JPH11305030A - 赤色フィルタ―膜の形成方法 - Google Patents
赤色フィルタ―膜の形成方法Info
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- JPH11305030A JPH11305030A JP1021799A JP1021799A JPH11305030A JP H11305030 A JPH11305030 A JP H11305030A JP 1021799 A JP1021799 A JP 1021799A JP 1021799 A JP1021799 A JP 1021799A JP H11305030 A JPH11305030 A JP H11305030A
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 環境汚染の問題を軽減し、工程を単純化しう
る赤色フィルター膜の形成方法を提供すること。 【解決手段】 下記化学式1で示される化合物を含有す
るネガ型フォトレジストをブラックマトリックスパター
ンの形成されているパネルに塗布してフォトレジスト層
を形成した後、所定領域を露光する段階と、前記露光さ
れたフォトレジスト層上に赤色顔料組成物を塗布及び乾
燥した後、現像する段階とを含むことを特徴とする赤色
フィルター膜の形成方法。 【化1】 但し、前記化学式1においてl:m:nは1.0−4.
5:70.0−98.0:1.0−20.0である。
る赤色フィルター膜の形成方法を提供すること。 【解決手段】 下記化学式1で示される化合物を含有す
るネガ型フォトレジストをブラックマトリックスパター
ンの形成されているパネルに塗布してフォトレジスト層
を形成した後、所定領域を露光する段階と、前記露光さ
れたフォトレジスト層上に赤色顔料組成物を塗布及び乾
燥した後、現像する段階とを含むことを特徴とする赤色
フィルター膜の形成方法。 【化1】 但し、前記化学式1においてl:m:nは1.0−4.
5:70.0−98.0:1.0−20.0である。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は赤色フィルター膜の
形成方法に係り、特にエッチング溶液の使用による環境
汚染を大幅に減らしながらも簡単な工程で赤色フィルタ
ー膜を形成しうる方法に関する。
形成方法に係り、特にエッチング溶液の使用による環境
汚染を大幅に減らしながらも簡単な工程で赤色フィルタ
ー膜を形成しうる方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、カラー陰極線管スクリーンには
緑色、青色及び赤色発光蛍光体パターンがドットまたは
ストライプ状に規則的に配列されている。各蛍光体パタ
ーンの間にはスクリーンのコントラスト、色純度などを
向上させるためにブラックマトリックスが形成されてい
る。電子銃からこのようなスクリーン上に電子が照射さ
れると、蛍光体が発光して要求される画像が実現され
る。
緑色、青色及び赤色発光蛍光体パターンがドットまたは
ストライプ状に規則的に配列されている。各蛍光体パタ
ーンの間にはスクリーンのコントラスト、色純度などを
向上させるためにブラックマトリックスが形成されてい
る。電子銃からこのようなスクリーン上に電子が照射さ
れると、蛍光体が発光して要求される画像が実現され
る。
【0003】陰極線管のスクリーンには様々な性質が要
求されるが、コントラスト及び輝度はその中でも重要な
特性である。コントラスト及び輝度はその重要性にもか
かわらず、何れか一方の特性を高めようとすると、他の
特性によくない影響を及ぼすという問題点がある。例え
ば、ガラスパネルは透過度に応じてダークチント(da
rk−tint)、セミチント(semi−tin
t)、クリアチント(clear−tint)に大別さ
れ、それぞれ透過度が40〜50%、50〜60%及び
80〜90%である。このように透過度の相異するパネ
ルを用いるとコントラスト及び輝度に相反する影響を及
ぼすことになる。即ち、ダークチントガラスパネルに蛍
光膜を形成すると外部の光はダークガラスに吸収されて
コントラストは向上するが、蛍光体により励起された光
もガラスに吸収されて輝度が低下する問題が発生する。
反対に、クリアチントパネルに蛍光膜を形成すると蛍光
体により励起された光の大部分はガラスを透過して輝度
は高いが、外部の光もパネルにより吸収されないのでコ
ントラストが低下する問題点が発生する。
求されるが、コントラスト及び輝度はその中でも重要な
