JP3217399U - ピンセット - Google Patents
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Abstract
【課題】チップの破損を抑制することが可能なピンセットを提供する。
【解決手段】ピンセット100は、第1アーム10aと、第1アーム10aに連結された第2アーム10bと、第1アーム10aの先端に設けられた把持部12と、第2アーム10bの先端に設けられ、把持部12より小さく、把持部12の一部に対向する把持部20と、把持部12に設けられ、把持部12から把持部20に向けて立ち上がる壁14、16と、を具備し、壁14と壁16とは互いに交差する方向に延伸し、壁14と壁16との間には空隙24が形成され、把持部20は空隙24の上に位置する。
【選択図】図1
【解決手段】ピンセット100は、第1アーム10aと、第1アーム10aに連結された第2アーム10bと、第1アーム10aの先端に設けられた把持部12と、第2アーム10bの先端に設けられ、把持部12より小さく、把持部12の一部に対向する把持部20と、把持部12に設けられ、把持部12から把持部20に向けて立ち上がる壁14、16と、を具備し、壁14と壁16とは互いに交差する方向に延伸し、壁14と壁16との間には空隙24が形成され、把持部20は空隙24の上に位置する。
【選択図】図1
Description
本考案はピンセットに関するものである。
半導体の製造工程において、ウェハを把持するピンセットが用いられることがある(例えば特許文献1)。
ウェハから切り出したチップをピンセットで把持することもある。しかし、チップの表面には回路などが形成されており、ピンセットが接触することで回路が破損する恐れがある。また、例えばインジウムリン(InP)などで形成されたチップの強度は低いため、割れやすい。そこで、チップの破損を抑制することが可能なピンセットを提供することを目的とする。
本考案に係るピンセットは、第1アームと、前記第1アームに連結された第2アームと、前記第1アームの先端に設けられた第1把持部と、前記第2アームの先端に設けられ、前記第1把持部より小さく、前記第1把持部の一部に対向する第2把持部と、前記第1把持部に設けられ、前記第1把持部から前記第2把持部に向けて立ち上がる第1の壁および第2の壁と、を具備し、前記第1の壁と前記第2の壁とは互いに交差する方向に延伸し、前記第1の壁と前記第2の壁との間には空隙が形成され、前記第2把持部は前記空隙の上に位置するピンセットである。
上記考案によれば、チップの破損を抑制することが可能である。
[本願考案の実施形態の説明]
最初に本願考案の実施形態の内容を列記して説明する。
最初に本願考案の実施形態の内容を列記して説明する。
本願考案の一形態は、(1)第1アームと、前記第1アームに連結された第2アームと、前記第1アームの先端に設けられた第1把持部と、前記第2アームの先端に設けられ、前記第1把持部より小さく、前記第1把持部の一部に対向する第2把持部と、前記第1把持部に設けられ、前記第1把持部から前記第2把持部に向けて立ち上がる第1の壁および第2の壁と、を具備し、前記第1の壁と前記第2の壁とは互いに交差する方向に延伸し、前記第1の壁と前記第2の壁との間には空隙が形成され、前記第2把持部は前記空隙の上に位置するピンセットである。第1把持部と第2把持部とによりチップの角を把持する。これによりチップの破損を抑制することができる。
(2)前記第1把持部および前記第2把持部は矩形であり、前記第1の壁は前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に延伸し、前記第2の壁は前記グリップ部と前記第1把持部とに接続され、前記第1把持部の角は前記空隙に露出し、前記第2把持部は前記角に対向してもよい。第1把持部と第2把持部とによりチップの角を把持する。これによりチップの破損を抑制することができる。
(3)前記第1把持部および前記第2把持部は矩形であり、前記第1の壁および前記第2の壁は、前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に対して傾斜し、前記空隙は前記第1把持部の前記第1アーム側に位置し、前記第1把持部の複数の角のうち1つは前記空隙に対向してもよい。第1把持部と第2把持部とによりチップの角を把持する。これによりチップの破損を抑制することができる。
(4)前記第1の壁および前記第2の壁は、前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に対して傾斜し、前記空隙は前記第1把持部の前記第1アーム側に形成され、前記第1把持部は、前記空隙に対向し、かつ前記第1アームから離れるにしたがい細くなる先端部を有してもよい。先端部を用いてチップをすくいやすくなる。
(5)前記第1の壁および前記第2の壁は、前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に対して傾斜し、前記空隙は前記第1把持部の前記第1アーム側に形成され、前記第1把持部の前記空隙に対向する部分は二股に分かれてもよい。これによりチップをすくいやすくなる。
(6)前記第1把持部は、前記第1アーム側から前記第1アームとは反対側にかけて薄くなってもよい。これによりチップをすくいやすくなる。
