JP5832885B2 - 半導体装置の製造方法、接続子、半導体装置及び整列治具 - Google Patents
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Description
1.実施形態1に係る半導体装置100の構成
まず、実施形態1に係る半導体装置100の構成を説明する。
図1は、実施形態1に係る半導体装置100を説明するために示す図である。図1(a)は実施形態1に係る半導体装置100の正面図であり、図1(b)は実施形態1に係る半導体装置100の側面図である。図2は、実施形態1に係る接続子140を説明するために示す図である。図2(a)は実施形態1に係る接続子140の平面図であり、図2(b)は実施形態1に係る接続子140の側面図である。
次に、実施形態1に係る整列治具200の構成を説明する。
図3は、実施形態1に係る整列治具200を説明するために示す模式図である。図3(a)は実施形態1に係る整列治具200の側断面図であり、図3(b)は実施形態1に係る整列治具200の平面図である。なお、図3(a)において収容穴222は簡単のため簡略化されている。
図4は、実施形態1における収容穴222を説明するために示す図である。図4(a)は実施形態1における収容穴222の平面図であり、図4(b)は実施形態1における収容穴222の側断面図である。
次に、実施形態1に係る半導体装置の製造方法を説明する。
分離整列工程S10は、第1接続部143を有する接続子本体部141及び接続子本体部141と一体的に設けられた第2接続部142を備える複数の接続子140を、接続子本体部141に対応する形状を有する第1収容穴226及び第2接続部142に対応する形状を有する第2収容穴228からなる複数の収容穴222を備える整列治具200を用いて分離整列させる工程である。分離整列工程S10は、供給工程S11と、収容工程S12と、余剰接続子除去工程S13の各工程を含む。
供給工程S11は、整列治具200上に複数の接続子140を供給する工程である。供給される接続子140は、実施形態1に係る接続子140である。供給される接続子140の数は、整列治具200におけるトレイ210の大きさや接続子140の大きさ等に応じて適宜決定される。
収容工程S12は、整列治具200に振動を与えながら複数の接続子140を整列治具200における複数の収容穴222に収容する。具体的には、接続子本体部141に対応する形状を有する第1収容穴226に接続子本体部141を収容するとともに第2接続部142に対応する形状を有する第2収容穴228に第2接続部142を収容する。このことにより、接続子140は分離整列された状態で収容穴222に収容された状態となる。収容穴222に収容された接続子140は、吸引穴224から吸引される空気により収容穴222に保持されている。
余剰接続子除去工程S13は、収容穴222に収容されなかった余剰な接続子140を除去する。具体的には、吸引穴224から吸引される空気により収容穴222に収容された接続子140を保持しながら、収容穴222の開口部が鉛直下向きになるように整列治具200の天地をひっくり返す。収容穴222に収容されている接続子140は、吸引穴224から吸引される空気により収容穴222に保持される。それに対し、収容穴222に収容されなかった余剰な接続子(余剰接続子)140は、重力によって落下し、除去される。余剰接続子140が除去された後、トレイ210の天地を元に戻す。
接続工程S20は、分離整列工程S10で整列させた接続子140を複数個ずつ取り出すとともに、接続子140を介して半導体チップ110とリードフレーム120,130とを電気的に接続する。
具体的には、まず、吸引穴224から空気を吸引するのを停止する。次に、収容穴222に収容されている接続子140を、プレート220の表面とは垂直な方向から図示しない吸引ノズルで吸引して収容穴222から複数個ずつ取り出す。
次に、収容穴222から取り出された複数個の接続子140をそれぞれ半導体チップ110及びリードフレーム120,130の載置位置に移動させ、それぞれの接続子140を介して半導体チップ110とリードフレーム120,130とを電気的に接続する。接続子140において、半導体チップ110の電極の位置に第2接続部142を位置させたときには、接続子140の水平方向の角度を調整することなく、第1接続部143がボンディング面122,132の位置に位置する。
実施形態1に係る半導体装置の製造方法によれば、接続子として、非回転対称な平面形状を有する第2接続部142を備える接続子140を用いて分離整列工程S10を実施することとしているため、第2接続部142が第2収容穴228に収容されているにもかかわらず接続子本体部141が第1収容穴226に収容されていないという事態が発生することがない。そのため、後に続く接続工程S20において整列治具200から接続子140を常に正しく取り出すことができるようになるため、接続子140が正しく搭載されていない半導体装置や接続子140が全く搭載されていない半導体装置が製造されてしまうことを防ぐことが可能となり、半導体装置の製品歩留まりを高くすることが可能となる。
図7は、実施形態2に係る半導体装置102を説明するために示す図である。なお、図7においては、説明を簡潔にするために実施形態1の構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明を省略する
実施形態2に係る半導体装置102は、AC/DCコンバータにおける整流回路などに用いることができる。
Claims (12)
- 第1接続部を有する接続子本体部及び当該接続子本体部と一体的に設けられた第2接続部を備える複数の接続子を、前記接続子本体部に対応する形状を有する第1収容穴及び前記第2接続部に対応する形状を有する第2収容穴からなる複数の収容穴を備える整列治具を用いて分離整列させる分離整列工程と、
前記分離整列工程で整列させた前記接続子を取り出すとともに、当該接続子を介して半導体チップとリードフレームとを電気的に接続する接続工程とを含む半導体装置の製造方法であって、
