JPH11271800A - 液晶駆動基板の検査装置及びその検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 互いに隣り合う画素電極間の短絡欠陥を検出
する。 【解決手段】 複数の画素電極と該画素電極にデータ電
圧を書き込むスイッチング素子が行列状に備えられた液
晶駆動基板に電気光学素子板を対向配置する検査装置に
おいて、ある電圧印加パターンにおいて、互いに隣り合
う画素電極の一方に所定電圧値を書込むようにスイッチ
ング素子にゲート電圧とデータ電圧とを供給し、かつ互
いに隣り合うもう一方の画素電極のスイッチング素子に
は遮断状態に維持するようにゲート電圧とデータ電圧と
を供給し、他の電圧印加パターンにおいては、もう一方
の画素電極に所定電圧値を書込むようにスイッチング素
子にゲート電圧とデータ電圧とを供給し、かつ一方の画
素電極のスイッチング素子には遮断状態に維持するよう
にゲート電圧とデータ電圧とを供給する電源装置を具備
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶駆動基板の検
査装置及びその検査方法に係わり、特に液晶駆動基板に
対向配置された電気光学素子の表面画像に基づいて液晶
駆動基板の動作状態を検査する技術に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、液晶表示パネルは、液晶
が封入されたガラス板に当該液晶に電界を加える液晶駆
動基板を対向配置したものである。この液晶表示パネル
は、液晶駆動基板の画素電極に加えるデータ電圧を制御
して液晶に加える電界を調節し、この電界調節によって
液晶の光透過率をコントロールして画像を表示するもの
である。このような液晶表示パネルに用いられる液晶駆
動基板は、ガラス板上に行列状態に設けられた複数の画
素電極を備え、これら画素電極に書込む電圧をＴＦＴ等
のスイッチング素子を用いてコントロールするものであ
る。

【０００３】図８は、このような液晶駆動基板の一種と
して、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を使用したアクティ
ブマトリックス方式の液晶駆動基板の構成例を示す平面
図である。この図において、ガラス基板ａ1の表面に
は、一定間隔を隔てて行列（マトリクス）状に多数の画
素電極ａ2が形成されている。すなわち、画素電極ａ2
は、当該液晶駆動基板Ａを用いて表示される画像の水平
方向と垂直方向とに沿って一定間隔を隔ててマトリクス
状に配置される。

【０００４】これら各画素電極ａ2は、保持容量ａ3を介
して各々Ｃs配線ａ4に接続される一方、ＴＦＴａ5を介
してデータ配線ａ6にそれぞれ接続されている。各ＴＦ
Ｔａ5は、ソース端子が画素電極ａ2に接続されると共に
ドレイン端子がデータ配線ａ6に接続され、またゲート
端子がゲート配線ａ7にそれぞれ接続されている。上記
Ｃs配線ａ4は、水平方向に並ぶ各行の保持容量ａ3毎に
設けられており、ガラス基板ａ1の端部（この図では右
端）に設けられたショートバーａ8にそれぞれ共通接続
されている。ゲート配線ａ7も、同じく水平方向に並ぶ
各行のＴＦＴａ5毎に設けられており、ガラス基板ａ1の
端部（この図では左端）に設けられたショートバーａ9
にそれぞれ共通接続されている。また、データ配線ａ6
は、垂直方向に並ぶ各列のＴＦＴａ5毎に設けられてお
り、ガラス基板ａ1の端部（この図では上端）に設けら
れたショートバーａ10にそれぞれ共通接続されている。

【０００５】すなわち、この図に示すように、画素電極
ａ2の近傍には保持容量ａ3とＴＦＴａ5とが付加的に設
けられて１つの画素ユニットを形成し、Ｃs配線ａ4とゲ
ート配線ａ7とは水平方向に並ぶ画素ユニットの間を水
平方向に配線されている。この図では、水平方向に並ぶ
画素ユニットの下側にＣs配線ａ4が配線され、上側にゲ
ート配線ａ7がそれぞれ配線されている。一方、データ
配線ａ6は、垂直方向に並ぶ画素ユニットの間を垂直方
向に配線されている。

【０００６】上記各ＴＦＴａ5は、ゲート配線ａ7に所定
のゲート電圧が印加されることによって導通状態とな
り、この時各データ配線ａ6に印加されているデータ電
圧を各画素電極ａ2に書き込む。そして、ＴＦＴａ5が非
導通状態とされると、画素電極ａ2に書き込まれたデー
タ電圧は、保持容量ａ3によって保持される。なお、こ
のような液晶駆動基板Ａは、液晶表示パネルの製造工程
の途中のものであり、液晶表示パネルとして完成する時
点では、各ショートバーａ8〜ａ10はガラス基板ａ1から
分離・除去される。そして、Ｃs配線ａ4とデータ配線ａ
6とゲート配線ａ7とは、当該液晶駆動基板Ａを駆動する
駆動回路（ドライバ）に接続される。

【０００７】上記液晶駆動基板Ａは、ゲート配線及びデ
ータ配線がそれぞれ２つの別系統のショートバーに接続
されるものであり、便宜上２Ｇ２Ｄタイプの液晶駆動基
板と称する。液晶駆動基板には、この２Ｇ２Ｄタイプの
他に、ゲート配線が１つのショートバーに接続され、か
つデータ配線が２つのショートバーに接続された１Ｇ２
Ｄタイプの液晶駆動基板や、ゲート配線が２つの系統の
ショートバーに接続され、かつデータ配線が３つの系統
のショートバーに接続された２Ｇ３Ｄタイプの液晶駆動
基板が考案されており、またドライバ付の液晶駆動基板
も実用化されている。

【０００８】２Ｇ３Ｄタイプの液晶駆動基板は、互いに
隣り合う３つの画素電極が画像の三原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）
に対応するものであり、各色の画素電極毎にデータ電圧
を設定できるようにデータ配線が３つのショートバーに
分かれて接続され、またゲート配線については上記液晶
駆動基板Ａと同様に奇数行と偶数行とが各々独立したシ
ョートバーに接続されたものである。また、ドライバ付
液晶駆動基板は、列方向に並ぶ各画素電極のデータ電圧
を各々独立してコントロールするドライバと各行の各画
素電極のゲート電圧を各々独立してコントロールするド
ライバとを備えたものである。