特性である。コントラスト及び輝度はその重要性にもか
かわらず、何れか一方の特性を高めようとすると、他の
特性によくない影響を及ぼすという問題点がある。例え
ば、ガラスパネルは透過度に応じてダークチント(da
rk−tint)、セミチント(semi−tin
t)、クリアチント(clear−tint)に大別さ
れ、それぞれ透過度が40〜50%、50〜60%及び
80〜90%である。このように透過度の相異するパネ
ルを用いるとコントラスト及び輝度に相反する影響を及
ぼすことになる。即ち、ダークチントガラスパネルに蛍
光膜を形成すると外部の光はダークガラスに吸収されて
コントラストは向上するが、蛍光体により励起された光
もガラスに吸収されて輝度が低下する問題が発生する。
反対に、クリアチントパネルに蛍光膜を形成すると蛍光
体により励起された光の大部分はガラスを透過して輝度
は高いが、外部の光もパネルにより吸収されないのでコ
ントラストが低下する問題点が発生する。
【0004】このような問題点を解決するために、コン
トラスト及び輝度を同時に向上させる方法に関する研究
が行われてきた。その1つとして蛍光体パターンに対応
する位置にフィルター膜を形成する方法が提案された。
フィルター膜は外部の光を吸収してコントラストを向上
させながらも、蛍光体により励起される光に対しては不
要な波長のみを選択的に吸収するので輝度減少の効果が
小さい。従って、フィルター膜を形成すると、フィルタ
ー膜の形成されない場合と同一なコントラストである場
合、輝度が20〜30%向上することが知られている。
トラスト及び輝度を同時に向上させる方法に関する研究
が行われてきた。その1つとして蛍光体パターンに対応
する位置にフィルター膜を形成する方法が提案された。
フィルター膜は外部の光を吸収してコントラストを向上
させながらも、蛍光体により励起される光に対しては不
要な波長のみを選択的に吸収するので輝度減少の効果が
小さい。従って、フィルター膜を形成すると、フィルタ
ー膜の形成されない場合と同一なコントラストである場
合、輝度が20〜30%向上することが知られている。
【0005】一般に、フィルター膜はリソグラフィー工
程を用いて形成される。リソグラフィー工程は用いられ
るフォトレジストがポジ型か、またはネガ型かに応じて
形成されるパターンの形が正反対である。ポジ型の場合
には現像液によって露光部位が除去されるが、ネガ型の
場合には現像液によって露光部位が硬化され、非露光部
が除去される。従って、蛍光膜及びフィルター膜もネガ
型フォトレジストを用いて形成している。例えば、緑色
顔料とフォトレジストとの混合スラリーをパネルの内面
に塗布し、シャドーマスクを装着した後、露光及び現像
工程を経ると露光部位に緑色フィルター膜が形成され
る。
程を用いて形成される。リソグラフィー工程は用いられ
るフォトレジストがポジ型か、またはネガ型かに応じて
形成されるパターンの形が正反対である。ポジ型の場合
には現像液によって露光部位が除去されるが、ネガ型の
場合には現像液によって露光部位が硬化され、非露光部
が除去される。従って、蛍光膜及びフィルター膜もネガ
型フォトレジストを用いて形成している。例えば、緑色
顔料とフォトレジストとの混合スラリーをパネルの内面
に塗布し、シャドーマスクを装着した後、露光及び現像
工程を経ると露光部位に緑色フィルター膜が形成され
る。
【0006】しかし、赤色フィルター膜は緑色や青色フ
ィルター膜を形成するような方法を採用しにくいという
問題がある。赤色顔料として用いられる酸化鉄(F2 O
3)は紫外線を吸収する性質があって、紫外線が照射さ
れると不透明なフィルター膜が得られるからである。こ
れにより、緑色及び青色フィルター膜と異なって赤色フ
ィルター膜は他の方法を利用すべきである。
ィルター膜を形成するような方法を採用しにくいという
問題がある。赤色顔料として用いられる酸化鉄(F2 O
3)は紫外線を吸収する性質があって、紫外線が照射さ
れると不透明なフィルター膜が得られるからである。こ
れにより、緑色及び青色フィルター膜と異なって赤色フ
ィルター膜は他の方法を利用すべきである。
【0007】従来の赤色フィルター膜を形成する方法で
は赤色顔料を含まないネガ型フォトレジストを用いる。
このような方法でフィルター膜を形成する場合、一般の
方法に比べて工程が非常に複雑になる。
は赤色顔料を含まないネガ型フォトレジストを用いる。
このような方法でフィルター膜を形成する場合、一般の
方法に比べて工程が非常に複雑になる。