(2)前記第1把持部および前記第2把持部は矩形であり、前記第1の壁は前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に延伸し、前記第2の壁は前記グリップ部と前記第1把持部とに接続され、前記第1把持部の角は前記空隙に露出し、前記第2把持部は前記角に対向してもよい。第1把持部と第2把持部とによりチップの角を把持する。これによりチップの破損を抑制することができる。
(3)前記第1把持部および前記第2把持部は矩形であり、前記第1の壁および前記第2の壁は、前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に対して傾斜し、前記空隙は前記第1把持部の前記第1アーム側に位置し、前記第1把持部の複数の角のうち1つは前記空隙に対向してもよい。第1把持部と第2把持部とによりチップの角を把持する。これによりチップの破損を抑制することができる。
(4)前記第1の壁および前記第2の壁は、前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に対して傾斜し、前記空隙は前記第1把持部の前記第1アーム側に形成され、前記第1把持部は、前記空隙に対向し、かつ前記第1アームから離れるにしたがい細くなる先端部を有してもよい。先端部を用いてチップをすくいやすくなる。
(5)前記第1の壁および前記第2の壁は、前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に対して傾斜し、前記空隙は前記第1把持部の前記第1アーム側に形成され、前記第1把持部の前記空隙に対向する部分は二股に分かれてもよい。これによりチップをすくいやすくなる。
(6)前記第1把持部は、前記第1アーム側から前記第1アームとは反対側にかけて薄くなってもよい。これによりチップをすくいやすくなる。
[本願考案の実施形態の詳細]
本考案の実施形態に係るピンセットの具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本考案はこれらの例示に限定されるものではなく、実用新案登録請求の範囲によって示され、実用新案登録請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本考案の実施形態に係るピンセットの具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本考案はこれらの例示に限定されるものではなく、実用新案登録請求の範囲によって示され、実用新案登録請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
図1(a)は実施例1に係るピンセット100を例示する斜視図であり、図1(b)はピンセット100を例示する平面図である。図2(a)はピンセット100を例示する側面図であり、図2(b)はピンセット100を例示する正面図である。図中のX方向、Y方向およびZ方向は互いに直交する。
図1(a)に示すように、ピンセット100はグリップ部10、把持部12および20、壁14および16、連結部22を備える。これらは例えばステンレス(SUS)などの金属で形成されている。
グリップ部10は第1アーム10aおよび第2アーム10bを含む。第1アーム10aおよび第2アーム10bはY方向に延伸し、Z方向において対向し、それぞれの一端は連結されている。第1アーム10aの先端に把持部12(第1把持部)が設けられ、第2アーム10bの先端に把持部20(第2把持部)が設けられている。第1アーム10a、壁16および把持部12と、第2アーム10b、連結部22および把持部20とは、ともにクランク形状を形成する。グリップ部10、壁14および16の厚さW1は例えば0.5mmである。
図1(a)および図1(b)に示すように、把持部12はXY平面に広がる矩形の部材である。把持部12の4つの辺のうち2つは第1アーム10aと同様にY方向に延伸し、別の2つはX方向に延伸する。把持部12の+X側の辺12aには壁14(第1の壁)が設けられている。把持部12の−Y側の辺12bは、壁16(第2の壁)により第1アーム10aに連結されている。壁14はY方向に延伸し、壁16はX方向に延伸する。壁14および16は把持部12から+Z側に向けて垂直に立ち上がる。
把持部12の4つの角のうち、辺12aおよび12bの間の角を角12cとする。壁14および16は角12cには到達しない。すなわち、壁14と壁16とは離間しており、これらの間に空隙24が形成される。角12cは空隙24に露出する。
図2(a)に示す把持部12のY方向の長さL1は例えば4mmであり、図2(b)に示すX方向の長さL2は例えば4mmである。空隙24のY方向の長さL5は例えば0.7mmであり、X方向の長さは例えば0.7mmである。
図2(b)に示すように、把持部12の+Y側には傾斜12dが設けられている。言い換えれば、把持部12は、第1アーム10aから離れるにしたがい薄くなる。把持部12の−Y側の厚さは例えば0.5mmであり、+Y側先端の厚さは例えば0.1mmである。
把持部20はXY平面に広がる矩形の部材であり、把持部20の各辺は把持部12の対応する辺と平行である。把持部20の−Y側の辺は、垂直に立ち上がる連結部22により第2アーム10bに連結されている。把持部20はX方向およびY方向において把持部12よりも小さい。把持部20は、把持部12の全体とは対向せず、角12c付近とZ方向において対向し、空隙24の上に位置する。
