JPH07146149A - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

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JPH07146149A
JPH07146149A JP5319022A JP31902293A JPH07146149A JP H07146149 A JPH07146149 A JP H07146149A JP 5319022 A JP5319022 A JP 5319022A JP 31902293 A JP31902293 A JP 31902293A JP H07146149 A JPH07146149 A JP H07146149A
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JP
Japan
Prior art keywords
signal
circuit
signals
piezoelectric elements
output
Prior art date
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Pending
Application number
JP5319022A
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English (en)
Inventor
Takeshi Nakamura
村 武 中
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ドリフトを抑制することができ、かつ調整の
簡略化を図ることができる振動ジャイロを得る。 【構成】 振動ジャイロ10は、柱状の振動体14と圧
電素子16a,16b,16cとからなる振動子12を
含む。振動体14を屈曲振動させるために、圧電素子1
6a,16b間に発振回路28および位相補正回路30
を接続する。同期信号発生回路38,58において、圧
電素子16a,16bのそれぞれの出力信号に同期した
信号をつくる。これらの信号を同期検波回路としてのF
ET36,56に入力する。圧電素子16a,16bの
出力信号を、FET36,56を用いて、同期信号発生
回路38,58の出力信号に同期して検波する。同期検
波した信号を平滑回路50,70に入力し、平滑回路5
0,70の出力信号を差動回路72に入力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、柱状の振動体の屈曲振動を利用して回転
角速度を検出するための振動ジャイロに関する。
【0002】
【従来の技術】図9は従来の振動ジャイロの一例を示す
図解図である。振動ジャイロ1は、たとえば正3角柱状
の振動体2を含む。振動体2の側面には、圧電素子3
a,3b,3cが形成される。圧電素子3a,3bは振
動体2を屈曲振動させるための駆動用として用いられる
とともに、回転角速度に対応した信号を得るための検出
用としても用いられる。また、圧電素子3cは、振動体
2を屈曲振動させるときの帰還用として用いられる。圧
電素子3a,3bには可変抵抗器4が接続され、この可
変抵抗器4と圧電素子3cとの間に発振回路5および位
相補正回路6が接続される。さらに、圧電素子3a,3
bは、差動回路7の入力端に接続される。この差動回路
7の出力信号は同期検波回路8で同期検波される。そし
て、同期検波された信号は、平滑回路9で平滑される。
【0003】この振動ジャイロ1では、通常、無回転時
には、発振回路5および位相補正回路6から圧電素子3
a,3bに信号が与えられ、振動体2が圧電素子3c形
成面に直交する方向に屈曲振動する。このとき、可変抵
抗器4を調整することにより、圧電素子3a,3bのキ
ャパシタンスと可変抵抗器4の抵抗値との関係が調整さ
れる。このようにインピーダンス調整を行うことによっ
て、差動回路7に入力される信号の位相を揃え、差動回
路7からの出力信号を0にしている。この状態で振動体
2の軸を中心として回転すると、コリオリ力によって振
動体2の振動方向が変わる。それによって、圧電素子3
a,3bの出力信号に差が生じ、差動回路7から出力信
号が得られる。また、振動体2を励振するための励振信
号を基にして同期信号がつくり出される。そして、同期
検波回路8において、得られた同期信号に同期して差動
回路7の出力信号が検波される。さらに、同期検波され
た信号が、平滑回路9で平滑される。差動回路7の出力
信号は回転角速度に対応した信号であるため、平滑回路
9の出力信号を測定することにより、振動ジャイロ1に
加わった回転角速度を検出することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような振動ジャイ
