JP2001165664A - 角速度センサ - Google Patents

角速度センサ

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JP2001165664A
JP2001165664A JP35430499A JP35430499A JP2001165664A JP 2001165664 A JP2001165664 A JP 2001165664A JP 35430499 A JP35430499 A JP 35430499A JP 35430499 A JP35430499 A JP 35430499A JP 2001165664 A JP2001165664 A JP 2001165664A
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克憲 松原
Masakazu Hatanaka
正数 畑中
Satoshi Ouchi
智 大内
Junichi Yukawa
潤一 湯河
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks

Abstract

(57)【要約】 【課題】 水晶等の単結晶圧電材料よりなる音叉振動子
を利用した角速度センサの駆動効率を高めることを目的
とする。 【解決手段】 直接接合された音叉振動子１０の一方の
音叉アーム１０ａの第１、第２の主面、外側面、内側面
に設けられた駆動電極１，２、検出電極３，４と他方の
音叉アーム１０ｂの第１、第２の主面、内側面、外側面
に設けられた駆動電極５、モニタ電極６、検出電極７，
８とを備え、前記駆動電極２，５は互いに同一極性であ
りかつ前記駆動電極１は前記駆動電極２，５に対して互
いに逆極性となるように駆動電源９により駆動電圧が印
加されるように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、航空機、自動車、
ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲー
ション、あるいはカメラやビデオカメラ等の手ぶれ防止
用、遠隔操作用のリモコン等に用いられる角速度センサ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年では、例えば単結晶圧電体としての
水晶板を板面内で互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶
軸方向でかつ厚み方向に２枚直接貼り合せた後、所定の
音叉形状に切り出した一体構造の角速度センサが知られ
ている。このような角速度センサの音叉振動子における
音叉アームに対する電極配置の概略模式図を図１５を用
いて以下に説明する。
【０００３】図１５において音叉振動子１００は、音叉
アーム１００ａ，１００ｂを有している。このような音
叉振動子１００において、１０１〜１０８は電極で、音
叉アーム１００ａ，１００ｂのほぼ全長にわたり配置さ
れており、これらはまず素子素材上にＣｒ等がスパッタ
もしくは蒸着された上にＡｕ，Ａｇ，Ａｌ等がスパッタ
もしくは蒸着されて形成されている。音叉アーム１００
ａの第１の主面に設けた駆動電極１０１、音叉アーム１
００ａの第２の主面に設けた駆動電極１０２を１組の駆
動電極とし、音叉アーム１００ｂの第２の主面に設けた
モニタ電極１０６、音叉アーム１００ａの外側面、内側
面、音叉アーム１００ｂの第１の主面にそれぞれ設けた
グランド電極１０３，１０４，１０５、音叉アーム１０
０ｂの内側面、外側面に設けた検出電極１０７，１０８
を有している。
【０００４】このように構成された音叉振動子１００を
その共振周波数で主面方向に圧電駆動する為に一方の音
叉アーム１００ａに設けられた１組の駆動電極１０１，
１０２に外部の発振回路１０９が接続され、この発振回
路１０９により電気的に駆動される。そして、他方の音
叉アーム１００ｂの第２の主面に設けられたモニタ電極
１０６で前記発振回路１０９により引き起こされた音叉
振動子１００の振動振幅が検出される。また、この音叉
振動子１００の軸回りに入力した角速度により前記音叉
アーム１００ｂの主面に垂直な方向に作用するコリオリ
の力に基づく音叉アーム１００ｂ内の応力を検出電極１
０７，１０８で圧電的に検出する。
【０００５】ここで、モニタ電極１０６に発生した電荷
は外部回路により増幅された後、ＡＧＣ（オート・ゲイ
ン・コントロール）回路によりあらかじめ設定された基
準信号との比較により音叉振動子１００の振動振幅が一
定になるように前記発振回路１０９を制御している。一
方、前記検出電極１０７，１０８により検出された信号
を外部の増幅回路により増幅した後、前記モニタ電極１
０６から検出した音叉振動のタイミングで同期検波を行
い、音叉振動子１００により変調がかけられたコリオリ
の力による信号を復調し、この後、ＬＰＦ（ロー・パス
・フィルター）により不要帯域を遮断し、センサ出力と
している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような構成の角速度センサにおいては一方の音叉アーム
の主面にのみ一組の駆動電極が設けられているので、定
電圧下において電気的に駆動される音叉振動子の駆動効
率の向上は難しい。
【０００７】本発明は、この課題を解決するものであ
り、駆動効率を向上させた角速度センサを提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の角速度センサは、単結晶圧電材料からなる少
なくとも２本のアームと前記アームを連結する少なくと
も１つの基部から構成される第１の振動子と、前記第１
の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された
第２の振動子とを含み、前記第１の振動子と前記第２の
振動子は前記各振動子の幅方向において互いに逆極性の
圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合
して一体化してなり、少なくとも２本の音叉アームと少
なくとも１つの音叉基部を有するように構成した音叉振
動子と、前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第
２の主面、外側面、内側面にそれぞれ設けられた第１、
第２、第３、第４の電極と、前記音叉振動子の他方の音
叉アームの第１の主面又は第２の主面のいずれか一方に
設けられた第５の電極と前記音叉振動子の他方の音叉ア
ームの内側面、外側面にそれぞれ設けられた第６、第７
の電極とを備え、前記第５の電極が第１の主面に設けら
れている時は前記第２、第５の電極は互いに同一極性で
ありかつ前記第１の電極は前記第２、第５の電極に対し
て互いに逆極性となるように駆動電圧が印加され、前記
第５の電極が第２の主面に設けられている時は前記第
２、第５の電極は互いに逆極性でありかつ前記第１の電
極と前記第５の電極は互いに同一極性となるように駆動
電圧が印加される構成としたことを特徴とするものであ
る。
【０００９】この構成により、駆動効率が向上した角速
度センサが得られる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、単結晶圧電材料からなる少なくとも２本のアームと
前記アームを連結する少なくとも１つの基部から構成さ
れる第１の振動子と、前記第１の振動子とほぼ相似形で
単結晶圧電材料から構成された第２の振動子とを含み、
前記第１の振動子と前記第２の振動子は前記各振動子の
幅方向において互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸
方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化してなり、少
なくとも２本の音叉アームと少なくとも１つの音叉基部
を有するように構成した音叉振動子と、前記音叉振動子
の一方の音叉アームの第１、第２の主面、外側面、内側
面にそれぞれ設けられた第１、第２、第３、第４の電極
と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの第１の主面又
は第２の主面のいずれか一方に設けられた第５の電極と
前記音叉振動子の他方の音叉アームの内側面、外側面に
それぞれ設けられた第６、第７の電極とを備え、前記第
５の電極が第１の主面に設けられている時は前記第２、
第５の電極は互いに同一極性でありかつ前記第１の電極
は前記第２、第５の電極に対して互いに逆極性となるよ
うに駆動電圧が印加され、前記第５の電極が第２の主面
に設けられている時は前記第２、第５の電極は互いに逆
極性でありかつ前記第１の電極と前記第５の電極は互い
に同一極性となるように駆動電圧が印加される構成とし
ているため、駆動電圧を印加するための電極の数が増加
し駆動効率が向上するという作用を有する。
【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、第３の電極と第７の電極とを共通接続
すると共に第４の電極と第６の電極とを共通接続してそ
れらの共通部分から差動検出により検出信号を取り出す
ようにしているため、駆動効率が向上し検出感度が高く
なるばかりか、検出信号を取り出すための電極に混入す
る不要な信号成分としての駆動信号によってもたらされ
た結合容量成分がキャンセルされるという作用を有す
る。
【００１２】請求項３に記載の発明は、単結晶圧電材料
からなる少なくとも２本のアームと前記アームを連結す
る少なくとも１つの基部から構成される第１の振動子
と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料か
ら構成された第２の振動子とを含み、前記第１の振動子
と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向において互
いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚み方
向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２本の音
叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するように構
成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音叉アー
ムの第１、第２の主面、外側面、内側面にそれぞれ設け
られた第１、第２、第３、第４の電極と、前記音叉振動
子の他方の音叉アームの第１、第２の主面上の外側面寄
り又は内側面寄りにそれぞれ設けられた第５、第６の電
極と、他方の音叉アームの側面に設けられた第７の電極
とを備え、前記第５、第６の電極が外側面寄りに設けら
れている時には前記第７の電極を外側面に設け、第５、
第６の電極が内側面寄りに設けられている時には前記第
７の電極を内側面に設け、前記第１、第６の電極は互い
に同一の極性でありかつ前記第２、第５の電極は前記第
１、第６の電極に対して互いに逆極性となるように駆動
電圧が印加される構成としているため、駆動電圧を印加
するための電極の数が増加し駆動効率が向上するという
作用を有する。
【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の発明において、音叉振動子の他方の音叉アームの側面
に設けられた第７の電極に対向する側面に第８の電極を
設け、前記第７の電極が外側面に設けられている時には
前記第８の電極と第４の電極とを共通接続すると共に第
３の電極と第７の電極とを共通接続してそれらの共通部
分から差動検出により検出信号を取り出し、前記第７の
電極が内側面に設けられている時には前記第８の電極と
第３の電極とを共通接続すると共に第４の電極と第７の
電極とを共通接続してそれらの共通部分から差動検出に
より検出信号を取り出すようにしているため、駆動効率
が向上し検出感度が高くなるばかりか、検出信号を取り
出すための電極に混入する不要な信号成分としての駆動
信号によってもたらされた結合容量成分がキャンセルさ
れるという作用を有する。
【００１４】請求項５に記載の発明は、単結晶圧電材料
からなる少なくとも２本のアームと前記アームを連結す
る少なくとも１つの基部から構成される第１の振動子
と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料か
ら構成された第２の振動子とを含み、前記第１の振動子
と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向において互
いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚み方
向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２本の音
叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するように構
成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音叉アー
ムの第１、第２の主面、外側面、内側面にそれぞれ設け
られた第１、第２、第３、第４の電極と、前記音叉振動
子の他方の音叉アームの第１、第２の主面、外側面、内
側面にそれぞれ設けられた第５、第６、第７、第８の電
極とを備え、前記第５の電極が外側面寄りに設けられた
時は、前記第６の電極は内側面寄りに設けられ、前記第
５の電極が内側面寄りに設けられた時は、前記第６の電
極は外側面寄りに設けられ、前記第１、第６の電極は互
いに同一の極性でありかつ前記第２、第５の電極は前記
第１、第６の電極に対して互いに逆極性となるように駆
動電圧が印加される構成としているため、駆動電圧を印
加するための電極の数が増加し駆動効率が向上するとい
う作用を有する。
【００１５】請求項６に記載の発明は、請求項５に記載
の発明において、第３の電極と第４の電極から差動検出