【0008】図2は従来の方法により赤色フィルター膜
を形成する方法を説明するための概略的な図面である。
を形成する方法を説明するための概略的な図面である。
【0009】図2を参照すれば、まず、パネル1にブラ
ックマトリックスパターン2を形成する(図2
(A))。次いで、ブラックマトリックスパターン2の
形成されたパネルの全面に顔料を含まないネガ型フォト
レジストを塗布、乾燥してフォトレジスト層3を形成す
る(図2(B))。引続き、マスク4を介して緑色及び
青色発光蛍光体パターンを形成する部位に紫外線5を照
射して露光し(図2(C))、現像すると露光部にフォ
トレジストパターン6G、6Bが形成される(図2
(D))。フォトレジストパターン6G、6Bの形成面
に顔料組成物を塗布、乾燥してフィルター膜7を形成す
る(図2(E))。最後に、過酸化水素を用いて、フォ
トレジストパターン6G、6B及びその上に形成されて
いるフィルター膜7をエッチングする。ネガ型フォトレ
ジストはポリビニルアルコールとビスアジド系化合物よ
りなり、過酸化水素と反応して膨張する。これにより、
フォトレジストパターン6G、6Bの除去と同時にその
上に形成されているフィルター膜も共に除去され、結果
的にブラックマトリックスパターン2及び赤色発光蛍光
体パターンの形成される領域に赤色フィルター膜7Rが
形成される(図2(F))。
ックマトリックスパターン2を形成する(図2
(A))。次いで、ブラックマトリックスパターン2の
形成されたパネルの全面に顔料を含まないネガ型フォト
レジストを塗布、乾燥してフォトレジスト層3を形成す
る(図2(B))。引続き、マスク4を介して緑色及び
青色発光蛍光体パターンを形成する部位に紫外線5を照
射して露光し(図2(C))、現像すると露光部にフォ
トレジストパターン6G、6Bが形成される(図2
(D))。フォトレジストパターン6G、6Bの形成面
に顔料組成物を塗布、乾燥してフィルター膜7を形成す
る(図2(E))。最後に、過酸化水素を用いて、フォ
トレジストパターン6G、6B及びその上に形成されて
いるフィルター膜7をエッチングする。ネガ型フォトレ
ジストはポリビニルアルコールとビスアジド系化合物よ
りなり、過酸化水素と反応して膨張する。これにより、
フォトレジストパターン6G、6Bの除去と同時にその
上に形成されているフィルター膜も共に除去され、結果
的にブラックマトリックスパターン2及び赤色発光蛍光
体パターンの形成される領域に赤色フィルター膜7Rが
形成される(図2(F))。
【0010】このように、従来の方法により赤色フィル
ター膜を形成すると、次のような問題点がある。
ター膜を形成すると、次のような問題点がある。
【0011】第1には、赤色フィルター膜の形成方法は
ブラックマトリックスパターンの形成方法のような複雑
な工程が要求される。
ブラックマトリックスパターンの形成方法のような複雑
な工程が要求される。
【0012】第2には、過酸化水素のようなエッチング
溶液を使用することにより環境汚染を誘発する。
溶液を使用することにより環境汚染を誘発する。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は環境汚染の問題を軽減し、工程を単純化しうる赤色フ
ィルター膜の形成方法を提供するにある。
は環境汚染の問題を軽減し、工程を単純化しうる赤色フ
ィルター膜の形成方法を提供するにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明は、下記化学式1で示される化合物(以下、P
VA−SbQと称する)を含有するネガ型フォトレジス
トをブラックマトリックスパターンの形成されているパ
ネルに塗布してフォトレジスト層を形成した後、所定領
域を露光する段階と、前記露光されたフォトレジスト層
上に赤色顔料組成物を塗布及び乾燥した後、現像する段
階とを含むことを特徴とする赤色フィルター膜の形成方
法を提供する。
に本発明は、下記化学式1で示される化合物(以下、P
VA−SbQと称する)を含有するネガ型フォトレジス
トをブラックマトリックスパターンの形成されているパ
ネルに塗布してフォトレジスト層を形成した後、所定領
域を露光する段階と、前記露光されたフォトレジスト層
上に赤色顔料組成物を塗布及び乾燥した後、現像する段
階とを含むことを特徴とする赤色フィルター膜の形成方
法を提供する。
【0015】
【化2】
【0016】但し、前記化学式1においてl:m:nは
1.0−4.5:70.0−98.0:1.0−20.