ロでは、可変抵抗器を調整することによって無回転時の
差動回路の出力を0にしている。ところが、雰囲気温度
の変化などにより圧電素子のキャパシタンスが変動した
りすると、差動回路に入力される信号に位相差が生じ、
差動回路から出力信号が出てしまうことになる。このよ
うな出力信号がドリフトとなり、回転角速度の検出誤差
となる。そのため、可変抵抗器を調整しなおして、無回
転時の差動回路の出力を0に調整しなければならない。
【0005】その他にも、ドリフトを抑制するための手
段が考案されているが、回路が複雑であったり、調整が
難しかったり、特定の条件下でしか効果が見られないな
どの欠点があった。
【0006】それゆえに、この発明の主たる目的は、ド
リフトを抑制することができ、かつ調整の簡略化を図る
ことができる振動ジャイロを提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、柱状の振動
体と、振動体の側面に形成される複数の圧電素子と、圧
電素子のそれぞれの出力信号に同期した信号を出力する
ための複数の同期信号発生回路と、同期信号発生回路の
出力信号に同期して圧電素子のそれぞれの出力信号を検
波するための複数の同期検波回路と、同期検波回路のそ
れぞれの出力信号を平滑するための複数の平滑回路と、
平滑回路の出力信号の差を得るための差動回路とを含
む、振動ジャイロである。
【0008】
【作用】同期信号発生回路において、各圧電素子の出力
信号に同期した信号が得られる。この同期信号に同期し
て、各圧電素子の出力信号が同期検波される。同期検波
された信号は、振動体を駆動するための駆動信号と回転
角速度に対応した信号との合成信号となる。この信号を
平滑することによって、直流信号が得られる。このと
き、駆動信号成分が相殺されるように圧電素子の出力信
号を同期検波しておけば、回転角速度に対応した信号成
分のみが直流信号として得られる。これらの直流信号の
差が、差動回路から出力される。
【0009】
【発明の効果】この発明によれば、各圧電素子の出力信
号から、出力される回転角速度に対応した信号成分のみ
を直流信号として得ることができる。これらの直流信号
の差を測定することによって、回転角速度を検出するこ
とができる。このとき、差動回路から出力される信号は
直流信号の差であるため、各圧電素子の出力信号に位相
差があっても、その位相差によるドリフトは発生しな
い。したがって、雰囲気温度が変化して、各圧電素子の
出力信号の位相差が変動しても、差動回路の出力信号に
は影響がない。そのため、ドリフトを抑制するための調
整を簡略化することができる。また、ドリフトの発生を
抑制することができるため、正確に回転角速度を検出す
ることができる。
【0010】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【0011】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す図解図であ
る。振動ジャイロ10は、振動子12を含む。振動子1
2は、図2に示すように、たとえば正3角柱状の振動体
14を含む。振動体14は、たとえばエリンバ,鉄−ニ
ッケル合金,石英,ガラス,水晶,セラミックなど、一
般的に機械的な振動を生じる材料で形成される。
【0012】振動体14の側面には、圧電素子16a,
16bおよび16cが形成される。圧電素子16aは、
図3に示すように、圧電セラミックなどで形成された圧
電板18aを含み、その両面に電極20a,22aが形
成されている。そして、一方の電極22aが、振動体1
4に貼着されている。同様に、圧電素子16b,16c
は圧電板18b,18cを含み、その両面に電極20
b,22bおよび電極20c,22cが形成されてい
る。そして、これらの圧電素子16b,16cの一方の
電極22b,22cが、振動体14に貼着されている。
圧電素子16a,16bは、振動体14に屈曲振動を与
えるための駆動用として用いられるとともに、回転角速
度に対応した信号を得るための検出用としても用いられ
る。また、圧電素子16cは、振動体14を屈曲振動さ
せるときの帰還用として用いられる。
【0013】圧電素子16a,16bには、それぞれ抵
抗24,26が接続される。そして、これらの抵抗2
4,26と帰還用の圧電素子16cとの間に発振回路2
8および位相補正回路30が接続される。これらの発振
回路28および位相補正回路30の信号によって、振動
体14は、圧電素子16c形成面に直交する方向に屈曲
振動する。
【0014】圧電素子16aは、バッファ32を介して
抵抗34に接続される。抵抗34は同期検波回路として
用いられるFET36のソースに接続され、FET36
のドレインは電源電圧の中間点に接続される。また、バ