により検出信号を取り出すようにしているため、駆動効
率が向上し検出感度が高くなるばかりか、検出信号を取
り出すための電極に混入する不要な信号成分としての駆
動信号によってもたらされた結合容量成分がキャンセル
されるという作用を有する。
【００１６】請求項７に記載の発明において、単結晶圧
電材料からなる少なくとも２本のアームと前記アームを
連結する少なくとも１つの基部から構成される第１の振
動子と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材
料から構成された第２の振動子とを含み、前記第１の振
動子と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向におい
て互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚
み方向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２本
の音叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するよう
に構成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音叉
アームの第１、第２の主面にそれぞれ設けられた第１、
第２の電極と、前記一方の音叉アームの外側面又は内側
面のいずれか一方の面上でありかつ前記第１の電極に近
い側に設けられた第３の電極と前記第２の電極に近い側
に設けられた第４の電極と、前記第３、第４の電極が設
けられた面と対向する内側面または外側面のいずれか一
方に設けられた第５の電極とを備え、前記第１、第４の
電極は互い電極に同一の極性でありかつ前記第２、第３
の電極は前記第１、第４の電極に対して互いに逆極性と
なるように駆動電圧が印加される構成としているため、
前記音叉振動子の１本の音叉アームに加わる駆動のため
の電界強度が増加し駆動効率が向上するという作用を有
する。
【００１７】請求項８に記載の発明は、請求項７に記載
の発明において、音叉振動子の他方の音叉アームの内側
面、外側面に第６、第７の電極がそれぞれ設けられ、第
５の電極が一方の音叉アームの内側面に設けられている
時には、前記第６、第７の電極から差動検出により検出
信号を取り出すか若しくは前記第５の電極と前記第６の
電極を共通接続し、その共通部分と前記第７の電極から
差動検出により検出信号を取り出し、前記第５の電極が
一方の音叉アームの外側面に設けられている時には、前
記第６、第７の電極から差動検出により検出信号を取り
出すか若しくは前記第５の電極と前記第７の電極を共通
接続し、その共通部分と前記第６の電極から差動検出に
より検出信号を取り出すようにしているため、駆動効率
が向上し検出感度が高くなるばかりか、一方の音叉アー
ムに設けられた検出信号を取り出すための電極に混入す
る不要な信号成分としての駆動信号によってもたらされ
た結合容量成分は前記第５の電極によりキャンセルされ
ると共に他方の音叉アームに設けられた前記第６、第７
の電極に対しては一方の音叉アームに設けられた駆動電
圧が与えられる電極と前記第６、第７の電極との距離が
等しく同様に不要な信号成分がキャンセルされるという
作用を有する。
【００１８】請求項９に記載の発明は、請求項７に記載
の発明において、音叉振動子の他方の音叉アームの第１
の主面又は第２の主面のいずれか一方に第６の電極を設
け、前記他方の音叉アームの内側面、外側面にそれぞれ
第７、第８の電極を設け、前記第６の電極が第１の主面
に設けられている時は前記第６の電極と第１の電極とは
互いに逆極性となるように駆動電圧が印加され、前記第
６の電極が第２の主面に設けられている時は前記第６の
電極と第１の電極とは互いに同一極性となるように駆動
電圧が印加される構成としているため、前記音叉振動子
の１本の音叉アームに加わる駆動のための電界強度が増
加すると共に駆動電圧を印加するための電極の数も増加
しておりさらなる駆動効率の向上が図れるという作用を
有する。
【００１９】請求項１０に記載の発明は、請求項９に記
載の発明において、第５の電極が一方の音叉アームの内
側面に設けられている時には、第７、第８の電極から差
動検出により検出信号を取り出すか若しくは前記第５、
第７の電極を共通接続し、その共通部分と前記第８の電
極から差動検出により検出信号を取り出し、前記第５の
電極が一方の音叉アームの外側面に設けられている時に
は、前記第７、第８の電極から差動検出により検出信号
を取り出すか若しくは前記第５、第８の電極を共通接続
し、その共通部分と前記第７の電極から差動検出により
検出信号を取り出すようにしているため、さらなる駆動
効率の向上により検出感度が一段と高くなるばかりか、
検出信号を取り出すための電極に混入する不要な信号成
分としての駆動信号によってもたらされた結合容量成分
がキャンセルされるという作用を有する。
【００２０】請求項１１に記載の発明において、単結晶
圧電材料からなる少なくとも２本のアームと前記アーム
を連結する少なくとも１つの基部から構成される第１の
振動子と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電
材料から構成された第２の振動子とを含み、前記第１の
振動子と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向にお
いて互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ
厚み方向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２
本の音叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するよ
うに構成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音
叉アームの第１、第２の主面にそれぞれ設けられた第
１、第２の電極と、前記一方の音叉アームの外側面上で
ありかつ前記第１の電極、第２の電極に近い側にそれぞ
れ設けられた第３、第４の電極と、前記一方の音叉アー
ムの内側面上でありかつ前記第１、第２の電極に近い側
にそれぞれ設けられた第５、第６の電極とを備え、前記
第１、第４、第６の電極は互いに同一の極性でありかつ
前記第２、第３、第５の電極は前記第１、第４、第６の
電極に対して互いに逆極性となるように駆動電圧が印加
される構成としているため、前記音叉振動子の１本の音
叉アームに加わる駆動のための電界強度が一段と増加し
駆動効率がさらに向上するという作用を有する。
【００２１】請求項１２に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明において、音叉振動子の他方の音叉アームの
内側面、外側面に第７、第８の電極が設けられ、前記第
７、第８の電極から差動検出により検出信号を取り出す
ようにしているため、駆動効率が向上し検出感度が高く
なるばかりか、一方の音叉アームに設けられた駆動電圧
が与えられる電極と他方の音叉アームに設けられた検出
信号を取り出すための前記第７、第８の電極との距離が
等しく、不要な信号成分が前記第７、第８の電極でキャ
ンセルされるという作用を有する。
【００２２】請求項１３に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明において、音叉振動子の他方の音叉アームの
第１の主面又は第２の主面のいずれか一方に第７の電極
を設け、前記他方の音叉アームの内側面、外側面にそれ
ぞれ第８、第９の電極を設け、前記第７の電極が第１の
主面に設けられている時は前記第７の電極は第１の電極
に対して互いに逆極性となるように駆動電圧が印加さ
れ、前記第７の電極が第２の主面に設けられている時は
前記第７の電極と第１の電極とは互いに同一極性となる
ように駆動電圧が印加されるように構成されているた
め、前記音叉振動子の１本の音叉アームに加わる駆動の
ための電界強度が一段と増加すると共に駆動電圧を印加
するための電極の数も増加しておりさらなる駆動効率の
向上が図れるという作用を有する。
【００２３】請求項１４に記載の発明は、請求項１３に
記載の発明において、第８、第９の電極から差動検出に
より検出信号を取り出すようにしているため、さらなる
駆動効率の向上により検出感度が一段と高くなるばかり
か、一方の音叉アームに設けられた駆動電圧が与えられ
る電極と他方の音叉アームに設けられた検出信号を取り
出すための前記第７、第８の電極との距離が等しく、不
要な信号成分が前記第７、第８の電極でキャンセルされ
ると共に他方の音叉アームに設けられた駆動電圧が与え
られる電極によってもたらされる不要な結合容量成分も
前記第７、第８の電極によりキャンセルされるという作
用を有する。
【００２４】請求項１５に記載の発明は、単結晶圧電材
料からなる少なくとも２本のアームと前記アームを連結
する少なくとも１つの基部から構成される第１の振動子
と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料か
ら構成された第２の振動子とを含み、前記第１の振動子
と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向において互
いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚み方
向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２本の音
叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するように構
成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音叉アー
ムの第１、第２の主面上の外側面寄りにそれぞれ設けら
れた第１、第２の電極と、前記音叉振動子の一方の音叉
アームの外側面上において第１、第２の主面寄りにそれ
ぞれ設けられた第３、第４の電極と、前記音叉振動子の
他方の音叉アームの第１、第２の主面上の外側面寄りに
設けられた第５、第６の電極と、前記音叉振動子の他方
の音叉アームの外側面上において第１、第２の主面寄り
にそれぞれ設けられた第７、第８の電極とを備え、前記
第１、第４、第６、第７の電極は互いに同一極性であり
かつ前記第２、第３、第５、第８の電極は前記第１、第
４、第６、第７の電極に対して互いに逆極性となるよう
に駆動電圧が印加される構成としているため、前記音叉
振動子の両音叉アームに加わる駆動のための電界強度が
一段と増加し、駆動効率がさらに向上するという作用を
有する。
【００２５】請求項１６に記載の発明は、請求項１５に
記載の発明において、音叉振動子の両音叉アームの内側
面にそれぞれ電極を設け、前記両電極を共通接続して、
この共通部分から検出信号を取り出すようにしているた
め、駆動効率が向上し検出感度が高くなるばかりか、両
音叉アームにそれぞれ加えられる駆動電圧は各音叉アー
ムの片側の領域内において逆向きで等量の電界強度であ
ると共に駆動電圧を印加するための電極と検出信号を取
り出すための電極との距離が離れており、検出信号を取
り出すための電極に不要な結合容量成分が及ぼす影響が
小さくなるばかりか、両音叉アームに設けられた駆動電
圧が与えられる電極から微弱な電界が検出信号を取り出
すための電極に加わった場合でもそれぞれの電極上でキ
ャンセルされるという作用を有する。
【００２６】請求項１７に記載の発明において、単結晶
圧電材料からなる少なくとも２本のアームと前記アーム
を連結する少なくとも１つの基部から構成される第１の
振動子と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電
材料から構成された第２の振動子とを含み、前記第１の
振動子と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向にお
いて互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ
厚み方向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２
本の音叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するよ
うに構成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音
叉アームの第１、第２の主面上の内側面寄りにそれぞれ
設けられた第１、第２の電極と、前記音叉振動子の一方
の音叉アームの内側面上において第１、第２の主面寄り
にそれぞれ設けられた第３、第４の電極と、前記音叉振
動子の他方の音叉アームの第１、第２の主面上の内側面
寄りに設けられた第５、第６の電極と、前記音叉振動子
の他方の音叉アームの内側面上において第１、第２の主
面寄りにそれぞれ設けられた第７、第８の電極とを備
え、前記第１、第４、第６、第７の電極は互いに同一極
性でありかつ前記第２、第３、第５、第８の電極は前記
第１、第４、第６、第７の電極に対して互いに逆極性と
なるように駆動電圧が印加される構成としているため、
前記音叉振動子の両音叉アームに加わる駆動のための電
界強度が一段と増加し、駆動効率がさらに向上するとい
う作用を有する。
【００２７】請求項１８に記載の発明は、請求項１７に
記載の発明において、音叉振動子の両音叉アームの外側
面にそれぞれ電極を設け、前記両電極を共通接続して、
この共通部分から検出信号を取り出すようにしているた
め、駆動効率が向上し検出感度が高くなるばかりか、両
音叉アームにそれぞれ加えられる駆動電圧は各音叉アー
ムの片側の領域内において逆向きで等量の電界強度であ
ると共に駆動電圧を印加するための電極と検出信号を取
り出すための電極との距離が離れており、検出信号を取
り出すための電極に不要な結合容量成分が及ぼす影響が
小さくなるばかりか、両音叉アームに設けられた駆動電
圧が与えられる電極から微弱な電界が検出信号を取り出