【０００９】このような液晶駆動基板Ａの作動を検査す
る検査装置としては、例えば特開平５−２５６７９４号
公報等に記載された電気光学素子板（モジュレータと称
する）を用いるものがある。図９は、このようなモジュ
レータを用いた検査装置の構成例の概要図である。この
図において、符号Ｂはモジュレータである。このモジュ
レータＢは、内部に液晶が封入された液晶シートｂ1の
片面に薄膜透明電極ｂ2を貼り合わせ、またもう一方の
面にモジュレータＢに照射された光を反射する半導体反
射膜ｂ3（誘電体反射膜）を蒸着または貼り合わせて構
成される。

【００１０】このモジュレータＢは、図示しない検査装
置本体に固定され、また液晶駆動基板Ａはモジュレータ
Ｂに微小ギャップ（１０μｍ〜数１０μｍ）を隔てて対
向配置される。液晶駆動基板Ａは、ガラス基板ａ1上に
多数の画素電極ａ2が行列状に設けられ、これら各画素
電極ａ2への電圧の印加がＴＦＴａ5によって制御される
ようになっている。

【００１１】モジュレータＢの薄膜透明電極ｂ2及び液
晶駆動基板Ａの各ＴＦＴのゲート電極とソース電極に
は、電圧印加装置Ｃによって液晶駆動基板Ａの動作を検
査するために必要な所定電圧が印加され、さらにモジュ
レータＢの表面には光源Ｄ（ＬＥＤ等）によって光が照
射される。この状態において、ＣＣＤカメラＥは、モジ
ュレータＢの表面からの反射光によってモジュレータＢ
の表面の模様を画像として捉える。

【００１２】液晶駆動基板Ａは微小間隔をおいてモジュ
レータＢに対向して配置されているので、液晶シートｂ
1内に封入された液晶は、薄膜透明電極ｂ2と液晶駆動基
板Ａの各画素電極ａ2との間に発生する電界の影響を受
けて分子の配向状態が変化することになる。この結果、
該液晶の分子配向の状態に応じて液晶シートｂ1の光透
過率が調節され、よってモジュレータＢに照射された光
の反射率が変化することになる。

【００１３】この結果、ＣＣＤカメラＥによって捉えら
れるモジュレータＢの表面画像は、液晶駆動基板Ａの各
画素電極ａ2に印加された電圧を反映させた輝度の画像
（電圧イメージ）となる。画像処理装置Ｆは、この電圧
イメージに一定の画像処理を施すことによって正常な電
圧が印加されていない画素電極ａ2（欠陥画素）を特定
し、例えばその欠陥数等に基づいて液晶駆動基板Ａの良
否を検査する。そして、この検査結果は、モニタＧに送
られて表示される。

【００１４】このような検査装置を用いて液晶駆動基板
Ａを検査する場合、ゲート配線ａ7やデータ配線ａ6の断
線あるいは画素電極ａ2とゲート配線ａ7の短絡等、種々
の原因によって生じる液晶駆動基板Ａの異常を検出する
ために、種々のパターンのゲート電圧及びデータ電圧が
ショートバーａ6〜ａ9を介して液晶駆動基板Ａに供給さ
れ、このときのモジュレータＢの表面画像が電圧イメー
ジとして取得される。そして、これらの電圧イメージを
画像処理装置Ｆによって画像処理することによって正常
にデータ電圧が書込まれない画素電極（欠陥画素）が検
出される。ここで、画像処理装置Ｆに供される画像波形
が片極性（例えば正極性）となるようにゲート電圧ある
いはデータ電圧を印加して電圧イメージを取得する検査
手法をユニポーライメージングという。

【００１５】さらに、従来の液晶駆動基板の検査では、
ゲート電圧及びデータ電圧を種々のパターンに変更しな
ければ検出することができなかった欠陥について、図１
０に示すような検査方法を採用していた。ここで、各々
のサブイメージ１〜ｎは２フレームのＣＣＤ撮像イメー
ジから生成される電圧イメージである。これらサブイメ
ージ１〜ｎには、主にＣＣＤのショットノイズに起因す
るランダムノイズがかなり重畳されており、１つのサブ
イメージ１〜ｎからだけでは十分な画像電圧検知精度を
得ることができない。

【００１６】このため、電圧イメージ１を生成するため
に、パネル印加パターン１を繰り返し液晶駆動基板Ａに
印加しながら、複数のサブイメージ１を加算してノイズ
レベルを相対的に低下させる手法を採用している。そし
て、このようにして得られた電圧イメージ１に基づいて
欠陥情報１を取得する。これを１サイクルとして、２サ
イクル目では、パネル印加パターン１で検出される欠陥
とは別の欠陥を検出するためのパネル印加パターン２を
繰り返し液晶駆動基板Ａに印加して複数のサブイメージ
２を加算することによって電圧イメージ２を生成し、該
電圧イメージ２に基づいて欠陥情報２を取得する。

【００１７】さらに、同様にしてｎサイクルの処理を実
行することにより欠陥情報３，４，……，ｎを取得し、
全ての欠陥情報１，２，……，ｎを総合することによっ
て１枚の液晶駆動基板Ａについての欠陥マップを生成す
る。この場合、画像処理装置によって各電圧イメージ１
〜ｎが取得され、これら電圧イメージ１〜ｎに基づく欠
陥情報１，２，……，ｎの取得は、高速処理が可能なホ
ストコンピュータ等によって行われている。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
ユニポーライメージングを用いた従来の液晶駆動基板Ａ
の検査装置では、互いに隣り合う画素電極ａ2が何らか
の原因で短絡しており、かつその短絡がゲート配線ある
いはデータ配線との短絡を含まない場合に、これを異常
として検出することができなかった。画素電極間短絡が
配線との短絡を含むかどうかは、ＴＦＴパネルの設計上
決まるものであり、最近の傾向としてそのような設計が
多くなっている。