ッファ32は、同期信号発生回路38に接続される。同
期信号発生回路38は2つの抵抗40,42を含み、こ
れらの抵抗40,42にバッファ32が接続される。一
方の抵抗40は、オペアンプ44の反転入力端に接続さ
れる。また、他方の抵抗42は、オペアンプ44の非反
転入力端およびコンデンサ46に接続される。さらに、
コンデンサ46は、電源電圧の中間点に接続される。オ
ペアンプ44の出力端はダイオード48のカソードに接
続され、ダイオード48のアノードはFET36のゲー
トに接続される。さらに、FET36のソースは、平滑
回路50に接続される。
【0015】また、圧電素子16bは、バッファ52を
介して抵抗54に接続される。抵抗54は同期検波回路
として用いられるFET56のソースに接続され、FE
T56のドレインは電源電圧の中間点に接続される。ま
た、バッファ52は、同期信号発生回路58に接続され
る。同期信号発生回路58は2つの抵抗60,62を含
み、これらの抵抗60,62にバッファ52が接続され
る。一方の抵抗60は、オペアンプ64の反転入力端に
接続される。また、他方の抵抗62は、オペアンプ64
の非反転入力端およびコンデンサ66に接続される。さ
らに、コンデンサ66は、電源電圧の中間点に接続され
る。オペアンプ64の出力端はダイオード68のカソー
ドに接続され、ダイオード68のアノードはFET56
のゲートに接続される。さらに、FET56のソース
は、平滑回路70に接続される。2つの平滑回路50,
70の出力端は、差動回路72の入力端に接続される。
【0016】振動子12の圧電素子16a,16bに駆
動信号が与えられることによって振動体14が屈曲振動
するが、ここでは鋸歯状の駆動信号が与えられた場合に
ついて説明する。また、圧電素子16aの駆動信号と圧
電素子16bの駆動信号の間に、図4に示すような位相
差があるものとする。圧電素子16aの駆動信号は、オ
ペアンプ44に入力されるが、抵抗42にはコンデンサ
46が接続されているため、図5に示すように、オペア
ンプ44の非反転入力端に入力される信号は反転入力端
に入力される信号より遅れる。そのため、駆動信号の下
死点から上死点までの間においては、反転入力端への入
力信号のほうが非反転入力端への入力信号より高くな
る。したがって、オペアンプ44からは、負の信号が出
力される。
【0017】駆動信号が上死点まで達して下死点に向か
うと、オペアンプ44の反転入力端への入力信号が非反
転入力端への入力信号より低くなった時点で、オペアン
プ44の出力は反転して正の信号が出力される。このよ
うに、オペアンプ44からは、駆動信号の上死点と下死
点とで極性が反転する信号が出力される。この信号が、
同期信号としてFET36のベースに入力される。FE
T36は、ベースへの入力信号が負のとき非導通状態と
なり、ベースへの入力信号が正のとき導通状態となる。
したがって、抵抗34から出力される信号は、FET3
6が非導通状態のときのみ平滑回路50に入力される。
すなわち、駆動信号の下死点から上死点までの間の信号
のみが、平滑回路50に入力される。同様にして、圧電
素子16bの駆動信号の下死点から上死点までの間の信
号のみが、平滑回路70に入力される。
【0018】振動ジャイロ10に回転角速度が加わって
いない場合、圧電素子16a,16bに発生する信号は
同じである。ところが、振動体14の軸を中心として回
転すると、コリオリ力によって振動体14の振動方向が
変わる。そのため、圧電素子16a,16bに発生する
信号に差が生じ、たとえば図4の点線で示すように、異
なる向きの信号が発生する。平滑回路50,70には、
駆動信号の下死点から上死点までの間の信号が入力され
るため、図6に示すように、その間の回転角速度に対応
した信号も入力される。これらの信号が、平滑回路5
0,70で平滑される。
【0019】平滑回路50,70には、鋸歯状の下死点
から上死点までの間の駆動信号が入力されるため、平滑
することによって正部分と負部分とが相殺される。した
がって、平滑回路50,70からは、駆動信号成分が出
力されない。平滑回路50では、正側に大きい回転角速
度に対応した信号が平滑されるため、正の直流出力が得
られる。また、平滑回路70では、負側に大きい回転角
速度に対応した信号が平滑されるため、負の直流出力が
得られる。これらの平滑回路50,70の出力信号の差
が、差動回路72から出力される。したがって、差動回
路72の出力信号は、図8に示すように、平滑回路50
または平滑回路70の出力信号より大きいものとなり、
高感度で回転角速度を検出することができる。
【0020】このように、この振動ジャイロ10では、
駆動信号を相殺して、回転角速度に対応した信号のみを
測定することができる。しかも、圧電素子16a,16
bの出力信号は同期検波したのち平滑されるため、平滑