すための電極に加わった場合でもそれぞれの電極上でキ
ャンセルされるという作用を有する。
【００２８】請求項１９に記載の発明において、単結晶
圧電材料からなる少なくとも２本のアームと前記アーム
を連結する少なくとも１つの基部から構成される第１の
振動子と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電
材料から構成された第２の振動子とを含み、前記第１の
振動子と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向にお
いて互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ
厚み方向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２
本の音叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するよ
うに構成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音
叉アームの第１、第２の主面上の外側面寄りにそれぞれ
設けられた第１、第２の電極と、前記音叉振動子の一方
の音叉アームの外側面上において第１、第２の主面寄り
にそれぞれ設けられた第３、第４の電極と、前記音叉振
動子の他方の音叉アームの第１、第２の主面上の内側面
寄りに設けられた第５、第６の電極と、前記音叉振動子
の他方の音叉アームの内側面上において第１、第２の主
面寄りにそれぞれ設けられた第７、第８の電極とを備
え、前記第１、第４、第６、第７の電極は互いに同一極
性でありかつ前記第２、第３、第５、第８の電極は前記
第１、第４、第６、第７の電極に対して互いに逆極性と
なるように駆動電圧が印加される構成としているため、
前記音叉振動子の両音叉アームに加わる駆動のための電
界強度が一段と増加し、駆動効率がさらに向上するとい
う作用を有する。
【００２９】請求項２０に記載の発明は、請求項１９に
記載の発明において、音叉振動子の一方の音叉アームの
内側面に第９の電極を設けると共に他方の音叉アームの
外側面に第１０の電極を設け、前記第９、第１０の電極
から差動検出により検出信号を取り出すようにしている
ため、駆動効率が向上し検出感度が高くなるばかりか、
両音叉アームにそれぞれ加えられる駆動電圧は各音叉ア
ームの片側の領域内において逆向きで等量の電界強度で
あると共に駆動電圧を印加するための電極と検出信号を
取り出すための電極との距離が離れており、検出信号を
取り出すための電極に不要な結合容量成分が及ぼす影響
が小さくなるばかりか、両音叉アームに設けられた駆動
電圧が与えられる電極から微弱な電界が検出信号を取り
出すための電極に加わった場合でもそれぞれの電極上で
キャンセルされるという作用を有する。
【００３０】請求項２１に記載の発明において、単結晶
圧電材料からなる少なくとも２本のアームと前記アーム
を連結する少なくとも１つの基部から構成される第１の
振動子と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電
材料から構成された第２の振動子とを含み、前記第１の
振動子と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向にお
いて互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ
厚み方向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２
本の音叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するよ
うに構成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音
叉アームの第１、第２の主面上の内側面寄りにそれぞれ
設けられた第１、第２の電極と、前記音叉振動子の一方
の音叉アームの内側面上において第１、第２の主面寄り
にそれぞれ設けられた第３、第４の電極と、前記音叉振
動子の他方の音叉アームの第１、第２の主面上の外側面
寄りに設けられた第５、第６の電極と、前記音叉振動子
の他方の音叉アームの外側面上において第１、第２の主
面寄りにそれぞれ設けられた第７、第８の電極とを備
え、前記第１、第４、第６、第７の電極は互いに同一極
性でありかつ前記第２、第３、第５、第８の電極は前記
第１、第４、第６、第７の電極に対して互いに逆極性と
なるように駆動電圧が印加される構成としているため、
前記音叉振動子の両音叉アームに加わる駆動のための電
界強度が一段と増加し、駆動効率がさらに向上するとい
う作用を有する。
【００３１】請求項２２に記載の発明は、請求項２１に
記載の発明において、音叉振動子の一方の音叉アームの
外側面に第９の電極を設けると共に他方の音叉アームの
内側面に第１０の電極を設け、前記第９、第１０の電極
から差動検出により検出信号を取り出すようにしている
ため、駆動効率が向上し検出感度が高くなるばかりか、
両音叉アームにそれぞれ加えられる駆動電圧は各音叉ア
ームの片側の領域内において逆向きで等量の電界強度で
あると共に駆動電圧を印加するための電極と検出信号を
取り出すための電極に不要な結合容量成分が及ぼす影響
が小さくなるばかりか、両音叉アームに設けられた駆動
電圧が与えられる電極から微弱な電界が検出信号を取り
出すための電極に加わった場合でもそれぞれの電極上で
キャンセルされるという作用を有する。
【００３２】請求項２３に記載の発明は、請求項１５及
至２２のいずれか１つに記載の発明において、音叉振動
子の両方の音叉アームの第１、第２の主面上にそれぞれ
設けた残余の４つの電極をモニタ電極としているため、
モニタ電極の増加によりモニタ電極により検出される電
荷量も増加し、ＡＧＣ回路へのノイズの混入量も低減で
きるという作用を有する。
【００３３】請求項２４に記載の発明は、請求項１６、
１８、２０、２２のいずれか１つに記載の発明におい
て、前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の
主面上にそれぞれ設けた残余の２つの電極はグランド電
極とし、他方の音叉アームの第１、第２の主面上にそれ
ぞれ設けた残余の２つの電極はモニタ電極としているた
め、モニタ電極の増加によりモニタ電極により検出され
る電荷量も増加し、ＡＧＣ回路へのノイズの混入量も低
減できるばかりか、駆動電圧を印加するための電極と検
出信号を取り出すための電極の間にグランド電極を設け
てあり不要な結合容量成分が検出信号を取り出すための
電極に混入することをより低減できるという作用を有す
る。
【００３４】請求項２５に記載の発明は、単結晶圧電材
料からなる少なくとも２本のアームと前記アームを連結
する少なくとも１つの基部から構成される第１の振動子
と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料か
ら構成された第２の振動子とを含み、前記第１の振動子
と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向において互
いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚み方
向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２本の音
叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するように構
成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音叉アー
ムの第１、第２の主面にそれぞれ設けられた第１、第２
の電極と、前記一方の音叉アームの外側面又は内側面の
いずれか一方の面上でありかつ前記第１の電極に近い側
に設けられた第３の電極と、前記第２の電極に近い側に
設けられた第４の電極と、前記第３、第４の電極が設け
られた面と対向する内側面または外側面に設けられた第
５の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの第
１、第２の主面上の外側面寄りにそれぞれ設けられた第
６、第７の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アーム
の外側面上において前記第６、第７の電極寄りにそれぞ
れ設けられた第８、第９の電極とを備え、前記第１、第
４、第７、第８の電極は互いに同一極性でありかつ前記
第２、第３、第６、第９の電極は前記第１、第４、第
７、第８の電極に対して互いに逆極性となるように駆動
電圧が印加される構成としているため、前記音叉振動子
の両音叉アームに加わる駆動のための電界強度が一段と
増加すると共に駆動電圧を印加するための電極の数も増
加しておりさらなる駆動効率の向上が図れるという作用
を有する。
【００３５】請求項２６に記載の発明は、請求項２５に
記載の発明において、音叉振動子の他方の音叉アームの
内側面に第１０の電極を設けると共に他方の音叉アーム
の第１、第２の主面上にそれぞれ設けた残余の２つの電
極をモニタ電極とし、第５の電極が一方の音叉アームの
内側面に設けられている時には前記第５の電極と前記第
１０の電極とを共通接続して、この共通部分から検出信
号を取り出し、前記第５の電極が一方の音叉アームの外
側面に設けられている時には前記第５の電極と第１０の
電極から差動検出により検出信号を取り出すようにして
いるため、駆動効率が向上し検出感度が高くなるばかり
か、一方の音叉アームに設けられた検出信号を取り出す
ための電極に混入する不要な信号成分としての駆動信号
によってもたらされた結合容量成分がキャンセルされる
と共に他方の音叉アームに加えられる駆動電圧は他方の
音叉アームの片側の領域内において逆向きで等量の電界
強度であると共に駆動電圧を印加するための電極と検出
信号を取り出すための電極との距離が離れており、検出
信号を取り出すための電極に不要な結合容量成分が及ぼ
す影響が小さくなるばかりか、他方の音叉アームに設け
られた駆動電圧が与えられる電極から微弱な電界が検出
信号を取り出すための電極に加わった場合でも検出信号
を取り出すための電極上でキャンセルされるという作用
を有する。
【００３６】請求項２７に記載の発明は、単結晶圧電材
料からなる少なくとも２本のアームと前記アームを連結
する少なくとも１つの基部から構成される第１の振動子
と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料か
ら構成された第２の振動子とを含み、前記第１の振動子
と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向において互
いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚み方
向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２本の音
叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するように構
成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音叉アー
ムの第１、第２の主面にそれぞれ設けられた第１、第２
の電極と、前記一方の音叉アームの外側面又は内側面の
いずれか一方の面上でありかつ前記第１の電極に近い側
に設けられた第３の電極と、前記第２の電極に近い側に
設けられた第４の電極と、前記第３、第４の電極が設け
られた面と対向する内側面または外側面に設けられた第
５の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの第
１、第２の主面上の内側面寄りにそれぞれ設けられた第
６、第７の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アーム
の内側面上において前記第６、第７の電極寄りにそれぞ
れ設けられた第８、第９の電極とを備え、前記第１、第
４、第７、第８の電極は互いに同一極性でありかつ前記
第２、第３、第６、第９の電極は前記第１、第４、第
７、第８の電極に対して互いに逆極性となるように駆動
電圧が印加される構成としているため、前記音叉振動子
の両音叉アームに加わる駆動のための電界強度が一段と
増加すると共に駆動電圧を印加するための電極の数も増
加しておりさらなる駆動効率の向上が図れるという作用
を有する。
【００３７】請求項２８に記載の発明は、請求項２７に
記載の発明において、音叉振動子の他方の音叉アームの
外側面に第１０の電極を設けると共に他方の音叉アーム
の第１、第２の主面上にそれぞれ設けた残余の２つの電
極をモニタ電極とし、第５の電極が一方の音叉アームの
内側面に設けられている時には前記第５の電極と第１０
の電極から差動検出により検出信号を取り出し、前記第
５の電極が一方の音叉アームの外側面に設けられている
時には前記第５の電極と前記第１０の電極とを共通接続
して、この共通部分から検出信号を取り出すようにして
いるため、駆動効率が向上し検出感度が高くなるばかり
か、一方の音叉アームに設けられた検出信号を取り出す
ための電極に混入する不要な信号成分としての駆動信号
によってもたらされた結合容量成分がキャンセルされる
と共に他方の音叉アームに加えられる駆動電圧は他方の
音叉アームの片側の領域内において逆向きで等量の電界
強度であると共に駆動電圧を印加するための電極と検出
信号を取り出すための電極との距離が離れており、検出
信号を取り出すための電極に不要な結合容量成分が及ぼ
す影響が小さくなるばかりか、他方の音叉アームに設け
られた駆動電圧が与えられる電極から微弱な電界が検出
信号を取り出すための電極に加わった場合でも検出信号
を取り出すための電極上でキャンセルされるという作用
を有する。
【００３８】請求項２９に記載の発明は、単結晶圧電材
料からなる少なくとも２本のアームと前記アームを連結