把持部20のY方向の長さL3は例えば0.7mmであり、X方向の長さL4は例えば0.8mm以上、L2未満である。Y方向において、連結部22の−Y側の端面と、壁16の+Y側の面との間の距離は例えば0である。また、把持部20の+Y側の端面は、壁14の−Y側の端面と間の距離は例えば0である。把持部12を基準とした壁14の高さは例えば1mm以上である。壁16の高さは例えば2mm、把持部20を基準とした連結部22の高さは例えば3mmである。連結部22の高さは壁16以上であるため、把持部20の下面は把持部12の上面に接触することができる。
図3(a)はトレー31を例示する平面図である。図3(a)に示すようにトレー31に複数のチップ30が配置されている。作業者はピンセット100を用いてチップ30をトレー31からすくいあげ、移動させる。チップ30はトレー31以外にテープなどに貼り付けられていることもある。
図3(b)はチップ30を例示する斜視図である。チップ30は矩形の半導体チップであり、例えばInPなどの化合物半導体層で形成され、金属の配線および絶縁膜などが表面に形成されている。チップ30は例えば光半導体素子として機能し、1つの端面から光を出射する。マーカ32は、例えば金(Au)などで形成され、チップ30の表面のうち1つの角に設けられている。チップ30のY方向の長さL7は例えば5mm以上であり、X方向の長さL8は例えば3mmであり、厚さは例えば100μm以上、150μm以下である。マーカ32の長さL9およびL10は例えば0.8mmである。
図3(c)はピンセット100によりチップ30を把持した状態を例示する斜視図である。作業者は、トレーなどに載置されたチップ30をピンセット100により把持し、例えば測定機器などのステージに移動させる。まず作業者は、ピンセット100でチップ30をすくい上げ、チップ30を把持部12上に載置する。把持部12と把持部20とでチップ30を把持する前に、チップ30の端面を壁14および16に突き当てることで、把持部12上でのチップ30の位置決めを行う。図3(c)に示すように、チップ30の角およびマーカ32が空隙24に露出し、マーカ32は把持部12の下に位置する。その後、作業者はグリップ部10を操作して把持部12と把持部20とでチップ30を把持する。このとき把持部20はチップ30のマーカ32に接触し、マーカ32以外の部分には接触しない。作業者はピンセット100でつかんだチップ30を所望の場所ではなす。これによりチップ30の移動が可能である。
実施例1によれば、把持部12に、Y方向に延伸する壁14、およびX方向に延伸する壁16が設けられている。チップ30を壁14および16に突き当てることで位置決めが可能であり、チップ30の角は角12cの上に配置される。把持部20は把持部12より小さく、空隙24および角12cの上に位置する。このため把持部20によりチップ30の角を把持することができる。把持部20は、チップ30の表面のうち1つの角付近に接触するが、それ以外の部分には接触しない。したがってチップ30の回路は保護され、またチップ30の割れなども抑制される。この結果、チップ30の破損が抑制される。
壁14および16の間には空隙24が形成され、ピンセット100によりチップ30を把持すると、チップ30の角および把持部20は空隙24に露出する。このため、ほこりおよび異物が空隙24から落下し、チップ30に溜まりにくくなる。チップ30の端面のうち光の出力端となる端面は壁14および16に接触しないことが好ましい。
把持部12は傾斜12dを有し、第1アーム10a側(−Y側)から、第1アーム10aとは反対側(+Y側)にかけて薄くなる。このため把持部12によりチップ30をすくいやすくなる。
図4(a)は実施例2に係るピンセット200を例示する平面図である。実施例1と同じ構成については説明を省略する。図4(a)に示すように、把持部12および20それぞれの辺、壁14および16が、グリップ部10の延伸方向(Y方向)およびX方向に対して例えば45°傾斜している。
壁14はクランプ部10から把持部12の1つの辺に達するまで延伸し、壁16はクランプ部10から把持部12の別の辺に達するまで延伸する。把持部12の1つの辺から壁16までの距離D1は例えば5mmであり、反対側の辺から壁16までの距離D2は例えば2mmである。壁14と把持部12との距離も同様である。−Y側から+Y側にかけて壁14と壁16との間の距離は大きくなる。壁14の−Y側端部と壁16の−Y側端部との間には空隙24が形成される。
把持部12および20はXY平面において、−Y側の1つの角に切り欠きを有する矩形である。把持部12の辺と把持部20の対応する辺とは互いに平行である。把持部12の+Y側の先端である角12eは、壁14より−X側に位置し、壁16より+X側に位置し、Y軸方向において空隙24に対向する。
把持部20は把持部12より小さく、把持部20の辺の長さは例えば0.1mm〜0.2mmである。XY平面において、把持部20は、壁14および16、角12eに囲まれる。把持部20の角20aは、Y軸方向において角12eと空隙24との間に位置する。
実施例2によれば、チップ30を壁14および16に突き当てることで、チップ30の角が把持部20の下に配置される。このためピンセット200によりチップ30の角を把持することができ、チップ30の破損を抑制することができる。実施例2においても把持部12は−Y側から+Y側にかけて薄くなってもよい。
