JPH04106410A - 検出回路 - Google Patents

検出回路

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JPH04106410A
JPH04106410A JP2225846A JP22584690A JPH04106410A JP H04106410 A JPH04106410 A JP H04106410A JP 2225846 A JP2225846 A JP 2225846A JP 22584690 A JP22584690 A JP 22584690A JP H04106410 A JPH04106410 A JP H04106410A
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coriolis
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武 中村
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は検出回路に関し、特にたとえば3角柱状の振
動ジャイロの出力を測定するだめの検出回路に関する。
(従来技術) 第10図はこの発明の背景となる従来の検出回路の一例
を示す回路図である。この検出回路1は、たとえば3角
柱状の振動ジャイロ2の出力を測定するために用いられ
る。
振動ジャイロ2の2つの圧電素子3と他の圧電素子4と
の間には、励振信号発生回路5が接続される。この場合
、振動ジャイロ2の2つの圧電素子3には、それぞれ抵
抗6を介して、励振信号発生回路5が接続される。さら
に、これらの圧電素子3の出力は、差動増幅回路7に入
力される。差動増幅回路7の出力は、平滑回路8で直流
出力に変換される。
振動ジャイロ2は、励振信号発生回路5によって、他の
圧電素子4の主面に直交する方向に屈曲振動させられる
。このとき、2つの圧電素子3間の静電容量の差から発
生する信号が互いに同じになるように調整することによ
り、差動増幅回路7からの出力はOとなる。
振動ジャイロ2がその軸を中心として回転した場合、振
動ジャイロ2の振動方向と直交する方向にコリオリカか
働く。そのため、振動ジャイロ2の振動方向は、無回転
時の振動方向からずれる。
そのため、2つの圧電素子3間に出力の差が生し、差動
増幅回路7から出力が得られる。この出力は、回転角速
度の大きさに応じた値となる。したがって、この出力を
平滑回路8で平滑した出力を測定することによって、振
動ジャイロ2に加わった回転角速度を測定することがで
きる。
(発明が解決し、ようとする課題) しかしながら、圧電素子の静電容量は雰囲気温度や経時
変化などによって変動し、無回転時においても差動増幅
回路から出力がでるようになる。
この出力が測定誤差となり、正確な回転角速度を測定す
ることができなくなる。
それゆえに、この発明の主たる目的は、雰囲気温度の変
化や経時変化によって、測定誤差が発生しにくい検出回
路を提供することである。
(課題を解決するための手段) この発明は、多角柱状の振動体と、振動体の少なくとも
2つの側面に形成される圧電素子とを含む振動ジャイロ
の出力を測定するための検出回路であって、2つの前記
圧電素子に人力することによって振動体を励振するため
の励振信号発生回路と、励振信号発生回路が接続された
2つの圧電素子からの出力の差を検出するための差動回
路と、差動回路からの出力信号を同期検波するための同
期検波回路と、同期検波回路によって検波される出力信
号の位相を調整するための位相調整回路とを含む、検出
回路である。
(作用) 圧電素子の静電容量により圧電素子の駆動信号は、励振
信号発生回路の出力インピーダンスと差動回路の入力イ
ンピーダンスとから、励振信号に比べて遅れ信号となる
。また、コリオリカによる出力は、励振信号に比べて進
み信号となる。そのため、圧電素子の駆動信号とコリオ
リカによる出力とは、90°の位相差を有する。同期検
波回路では、コリオリカによる出力に同期させて、検波
が行われる。同期検波回路によって検波される出力の位
相は、位相調整回路で調整される。
(発明の効果) この発明によれば、コリオリカに同期して検波が行われ
るため、それに対して90°位相差のある駆動信号は、
正部分と負部分とで相殺される。
このとき、静電容量による信号が正確に相殺されるよう
に、位相調整回路で検波される信号の位相が調整される
。そのため、圧電素子の静電容量の変動による誤差がな
くなり、回転角速度に応じた正確な出力を得ることがで
きる。したがって、振動ジャイロに加わった回転角速度
を正確に測定することができる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例) 第1図はこの発明の一実施例を示す回路図である。この