0である。
1.0−4.5:70.0−98.0:1.0−20.
0である。
【0017】特に前記化学式1で示される化合物の重合
度は300〜4000であることが望ましい。また、前
記ネガ型フォトレジストは前記化学式1で示される化合
物に対して0.5〜1.0重量%の界面活性剤をさらに
含むことが望ましい。
度は300〜4000であることが望ましい。また、前
記ネガ型フォトレジストは前記化学式1で示される化合
物に対して0.5〜1.0重量%の界面活性剤をさらに
含むことが望ましい。
【0018】本発明において用いられるフォトレジスト
は前記化学式1で示される高分子を主成分とする。ネガ
型フォトレジストはベース樹脂及びベース樹脂と架橋反
応を起こす感光剤を含むことが一般的であるが、本発明
において用いられる高分子はこのような2つの機能を全
て有している。また、化学式1で示される高分子は水の
ような極性溶媒によく溶解する性質がある。特に、高分
子の溶解度を高め、パネルとの湿潤性を向上させるため
に極性溶媒に表面活性剤を含有させることが望ましい。
このための表面活性剤の望ましい例としてはポリオキシ
エチレン−ポリオキシプロピレン共重合体(例えば、B
ASF AGのPES)、ポリオキシエチレンソルビタ
ンモノラウレート(例えば、ICI America
Inc.のSLS)があり、その含量は前記化学式1で
示される高分子に対して0.5〜1.0重量%が望まし
い。一方、フォトレジストの膜厚もレッドフィルターの
フィルター膜の厚さに影響を及ぼすが、前記フォトレジ
ストの膜厚はフォトレジストの粘度を種々変えることに
より調節する。
は前記化学式1で示される高分子を主成分とする。ネガ
型フォトレジストはベース樹脂及びベース樹脂と架橋反
応を起こす感光剤を含むことが一般的であるが、本発明
において用いられる高分子はこのような2つの機能を全
て有している。また、化学式1で示される高分子は水の
ような極性溶媒によく溶解する性質がある。特に、高分
子の溶解度を高め、パネルとの湿潤性を向上させるため
に極性溶媒に表面活性剤を含有させることが望ましい。
このための表面活性剤の望ましい例としてはポリオキシ
エチレン−ポリオキシプロピレン共重合体(例えば、B
ASF AGのPES)、ポリオキシエチレンソルビタ
ンモノラウレート(例えば、ICI America
Inc.のSLS)があり、その含量は前記化学式1で
示される高分子に対して0.5〜1.0重量%が望まし
い。一方、フォトレジストの膜厚もレッドフィルターの
フィルター膜の厚さに影響を及ぼすが、前記フォトレジ
ストの膜厚はフォトレジストの粘度を種々変えることに
より調節する。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、図1に基づき本発明を詳し
く説明する。
く説明する。
【0020】図2(A)に示すように従来の方法を用い
て、パネル11上にブラックマトリックスパターン12
を形成する(図1(A))。次いで、ブラックマトリッ
クスパターン12の形成されたパネルの全面に、前記化
学式1で示される化合物を含むネガ型フォトレジストを
塗布してフォトレジスト層13を形成する(図1
(B))。引続き、マスク14を介して緑色及び青色発
光蛍光体パターンを形成する部位に紫外線15を照射し
て露光する(図1(C))。一般のネガ型フォトレジス
トに比べ、本発明で用いられるフォトレジストは感光性
に非常に優れ、紫外線の照射部位における硬化反応が充
分に行われる。露光工程を経ると、従来の方法と異なっ
て現像工程を経なく、直ちにフォトレジスト層13上に
一般の赤色顔料組成物を塗布及び乾燥してフォトレジス
ト層の全面を覆う赤色フィルター膜17を形成する(図