する少なくとも１つの基部から構成される第１の振動子
と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料か
ら構成された第２の振動子とを含み、前記第１の振動子
と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向において互
いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚み方
向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２本の音
叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するように構
成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音叉アー
ムの第１、第２の主面にそれぞれ設けられた第１、第２
の電極と、前記一方の音叉アームの外側面上でありかつ
前記第１、第２の電極に近い側にそれぞれ設けられた第
３、第４の電極と、前記一方の音叉アームの内側面上で
ありかつ前記第１、第２の電極に近い側にそれぞれ設け
られた第５、第６の電極と、前記音叉振動子の他方の音
叉アームの第１の主面又は第２の主面のいずれか一方に
設けられた第７の電極と、前記他方の音叉アームの外側
面上でありかつ前記第１、第２の主面寄りにそれぞれ設
けられた第８、第９の電極と、前記他方の音叉アームの
内側面上でありかつ前記第１、第２の主面寄りにそれぞ
れ設けられた第１０、第１１の電極とを備え、前記第７
の電極が第１の主面に設けられている時は第１、第８、
第１０の電極は互いに同一極性でありかつ前記第２、第
３、第５、第７の電極は前記第１、第８、第１０の電極
に対して互いに逆極性となるように駆動電圧が印加さ
れ、前記第７の電極が第２の主面に設けられている時は
前記第１、第７の電極は互いに同一極性でありかつ前記
第２、第３、第５、第９、第１１の電極は前記第１、第
７の電極に対して互いに逆極性となるように駆動電圧が
印加されているため、前記音叉振動子の両音叉アームに
加わる駆動のための電界強度が一段と増加すると共に駆
動電圧を印加するための電極の数も増加しておりさらな
る駆動効率の向上が図れるという作用を有する。
【００３９】請求項３０に記載の発明は、請求項２９に
記載の発明において、第７の電極が第１の主面に設けら
れている時には第４、第９の電極を共通接続すると共に
第６、第１１の電極を共通接続してそれらの共通部分か
ら差動検出により検出信号を取り出し、前記第７の電極
が第２の主面に設けられている時には第４、第８の電極
を共通接続すると共に第６、第１０の電極を共通接続し
てそれらの共通部分から差動検出により検出信号を取り
出すようにしているため、駆動効率が向上し検出感度が
高くなるばかりか、検出信号を取り出すための電極に混
入する不要な信号成分としての駆動信号によってもたら
された結合容量成分がキャンセルされるという作用を有
する。
【００４０】請求項３１に記載の発明は、請求項１及至
３０に記載の発明において、第１、第２の主面上に設け
られた電極は、音叉基部の表面上に延長されているた
め、電極面積が増加しさらなる駆動効率の向上又は検出
感度の向上が図れるという作用を有する。
【００４１】請求項３２に記載の発明は、請求項１、３
〜９、１１〜１３、１５〜２９に記載の発明において、
外側面に設けられた電極は、音叉基部の表面上に延長さ
れているため、電極面積が増加しさらなる駆動効率の向
上又は検出感度の向上が図れるという作用を有する。
【００４２】以下、本発明の実施の形態について、図１
から図１４を用いて説明する。
【００４３】（実施の形態１）図１は本発明の角速度セ
ンサの実施の形態１における音叉振動子を第１の主面側
からみた斜視図、図２は同音叉振動子を第２の主面側か
らみた斜視図、図３は同角速度センサの音叉アームに対
する電極配置を示す模式図、図４は同角速度センサの電
気回路の一例を示すブロック図である。図１、図２にお
いて、２０ａ，２０ｂは振動部分であるアームで、これ
らは固定部分である基部２０ｃにより連結されて振動子
２０を形成している。同じく３０ａ，３０ｂは振動部分
であるアームで、これらは固定部分である基部３０ｃに
より連結されて振動子３０を形成している。これらの振
動子２０，３０は水晶等の単結晶圧電材料から構成さ
れ、両者は直接接合により一体化され、一種のバイモル
フ構造をした音叉振動子１０を構成しており、音叉アー
ム１０ａ，１０ｂと音叉基部１０ｃを有している。直接
接合は被着体の表面を十分に平滑にして親水化処理後に
水酸基を吸着させて被着体を重ねあわせて熱処理を施す
事により、界面から水酸基や水素が離脱して被着体が接
合され、一体構造と同等の接合状態を得るものである。
【００４４】この時、振動子２０は紙面に対して左方向
の結晶軸方向で、振動子３０はそれを反転させた紙面に
対して右方向の結晶軸方向で接合されている。すなわ
ち、振動子２０，３０はその主面方向において圧電現象
を生ずる結晶軸方向（Ｘ軸方向）が互いに逆方向となる
ように接合されている。
【００４５】このような音叉振動子１０の構造におい
て、１〜８は電極で、１，２，５はそれぞれ音叉アーム
１０ａの第１の主面、第２の主面、音叉アーム１０ｂの
第１の主面に設けられた駆動電極であり、音叉アーム１
０ａ，１０ｂのほぼ全長にわたり配置されており、これ
らはまず素子素材上にＣｒ等がスパッタもしくは蒸着さ
れた上にＡｕ，Ａｇ，Ａｌ等がスパッタもしくは蒸着さ
れて形成されている。また、音叉振動子１０の音叉基部
１０ｃにおいては、これらの電極の導出部および引き出
し電極パッドが形成されている。この時、電極の配線パ
ターンの導出部分は音叉振動子１０の音叉基部１０ｃに
おいて音叉振動子１０の音叉アーム１０ａ，１０ｂに形
成された電極より細く形成することにより、電極の導出
部間を広げて配置することができ、電極間の結合容量成
分を極小にすることが可能である。
【００４６】本実施の形態１において、６は音叉アーム
１０ｂの第２の主面に設けられたモニタ電極、３，８は
音叉アーム１０ａ，１０ｂの外側面に設けられた検出電
極であり、これらは共通接続されている。また、４，７
は音叉アーム１０ａ，１０ｂの内側面に設けられた検出
電極であり、これらも共通接続されている。そして、音
叉基部１０ｃの第１の主面に検出電極４，７，３，８用
の引き出し電極パッド１５および１６、その導出部１５
ａ，１６ａをパターン配線し、駆動電極１，２，５用の
引き出し電極パッド１１，１２，１３およびその導出部
１１ａ，１２ａ，１３ａをパターン配線し、かつモニタ
電極６用の引き出し電極パッド１４およびその電極パッ
ド１４ａがパターン配線されている。なお、第２の主面
の駆動電極２、モニタ電極６および側面の検出電極３，
８からの引き出し電極パッド１３，１４，１６への導出
部１３ａ，１４ａ，１６ａは音叉基部１０ｃの第２の主
面、側面にパターン配線し、第１の主面側に引き回す構
成としている。図３に本実施の形態１における電極配置
を示す。
【００４７】次に、本実施の形態１における角速度セン
サの動作を説明する。今、仮に駆動電極１並びに駆動電
極２及び駆動電極５に駆動電源９から１８０度位相の異
なる交流信号が供給され、音叉アーム１０ａ，１０ｂが
図３における左右方向（主面方向）に振動するものとす
る。図３において、実線の矢印は水晶の結晶軸（電気
軸）、一点鎖線の矢印は電界の向きを示す。
【００４８】上記動作について詳細に説明すると、ある
時点において、仮に駆動電極１並びに駆動電極２及び駆
動電極５との間に駆動電源９より交流信号が加えられ、
駆動電極１には正電界、駆動電極２と駆動電極５には負
電界が印加されたとする。その結果、音叉アーム１０ａ
の幅方向の中心より左半分は電気軸または分極方向に対
して同一方向の電界が印加されるので、左音叉アーム１
０ａの幅方向の中心より左半分は伸び、逆に音叉アーム
１０ａの幅方向の中心より右半分においては電気軸また
は分極方向に対して逆方向の電界が印加されるので縮む
作用が起こり、音叉アーム１０ａは図３において内側
（右側）に屈曲することになる。しかし、次の時点、つ
まり駆動電源９から供給される信号が反転すれば今度は
逆に音叉アーム１０ａは図３において外側（左側）に屈
曲し、これらの繰り返しにより共振振動するのである。
【００４９】また、音叉アーム１０ｂは、音叉アーム１
０ａの動きとは逆に音叉アーム１０ｂの幅方向の中心よ
り左半分は電気軸または分極方向に対して逆方向の電界
が印加されるので右アーム１０ｂの幅方向の中心より左
半分は縮み、逆に音叉アーム１０ｂの幅方向の中心より
右半分においては電気軸または分極方向に対して同一方
向の電界が印加されるので伸長作用が起こり、音叉アー
ム１０ｂは図３において内側（左側）に屈曲することに
なる。しかし、次の時点、つまり駆動電源９から供給さ
れる信号が反転すれば今度は逆に音叉アーム１０ｂは図
３において外側（右側）に屈曲し、これらの繰り返しに
より共振振動するのである。
【００５０】このような共振振動状態において、角速度
ΩがＹ軸回りに加えられると、コリオリの原理により両
方の音叉アーム１０ａ，１０ｂは、振動方向（Ｘ軸方
向）に対して垂直な方向（Ｚ軸方向）に力が発生して厚
み方向にたわむ。その結果、そのたわみの程度に応じて
角速度信号として検出電極３、検出電極４、検出電極
７、検出電極８に電荷が発生し、その電荷は共通接続さ
れたＳ+，Ｓ-を介して出力される。この動作においても
具体的に説明すると、例えば、今、角速度が加わり、コ
リオリの力によって音叉アーム１０ａが図３において紙
面の上側にたわみ、音叉アーム１０ｂが紙面の下側にた
わむとすると、音叉アーム１０ａの厚み方向の中心より
下側は伸びるので電気軸または分極方向に対して同一方
向に電荷が発生し、逆に音叉アーム１０ａの厚み方向の
中心より上側は縮むことになるので、電気軸または分極
方向に対して逆方向に電荷が発生する。またこの時、音
叉アーム１０ｂは音叉アーム１０ａとは逆に、音叉アー
ム１０ｂの厚み方向の中心より下側は縮むので電気軸ま
たは分極方向に対して逆方向に電荷が発生し、逆に音叉
アーム１０ｂの厚み方向の中心より上側は伸びることに
なるので、電気軸または分極方向に対して同一方向に電
荷が発生する。したがって、この状態においては、共通
接続されているＳ+には正の電荷が、Ｓ-には負の電荷が
発生することになるので、これを検出することにより角
速度を検知することができるのである。また、コリオリ
の力によって今度は図３において音叉アーム１０ａが下
側にたわみ、音叉アーム１０ｂが上側にたわむとする
と、上記とは全く逆の電荷が両音叉アームから発生する
ので、共通接続されているにはＳ+には負の電荷が、Ｓ-
には正の電荷が発生することになり、これを検出するこ
とにより角速度を検知することができるのである。
【００５１】図４は、角速度センサの電気回路の一例を
示すブロック図であるが、先ず駆動回路について説明す
る。駆動回路においては、カレントアンプ回路４０と、
比較回路４１と、ＡＧＣ回路４２と、インバータ回路４
３で自励式発振器として構成されている。今、音叉振動
子１０のモニタ電極６には振幅に応じた電荷が発生す
る。この電荷をカレントアンプ４０で検出し、この検出
電荷と振幅を一定にするために予め定められた所定の値
とを比較回路４１で比較する。例えば比較した値が所定
の値より大きければＡＧＣ回路４２は振幅レベルを低く
するように駆動電極１とインバータ回路４３を介して駆
動電極２および駆動電極５に正弦波が印加される。ま
た、逆に比較した値が所定の値より小さければＡＧＣ回
路４２は振幅レベルを高くするように駆動電極１とイン
バータ回路４３を介して駆動電極２および駆動電極５に
正弦波が印加される。これを繰り返すことによって音叉
振動子１０の振幅を一定に制御し、振動する。
【００５２】次に、検出回路においては、角速度が加わ
ると先のコリオリの力が発生して音叉振動子１０の検出
電極３，４と７，８に極性の異なる角速度と比例した電
荷がそれぞれ発生する。これらの電荷を差動増幅回路４
４にそれぞれ入力し、位相シフト回路４５で９０°位相
を進ませた後、先の駆動回路のカレントアンプ４０を介
した信号が加えられる同期検波器４６にて同期検波を行
い、角速度信号のみを検出する。この時、検出回路にお
いては、各検出電極３，４，７，８で駆動振動により検
出電極への信号成分（不要信号成分）が発生した場合、
検出電極３，４には駆動電極１，２からの位置が対称で
あるためそれぞれ同じ大きさの逆位相の不要信号成分が
発生しそれぞれの検出電極３，４内で相殺され、かつ検
出電極７，８には駆動電極５からの位置が対称であるた
め同じ大きさの同位相不要信号成分が発生するので、差
動増幅回路４４で受けることによってキャンセルするこ
とができる。そして、同期検波された検出信号をＬＰＦ
回路４７にてＤＣ変換し、ＤＣ成分として角速度信号を
検知する。
【００５３】本実施の形態１の構成によると従来例の構
成と比較して駆動電圧を印加するための電極の数が増加
しているため、駆動効率が１．５倍と向上する。
【００５４】本実施の形態においては、他方の音叉アー
ム１０ｂの第１、第２の主面にそれぞれ駆動電極５、モ
ニタ電極６を設けた構成について説明してきたが、駆動
電極５とモニタ電極６の配置を互いに入れ替え新たに設
けた駆動電極に加える信号の極性を本実施の形態と逆位
相とする構成としても構わない。
【００５５】本実施の形態においては、一方の音叉アー
ム１０ａの外側面、内側面に検出電極３、検出電極４を
設けた構成について説明してきたが、検出電極３、検出
電極４はグランド電極とすることも考えられる。
【００５６】なお、本実施の形態においては、角速度の
検出に関して詳述してきたが、音叉アーム１０ａ，１０
ｂのＺ軸方向に加速度が加わった時には検出電極３，
４，７，８によりその影響が軽減又はキャンセルされ
る。
【００５７】（実施の形態２）図５に本発明の実施の形
態２における角速度センサの音叉アームに対する電極配
置の模式図を示す。図５において図１、図２、図３、図