【００１９】また、このような短絡欠陥を検出する手法
として、互いに隣り合う画素電極に異なる極性のデータ
電圧を書込む技術（バイポーライメージング）がある
が、この技術ではＣＣＤと液晶駆動基板Ａの画素数の相
異に起因して画像イメージにモアレ（干渉稿）が発生す
るため、欠陥閾値を厳しく設定することができず、よっ
て検査精度が低下する。

【００２０】また、２Ｇ３Ｄタイプの液晶駆動基板にバ
イポーライメージングを適用した場合、正負極性の振幅
を対称にするには、例えばＲＧＢ信号に＋１０Ｖ，０
Ｖ，−１０Ｖを印加することが考えられるが、この場
合、データ配線間の短絡は検出できるが、０Ｖを印加し
たデータ配線の断線欠陥が検出できない。また、例えば
各色の画素電極の何れか１つに正極性のデータ電圧を書
き込み、他の２つの画素電極に負極性のデータ電圧を書
込んだ場合、電圧イメージの波形の空間デューティ比が
正極性側に偏って該波形の欠陥判定しきい値が安定しな
い上、負極性が隣り合う信号間の短絡検出ができず、し
たがって上述した短絡欠陥を安定して検出することがで
きない。さらに、画素電極のピッチが狭い高精細型液晶
駆動基板にバイポーライメージングを適用した場合、電
圧イメージの波形変化の空間周波数が高くなるため、波
形の振幅が小さくなり、よって短絡欠陥や断線欠陥を安
定して検出することが困難である。

【００２１】また、数多くの電圧印加パターンを組み合
わせることによって様々なモードの欠陥を検出すること
も考えられるが、この場合には検査のために取得しなけ
ればならない電圧イメージの枚数が増加することになる
ので、検査のスループットが低下し、検査効率が悪化す
るという不都合がある。その場合、複数の電圧印加パタ
ーンから得られる複数の電圧イメージを高速に合成して
１枚の電圧イメージを得るという手法を用いることによ
り、スループットを低下させないで、より多くのモード
の欠陥を検出することができる。液晶表示パネルの需要
が飛躍的に増大している現状からして、検査効率の悪化
は許容されるものではない。

【００２２】さらに、上記図１０に示すような検査方法
では、各パネル印加パターン１〜ｎ毎に電圧イメージ１
〜ｎを取得し、また該電圧イメージ１〜ｎに基づいて欠
陥情報１，２，……，ｎを取得する必要があるので、液
晶駆動基板の検査に掛かるスループットが低下するとい
う問題点がある。

【００２３】本発明は、上述する問題点に鑑みてなされ
たもので、以下の点を目的とするものである。 （１）ゲート配線あるいはデータ配線との短絡を含まな
い互いに隣り合う画素電極間の短絡欠陥を検出すること
が可能な液晶駆動基板の検査装置及びその検査方法を提
供する。 （２）検査のスループットを低下させることなく互いに
隣り合う画素電極間の短絡欠陥を検出することが可能な
液晶駆動基板の検査装置及びその検査方法を提供する。 （３）ユニポーライメージングによって隣り合う画素電
極間の短絡欠陥を検出することが可能な液晶駆動基板の
検査装置及びその検査方法を提供する。 （４）複数の電圧パターンを印加して複数のサブイメー
ジを生成し、それらを高速に合成して１枚の電圧イメー
ジを取得することによりＣＣＤのランダムノイズの低減
と複数の電圧イメージの合成とを同時に行い、これの基
づいて欠陥判定を行うことにより各々の電圧パターンで
しか検出できない欠陥を画素電圧検知精度やスループッ
トを低下させることなく検出することが可能な液晶駆動
基板の検査装置及びその検査方法を提供する。

【００２４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、液晶駆動基板の検査装置に係わる第１
の手段として、画素電極と該画素電極へのデータ電圧の
書込みを制御するスイッチング素子とが行列状に多数設
けられた液晶駆動基板の検査装置において、平板状に封
止された液晶または電気光学効果を有するシートと該シ
ートまたは液晶の一面に備えられた透明電極ともう一面
に備えられた誘電体反射膜とからなり、前記シートまた
は液晶を透明電極との間で挟込むように液晶駆動基板に
対向配置される電気光学素子板と、前記スイッチング素
子の遮断／導通を操作するゲート電圧と前記データ電圧
とを複数の電圧印加パターンで液晶駆動基板に供給する
と共に、前記透明電極にも電圧を供給する電源装置と、
前記各々の電圧印加パターンにおける誘電体反射膜から
反射してくる画像を撮影する撮像手段と、前記各電圧印
加パターンに対応する画像を加算して合成イメージを生
成すると共に、該合成イメージに基づいて欠陥画素電極
を検出し、該検出結果を液晶駆動基板の検査結果として
出力する画像処理装置とからなり、前記電源装置は、あ
る電圧印加パターンにおいて、互いに隣り合う画素電極
の一方に所定電圧値を書込むようにスイッチング素子に
ゲート電圧とデータ電圧とを供給し、かつ、互いに隣り
合うもう一方の画素電極のスイッチング素子には遮断状
態に維持するようにゲート電圧とデータ電圧とを供給
し、他の電圧印加パターンにおいては、前記もう一方の
画素電極に所定電圧値を書込むようにスイッチング素子
にゲート電圧とデータ電圧とを供給し、かつ、前記一方
の画素電極のスイッチング素子には遮断状態に維持する
ようにゲート電圧とデータ電圧とを供給するという手段
を採用する。