1(D))。最後に、現像工程を経ると、緑色及び青色
発光蛍光体パターンの形成される部位のフィルター膜が
除去され、ブラックマトリックスパターン12及び赤色
発光蛍光体パターンの形成部位のみを覆う赤色フィルタ
ー膜17Rが形成される(図1(E))。
て、パネル11上にブラックマトリックスパターン12
を形成する(図1(A))。次いで、ブラックマトリッ
クスパターン12の形成されたパネルの全面に、前記化
学式1で示される化合物を含むネガ型フォトレジストを
塗布してフォトレジスト層13を形成する(図1
(B))。引続き、マスク14を介して緑色及び青色発
光蛍光体パターンを形成する部位に紫外線15を照射し
て露光する(図1(C))。一般のネガ型フォトレジス
トに比べ、本発明で用いられるフォトレジストは感光性
に非常に優れ、紫外線の照射部位における硬化反応が充
分に行われる。露光工程を経ると、従来の方法と異なっ
て現像工程を経なく、直ちにフォトレジスト層13上に
一般の赤色顔料組成物を塗布及び乾燥してフォトレジス
ト層の全面を覆う赤色フィルター膜17を形成する(図
1(D))。最後に、現像工程を経ると、緑色及び青色
発光蛍光体パターンの形成される部位のフィルター膜が
除去され、ブラックマトリックスパターン12及び赤色
発光蛍光体パターンの形成部位のみを覆う赤色フィルタ
ー膜17Rが形成される(図1(E))。
【0021】このような効果は従来に使用されたフォト
レジスト、例えばPVA−SDC(ポリビニルアルコー
ル−重クロム酸ナトリウム)のようなものを用いる場合
には得られない。即ち、従来のフォトレジストを用いて
前述のような工程を経る場合には、赤色フィルター膜1
7と露光されたフォトレジスト層13との間の付着力が
強くて赤色フィルター膜17を現像しにくい。反面、本
発明において使用される前記化学式1で示されたネガ型
フォトレジストを塗布して形成されたフォトレジスト層
13は露光部位が固く硬化されるために、その上部に形
成された赤色フィルター膜17との付着力が弱い。従っ
て、露光部では赤色フィルター膜17とフォトレジスト
層13との間の付着力が弱くて現像工程により赤色フィ
ルター膜17が除去される反面、非露光部では赤色フィ
ルター膜17とフォトレジスト層13との間の付着力が
強くて赤色フィルター膜17が除去されない。 実施例1 PVA−SbQ(日本東洋合成工業(株)のS−13タ
イプ)20g、水79g、及びPES 1gを混合して
得たフォトレジスト組成物を、ブラックマトリックスパ
ターンの形成されたパネルの全面に塗布してフォトレジ
スト層を形成した。引続き、マスクを介して緑色及び青
色発光蛍光体パターンの形成部位に紫外線を照射して露
光した。次いで、これに、水100g、界面活性剤(R
ohm& Haas社、商品名:OROTAN)0.1
95g、エチレングリコール10g、赤色顔料Fe2 O
3 6g、PES 1.0g、Ludox(E.I.DU
PONT de Nemours and Compa
ny、商品名:Ludox AM)バインダー0.75
gを混合して得た赤色顔料組成物を塗布及び乾燥してフ
ォトレジスト層の全面を覆う赤色フィルター膜を形成し
た。最後に、現象剤として水を使用して現像工程を実施
し、緑色及び青色発光蛍光体パターンの形成部位のフィ
ルター膜を除去し、ブラックマトリックスパターン及び
赤色発光蛍光体パターンの形成部位のみを覆う赤色フィ
ルター膜を形成した。 実施例2 フォトレジスト組成物としてPVA−SbQ(日本東洋
合成工業(株)のH−13タイプ)15g、水84g、
及びPES 1gを混合して得たものを使用し、赤色顔
料組成物として水100g、界面活性剤(Rohm &
Haas社、商品名:OROTAN)0.195g、