４と同一構成部分に関しては同一番号を付して詳細な説
明は省略し、異なる部分についてのみ詳述する。図５に
おいて、５０は他方の音叉アーム１０ｂの第１の主面の
外側面側寄りに設けた駆動電極、５１は他方の音叉アー
ム１０ｂの第２の主面の外側面側寄りに設けた駆動電
極、５２は他方の音叉アーム１０ｂの第１の主面の内側
面側寄りに設けたモニタ電極、５３は他方の音叉アーム
１０ｂの第２の主面の内側面側寄りに設けたモニタ電極
である。
【００５８】次に、本実施の形態２における角速度セン
サの動作を説明する。今、駆動電極１と駆動電極５１、
駆動電極２と駆動電極５０に駆動電源９から１８０度位
相の異なる交流信号が供給されると、所定の音叉振動を
する。
【００５９】本実施の形態２の構成によると従来例の構
成と比較して駆動電圧を印加するための電極の数が増加
しているため、駆動効率が１．７倍と向上する。
【００６０】また、本実施の形態の構成により検出電極
に混入する不要な信号成分としての駆動信号によっても
たらされた結合容量成分がキャンセルされる。
【００６１】本実施の形態においては、駆動電極５１を
第２の主面上において、外側面側に設け、モニタ電極５
３を内側面側に設けた構成について説明してきたが、駆
動電極５１とモニタ電極５３の配置を互いに入れ換えた
構成とすることも考えられる。
【００６２】また、本実施の形態においては、他方の音
叉アーム１０ｂの第１の主面の内側面側にモニタ電極５
２を設け、第２の主面の内側面側にモニタ電極５３を設
ける構成について説明してきたが、モニタ電極５２また
はモニタ電極５３のいずれかをグランド電極とすること
も考えられる。
【００６３】（実施の形態３）図６に本発明の実施の形
態３における角速度センサの音叉アームに対する電極配
置の模式図を示す。図６において図１、図２、図３、図
４と同一構成部分に関しては同一番号を付して詳細な説
明は省略し、異なる部分についてのみ詳述する。図６に
おいて、５４は一方の音叉アーム１０ａの外側面の面上
に第１の主面に近い側に設けた駆動電極、５５は一方の
音叉アーム１０ａの外側面の面上に第２の主面に近い側
に設けた駆動電極である。
【００６４】次に、本実施の形態３における角速度セン
サの動作を説明する。今、駆動電極１と駆動電極５５、
駆動電極２と駆動電極５と駆動電極５４に駆動電源９か
ら１８０度位相の異なる交流信号が供給されると所定の
音叉振動をする。
【００６５】本実施の形態３の構成によると従来例の構
成と比較して駆動電圧を印加するための電極の数が増加
すると共に一方の音叉アーム１０ａの外側面に近い側に
おいては電界強度が増加しているため、駆動効率が２．
５倍と向上する。
【００６６】また、本実施の形態の構成により検出電極
に混入する不要な信号成分としての駆動信号によっても
たらされた結合容量成分がキャンセルされる。
【００６７】本実施の形態においては、他方の音叉アー
ム１０ｂの第１、第２の主面にそれぞれ駆動電極５、モ
ニタ電極６を設けた構成について説明してきたが、駆動
電極５とモニタ電極６の配置を互いに入れ替え新たに設
けた駆動電極に加える信号の極性を本実施の形態と逆位
相とする構成としても構わない。
【００６８】また、本実施の形態においては、一方の音
叉アーム１０ａの外側面に駆動電極５４，５５、内側面
に検出電極４を設けた構成について説明してきたが、駆
動電極５４，５５と検出電極４の配置を互いに入れ換え
ても構わない。
【００６９】本実施の形態においては、一方の音叉アー
ム１０ａの内側面に検出電極４を設けた構成について説
明してきたが、検出電極４はグランド電極とする構成も
考えられる。
【００７０】また、本実施の形態においては、他方の音
叉アーム１０ｂの第１の主面に駆動電極５を設けた構成
について説明してきたが、駆動電極５はグランド電極と
することも考えられ、従来例の構成と比較して駆動効率
が２．０倍となるばかりか、検出電極７，８に対して駆
動電極１，２の距離がそれぞれ等しいのでそれぞれの検
出電極７，８上での不要な結合容量成分は相殺されノイ
ズの影響を排除できる。
【００７１】（実施の形態４）図７に本発明の実施の形
態４における角速度センサの音叉アームに対する電極配
置の模式図を示す。図７において図６と同一構成部分に
関しては同一番号を付して詳細な説明は省略し、異なる
部分についてのみ詳述する。図７において、５６は一方
の音叉アーム１０ａの内側面上の第１の主面に近い側に
設けた駆動電極、５７は一方の音叉アーム１０ａの内側
面上の第２の主面に近い側に設けた駆動電極である。
【００７２】次に、本実施の形態４における角速度セン
サの動作を説明する。今、駆動電極１と駆動電極５５と
駆動電極５７、駆動電極２と駆動電極５と駆動電極５４
と駆動電極５６に駆動電源９から１８０度位相の異なる
交流信号が供給されると所定の振動をする。
【００７３】本実施の形態４の構成によると従来例の構
成と比較して駆動電圧を印加するための電極の数が増加
すると共に一方の音叉アーム１０ａに加わる駆動のため
の電界強度が一段と増加しているため、駆動効率が３．
２倍と向上する。
【００７４】また、本実施の形態の構成により検出電極
に混入する不要な信号成分としての駆動信号によっても
たらされた結合容量成分がキャンセルされる。
【００７５】本実施の形態においては、他方の音叉アー
ム１０ｂの第１、第２の主面にそれぞれ駆動電極５、モ
ニタ電極６を設けた構成について説明してきたが、駆動
電極５とモニタ電極６の配置を互いに入れ替え新たに設
けた駆動電極に加える信号の極性を本実施の形態と逆位
相とする構成としても構わない。
【００７６】また、本実施の形態においては、他方の音
叉アーム１０ｂの第１の主面に駆動電極５を設けた構成
について説明してきたが、駆動電極５をグランド電極と
することも考えられ、従来例の構成と比較して駆動効率
が２．７倍となるばかりか、検出電極７，８に対して駆
動電極１，２の距離がそれぞれ等しいのでそれぞれの検
出電極７，８上での不要な結合容量成分は相殺されノイ
ズの影響を排除できる。
【００７７】（実施の形態５）図８に本発明の実施の形
態５における角速度センサの音叉アームに対する電極配
置の模式図を示す。図８において図５、図６と同一構成
部分に関しては同一番号を付して詳細な説明は省略し、
異なる部分についてのみ詳述する。図８において、５８
は一方の音叉アーム１０ａの第１の主面の外側面側寄り
に設けた駆動電極、５９は一方の音叉アーム１０ａの第
２の主面の外側面側寄りに設けた駆動電極、６０は一方
の音叉アーム１０ａの第１の主面の内側面側寄りに設け
たモニタ電極、６１は一方の音叉アーム１０ａの第２の
主面の内側面側寄りに設けたモニタ電極、６２は他方の
音叉アーム１０ｂの外側面上の第１の主面に近い側に設
けた駆動電極、６３は他方の音叉アーム１０ｂの外側面
上の第２の主面に近い側に設けた駆動電極である。
【００７８】次に、本実施の形態５における角速度セン
サの動作を説明する。今、駆動電極５８と駆動電極５５
と駆動電極６２と駆動電極５１、駆動電極５９と駆動電
極５４と駆動電極５０と駆動電極６３に駆動電源９から
１８０度位相の異なる交流信号が供給されると所定の音
叉振動をする。
【００７９】本実施の形態５の構成によると従来の構成
と比較して図８に示すように両音叉アーム１０ａ，１０
ｂの外側面に近い側においては電界強度が一段と増加し
ているため、駆動効率が３．４倍と向上するばかりか、
モニタ電極の増加によりモニタ電荷が増加しＡＧＣ回路
４２への入力信号に対するノイズの割合を低減すること
ができる。
【００８０】また、本実施の形態においては、各音叉ア
ーム１０ａ，１０ｂ内で駆動電極５８，５４，５５，５
９，５０，６２，６３，５１と検出電極４，７との距離
が離れており、共通接続した検出電極４，７に不要な結
合容量成分が及ぼす影響が小さくなるばかりか、両音叉
アーム１０ａ，１０ｂに設けられた駆動電極５８，５
４，５５，５９，５０，６２，６３，５１から微弱な電
界が検出電極４，７に加わった場合でもそれぞれの検出
電極４，７内で不要な結合容量成分が相殺される。
【００８１】本実施の形態においては、一方の音叉アー
ム１０ａの外側面に駆動電極５４，５５、内側面に検出
電極４、第１の主面に駆動電極５８、モニタ電極６０、
第２の主面に駆動電極５９、モニタ電極６１を設けた構
成について説明してきたが、駆動電極５４，５５と検出
電極４の配置を互いに入れ換え、かつ、駆動電極５８と
モニタ電極６０の配置を互いに入れ換え、さらに、駆動
電極５９とモニタ電極６１の配置を互いに入れ換えた構
成としても構わない。この場合には検出電極４，７から
差動検出により角速度を検出する。
【００８２】また、本実施の形態においては、他方の音
叉アーム１０ｂの外側面に駆動電極６２，６３、内側面
に検出電極７、第１の主面に駆動電極５０、モニタ電極
５２、第２の主面に駆動電極５１、モニタ電極５３を設
けた構成について説明してきたが、駆動電極６２，６３
と検出電極７の配置を互いに入れ換え、かつ、駆動電極
５０とモニタ電極５２の配置を互いに入れ換え、かつ、
駆動電極５１とモニタ電極５３の配置を互いに入れ換え
た構成としても構わない。この場合にも検出電極４，７
から差動検出により角速度を検出する。
【００８３】本実施の形態においては、一方の音叉アー
ム１０ａの外側面に駆動電極５４，５５、内側面に検出
電極４、第１の主面に駆動電極５８、モニタ電極６０、
第２の主面に駆動電圧５９、モニタ電極６１、他方の音
叉アーム１０ｂの外側面に駆動電極６２，６３、内側面
に検出電極７、第１の主面に駆動電極５０、モニタ電極
５２、第２の主面に駆動電極５１、モニタ電極５３を設
けた構成について説明してきたが、駆動電極５４，５５
と検出電極４の配置を互いに入れ換え、かつ、駆動電極
５８とモニタ電極６０の配置を互いに入れ換え、かつ、
駆動電極５９とモニタ電極６１の配置を互いに入れ換
え、かつ、駆動電極６２，６３と検出電極７の配置を互
いに入れ換え、かつ、駆動電極５０とモニタ電極５２の
配置を互いに入れ換え、かつ、駆動電極５１とモニタ電
極５３の配置を互いに入れ換えた構成としても構わな
い。この場合は、本実施の形態５と同様に検出電極４，
７を共通接続し、角速度を検出すればよい。
【００８４】本実施の形態においては、一方の音叉アー
ム１０ａの第１、第２の主面にモニタ電極６０，６１、
他方のアーム１０ｂの第１、第２の主面にモニタ電極５
２，５３を設けた構成について説明してきたが、モニタ
電極５２，５３，６０，６１のうち２つをモニタ電極と
し、残りの電極をグランド電極とすることも考えられ
る。この構成によると駆動電極と検出電極の間にグラン
ド電極が配置されるため、駆動電極から検出電極への不
要な結合容量成分の混入を低減できる。
【００８５】（実施の形態６）図９に本発明の実施の形
態６における角速度センサの音叉アームに対する電極配
置の模式図を示す。図９において図３、図８と同一構成
部分に関しては同一番号を付して詳細な説明は省略し、
異なる部分についてのみ詳述する。
【００８６】次に、本実施の形態６における角速度セン
サの動作を説明する。今、駆動電極１と駆動電極５５と
駆動電極６２と駆動電極５１、駆動電極５２と駆動電極
５４と駆動電極５０と駆動電極６３に駆動電源９から１
８０度位相の異なる交流信号が供給されると所定の音叉
振動をする。
【００８７】本実施の形態６の構成によると従来の構成
と比較して図９に示すように両音叉アーム１０ａ，１０
ｂの外側面に近い側においては電界強度が一段と増加し
ているため、駆動効率が３．７倍と向上する。
【００８８】また、一方の音叉アーム１０ａの検出電極
４に混入する不要な信号成分としての駆動信号によって
もたらされた結合容量成分はキャンセルされる。さらに
他方の音叉アーム１０ｂ内で駆動電極５０，５１，６
２，６３と検出電極７との距離が離れているため、検出
電極７に不要な結合容量成分が及ぼす影響が小さくなる
ばかりか、駆動電極５０，５１，６２，６３から微弱な
電界が検出電極７に加わった場合でも検出電極７内で不
要な結合容量成分が相殺される。
【００８９】本実施の形態においては、一方の音叉アー
ム１０ａの外側面に駆動電極５４，５５、内側面に検出
電極４、第１の主面に駆動電極１、第２の主面に駆動電
極２を設けた構成について説明してきたが、駆動電極５
４，５５と検出電極４の配置を互いに入れ換えた構成と
しても構わない。この場合には検出電極４，７から差動
検出により角速度を検出する。
【００９０】また、本実施の形態においては、他方の音
叉アーム１０ｂの外側面に駆動電極６２，６３、内側面
に検出電極７、第１の主面に駆動電極５０、モニタ電極
５２、第２の主面に駆動電極５１、モニタ電極５３を設
けた構成について説明してきたが、駆動電極６２，６３
と検出電極７の配置を互いに入れ換え、かつ、駆動電極
５０とモニタ電極５２の配置を互いに入れ換え、かつ、
駆動電極５１とモニタ電極５３の配置を互いに入れ換え
た構成としても構わない。この場合にも検出電極４，７
から差動検出による角速度を検出する。
【００９１】本実施の形態においては、一方の音叉アー
ム１０ａの外側面に駆動電極５４，５５、内側面に検出
電極４、第１の主面に駆動電極１、第２の主面に駆動電
極２、他方の音叉アーム１０ｂの外側面に駆動電極６
２，６３、内側面に検出電極７、第１の主面に駆動電極
５０、モニタ電極５２、第２の主面に駆動電極５１、モ
ニタ電極５３を設けた構成について説明してきたが、駆
動電極５４，５５と検出電極４の配置を互いに入れ換
え、かつ、駆動電極６２，６３と検出電極７の配置を互
いに入れ換え、かつ、駆動電極５０とモニタ電極５２の
配置を互いに入れ換え、かつ、駆動電極５１とモニタ電
極５３の配置を互いに入れ換えた構成としても構わな
い。この場合には、本実施の形態６と同様に検出電極
４，７を共通接続し、角速度を検出すればよい。
【００９２】（実施の形態７）図１０に本発明の実施の
形態７における角速度センサの音叉アームに対する電極
配置の模式図を示す。図１０において図７、図９と同一
構成部分に関しては同一番号を付して詳細な説明は省略
し、異なる部分についてのみ詳述する。図１０におい
て、６４は他方の音叉アーム１０ｂの内側面上の第１の
主面に近い側に設けた駆動電極、６５は他方の音叉アー
