電極２０および第４の検出電極２３に出力される電
荷からなる出力信号を金からなるリード線（図示せず）
を介して相手側のコンピュータ等に入力することによ
り、角速度を検出するものである。

【００４２】

【発明の効果】以上のように、本発明は第１の振動体お
よび第２の振動体における互いに隣り合うように配置さ
れた電極間をレーザー照射により分離し、互いに隣り合
う電極間の空隙の幅を略一定としたため、レーザーを照
射する位置および精度を調整することにより、電極を設
ける位置を正確に調整できることとなり、第１の振動体
および第２の振動体に駆動電極および検出電極を精度良
く設けることができるから、第１の振動体および第２の
振動体に生じる電荷を精度良く検出電極から出力するこ
とができることとなり、出力精度の安定した角速度セン
サおよびその製造方法を提供することができるという効
果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態における角速度センサの
表側から見た斜視図

【図２】同裏側から見た斜視図

【図３】同要部である第１の振動体にレーザーを照射し
て電極を分離する状態を示す斜視図

【図４】同要部である第１の振動体にレーザーを照射
し、レーザーが結晶欠陥で屈曲する状態を示す上面図

【図５】同要部である第１の振動体に残渣異物が付着す
る状態を示す側面図

【図６】同動作する状態を示す上面図

【図７】同動作する状態を示す上面図

【図８】同要部である検出電極に駆動電極から不要な信
号が到達する状態を示す図

【図９】従来の角速度センサの斜視図

【符号の説明】

１１ 第１の振動体 １２，１３，１８，１９ 駆動電極 １４，１６，２０，２３ 検出電極 １５ 稜線 １７ 第２の振動体 ２１ 接続部 ２６ レーザー照射の開始点 ２７ 結晶欠陥 ２８ 残渣異物 ２９，３０ 空隙

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 尾本 勝彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山崎 稔夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 緒方 基樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 亀井 誠 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F105 AA02 AA03 BB04 BB15 CC01 CD02 CD06

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動電極と検出電極のいずれか一方、も
   しくは両方を設けた第１の振動体と、検出電極と駆動電
   極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第２の振動体
   と、前記第１の振動体の一端部と前記第２の振動体の一
   端部とを接続する接続部とを備え、前記第１の振動体お
   よび第２の振動体における互いに隣り合うように配置さ
   れた電極間をレーザー照射により分離し、互いに隣り合
   う電極間の空隙の幅を略一定とした角速度センサ。
2. 【請求項２】 表面および裏面に駆動電極を設けるとと
   もに両側面から稜線をまたいで表面および裏面にわたっ
   て一対の検出電極を設けた第１の振動体と、表面および
   裏面に駆動電極を設けるとともに両側面から稜線をまた
   いで表面および裏面にわたって一対の検出電極を設けた
   第２の振動体と、前記第１の振動体における一端部と第
   ２の駆動体における一端部とを接続した接続部とを備
   え、前記第１の振動体および第２の振動体における表面
   および裏面で互いに隣り合うように配置された駆動電極
   と検出電極との間をレーザー照射により分離し、駆動電
   極と検出電極との空隙の幅を略一定とした角速度セン
   サ。
3. 【請求項３】 フォトリソグラフィにより第１の振動
   体、第２の振動体および接続部を形成する工程と、前記
   第１の振動体および第２の振動体に電極を蒸着により形
   成する工程と、前記第１の振動体および第２の振動体に
   おける電極にレーザーを照射することにより、隣り合う
   ように配置された電極間を分離し、駆動電極および検出
   電極を第１の振動体および第２の振動体に形成する工程
   とからなる角速度センサの製造方法。
4. 【請求項４】 第１の振動体および第２の振動体におけ
   る互いに隣り合うように配置された表側および裏側の電
   極間を第１の振動体あるいは第２の振動体を貫通するレ
   ーザー照射により同時に分離し、駆動電極および検出電
   極の空隙を表面と裏面とで同時に形成するようにした請
   求項３記載の角速度センサの製造方法。
5. 【請求項５】 隣り合うように配置された電極間を１回
   目のレーザー照射により分離した後、さらに、同一の箇
   所に２回目のレーザー照射を行い、隣り合うように配置
   された電極間の残渣異物を除去した請求項３記載の角速
   度センサの製造方法。
6. 【請求項６】 第１の振動体および第２の振動体におけ
   る互いに隣り合うように配置された電極間を分離するレ
   ーザー照射の開始点を、駆動電極あるいは検出電極を形
   成していない箇所から開始するようにした請求項３記載
   の角速度センサの製造方法。