JPH11307618A - ベアチップ固定台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型かつ薄型のベアチップであっても安定し
て固定し、電極突起の接合を作業効率良く的確に行う。 【解決手段】 ベアチップ３を固定するためのベアチッ
プ固定台１を、中心に向かって徐々に深くなる傾斜面６
で形成される複数の凹部２を備えた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェハを
切断して形成したベアチップに電極を形成する際に使用
されるベアチップ固定台に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＩＣ等の電子部品では、シリコン
ウェハを切断して形成したベアチップに、超音波振動に
よりスタッドバンプ等の電極突起を接合している。この
接合作業では、ベアチップを係止爪によって四方から作
業台に固定している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記係
止爪では、異なる箇所を別々に独立して押さえるため、
小型で薄型のベアチップ（例えば、1mm（縦）×1mm
（横）×10〜15μm（高さ））を、安定した状態に固定
できないという問題がある。

【０００４】また、ベアチップの形成と電極突起の接合
とは、それぞれ別工程で行っている。このため、搬送ト
レイに載置した小型で薄型のベアチップを、作業台に移
し替えて電極突起の接合を行った後、再び搬送トレイに
移し替えるという作業が必要であり、作業効率が悪い
（タクトタイムが長い）という問題がある。さらに、こ
の移し替え作業は、ベアチップをノズル先端に吸引する
ことにより行っているため、ベアチップが移し替え途中
で落下したり、折角形成した電極突起が損傷したりする
恐れもある。

【０００５】そこで、本発明は、小型かつ薄型のベアチ
ップであっても安定して固定できる上、電極突起を作業
効率良く的確に接合できるベアチップ固定台を提供する
ことを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するための手段として、中心に向かって徐々に深くな
る傾斜部を有し、該傾斜部での深さ方向の各位置に於け
る水平断面形状が、ベアチップの平面形状と相似形であ
る凹部を備えた構成としたものである。

【０００７】前記凹部を構成する壁面のうち、ベアチッ
プが載置される位置より下方の領域のいずれか、好まし
くは中心に吸引孔を穿設し、この吸引孔を介して凹部内
に収容したベアチップを吸引すれば、ベアチップを自重
のみならず、吸引力によっても固定することができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付図
面に従って説明する。

【０００９】図１は、本実施形態に係るベアチップ固定
台１を示す。このベアチップ固定台１は、合成樹脂材料
からなる平面視矩形状の板状体の上面に３行、３列で凹
部２を形成したものである。

【００１０】各凹部２は、図１（ｂ）に示すように、ベ
アチップ３を収容可能な矩形状で、底面中央部には吸引
孔４が穿設され、その周囲には傾斜部５が形成されてい
る。傾斜部５は、ベアチップ３の各辺に対応する４つの
傾斜面６で構成されている。各傾斜面６は、水平面に対
して４５度の角度を有し、深さ方向の各位置での水平断
面形状がベアチップ３の平面形状と相似形である。した
がって、凹部２内にベアチップ３を収容すると、ベアチ
ップ３は底面から所定寸法上方で傾斜面６に当接して位
置決めされる。

【００１１】前記構成のベアチップ固定台１は次のよう
にして使用する。

【００１２】すなわち、図２（ａ）に示すように、シリ
コンウェハを切断して得た矩形薄板状のベアチップ３
を、吸着ノズル７によって１枚ずつ各凹部２に配置す
る。凹部２内では、傾斜部５がベアチップ３の平面形状
に対して相似形となるように形成されているので、ベア
チップ３のいずれかの一辺でも傾斜面５から離間してい
れば不安定な状態になる。したがって、ベアチップ３
は、自重で４辺全てが傾斜面５に自然に当接して水平面
内に位置する安定した状態となり、図２（ｂ）に示すよ
うに、常に凹部２内の所定位置に位置決めされる。以上
から、ベアチップ３は、搬送時、振動したとしても、凹
部２から脱落しない限り、前記傾斜部５によって確実に
所定位置に位置決めされることになる。

【００１３】このようにしてベアチップ固定台１によっ
て搬送したベアチップ３には、図２（ｃ）に示すよう
に、キャピラリチューブ８により電極突起であるスタッ
ドバンプ９を形成する。この場合、各ベアチップ３を作
業台に移し替えることなく、ベアチップ固定台１に載置
したままの状態でスタッドバンプ９を形成する。すなわ
ち、各凹部２内のベアチップ３は、傾斜部５によって常
に一定位置に位置決めされている。したがって、ベアチ
ップ固定台１の底面側を負圧として、各吸引孔４を介し
て吸引すると、各ベアチップ３が均等な力で一定の位置
に確実に固定される。これにより、前記キャピラリチュ
ーブ８の移動位置を入力しておくだけで、ベアチップ３
の所望の位置にスタッドバンプ９を正確かつ容易に形成
することができる。

【００１４】なお、前記実施形態では、ベアチップ固定
台１に形成した各凹部２の傾斜部５を４つの傾斜面６で
形成するようにしたが、これに代えて図３に示すように
４つの曲面１０で形成するようにしてもよい。曲面１０
は円弧状に形成されているため、ベアチップ３が凹部２
からより一層脱落しにくい。

【００１５】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係るベアチップ固定台によれば、中心に向かって徐々
に深くなる傾斜部を有し、該傾斜部での深さ方向の各位
置の水平断面形状が、ベアチップの平面形状と相似形で
ある凹部にベアチップをそれぞれ収容するようにしてい
るので、ベアチップを一定位置に確実に位置決めでき、
電極突起の接合作業を的確に行わせることが可能とな
る。また、ベアチップのサイズが異なるものであって
も、前記相似形の傾斜部によって上下方向のいずれかの
位置で同一水平面内に確実に位置するように位置決めで
きる。さらに、電極突起の接合の際、作業台等に移し替
える必要がなく、そのまま接合作業を行わせることがで
きる。これにより、特に、前記凹部を複数設けたもので
は、作業性が格段に向上するだけでなく、移し替えの際
の落下や損傷等の不具合をベアチップに与えることもな
い。

【００１６】また、凹部の中心に吸引孔を穿設し、この
吸引孔を介して凹部内に収容したベアチップを吸引する
ようにしたので、より一層安定した固定状態を得ること
ができ、電極突起の接合作業をより一層円滑に行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本実施形態に係るベアチップ固定台の平面図
（ａ）及びそのＡ―Ａ線断面図（ｂ）である。

【図２】 ベアチップ固定台の凹部へのベアチップ配置
前の状態を示す断面図（ａ）、配置後の断面図（ｂ）、
ベアチップへのスタッドバンプ形成状態を示す断面図
（ｃ）である。

【図３】 他の実施形態に係るベアチップ固定台の凹部
を示す部分平面図（ａ）及びそのＢ―Ｂ線断面図（ｂ）
である。

【符号の説明】

１ ベアチップ固定台 ２ 凹部 ３ ベアチップ ５ 傾斜部 ６ 傾斜面

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中心に向かって徐々に深くなる傾斜部を
   有し、該傾斜部での深さ方向の各位置に於ける水平断面
   形状が、ベアチップの平面形状と相似形である凹部を備
   えたことを特徴とするベアチップ固定台。
2. 【請求項２】 前記凹部を構成する壁面のうち、ベアチ
   ップが載置される位置より下方の領域のいずれかに吸引
   孔を穿設したことを特徴とする請求項１又は２に記載の
   ベアチップ固定台。