検出回路10は、たとえば振動ジャイロ12の出力を検
出するために用いられる。振動ジャイロ12は、第2A
図および第2B図に示すように、たとえば正3角柱状の
振動体14を含む。
この振動体14は、たとえばエリンバ、鉄−ニソケル合
金1石英、ガラス、水晶、セラミックなど、−最的に機
械的な振動を生じる材料で形成される。
この振動体14には、その3つの側面の中央部にそれぞ
れ圧電素子16a、16bおよび16Cが形成される。
圧電素子16aは、たとえば磁器からなる圧電層18a
を含み、圧電層18aの両主面にはそれぞれ電極20a
および22aが形成される。なお、これらの電極2.0
aおよび22aは、たとえば金、銀、アルミニウム、ニ
ッケル。
銅−ニッケル合金(モネルメタル)などの電極材料で、
たとえばスパッタリング、蒸着などの薄膜技術であるい
はその材料によっては印刷技術で形成される。同様に、
他の圧電素子16b、16cも、それぞれ、たとえば磁
器からなる圧電層18b、18cを含み、それらの圧電
層18b、18Cの両主面にも、電極20b、22bお
よび電極20C,22cが形成される。そして、これら
の圧電素子16a〜16cの一方の電極20a〜20C
は、たとえば導電接着剤で振動体14に接着される。
さらに、振動体14のノード点近傍は、−たとえば金属
線からなる支持部材24および26で支持される。この
支持部材24および26は、たとえば溶接することによ
って、振動体14のノード点近傍に固着される。
圧電素子16aには抵抗30が接続され、圧電素子16
bには抵抗32が接続される。これらの抵抗30.32
には、位相補正回路34を介して発振回路出力w36が
接続される。これらの位相補正回路34と発振回路出力
源36とで励振信号発生回路38が形成される。さらに
、別の圧電素子16cに、発振回路出力源36が接続さ
れる。
したがって、圧電素子16a、16bと圧電素子16C
との間に励振信号が与えられ、それによって、振動体1
4は圧電素子16cの主面に直交する方向に屈曲振動す
る。
さらに、2つの圧電素子16a、16bは、差動増幅回
路40の入力端に接続される。差動増幅回路40の出力
側は、結合用コンデンサ42および抵抗44を介して、
平滑回路46に接続される。
平滑回路46は、たとえば2つの抵抗48.50と2つ
のコンデンサ52.54とで形成される。
抵抗44と平滑回路46との中間部分は、たとえばFE
T56を介して接地される。このFET56は、導通し
たときに差動増幅回路4oがらの出力が接地される。そ
れによって、不要な出力信号が平滑回路46に伝達され
ず、必要な出力信号のみが検波される。このFET56
を動作させるために、そのゲートにダイオード58を介
して発振回路出力源36が接続される。また、FET5
6のゲートは、抵抗60を介して接地される。これらの
FET56.ダイオード58および抵抗60などによっ
て、同期検波回路62が形成される。
さらに、抵抗44と平滑回路46との中間部分には、位
相調整回路64が接続される。位相調整回路64は、可
変抵抗器66およびコンデンサ68を含む。この可変抵
抗器66の一方の固定端子が抵抗44と平滑回路46と
の中間部分に接続され、他方の固定端子が接地される。
また、可変抵抗器66の可動端子は、コンデンサ68を
介して接地される。この位相調整回路64によって、同
期検波回路62により検波される信号の位相が調整され
る。
この振動ジャイロ12は、励振信号発生回路38からの
励振信号によって、圧電素子L6cの主面に直交する方
向に屈曲振動する。このとき、圧電素子16aについて
考えると、その周辺の等価回路は第3図に示すようにな
る。つまり、励振信号発生回路38の出力インピーダン
スZoに抵抗30が接続され、さらに抵抗30には、圧
電素子16aの静電容量Cと差動増幅回路40の入力イ
ンピーダンスZiとの並列回路が接続される。ここで、
出力インピーダンスZOと入力インピーダンスZiとの
マツチングがとれている場合、第4図に示すように、静
電容量Cによって励振信号より45’遅れた信号が出力
される。
次に、振動ジャイロ12に回転角速度が加わったとき、
コリオリカが働いて圧電素子16a、16bに起電力が
発生する。このときの等価回路は、第5図に示すような
定電流源を有する回路となる。
これを第3図と同様に定電圧源を有する回路に変換する
と、第6図に示すような回路となる。すなわち、定電圧
源に圧電素子16aによる静電容量Cが接続され、さら
に静電容量Cには、抵抗30と差動増幅回路40の入力
インピーダンスZiとの並列回路が接続される。したが
って、コリオリカによる信号は、励振信号に比べて45
°進んだ信号となる。