ム１０ｂの内側面上の第２の主面に近い側に設けた検出
電極、７１は一方の音叉アーム１０ａの外側面上の第２
の主面に近い側に設けた検出電極、７２は一方の音叉ア
ーム１０ａの内側面上の第２の主面に近い側に設けた検
出電極、７３は他方の音叉アーム１０ｂの外側面上の第
２の主面に近い側に設けた検出電極である。
【００９３】次に、本実施の形態７における角速度セン
サの動作を説明する。今、駆動電極１と駆動電極６４と
駆動電極６２、駆動電極２と駆動電極５と駆動電極５４
と駆動電極５６に駆動電源９から１８０度位相の異なる
交流信号が供給されると所定の音叉振動をする。
【００９４】本実施の形態７の構成によると従来の構成
と比較して駆動電圧を印加するための電極の数が増加す
ると共に両音叉アーム１０ａ，１０ｂの第１の主面に近
い側においては電界強度が一段と増加しているため、駆
動効率が３．２倍と向上する。
【００９５】また、本実施の形態の構成により検出電極
に混入する不要な信号成分としての駆動信号によっても
たらされた結合容量成分がキャンセルされる。
【００９６】（実施の形態８）図１１及び図１３並びに
図１２及び図１４に本発明の実施の形態８における角速
度センサの音叉振動子を第１、第２の主面からそれぞれ
みた斜視図を示す。図１１、図１２、図１３、図１４に
おいて図１、図２、図３と同一構成部分に関しては同一
番号を付して詳細な説明は省略し、異なる部分について
のみ詳述する。図１１において、１ａは一方の音叉アー
ム１０ａの第１の主面上に設けられた駆動電極１を基部
２０ｃ内にまで延長した電極部分、５ａは同じく他方の
音叉アーム１０ｂの第１の主面上に設けられた駆動電極
５を基部２０ｃ内にまで延長した電極部分、図１２にお
いて、２ａは一方の音叉アーム１０ａの第２の主面上に
設けられた駆動電極２を基部３０ｃ内にまで延長した電
極部分、６ａは他方の音叉アーム１０ｂの第２の主面上
に設けられたモニタ電極を基部３０ｃ内にまで延長した
電極部分である。
【００９７】本実施の形態８の構成によると従来の構成
と比較して音叉基部１０ｃにまで電極が延長されている
ので電極面積が増加し、駆動効率が向上する。
【００９８】また図１３、図１４に示すように、８ａは
他方の音叉アーム１０ｂの外側面に設けられた検出電極
８を音叉基部１０ｃ内にまで延長した電極部分、３ａは
一方の音叉アーム１０ａの外側面に設けられた検出電極
３を音叉基部１０ｃ内にまで延長した電極部分である。
【００９９】本実施の形態８の構成によると従来の構成
と比較して音叉基部１０ｃにまで電極が延長されている
ので電極面積が増加し、検出効率が向上する。
【０１００】本実施の形態においては、各音叉アーム１
０ａ，１０ｂの各面上から音叉基部１０ｃに向かって一
面の電極が延出した例について説明したが、これに特定
されるものでなく、例えば実施の形態２ないし７に示す
ような分割された電極が音叉基部１０ｃに延出する等、
様々な構成が考えられる。
【０１０１】
【発明の効果】以上のように本発明は、単結晶圧電材料
からなる少なくとも２本のアームと前記アームを連結す
る少なくとも１つの基部から構成される第１の振動子
と、前記第１の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料か
ら構成された第２の振動子とを含み、前記第１の振動子
と前記第２の振動子は前記各振動子の幅方向において互
いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚み方
向に直接接合して一体化してなり、少なくとも２本の音
叉アームと少なくとも１つの音叉基部を有するように構
成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音叉アー
ムの第１、第２の主面、外側面、内側面にそれぞれ設け
られた第１、第２、第３、第４の電極と、前記音叉振動
子の他方の音叉アームの第１の主面又は第２の主面のい
ずれか一方に設けられた第５の電極と前記音叉振動子の
他方の音叉アームの内側面、外側面にそれぞれ設けられ
た第６、第７の電極とを備え、前記第５の電極が第１の
主面に設けられている時は前記第２、第５の電極は互い
に同一極性でありかつ前記第１の電極は前記第２、第５
の電極に対して互いに逆極性となるように駆動電圧が印
加され、前記第５の電極が第２の主面に設けられている
時は前記第２、第５の電極は互いに逆極性でありかつ前
記第１の電極と前記第５の電極は互いに同一極性となる
ように駆動電圧が印加される構成としているため、駆動
電圧を印加するための電極の数が増加し駆動効率が向上
した角速度センサが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の角速度センサの実施の形態１における
音叉振動子を第１の主面側からみた斜視図
【図２】同音叉振動子を第２の主面側からみた斜視図
【図３】同角速度センサの音叉アームに対する電極配置
を示す模式図
【図４】同角速度センサの電気回路の一例を示すブロッ
ク図
【図５】本発明の角速度センサの実施の形態２における
音叉アームに対する電極配置を示す模式図
【図６】本発明の角速度センサの実施の形態３における
音叉アームに対する電極配置を示す模式図
【図７】本発明の角速度センサの実施の形態４における
音叉アームに対する電極配置を示す模式図
【図８】本発明の角速度センサの実施の形態５における
音叉アームに対する電極配置を示す模式図
【図９】本発明の角速度センサの実施の形態６における
音叉アームに対する電極配置を示す模式図
【図１０】本発明の角速度センサの実施の形態７におけ
る音叉アームに対する電極配置を示す模式図
【図１１】本発明の角速度センサの実施の形態８におけ
る音叉振動子を第１の主面側からみた斜視図
【図１２】同第２の主面側からみた斜視図
【図１３】同第１の主面側からみた斜視図
【図１４】同第２の主面側からみた斜視図
【図１５】従来の角速度センサの音叉アームに対する電
極配置を示す模式図
【符号の説明】
１，２，５，５０，５１，５４，５５，５６，５７，５
８，５９，６２，６３，６４ 駆動電極 ３，４，７，８，６５，７１，７２，７３ 検出電極 ６，５２，５３，６０，６１ モニタ電極 １ａ，２ａ，３ａ，５ａ，６ａ，８ａ 基部内に延長し
た電極部分 ９ 駆動電源 １０ 音叉振動子 １０ａ，１０ｂ 音叉アーム １０ｃ 音叉基部 ２０，３０ 振動子 ２０ａ，２０ｂ，３０ａ，３０ｂ アーム ２０ｃ，３０ｃ 基部 １１，１２，１３，１４，１５，１６ 電極パッド １１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａ，１５ａ，１６ａ 導
出部 ４０ カレントアンプ回路 ４１ 比較回路 ４２ ＡＧＣ回路 ４３ インバータ回路 ４４ 差動増幅回路 ４５ 位相シフト回路 ４６ 同期検波器 ４７ ＬＰＦ回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大内 智 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 湯河 潤一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F105 AA01 AA02 AA03 AA06 AA08 AA10 BB20 CC01 CC04 CD02 CD05 CD11 CD13

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２本
    のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基部
    から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子とほ
    ぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動子
    とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前記
    各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を生
    ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化し
    てなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１つ
    の音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主
    面、外側面、内側面にそれぞれ設けられた第１、第２、
    第３、第４の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アー
    ムの第１の主面又は第２の主面のいずれか一方に設けら
    れた第５の電極と前記音叉振動子の他方の音叉アームの
    内側面、外側面にそれぞれ設けられた第６、第７の電極
    とを備え、前記第５の電極が第１の主面に設けられてい
    る時は前記第２、第５の電極は互いに同一極性でありか
    つ前記第１の電極は前記第２、第５の電極に対して互い
    に逆極性となるように駆動電圧が印加され、前記第５の
    電極が第２の主面に設けられている時は前記第２、第５
    の電極は互いに逆極性でありかつ前記第１の電極と前記
    第５の電極は互いに同一極性となるように駆動電圧が印
    加される構成とした角速度センサ。
  2. 【請求項２】 第３の電極と第７の電極とを共通接続す
    ると共に第４の電極と第６の電極とを共通接続してそれ
    らの共通部分から差動検出により検出信号を取り出すよ
    うにした請求項１に記載の角速度センサ。
  3. 【請求項３】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２本
    のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基部
    から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子とほ
    ぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動子
    とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前記
    各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を生
    ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化し
    てなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１つ
    の音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主
    面、外側面、内側面にそれぞれ設けられた第１、第２、
    第３、第４の電極と、 前記音叉振動子の他方の音叉アームの第１、第２の主面
    上の外側面寄り又は内側面寄りにそれぞれ設けられた第
    ５、第６の電極と、他方の音叉アームの側面に設けられ
    た第７の電極とを備え、前記第５、第６の電極が外側面
    寄りに設けられている時には前記第７の電極を外側面に
    設け、第５、第６の電極が内側面寄りに設けられている
    時には前記第７の電極を内側面に設け、前記第１、第６
    の電極は互いに同一の極性でありかつ前記第２、第５の
    電極は前記第１、第６の電極に対して互いに逆極性とな
    るように駆動電圧が印加される構成とした角速度セン
    サ。
  4. 【請求項４】 音叉振動子の他方の音叉アームの側面に
    設けられた第７の電極に対向する側面に第８の電極を設
    け、前記第７の電極が外側面に設けられている時には前
    記第８の電極と第４の電極とを共通接続すると共に第３
    の電極と第７の電極とを共通接続してそれらの共通部分
    から差動検出により検出信号を取り出し、前記第７の電
    極が内側面に設けられている時には前記第８の電極と第
    ３の電極とを共通接続すると共に第４の電極と第７の電
    極とを共通接続してそれらの共通部分から差動検出によ
    り検出信号を取り出すようにした請求項３に記載の角速
    度センサ。
  5. 【請求項５】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２本
    のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基部
    から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子とほ
    ぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動子
    とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前記
    各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を生
    ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化し
    てなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１つ
    の音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主
    面、外側面、内側面にそれぞれ設けられた第１、第２、
    第３、第４の電極と、 前記音叉振動子の他方の音叉アームの第１、第２の主
    面、外側面、内側面にそれぞれ設けられた第５、第６、