【００２５】また、液晶駆動基板の検査装置に係わる第
２の手段として、画素電極と該画素電極へのデータ電圧
の書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けられ、
かつ、該ＴＦＴにデータ電圧を供給するデータ配線が各
列毎に設けられると共に、遮断／導通を操作するゲート
電圧をＴＦＴに供給するゲート配線が各行毎に設けられ
た液晶駆動基板の検査装置において、平板状に封止され
た液晶または電気光学効果を有するシートと該シートま
たは液晶の一面に備えられた透明電極ともう一面に備え
られた誘電体反射膜とからなり、前記シートまたは液晶
を透明電極との間で挟込むように前記液晶駆動基板に対
向配置される電気光学素子板と、前記ゲート電圧とデー
タ電圧とを複数の電圧印加パターンで液晶駆動基板に供
給すると共に、前記透明電極に所定のバイアス電圧を供
給する電源装置と、前記各々の電圧印加パターンにおけ
る誘電体反射膜から反射してくる画像を撮影する撮像手
段と、前記各電圧印加パターンに対応する画像を加算し
て合成イメージを生成すると共に、該合成イメージに基
づいて欠陥画素電極を検出し、該検出結果を液晶駆動基
板の検査結果として出力する画像処理装置とからなり、
前記電源装置は、ある電圧印加パターンにおいて、ある
列において隣り合う画素電極の一方に第１の電圧値Ｅd2
を書込み、その後、もう一方の画素電極に前記第１の電
圧と異なる第３の電圧を書き込むように、もう一方の画
素電極のデータ電圧を一定の期間Ｔ4に亘って変化さ
せ、他の電圧印加パターンにおいては、前記一方の画素
電極ともう一方の画素電極に印加する電圧を入れ替えて
供給するという手段を採用する。

【００２６】さらに、液晶駆動基板の検査装置に係わる
第３の手段として、画素電極と該画素電極へのデータ電
圧の書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けら
れ、かつ、該ＴＦＴにデータ電圧を供給するデータ配線
が各列毎に設けられると共に、遮断／導通を操作するゲ
ート電圧をＴＦＴに供給するゲート配線が各行毎に設け
られた液晶駆動基板の検査装置において、平板状に封止
された液晶または電気光学効果を有するシートと該シー
トまたは液晶の一面に備えられた透明電極ともう一面に
備えられた誘電体反射膜とからなり、前記シートまたは
液晶を透明電極との間で挟込むように前記液晶駆動基板
に対向配置される電気光学素子板と、前記ゲート電圧と
データ電圧とを複数の電圧印加パターンで液晶駆動基板
に供給すると共に、前記透明電極に所定のバイアス電圧
を供給する電源装置と、前記各々の電圧印加パターンに
おける誘電体反射膜から反射してくる画像を撮影する撮
像手段と、前記各電圧印加パターンに対応する画像を加
算して合成イメージを生成すると共に、該合成イメージ
に基づいて欠陥画素電極を検出し、該検出結果を液晶駆
動基板の検査結果として出力する画像処理装置とからな
り、前記電源装置は、ある電圧印加パターンにおいて、
ある行において隣り合う画素電極の一方に第１の電圧値
Ｅd2を書込むようにゲート電圧とデータ電圧とを供給
し、その後、もう一方の画素電極に前記第１の電圧Ｅd2
よりも低い第２の電圧Ｅd1を書き込むようにゲート電圧
を一定の期間Ｔ5に亘って供給し、他の電圧印加パター
ンにおいては、前記一方の画素電極ともう一方の画素電
極に印加する電圧を入れ替えて供給するという手段を採
用する。

【００２７】一方、本発明では、液晶駆動基板の検査方
法に係わる第１の手段として、画素電極と該画素電極へ
のデータ電圧の書込みを制御するスイッチング素子とが
行列状に多数設けられた液晶駆動基板に平板状に封止さ
れた液晶または電気光学効果を有するシートと該シート
または液晶の一面に備えられた透明電極ともう一面に備
えられた誘電体反射膜とからなる電気光学素子板をシー
トまたは液晶を透明電極との間に挟込むように対向配置
し、前記スイッチング素子の遮断／導通を操作するゲー
ト電圧と前記データ電圧とを供給すると共に前記透明電
極にも電圧を供給し、この際の電気光学素子板の表面の
画像に基づいて液晶駆動基板を検査する方法において、
互いに隣り合う画素電極の一方に所定電圧値を書込むよ
うにスイッチング素子にゲート電圧とデータ電圧とを供
給すると共に、互いに隣り合うもう一方の画素電極のス
イッチング素子には遮断状態に維持するようにゲート電
圧とデータ電圧とを供給して電気光学素子板の表面の画
像を取得する第１の工程と、前記もう一方の画素電極に
所定電圧値を書込むようにスイッチング素子にゲート電
圧とデータ電圧とを供給すると共に、前記一方の画素電
極のスイッチング素子には遮断状態に維持するようにゲ
ート電圧とデータ電圧とを供給して電気光学素子板の表
面の画像を取得する第２の工程と、前記第１及び第２の
工程で得られた画像を加算して合成イメージを生成する
第３の工程と、該合成イメージに基づいて欠陥画素電極
を検出する第４の工程と、該第４の工程における検出結
果を液晶駆動基板の検査結果として出力する第５の工程
とからなる手段を採用する。

【００２８】また、液晶駆動基板の検査方法に係わる第
２の手段として、画素電極と該画素電極へのデータ電圧
の書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けられた
液晶駆動基板に平板状に封止された液晶または電気光学
効果を有するシートと該シートまたは液晶の一面に備え
られた透明電極ともう一面に備えられた誘電体反射膜と
からなる電気光学素子板をシートまたは液晶を透明電極
との間に挟込むように対向配置し、前記ＴＦＴの遮断／
導通を操作するゲート電圧と前記データ電圧とを供給す
ると共に前記透明電極にも電圧を供給し、この際の電気
光学素子板の表面の画像に基づいて液晶駆動基板を検査
する方法において、ある列において隣り合う画素電極の
一方に第１の電圧値Ｅd2を書込み、その後、もう一方の
画素電極に前記第１の電圧と異なる第３の電圧を書き込
むように、もう一方の画素電極のデータ電圧を一定の期
間Ｔ4に亘って変化させた場合の電気光学素子板の表面
の画像を取得する第１の工程と、前記一方の画素電極と
もう一方の画素電極に印加する電圧を入れ替えて供給し
た場合の電気光学素子板の表面の画像を取得する第２の
工程と、前記第１及び第２の工程で得られた画像を加算
して合成イメージを生成する第３の工程と、該合成イメ
ージに基づいてデータ電圧が正常に印加されない欠陥画
素電極を検出する第４の工程と、該第４の工程における
検出結果を液晶駆動基板の検査結果として出力する第５
の工程とからなる手段を採用する。