赤色顔料Fe2 O3 6g、SLS 1.0g、Ludo
x(DUPONT社、商品名:Ludox AM)バイ
ンダー0.1g、及びPVAバインダー0.32gを混
合して得たものを使用することを除いては実施例1と同
じ方法でブラックマトリックスパターン及び赤色発光蛍
光体パターンの形成部位のみを覆う赤色フィルター膜を
形成した。 実施例3 フォトレジスト組成物として実施例2のフォトレジスト
組成物を使用し、赤色顔料組成物として水100g、界
面活性剤(Rohm & Haas社、商品名:ORO
TAN)0.195g、赤色顔料Fe2 O3 6g、PE
S 1.0g、ケイ酸カリウム(potassium
silicate)バインダー0.2gを混合して得た
ものを使用することを除いては実施例1と同じ方法でブ
ラックマトリックスパターン及び赤色発光蛍光体パター
ンの形成部位のみを覆う赤色フィルター膜を形成した。
但し、本実施例において現像工程は水を5〜6kg/c
m 2 の高圧で赤色フィルター膜に噴射する方法で実施し
た。
レジスト、例えばPVA−SDC(ポリビニルアルコー
ル−重クロム酸ナトリウム)のようなものを用いる場合
には得られない。即ち、従来のフォトレジストを用いて
前述のような工程を経る場合には、赤色フィルター膜1
7と露光されたフォトレジスト層13との間の付着力が
強くて赤色フィルター膜17を現像しにくい。反面、本
発明において使用される前記化学式1で示されたネガ型
フォトレジストを塗布して形成されたフォトレジスト層
13は露光部位が固く硬化されるために、その上部に形
成された赤色フィルター膜17との付着力が弱い。従っ
て、露光部では赤色フィルター膜17とフォトレジスト
層13との間の付着力が弱くて現像工程により赤色フィ
ルター膜17が除去される反面、非露光部では赤色フィ
ルター膜17とフォトレジスト層13との間の付着力が
強くて赤色フィルター膜17が除去されない。 実施例1 PVA−SbQ(日本東洋合成工業(株)のS−13タ
イプ)20g、水79g、及びPES 1gを混合して
得たフォトレジスト組成物を、ブラックマトリックスパ
ターンの形成されたパネルの全面に塗布してフォトレジ
スト層を形成した。引続き、マスクを介して緑色及び青
色発光蛍光体パターンの形成部位に紫外線を照射して露
光した。次いで、これに、水100g、界面活性剤(R
ohm& Haas社、商品名:OROTAN)0.1
95g、エチレングリコール10g、赤色顔料Fe2 O
3 6g、PES 1.0g、Ludox(E.I.DU
PONT de Nemours and Compa
ny、商品名:Ludox AM)バインダー0.75
gを混合して得た赤色顔料組成物を塗布及び乾燥してフ
ォトレジスト層の全面を覆う赤色フィルター膜を形成し
た。最後に、現象剤として水を使用して現像工程を実施
し、緑色及び青色発光蛍光体パターンの形成部位のフィ
ルター膜を除去し、ブラックマトリックスパターン及び
赤色発光蛍光体パターンの形成部位のみを覆う赤色フィ
ルター膜を形成した。 実施例2 フォトレジスト組成物としてPVA−SbQ(日本東洋
合成工業(株)のH−13タイプ)15g、水84g、
及びPES 1gを混合して得たものを使用し、赤色顔
料組成物として水100g、界面活性剤(Rohm &
Haas社、商品名:OROTAN)0.195g、
赤色顔料Fe2 O3 6g、SLS 1.0g、Ludo
x(DUPONT社、商品名:Ludox AM)バイ
ンダー0.1g、及びPVAバインダー0.32gを混
合して得たものを使用することを除いては実施例1と同
じ方法でブラックマトリックスパターン及び赤色発光蛍
光体パターンの形成部位のみを覆う赤色フィルター膜を