図4(b)は実施例3に係るピンセット300を例示する平面図である。実施例1または2と同じ構成については説明を省略する。図4(b)に示すように、把持部20の辺、壁14および16が、グリップ部10の延伸方向(X方向)およびY方向に対して例えば45°傾斜している。把持部12は、+Y側に角20aおよび空隙24に対向する先端部12fを有する。先端部12fはテーパ形状を有し、グリップ部10から離れるにしたがい細くなる。
実施例3によれば、先端部12fが−Y側から+Y側にかけて細くなるため、チップ30をトレー31から容易にすくうことができる。また、チップ30の角を把持するため、チップ30の破損を抑制することができる。
図4(c)は実施例4に係るピンセット400を例示する平面図である。実施例1または2と同じ構成については説明を省略する。図4(c)に示すように、把持部20の辺、壁14および16が、グリップ部10の延伸方向(X方向)およびY方向に対して例えば45°傾斜している。
把持部12は、+Y側の先端に二股部12gを有する。二股部12gは2つの先端部12g1および12g2、窪み12g3を含む。先端部12g1および12g2は、グリップ部10から離れるにしたがい細くなるテーパ形状を有する。窪み12g3は先端部12g1および12g2の間であって、これらよりも−Y側に位置する。
実施例4によれば、二股部12gによりチップ30を容易にすくうことができる。また、チップ30の角を把持するため、チップ30の破損を抑制することができる。
実施例3および4においても把持部12は−Y側から+Y側にかけて薄くなってもよい。また、例えば実施例1の把持部12の+Y側の先端に、実施例3のような先端部12f、または実施例4のような二股部12gを設けてもよい。
10 グリップ部
10a 第1アーム
10b 第2アーム
12、20 把持部
12a、12b 辺
12c、12e、20a 角
12d 傾斜部
12f、12g1、12g2 先端部
12g3 窪み
12g 二股部
14、16 壁
22 連結部
24 空隙
30 チップ
31 トレー
32 マーカ
100、200、300、400 ピンセット
10a 第1アーム
10b 第2アーム
12、20 把持部
12a、12b 辺
12c、12e、20a 角
12d 傾斜部
12f、12g1、12g2 先端部
12g3 窪み
12g 二股部
14、16 壁
22 連結部
24 空隙
30 チップ
31 トレー
32 マーカ
100、200、300、400 ピンセット
Claims (6)
- 第1アームと、
前記第1アームに連結された第2アームと、
前記第1アームの先端に設けられた第1把持部と、
前記第2アームの先端に設けられ、前記第1把持部より小さく、前記第1把持部の一部に対向する第2把持部と、
前記第1把持部に設けられ、前記第1把持部から前記第2把持部に向けて立ち上がる第1の壁および第2の壁と、を具備し、
前記第1の壁と前記第2の壁とは互いに交差する方向に延伸し、
前記第1の壁と前記第2の壁との間には空隙が形成され、
前記第2把持部は前記空隙の上に位置するピンセット。 - 前記第1把持部および前記第2把持部は矩形であり、
前記第1の壁は前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に延伸し、
前記第2の壁は前記第1アームと前記第1把持部とに接続され、
前記第1把持部の角は前記空隙に露出し、
前記第2把持部は前記角に対向する請求項1に記載のピンセット。 - 前記第1把持部および前記第2把持部は矩形であり、
前記第1の壁および前記第2の壁は、前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に対して傾斜し、
前記空隙は前記第1把持部の前記第1アーム側に位置し、
前記第1把持部の複数の角のうち1つは前記空隙に対向する請求項1に記載のピンセット。 - 前記第1の壁および前記第2の壁は、前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に対して傾斜し、
前記空隙は前記第1把持部の前記第1アーム側に形成され、
前記第1把持部は、前記空隙に対向し、かつ前記第1アームから離れるにしたがい細くなる先端部を有する請求項1に記載のピンセット。 - 前記第1の壁および前記第2の壁は、前記第1アームおよび前記第2アームの延伸方向に対して傾斜し、
前記空隙は前記第1把持部の前記第1アーム側に形成され、
前記第1把持部の前記空隙に対向する部分は二股に分かれている請求項1に記載のピンセット。 - 前記第1把持部は、前記第1アーム側から前記第1アームとは反対側にかけて薄くなる請求項1から5のいずれか一項に記載のピンセット。
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JP2018001933U JP3217399U (ja) | 2018-05-25 | 2018-05-25 | ピンセット |
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JP2018001933U JP3217399U (ja) | 2018-05-25 | 2018-05-25 | ピンセット |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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