前記接続子として、非回転対称な平面形状を有する前記第2接続部を備える接続子を用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記非回転対称な平面形状は、台形であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記接続子は、前記第2接続部が前記接続子本体部に対して段差加工された構造を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記分離整列工程は、
前記整列治具上に複数の前記接続子を供給する供給工程と、
前記整列治具に振動を与えながら前記複数の接続子を前記整列治具における複数の収容穴に収容する収容工程と、
前記収容穴に収容されなかった前記接続子を除去する余剰接続子除去工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項4に記載の半導体装置の製造方法において、
前記収容工程においては、前記収容穴に収容した前記接続子を吸引することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2収容穴は、底狭テーパー形状の側面を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体チップとリードフレームとを電気的に接続するための接続子であって、第1接続部を有する接続子本体部と、当該接続子本体部と一体的に設けられ、非回転対称な平面形状を有する第2接続部とを備える接続子を分離整列させるための整列治具であって、
前記接続子の前記接続子本体部に対応する形状を有する第1収容穴と、前記接続子の第2接続部に対応する形状を有する第2収容穴とからなる複数の収容穴を備え、
前記第2収容穴は、非回転対称な平面形状を有することを特徴とする整列治具。 - 請求項7に記載の整列治具において、
前記第2収容穴における前記非回転対称な平面形状は、台形であることを特徴とする整列治具。 - 請求項7又は8に記載の整列治具において、
箱体であるトレイと、
前記トレイの内部に前記トレイの底部とほぼ平行となるように設けられたプレートとを備え、
前記複数の収容穴は、前記プレートの表面に形成されていることを特徴とする整列治具。 - 請求項9に記載の整列治具において、
前記トレイに振動を与える振動付与装置をさらに備えることを特徴とする整列治具。 - 請求項9又は10に記載の整列治具において、
前記複数の収容穴のそれぞれには、空気を吸引するための吸引穴が形成され、
前記複数の収容穴のそれぞれに収容した前記接続子を吸引する吸引装置をさらに備えることを特徴とする整列治具。 - 請求項7〜11のいずれかに記載の整列治具において、
前記第2収容穴は、底狭テーパー形状の側面を有することを特徴とする整列治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011279024A JP5832885B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 半導体装置の製造方法、接続子、半導体装置及び整列治具 |
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JP2011279024A JP5832885B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 半導体装置の製造方法、接続子、半導体装置及び整列治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013131583A JP2013131583A (ja) | 2013-07-04 |
JP5832885B2 true JP5832885B2 (ja) | 2015-12-16 |
Family
ID=48908926
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011279024A Active JP5832885B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 半導体装置の製造方法、接続子、半導体装置及び整列治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5832885B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS619840U (ja) * | 1984-02-24 | 1986-01-21 | 新電元工業株式会社 | 樹脂封止型半導体装置 |
JPH11177131A (ja) * | 1997-12-09 | 1999-07-02 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子チップおよびそのマウント方法 |
JP2008016529A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2008034602A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5398608B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2014-01-29 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置の内部接続構造、及び、半導体装置 |
-
2011
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013131583A (ja) | 2013-07-04 |
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