【００２９】さらに、液晶駆動基板の検査方法に係わる
第３の手段として、画素電極と該画素電極へのデータ電
圧の書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けられ
た液晶駆動基板に平板状に封止された液晶または電気光
学効果を有するシートと該シートまたは液晶の一面に備
えられた透明電極ともう一面に備えられた誘電体反射膜
とからなる電気光学素子板をシートまたは液晶を透明電
極との間に挟込むように対向配置し、前記ＴＦＴの遮断
／導通を操作するゲート電圧と前記データ電圧とを供給
すると共に前記透明電極にも電圧を供給し、この際の電
気光学素子板の表面の画像に基づいて液晶駆動基板を検
査する方法において、ある行において隣り合う画素電極
の一方に第１の電圧値Ｅd2を書込むようにゲート電圧と
データ電圧とを供給し、その後、もう一方の画素電極に
前記第１の電圧Ｅd2よりも低い第２の電圧Ｅd1を書き込
むようにゲート電圧を一定の期間Ｔ5に亘って供給した
場合の電気光学素子板の表面の画像を取得する第１の工
程と、前記一方の画素電極ともう一方の画素電極に印加
する電圧を入れ替えて供給した場合の電気光学素子板の
表面の画像を取得する第２の工程と、前記第１及び第２
の工程で得られた画像を加算して合成イメージを生成す
る第３の工程と、該合成イメージに基づいてデータ電圧
が正常に印加されない欠陥画素電極を検出する第４の工
程と、該第４の工程における検出結果を液晶駆動基板の
検査結果として出力する第５の工程とからなる手段を採
用する。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係わる液晶駆動基板の検査装置及びその検査方法の一実
施形態について説明する。なお、本実施形態は、上述し
た液晶駆動基板Ａ、すなわち奇数行と偶数行のゲート電
圧を各々独立して設定すると共に、奇数列と偶数列のデ
ータ電圧をも各々独立に設定することが可能な２Ｇ２Ｄ
タイプの液晶駆動基板の検査に係わるものである。以下
の説明において、既に説明した部材については、同一符
号を付してその説明を省略する。

【００３１】 図１は、本実施形態における検査装置の
機能構成図である。この図において、符号１は電気光学
素子板（モジュレータ）であって、内部に液晶が平板状
に封入された液晶シート１ａと薄膜透明電極１ｂと誘電
体反射膜１ｃとから構成されている。このモジュレータ
１は、例えば方形状の液晶シート１ａの片面に薄膜透明
電極１ｂを貼り合わせ、かつもう一方の面に誘電体反射
膜１ｃを蒸着または貼り合わせて構成されている。この
モジュレータ１は、その面が水平かつ誘電体反射膜１ｃ
が下向きとなるように図示しない検査装置本体に固定さ
れ、その下方には微小ギャップ△ｄ（１０μｍ〜数１０
μｍ）を隔てて液晶駆動基板Ａが対向配置されるように
なっている。

【００３２】符号２はＸ−Ｙステージであり、図示しな
い制御装置による制御の下に、水平面内で液晶駆動基板
Ａを移動させるものである。液晶駆動基板Ａが比較的大
型の場合には、液晶駆動基板Ａの面積がモジュレータ１
よりも大きくなる。この場合、すべての画素電極ａ2を
一度にモジュレータ１と対向させることができないの
で、Ｘ−Ｙステージ２を作動させて液晶駆動基板Ａを水
平面内で移動させることによって、液晶駆動基板Ａのす
べての画素電極ａ2をモジュレータ１と対向させて検査
を行う。

【００３３】符号３はビームスプリッタ、４は光源であ
る。ビームスプリッタ３は、モジュレータ１の上方に対
向状態に備えられ、その側方に備えられた光源４から照
射された光を反射してモジュレータ１の全面に照射す
る。また、このビームスプリッタ３は、モジュレータ１
からの反射光を上方に透過させる作用を持つものであ
る。ここで、光源４は、例えばＬＥＤ等の高輝度の光を
放射するものが適用され、図示しない制御装置によって
その発光がストロボ状に制御されるものである。

【００３４】符号５はフィルタ（光学フィルタ）であ
り、上記ビームスプリッタ３の上方に備えられ、電気光
学素子としてポッケルス素子を採用した場合、一方の直
線偏光光のみを通す偏光板フィルタとして使用し楕円偏
光した光を光強度の変化に変換する役割を持ち、液晶を
用いた電気光学素子の場合には該ビームスプリッタ３を
透過したモジュレータ１の反射光から特定波長範囲の光
のみをレンズ６に透過するものである。レンズ６は凸レ
ンズであり、フィルタ５を透過した光を集光させてＣＣ
Ｄカメラ７に導くものである。

【００３５】ＣＣＤカメラ７は、レンズ６から入射され
た光に基づいて上記モジュレータ１の表面の画像、すな
わち画素電極ａ2への印加電圧に応じて変化する電圧イ
メージを撮像するものである。このＣＣＤカメラ７は、
例えば撮像時のフレーム周波数が３０Ｈｚ、空間分解能
が２．８ＣＣＤ／１００μｍ、画素数が１０２４ｋの性
能を有し、撮像した電圧イメージをデジタル映像信号と
して画像処理装置８に出力する。なお、上記液晶駆動基
板Ａの画素電極ａ2のピッチは、例えば１００μｍ程度
であり、上記ＣＣＤカメラ７の分解能は、この画素電極
ａ2のピッチに対して十分な性能を有している。

【００３６】画像処理装置８は、ＣＣＤカメラ７から入
力されたデジタル映像信号に所定の画像処理を施すこと
によって、上記電圧イメージから液晶駆動基板Ａの欠陥
画素（正常にデータ電圧が印加されていない画素電極ａ
2）を検出し、その結果をモニタ９に出力する。例え
ば、モニタ９に表示される検査結果情報としては、欠陥
部分と正常部分とを色分けしてその分布状態を示す画像
や欠陥画素の個数を示す数値情報等である。