された信号の差をとることによって位相差を無視するこ
とができる。したがって、位相差によるドリフトを抑え
ることができる。さらに、位相差を無視できるため、雰
囲気温度の変化により圧電素子16a,16bから得ら
れる信号の位相差が変動しても、それに合わせて可変抵
抗器などを調整する必要がない。そのため、振動ジャイ
ロ10の調整を簡略化することができる。また、ドリフ
トを抑制することができるため、正確に回転角速度を検
出することができる。
【0021】なお、回転角速度に対応した信号は、図4
に示す場合だけでなく、回転角速度の方向や大きさによ
って、信号の極性や大きさが変わる。しかしながら、ど
のような場合でも、上述と同様にして、回転角速度に対
応した信号のみを測定することができる。そして、どの
ような場合でも、圧電素子16a,16bの信号の位相
差を無視することができる。また、駆動信号としては鋸
歯状波だけでなく、正弦波などを使用しても同様の結果
を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す図解図である。
【図2】図1に示す振動ジャイロの振動子を示す斜視図
である。
【図3】図2に示す振動子の断面図である。
【図4】振動子の2つの圧電素子から出力される信号を
示す波形図である。
【図5】同期信号発生回路に入力される信号および同期
信号発生回路から出力される信号を示す波形図である。
【図6】平滑回路に入力される信号を示す波形図であ
る。
【図7】平滑回路から出力される信号を示す波形図であ
る。
【図8】差動回路から出力される信号を示す波形図であ
る。
【図9】従来の振動ジャイロの一例を示す図解図であ
る。
【符号の説明】
10 振動ジャイロ 12 振動子 14 振動体 16a,16b,16c 圧電素子 36 FET 38 同期信号発生回路 50 平滑回路 56 FET 58 同期信号発生回路 70 平滑回路 72 差動回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 柱状の振動体、 前記振動体の側面に形成される複数の圧電素子、 前記圧電素子のそれぞれの出力信号に同期した信号を出
    力するための複数の同期信号発生回路、 前記同期信号発生回路の出力信号に同期して前記圧電素
    子のそれぞれの出力信号を検波するための複数の同期検
    波回路、 前記同期検波回路のそれぞれの出力信号を平滑するため
    の複数の平滑回路、および前記平滑回路の出力信号の差
    を得るための差動回路を含む、振動ジャイロ。
JP5319022A 1993-11-24 1993-11-24 振動ジャイロ Pending JPH07146149A (ja)

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JP5319022A JPH07146149A (ja) 1993-11-24 1993-11-24 振動ジャイロ

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JP5319022A JPH07146149A (ja) 1993-11-24 1993-11-24 振動ジャイロ

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ID=18105639

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JP5319022A Pending JPH07146149A (ja) 1993-11-24 1993-11-24 振動ジャイロ

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JP (1) JPH07146149A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6230562B1 (en) 1996-08-30 2001-05-15 Fujitsu Limited Detection circuit for vibratory gyro and vibratory gyro device using the same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6230562B1 (en) 1996-08-30 2001-05-15 Fujitsu Limited Detection circuit for vibratory gyro and vibratory gyro device using the same

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