    第７、第８の電極とを備え、前記第５の電極が外側面寄
    りに設けられた時は、前記第６の電極は内側面寄りに設
    けられ、前記第５の電極が内側面寄りに設けられた時
    は、前記第６の電極は外側面寄りに設けられ、前記第
    １、第６の電極は互いに同一の極性でありかつ前記第
    ２、第５の電極は前記第１、第６の電極に対して互いに
    逆極性となるように駆動電圧が印加される構成とした角
    速度センサ。
  6. 【請求項６】 第３の電極と第４の電極から差動検出に
    より検出信号を取り出すようにした請求項５に記載の角
    速度センサ。
  7. 【請求項７】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２本
    のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基部
    から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子とほ
    ぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動子
    とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前記
    各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を生
    ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化し
    てなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１つ
    の音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主面
    にそれぞれ設けられた第１、第２の電極と、前記一方の
    音叉アームの外側面又は内側面のいずれか一方の面上で
    ありかつ前記第１の電極に近い側に設けられた第３の電
    極と前記第２の電極に近い側に設けられた第４の電極
    と、前記第３、第４の電極が設けられた面と対向する内
    側面または外側面のいずれか一方に設けられた第５の電
    極とを備え、 前記第１、第４の電極は互い電極に同一の極性でありか
    つ前記第２、第３の電極は前記第１、第４の電極に対し
    て互いに逆極性となるように駆動電圧が印加される構成
    とした角速度センサ。
  8. 【請求項８】 音叉振動子の他方の音叉アームの内側
    面、外側面に第６、第７の電極がそれぞれ設けられ、第
    ５の電極が一方の音叉アームの内側面に設けられている
    時には、前記第６、第７の電極から差動検出により検出
    信号を取り出すか若しくは前記第５の電極と前記第６の
    電極を共通接続し、その共通部分と前記第７の電極から
    差動検出により検出信号を取り出し、前記第５の電極が
    一方の音叉アームの外側面に設けられている時には、前
    記第６、第７の電極から差動検出により検出信号を取り
    出すか若しくは前記第５の電極と前記第７の電極を共通
    接続し、その共通部分と前記第６の電極から差動検出に
    より検出信号を取り出すようにした請求項７に記載の角
    速度センサ。
  9. 【請求項９】 音叉振動子の他方の音叉アームの第１の
    主面又は第２の主面のいずれか一方に第６の電極を設
    け、前記他方の音叉アームの内側面、外側面にそれぞれ
    第７、第８の電極を設け、前記第６の電極が第１の主面
    に設けられている時は前記第６の電極と第１の電極とは
    互いに逆極性となるように駆動電圧が印加され、前記第
    ６の電極が第２の主面に設けられている時は前記第６の
    電極と第１の電極とは互いに同一極性となるように駆動
    電圧が印加された請求項７に記載の角速度センサ。
  10. 【請求項１０】 第５の電極が一方の音叉アームの内側
    面に設けられている時には、第７、第８の電極から差動
    検出により検出信号を取り出すか若しくは前記第５、第
    ７の電極を共通接続し、その共通部分と前記第８の電極
    から差動検出により検出信号を取り出し、前記第５の電
    極が一方の音叉アームの外側面に設けられている時に
    は、前記第７、第８の電極から差動検出により検出信号
    を取り出すか若しくは前記第５、第８の電極を共通接続
    し、その共通部分と前記第７の電極から差動検出により
    検出信号を取り出すようにした請求項９に記載の角速度
    センサ。
  11. 【請求項１１】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２
    本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
    部から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子と
    ほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動
    子とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前
    記各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を
    生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化
    してなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１
    つの音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主面
    にそれぞれ設けられた第１、第２の電極と、前記一方の
    音叉アームの外側面上でありかつ前記第１の電極、第２
    の電極に近い側にそれぞれ設けられた第３、第４の電極
    と、前記一方の音叉アームの内側面上でありかつ前記第
    １、第２の電極に近い側にそれぞれ設けられた第５、第
    ６の電極とを備え、前記第１、第４、第６の電極は互い
    に同一の極性でありかつ前記第２、第３、第５の電極は
    前記第１、第４、第６の電極に対して互いに逆極性とな
    るように駆動電圧が印加される構成とした角速度セン
    サ。
  12. 【請求項１２】 音叉振動子の他方の音叉アームの内側
    面、外側面に第７、第８の電極が設けられ、前記第７、
    第８の電極から差動検出により検出信号を取り出すよう
    にした請求項１１に記載の角速度センサ。
  13. 【請求項１３】 音叉振動子の他方の音叉アームの第１
    の主面又は第２の主面のいずれか一方に第７の電極を設
    け、前記他方の音叉アームの内側面、外側面にそれぞれ
    第８、第９の電極を設け、前記第７の電極が第１の主面
    に設けられている時は前記第７の電極は第１の電極に対
    して互いに逆極性となるように駆動電圧が印加され、前
    記第７の電極が第２の主面に設けられている時は前記第
    ７の電極と第１の電極とは互いに同一極性となるように
    駆動電圧が印加された請求項１１に記載の角速度セン
    サ。
  14. 【請求項１４】 第８、第９の電極から差動検出により
    検出信号を取り出すようにした請求項１３に記載の角速
    度センサ。
  15. 【請求項１５】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２
    本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
    部から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子と
    ほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動
    子とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前
    記各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を
    生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化
    してなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１
    つの音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主面
    上の外側面寄りにそれぞれ設けられた第１、第２の電極
    と、前記音叉振動子の一方の音叉アームの外側面上にお
    いて第１、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた第３、
    第４の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの第
    １、第２の主面上の外側面寄りに設けられた第５、第６
    の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの外側面
    上において第１、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた
    第７、第８の電極とを備え、 前記第１、第４、第６、第７の電極は互いに同一極性で
    ありかつ前記第２、第３、第５、第８の電極は前記第
    １、第４、第６、第７の電極に対して互いに逆極性とな
    るように駆動電圧が印加される構成とした角速度セン
    サ。
  16. 【請求項１６】 音叉振動子の両音叉アームの内側面に
    それぞれ電極を設け、前記両電極を共通接続して、この
    共通部分から検出信号を取り出すようにした請求項１５
    に記載の角速度センサ。
  17. 【請求項１７】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２
    本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
    部から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子と
    ほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動
    子とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前
    記各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を
    生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化
    してなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１
    つの音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主面
    上の内側面寄りにそれぞれ設けられた第１、第２の電極
    と、前記音叉振動子の一方の音叉アームの内側面上にお
    いて第１、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた第３、
    第４の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの第
    １、第２の主面上の内側面寄りに設けられた第５、第６
    の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの内側面
    上において第１、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた
    第７、第８の電極とを備え、 前記第１、第４、第６、第７の電極は互いに同一極性で
    ありかつ前記第２、第３、第５、第８の電極は前記第
    １、第４、第６、第７の電極に対して互いに逆極性とな
    るように駆動電圧が印加される構成とした角速度セン
    サ。
  18. 【請求項１８】 音叉振動子の両音叉アームの外側面に
    それぞれ電極を設け、前記両電極を共通接続して、この
    共通部分から検出信号を取り出すようにした請求項１７
    に記載の角速度センサ。
  19. 【請求項１９】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２
    本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
    部から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子と
    ほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動
    子とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前
    記各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を
    生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化
    してなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１
    つの音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主面