【００３７】符号１０は電源装置であって、モジュレー
タ１の薄膜透明電極１ｂにバイアス電圧を印加すると共
に、液晶駆動基板Ａにゲート電圧及びデータ電圧を印加
するためのものである。バイアス電圧は、例えば上記Ｃ
ＣＤカメラ７のフレーム周波数３０Ｈｚで±２３０Ｖ
_p-pの両極性方形波である。この電源装置１０は、図示
しない制御装置による制御の下、上記ゲート電圧とデー
タ電圧及びバイアス電圧を出力する。

【００３８】 次に、このように構成された液晶駆動基
板の検査装置の動作について、図２〜図７を参照して説
明する。

【００３９】本実施形態では、図２の模式図に示すよう
に、４つの電圧印加パターン時の電圧イメージ（サブイ
メージ１〜４）が画像処理装置８によって加算されるこ
とによって合成イメージが取得され、該合成イメージに
基づいて当該液晶駆動基板Ａの良否が画像処理装置８に
よって判定される。この場合、何れかの異常によって画
素電極ａ2に正常にデータ電圧が書き込まれなかった場
合、当該画素電極ａ2（すなわち欠陥画素）の画像は正
常な画素電極ａ2に対して異なった輝度となる。

【００４０】なお、本実施形態において検査対象とする
２Ｇ２Ｄタイプの液晶駆動基板Ａの場合、上記電圧印加
パターンは以下の４パターンである。 奇数列の画素電極ａ2のみが「１０Ｖ」の電圧イメー
ジになるようなデータ電圧を印加し、偶数列の画素電極
ａ2には「０Ｖ」の電圧イメージになるようなデータ電
圧を印加する第１の電圧印加パターン。 偶数列の画素電極ａ2のみに「１０Ｖ」のの電圧イメ
ージになるようなデータ電圧を印加し、奇数列の画素電
極ａ2には「０Ｖ」の電圧イメージになるようなデータ
電圧を印加する第２の電圧印加パターン。 奇数行の画素電極ａ2のみに「１０Ｖ」のの電圧イメ
ージになるようなデータ電圧を印加し、偶数行の画素電
極ａ2には「０Ｖ」の電圧イメージになるようなデータ
電圧を印加する第３の電圧印加パターン。 偶数行の画素電極ａ2のみに「１０Ｖ」のの電圧イメ
ージになるようなデータ電圧を印加し、奇数行の画素電
極ａ2には「０Ｖ」の電圧イメージになるようなデータ
電圧を印加する第４の電圧印加パターン。

【００４１】図３は、列（奇数列）方向に隣り合う画素
電極ａ21，ａ23と画素電極ａ21に対して行（奇数行）方
向に隣り合う画素電極ａ22と、該画素電極ａ22に対して
行（偶数行）方向に隣り合う画素電極ａ24（偶数列にお
いて画素電極ａ22に隣り合う）を抽出し、等価回路とし
て示したものである。この図に示すように、奇数列の画
素電極ａ21，ａ23は、各々にＴＦＴａ31，ａ33を介して
奇数列データ配線ａ51に接続されると共に、各々にコン
デンサｙ1，ｙ3を介して接地電位（ＧＮＤ）に接続され
ている。偶数列の画素電極ａ22，ａ24は、各々にＴＦＴ
ａ32，ａ34を介して偶数列データ配線ａ52に接続される
と共に、各々にコンデンサｙ2，ｙ4を介して接地電位
（ＧＮＤ）に接続されている。

【００４２】各ＴＦＴａ31，ａ32は、奇数行ゲート配線
ａ41に接続されており、該奇数行ゲート配線ａ41に供給
されるゲート電圧によってスイッチング動作するように
なっている。また、各ＴＦＴａ33，ａ34は、偶数行ゲー
ト配線ａ42に接続されており、該偶数行ゲート配線ａ42
に供給されるゲート電圧によってスイッチング動作する
ようになっている。

【００４３】いま、この奇数行に位置する画素電極ａ21
と画素電極ａ22とは、短絡欠陥Ｘ1によって互いに電気
的に接続され、また奇数列に位置する画素電極ａ21と画
素電極ａ23とは短絡欠陥Ｘ2によって電気的に接続され
ているものとする。このような状態において、本実施形
態では、上記第１〜第４の電圧印加パターンに基づいて
短絡欠陥Ｘ1，Ｘ2を検出する。

【００４４】まず、第１の電圧印加パターンにおいて、
短絡欠陥Ｘ1を検知するために、以下のように各ＴＦＴ
ａ31，ａ32，ａ33，ａ34を駆動して画素電極ａ21，ａ23
と画素電極ａ22，24とにデータ電圧を書き込む。すなわ
ち、図４（ａ）の波形図に示すように、奇数列データ配
線ａ51には、電圧印加期間Ｔ1において電圧Ｅd2、また
これ以外の期間においては電圧Ｅd2とは異なる電圧Ｅd1
となるデータ信号ｄa1を供給する。また、偶数列データ
配線ａ52には、同じく電圧印加期間Ｔ1において電圧Ｅd
3、これ以外の期間においては電圧Ｅd2とは異なる電圧
Ｅd1となるデータ信号ｄb2を供給する。

【００４５】なお、ここでは、電圧Ｅd2に対して電圧Ｅ
d1を低い電圧としているが、電圧Ｅd1については、電圧
Ｅd2と異なる電圧であれば任意の電圧でもよい。また、
電圧Ｅd2と電圧Ｅd1とは原理的には同一電圧でも良い
が、全ての画素電極ａ2には、初期電圧として電圧Ｅd1
を予め書き込んでいるため、電圧Ｅd1を電圧Ｅd2に対し
て異なる電圧としている。

【００４６】そして、奇数行ゲート配線ａ41には、上記
電圧印加期間Ｔ1内に位置する電圧印加期間Ｔ2において
電圧Ｅg2、またこれ以外の期間においては電圧Ｅg1とな
るゲート信号ｇa1を供給し、また偶数行ゲート配線ａ42
にも上記ゲート信号ｇa1と同様のゲート信号ｇb1を供給
する。ここで、データ信号ｄb2の電圧Ｅd3は、各ゲート
信号ｇa1，ｇb1の電圧Ｅg2よりも高く設定され（Ｅd3＞
Ｅg2）、データ信号ｄa1の電圧Ｅd2は、ゲート信号ｇa
1，ｇb1の電圧Ｅg2から各ＴＦＴａ31，ａ32，ａ33，ａ3
4のＯＮ/ＯＦＦ動作のしきい値Ｖtを差し引いた電圧よ
りも低く設定されている（Ｅg2−Ｖt＞Ｅd2）。