したがって、第8図に示すように、無回転時の静電容量
Cによる信号と回転時のコリオリカによる信号との間に
は、90°の位相差がある。したがって、差動増幅回路
40の出力側からは、このような906の位相差のある
信号が出力される。
ここで、同期検波回路62によって、コリオリカによる
信号が正の部分に同期して、これらの信号が検波される
。この場合、第8図に示すように、コリオリカによる信
号が負の部分でFET56か導通し、負の部分が平滑回
路46に伝達されないようにすればよい。したがって、
コリオリカによる信号の正の部分だけが平滑回路46で
平滑され、この信号の大きさを測定することによって回
転角速度を知ることができる。
このとき、圧電素子16aの静電容量Cによる信号は、
コリオリカによる信号と90°の位相差があるため、正
部分と負部分とが相殺されて、平滑回路46から出力さ
れない。したがって、温度変化や経時変化による圧電素
子16aの静電容量Cが変動しても、それによる測定誤
差をなくすことができる。
ここで、第9A図に示すように、圧電素子16aの静電
容量Cによる信号とコリオリカによる信号とが正確に9
0°の位相差を有しない場合、検波される信号の位相が
、位相調整回路64で調整される。この場合、可変抵抗
器66の可動端子を調整することによって検波する位置
をずらし、第9B図に示すように、静電容量Cによる信
号が完全に相殺される位置で検波が行われる。したがっ
て、静電容量Cによる信号を完全に無視することができ
、正確な回転角速度を測定することができる。
また、圧電素子16bの静電容量による誤差も、同様に
無視することができる。このように、この検出回路10
を用いれば、振動ジャイロ12による回転角速度の測定
を正確に行うことができる。
なお、上述の実施例では、励振信号発生回路38の出力
インピーダンスZOと差動増幅回路40の入力インピー
ダンスZiとのマツチングがとれている場合について説
明したが、これらのマツチングがとれていなくても、そ
れぞれの信号の励振信号に対する位相差が45″になら
ないだけで、静電容量による信号とコリオリカによる信
号との位相差は90”となる。したがって、入出力イン
ピーダンスの選定によって、これらの信号の位相差を設
けることができ、回路構成を簡単にすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す回路図である。 第2A図は第1図に示す検出回路で検出される振動ジャ
イロを示す斜視図であり、第2B図は第2A図の線nB
−nBにおける断面図である。 第3図は振動ジャイロの無回転時における圧電素子周辺
の等価回路図である。 第4図は第3図に示す回路の信号波形を示す波形図であ
る。 第5図は振動ジャイロに回転角速度が加わったときの圧
電素子周辺の等価回路図である。 第6図は第5図に示す回路の定電流源を定電圧源に変換
したときの等価回路図である。 第7図は第5図および第6図に示す回路の信号波形を示
す波形図である。 第8図は圧電素子の静電容量による信号とコリオリカに
よる信号との関係と同期検波を行った状態とを示す波形
図である。 第9A図は検波される信号が正確に90@の位相差を有
していない状態を示す波形図であり、第9B図は位相調
整回路で検波される信号の位相を調整した状態を示す波
形図である。 第10図はこの発明の背景となる従来の検出回路の一例
を示す回路図である。 図において、10は検出回路、12は振動ジャイロ、1
5a、16bおよび15.cは圧電素子、30および3
2は抵抗、38は励振信号発生回路、40は差動増幅回
路、62は同期検波回路、64は位相調整回路を示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 岡 1) 全 啓 第 図 第 図 第2A図 フロ 第 図 第 図 第 図 ssA図 第9B図 第10図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 多角柱状の振動体と、前記振動体の少なくとも2つの側
    面に形成される圧電素子とを含む振動ジャイロの出力を
    測定するための検出回路であって、2つの前記圧電素子
    に入力することによって前記振動体を励振するための励
    振信号発生回路、前記励振信号発生回路が接続された前
    記2つの圧電素子からの出力の差を検出するための差動
    回路、 前記差動回路からの出力信号を同期検波するための同期
    検波回路、および 前記同期検波回路によって検波される前記出力信号の位
    相を調整するための位相調整回路を含む、検出回路。
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