    上の外側面寄りにそれぞれ設けられた第１、第２の電極
    と、前記音叉振動子の一方の音叉アームの外側面上にお
    いて第１、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた第３、
    第４の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの第
    １、第２の主面上の内側面寄りに設けられた第５、第６
    の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの内側面
    上において第１、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた
    第７、第８の電極とを備え、 前記第１、第４、第６、第７の電極は互いに同一極性で
    ありかつ前記第２、第３、第５、第８の電極は前記第
    １、第４、第６、第７の電極に対して互いに逆極性とな
    るように駆動電圧が印加される構成とした角速度セン
    サ。
  20. 【請求項２０】 音叉振動子の一方の音叉アームの内側
    面に第９の電極を設けると共に他方の音叉アームの外側
    面に第１０の電極を設け、前記第９、第１０の電極から
    差動検出により検出信号を取り出すようにした請求項１
    ９に記載の角速度センサ。
  21. 【請求項２１】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２
    本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
    部から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子と
    ほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動
    子とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前
    記各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を
    生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化
    してなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１
    つの音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主面
    上の内側面寄りにそれぞれ設けられた第１、第２の電極
    と、前記音叉振動子の一方の音叉アームの内側面上にお
    いて第１、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた第３、
    第４の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの第
    １、第２の主面上の外側面寄りに設けられた第５、第６
    の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの外側面
    上において第１、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた
    第７、第８の電極とを備え、 前記第１、第４、第６、第７の電極は互いに同一極性で
    ありかつ前記第２、第３、第５、第８の電極は前記第
    １、第４、第６、第７の電極に対して互いに逆極性とな
    るように駆動電圧が印加される構成とした角速度セン
    サ。
  22. 【請求項２２】 音叉振動子の一方の音叉アームの外側
    面に第９の電極を設けると共に他方の音叉アームの内側
    面に第１０の電極を設け、前記第９、第１０の電極から
    差動検出により検出信号を取り出すようにした請求項２
    １に記載の角速度センサ。
  23. 【請求項２３】 音叉振動子の両方の音叉アームの第
    １、第２の主面上にそれぞれ設けた残余の４つの電極を
    モニタ電極とした請求項１５及至２２のいずれか１つに
    記載の角速度センサ。
  24. 【請求項２４】 前記音叉振動子の一方の音叉アームの
    第１、第２の主面上にそれぞれ設けた残余の２つの電極
    はグランド電極とし、他方の音叉アームの第１、第２の
    主面上にそれぞれ設けた残余の２つの電極はモニタ電極
    とした請求項１６、１８、２０、２２のいずれか１つに
    記載の角速度センサ。
  25. 【請求項２５】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２
    本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
    部から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子と
    ほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動
    子とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前
    記各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を
    生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化
    してなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１
    つの音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主面
    にそれぞれ設けられた第１、第２の電極と、前記一方の
    音叉アームの外側面又は内側面のいずれか一方の面上で
    ありかつ前記第１の電極に近い側に設けられた第３の電
    極と、前記第２の電極に近い側に設けられた第４の電極
    と、前記第３、第４の電極が設けられた面と対向する内
    側面または外側面に設けられた第５の電極と、前記音叉
    振動子の他方の音叉アームの第１、第２の主面上の外側
    面寄りにそれぞれ設けられた第６、第７の電極と、前記
    音叉振動子の他方の音叉アームの外側面上において前記
    第６、第７の電極寄りにそれぞれ設けられた第８、第９
    の電極とを備え、 前記第１、第４、第７、第８の電極は互いに同一極性で
    ありかつ前記第２、第３、第６、第９の電極は前記第
    １、第４、第７、第８の電極に対して互いに逆極性とな
    るように駆動電圧が印加される構成とした角速度セン
    サ。
  26. 【請求項２６】 音叉振動子の他方の音叉アームの内側
    面に第１０の電極を設けると共に他方の音叉アームの第
    １、第２の主面上にそれぞれ設けた残余の２つの電極を
    モニタ電極とし、第５の電極が一方の音叉アームの内側
    面に設けられている時には前記第５の電極と前記第１０
    の電極とを共通接続して、この共通部分から検出信号を
    取り出し、前記第５の電極が一方の音叉アームの外側面
    に設けられている時には前記第５の電極と第１０の電極
    から差動検出により検出信号を取り出すようにした請求
    項２５に記載の角速度センサ。
  27. 【請求項２７】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２
    本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
    部から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子と
    ほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動
    子とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前
    記各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を
    生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化
    してなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１
    つの音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主面
    にそれぞれ設けられた第１、第２の電極と、前記一方の
    音叉アームの外側面又は内側面のいずれか一方の面上で
    ありかつ前記第１の電極に近い側に設けられた第３の電
    極と、前記第２の電極に近い側に設けられた第４の電極
    と、前記第３、第４の電極が設けられた面と対向する内
    側面または外側面に設けられた第５の電極と、前記音叉
    振動子の他方の音叉アームの第１、第２の主面上の内側
    面寄りにそれぞれ設けられた第６、第７の電極と、前記
    音叉振動子の他方の音叉アームの内側面上において前記
    第６、第７の電極寄りにそれぞれ設けられた第８、第９
    の電極とを備え、 前記第１、第４、第７、第８の電極は互いに同一極性で
    ありかつ前記第２、第３、第６、第９の電極は前記第
    １、第４、第７、第８の電極に対して互いに逆極性とな
    るように駆動電圧が印加される構成とした角速度セン
    サ。
  28. 【請求項２８】 音叉振動子の他方の音叉アームの外側
    面に第１０の電極を設けると共に他方の音叉アームの第
    １、第２の主面上にそれぞれ設けた残余の２つの電極を
    モニタ電極とし、第５の電極が一方の音叉アームの内側
    面に設けられている時には前記第５の電極と第１０の電
    極から差動検出により検出信号を取り出し、前記第５の
    電極が一方の音叉アームの外側面に設けられている時に
    は前記第５の電極と前記第１０の電極とを共通接続し
    て、この共通部分から検出信号を取り出すようにした請
    求項２７に記載の角速度センサ。
  29. 【請求項２９】 単結晶圧電材料からなる少なくとも２
    本のアームと前記アームを連結する少なくとも１つの基
    部から構成される第１の振動子と、前記第１の振動子と
    ほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第２の振動
    子とを含み、前記第１の振動子と前記第２の振動子は前
    記各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を
    生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化
    してなり、少なくとも２本の音叉アームと少なくとも１
    つの音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、 前記音叉振動子の一方の音叉アームの第１、第２の主面
    にそれぞれ設けられた第１、第２の電極と、前記一方の
    音叉アームの外側面上でありかつ前記第１、第２の電極
    に近い側にそれぞれ設けられた第３、第４の電極と、前
    記一方の音叉アームの内側面上でありかつ前記第１、第
    ２の電極に近い側にそれぞれ設けられた第５、第６の電
    極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの第１の主面
    又は第２の主面のいずれか一方に設けられた第７の電極
    と、前記他方の音叉アームの外側面上でありかつ前記第
    １、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた第８、第９の
    電極と、前記他方の音叉アームの内側面上でありかつ前
    記第１、第２の主面寄りにそれぞれ設けられた第１０、
    第１１の電極とを備え、前記第７の電極が第１の主面に
    設けられている時は第１、第８、第１０の電極は互いに
    同一極性でありかつ前記第２、第３、第５、第７の電極
    は前記第１、第８、第１０の電極に対して互いに逆極性
    となるように駆動電圧が印加され、前記第７の電極が第
    ２の主面に設けられている時は前記第１、第７の電極は
    互いに同一極性でありかつ前記第２、第３、第５、第
    ９、第１１の電極は前記第１、第７の電極に対して互い
    に逆極性となるように駆動電圧が印加された角速度セン
    サ。
  30. 【請求項３０】 第７の電極が第１の主面に設けられて
    いる時には第４、第９の電極を共通接続すると共に第
    ６、第１１の電極を共通接続してそれらの共通部分から
    差動検出により検出信号を取り出し、前記第７の電極が
    第２の主面に設けられている時には第４、第８の電極を
    共通接続すると共に第６、第１０の電極を共通接続して
    それらの共通部分から差動検出により検出信号を取り出
    すようにした請求項２９に記載の角速度センサ。
  31. 【請求項３１】 第１、第２の主面上に設けられた電極
    は、音叉基部の表面上に延長された請求項１乃至３０に
    記載の角速度センサ。
  32. 【請求項３２】 外側面に設けられた電極は、音叉基部
    の表面上に延長された請求項１、３〜９、１１〜１３、
    １５〜２９に記載の角速度センサ。
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