【００４７】この結果，ゲート信号ｇa1，ｇb1の電圧印
加期間Ｔ2において、各ＴＦＴａ31，ａ33はＯＮ状態と
なり、電圧Ｅd2（例えば「１０Ｖ」）が画素電極ａ21、
ａ23に書き込まれる。このとき、ＴＦＴａ32，ａ34は０
Ｎ状態とならず、画素電極ａ22，ａ24には何らデータ電
圧は書き込まれない。しかし、画素電極ａ22は、短絡欠
陥Ｘ１の存在によって画素電極ａ21と同電位となり、結
局、画素電極ａ21と同等の電圧Ｅd2、すなわち「１０
Ｖ」が書き込まれた場合と同様の状態となる。

【００４８】すなわち，本実施形態では、ＴＦＴａ32，
ａ34をＯＦＦ状態に維持することにより画素電極ａ22，
ａ24にデータ電圧を書き込まず、したがって画素電極ａ
24のように短絡欠陥Ｘ１が存在しない画素電極は、予め
書き込まれた初期電圧を維持する。例えば，この初期電
圧を「０Ｖ」とすることにより、画素電極ａ24の電圧は
「０Ｖ」を維持することになる。

【００４９】このように画素電極ａ21，ａ23及び画素電
極ａ22に初期電圧とは異なるデータ電圧が書き込まれた
後、電圧印加期間Ｔ3において上記光源４からモジュレ
ータ１の表面に光が照射され、ＣＣＤカメラ７によって
該モジュレータ１の表面の画像が撮像されて画像処理装
置８に取り込まれる。以上が上記第１の電圧印加パター
ンによるモジュレータ１の表面画像の取得手順であり、
この表面画像に基づいてサブイメージ１が生成される。

【００５０】続いて、第２の電圧印加パターンについて
説明する。ここでは、データ信号ｄa1の電圧Ｅd2をゲー
ト信号ｇa1，ｇb2の電圧Ｅg2よりも高く設定することに
よりＴＦＴａ31，ａ33をＯＦＦ状態に維持し、データ信
号ｄb2の電圧Ｅd3をゲート信号ｇa1，ｇb1の電位Ｅg2か
ら上記しきい値Ｖtを差し引いた電圧（＝Ｅg2−Ｖt）よ
りも低く設定することにより、ＴＦＴａ32，ａ34をＯＮ
状態とすることができる。

【００５１】この結果、画素電極ａ22，ａ24には「１０
Ｖ」のデータ電圧が書き込まれるが、画素電極ａ21，ａ
23にはデータ電圧が何ら書き込まれない。しかし、画素
電極ａ21は、短絡欠陥Ｘ1が存在することによって画索
電極ａ22と同様に「１０Ｖ」のデータ電圧が書き込まれ
た状態となる。さらに、画素電極ａ23は、短絡欠陥Ｘ2
が存在することによって、画素電極ａ21と同様に「１０
Ｖ」のデータ電圧が書き込まれた状態となる。このよう
な電圧印加状態におけるモジュレータ１の表面画像がサ
ブイメージ２として画像処理装置８に取得される。

【００５２】以上の処理によってサブイメージ１とサブ
イメージ２とが得られるが、このサプイメージ１とサブ
イメージ２とを画像処理装置８において加算した場合、
画素電極ａ21，ａ23及び画素電極ａ22は、「２０Ｖ」
（＝１０Ｖ＋１０Ｖ）のデータ電圧に対応した電圧イメ
ージとなり、短絡欠陥Ｘ1，Ｘ2が存在しない正常な場合
には、「１０Ｖ」（＝１０Ｖ＋０Ｖ）のデータ電圧に対
応した電圧イメージとなる。したがって、この電圧イメ
ージの相異に基づいて短絡欠陥Ｘ1，Ｘ2の存在を検出す
ることができる。

【００５３】ここで、上記第１の電圧印加パターンにお
いて、ＴＦＴａ32をＯＦＦ状態に維持することなく、画
素電極ａ22に「０Ｖ」のデータ電圧を書き込んだ場合、
短絡欠陥Ｘ1が存在するために、この書込電圧は正常に
保持されず、短絡欠陥Ｘ１の抵抗値に応じて抵抗分割さ
れる。例えば、画素電極ａ21に「８Ｖ」が保持され、画
素電極ａ22には「２Ｖ」が保持されることになる。ま
た、第２の電圧印加パターンにおいて、ＴＦＴａ31をＯ
ＦＦ状態に維持することなく、画素電極ａ21に「０Ｖ」
の電圧を書き込んだ場合、画素電極ａ22には「１０Ｖ」
のデータ電圧が書き込まれる。この場合においては、画
素電極ａ21には「２Ｖ」が保持され，画素電極ａ22には
「８Ｖ」が保持されることになる。

【００５４】このような状況では、サブイメージ１とサ
ブイメージ２を加算した場合に、画素電極ａ21，ａ22の
部分の電圧イメージは、各々に「１０Ｖ」（＝８Ｖ＋２
Ｖ）つまり短絡がなく正常なデータ電圧が書き込まれた
状態と同じ電圧イメージとなる。この場合には、行方向
に隣り合う画素電極ａ21と画素電極ａ22との間の短絡欠
陥を検出することができない。

【００５５】以上のように、行方向に互いに隣り合う画
素電極において、一方の画素電極にデータ電圧を書き込
み、かつもう一方の画素電極にはデータ電圧を書き込ま
ないようにすると共に、当該データ電圧を上記一方の画
素電極に予め書き込まれている電圧とは異なる電圧値に
設定することにより、行方向に互いに隣り合う画素電極
の短絡欠陥Ｘ1を検出することができる。なお、上記の
例では、初期電圧よりも高い電圧Ｅd2を設定するように
したが、初期電圧よりも低い電圧値を電圧Ｅd2として設
定することによっても、短絡欠陥Ｘ1を検出することが
できる。以上のことは、列方向に互いに隣り合う画素電
極の短絡欠陥Ｘ2についても全く同様であり、以下にそ
の具体例について説明する。