形成した。 実施例3 フォトレジスト組成物として実施例2のフォトレジスト
組成物を使用し、赤色顔料組成物として水100g、界
面活性剤(Rohm & Haas社、商品名:ORO
TAN)0.195g、赤色顔料Fe2 O3 6g、PE
S 1.0g、ケイ酸カリウム(potassium
silicate)バインダー0.2gを混合して得た
ものを使用することを除いては実施例1と同じ方法でブ
ラックマトリックスパターン及び赤色発光蛍光体パター
ンの形成部位のみを覆う赤色フィルター膜を形成した。
但し、本実施例において現像工程は水を5〜6kg/c
m 2 の高圧で赤色フィルター膜に噴射する方法で実施し
た。
【0022】
【発明の効果】前述したように、本発明により赤色フィ
ルター膜を形成すれば次のような長所がある。
ルター膜を形成すれば次のような長所がある。
【0023】第1、赤色フィルター膜の形成工程が単純
化されることによりライン工程設備にかかる費用を節減
しうる。
化されることによりライン工程設備にかかる費用を節減
しうる。
【0024】第2、エッチング溶液を使用しないため
に、環境汚染の問題を減らしうる。
に、環境汚染の問題を減らしうる。
【図1】 本発明による赤色フィルター膜の形成方法を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図2】 従来の方法による赤色フィルター膜の形成方
法の各工程を説明するための図である。
法の各工程を説明するための図である。
11...パネル 12...ブラックマトリックスパターン 13...フォトレジスト層 14...マスク 17R・・・赤色フィルター膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 599008241 575 Shin−dong, Palda l−gu, Suwon−city, K yungki−do, Republic of Korea (72)発明者 ホン−キュ チョイ 大韓民国 キュンキ−ドー スウォン−シ ティ パルダル−グ マエタン−ドン 897 ジュコン アパートメント 501− 504 (72)発明者 ヒュン−ジン キム 大韓民国 キュンキ−ドー セオンナム− シティ プンダン−グ セオヒュン−ドン 92 ヒュンダイ アパートメント 416 −1003
Claims (4)
- 【請求項1】 下記化学式1で示される化合物を含有す
るネガ型フォトレジストをブラックマトリックスパター
ンの形成されているパネルに塗布してフォトレジスト層
を形成した後、所定領域を露光する段階と、 前記露光されたフォトレジスト層上に赤色顔料組成物を
塗布及び乾燥した後、現像する段階とを含むことを特徴
とする赤色フィルター膜の形成方法。 【化1】 但し、前記化学式1においてl:m:nは1.0−4.
5:70.0−98.0:1.0−20.0である。 - 【請求項2】 前記化学式1で示される化合物の重合度
は300〜4000であることを特徴とする請求項1に
記載の赤色フィルター膜の形成方法。 - 【請求項3】 前記ネガ型フォトレジストは前記化学式
1で示される化合物に対して0.5〜1.0重量%の界
面活性剤をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載
の赤色フィルター膜の形成方法。 - 【請求項4】 前記界面活性剤はポリオキシエチレン−
ポリオキシプロピレン共重合体、及びポリオキシエチレ
ンソルビタンモノラウレートよりなる群から選択された
少なくとも1つであることを特徴とする請求項3に記載
の赤色フィルター膜の形成方法。
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