【００５６】上記図３の場合では、画素電極ａ21に短絡
欠陥Ｘ1，Ｘ2が同時に存在しており、これに対して上記
第１の電圧印加パターンと第２の電圧印加パターンを用
いることにより短絡欠陥Ｘ1のみならず、短絡欠陥Ｘ2の
存在をも検出することができる。しかし、行方向の短絡
欠陥Ｘ1が存在しない場合には、上記第１の電圧印加パ
ターンと第２の印加パターンでは、列方向の短絡欠陥Ｘ
2の存在を検出することができない。そこで、このよう
な場合に短絡欠陥Ｘ2を検知するために、以下のように
第３の電圧印加パターンと第４の電圧印加パターンを用
いる。

【００５７】すなわち、第３の電圧印加パターンにおい
ては、図４（ｂ）の波形図に示すように、奇数列データ
配線ａ51には、電圧印加期間Ｔ1において電圧Ｅd2、ま
たこれ以外の電圧印加期間においては電圧Ｅd1となるデ
ータ信号ｄa1を供給する。また、偶数列データ配線ａ52
にも、奇数列データ配線ａ51と同様に電圧印加期間Ｔ1
において電圧Ｅd2、これ以外の電圧印加期間においては
電圧Ｅd1となるデータ信号ｄb1を供給する。なお、この
場合においても、電圧Ｅd1については、電圧Ｅd2と異な
る電圧であれば任意の電圧でもよい。

【００５８】そして、奇数行ゲート配線ａ41には、電圧
印加期間Ｔ1内に位置する電圧印加期間Ｔ2において電圧
Ｅg2、またこれ以外の電圧印加期間においては電圧Ｅg1
となるゲート信号ｇa1を供給し、偶数行ゲート配線ａ42
は一定の電圧Ｅg1からなるゲート信号ｇa2を供給する。
ここで，ゲート信号ｇa1の電圧Ｅg2は、データ信号ｄa
1，ｄb1の電圧Ｅd2に各ＴＦＴａ31，ａ32，ａ33，ａ34
のＯＮ/ＯＦＦ動作のしきい値Ｖtを加算した電圧よりも
高く設定され（Ｅg2＞Ｅd2＋Ｖt）、ゲート信号ｇa1，
ｇb2の電圧Ｅg1は、データ信号ｄa1，ｄb1の電圧Ｅd2が
電圧Ｅd1よりも高いときには電圧Ｅd1よりも低く設定さ
れている（Ｅd2＞Ｅd1＞Ｅg1）。また、電圧Ｅd2が電圧
Ｅd1よりも低いときには、電圧Ｅd2よりも低く設定され
ている（Ｅd1＞Ｅd2＞Ｅg1）。

【００５９】この結果、ゲート信号ｇa1の電圧印加期間
Ｔ2において、ＴＦＴａ31，ａ32はＯＮ状態となり、電
圧Ｅd2がデータ電圧として画素電極ａ21，ａ22とに書き
込まれるが、ＴＦＴａ33，ａ34についてはＯＮ状態とな
らず、画素電極ａ23，ａ24には何らデータ電圧は書き込
まれない。しかし、短絡欠陥Ｘ1が存在しない場合で
も、短絡欠陥Ｘ2の存在によって画素電極ａ23は、画素
電極ａ21と同電圧となり、該画素電極ａ21と同等の電圧
Ｅd2が書き込まれた状態となる。

【００６０】すなわち、本実施形態では、ＴＦＴａ33，
ａ34はＯＦＦ状態に維持されるので、画素電極ａ23，ａ
24にはデータ電圧が書き込まれない。この結果、短絡欠
陥Ｘ2が存在しない画素電極ａ24は予め書き込まれた初
期電圧となる。例えば、この初期電圧を「０Ｖ」とする
ことにより、画素電極ａ24は「０Ｖ」の状態を維持する
ことになる。また、例えば電圧Ｅd2を「１０Ｖ」とする
ことによって、画素電極ａ21，ａ22，ａ23には当該「１
０Ｖ」が書き込まれることになる。

【００６１】このように画素電極ａ21，ａ22及び画素電
極ａ23にデータ電圧が書き込まれた後、期間Ｔ3におい
て光源４からモジュレータ１の表面に光が照射され、Ｃ
ＣＤカメラ７によって該モジュレータ１の表面画像が撮
像されて画像処理装置８に取り込まれる。そして、この
モジュレータ１の表面画像からザプイメージ３が生成さ
れる。

【００６２】続いて、第４の電圧印加パターンでは、ゲ
ート信号ｇa1を一定の電位Ｅg1（Ｅd2＞Ｅg1）を維持す
ることによりＴＦＴａ31，ａ32をＯＦＦ状態に維持し、
また電圧印加期間Ｔ2において電圧Ｅg2（Ｅg2＞Ｅd2＋
Ｖt）となるゲート信号ｇb2を供給することによりＴＦ
Ｔａ33，ａ34をＯＮ状態にすることができる。この結
果、画素電極ａ23，ａ24には、「１０Ｖ」のデータ電圧
が書き込まれるが、画素電極ａ21，ａ23にはデータ電圧
が何ら書き込まれない。しかし、短絡欠陥Ｘ2の存在に
よって、画素電極ａ21は、画素電極ａ23と同様に「１０
Ｖ」のデータ電圧が書き込まれた状態となる。この状態
におけるモジュレータ１の表面画像をサプイメージ４と
して取得する。

【００６３】そして、第３の電圧印加パターンによるサ
ブイメージ３と上記第４の電圧印加パターンによるサブ
イメージ４とを画像処理装置８において加算すると、短
絡欠陥Ｘ1が存在せず短絡欠陥Ｘ2のみが存在する場合に
おいても、画素電極ａ21と画素電極ａ23は、「２０Ｖ」
（＝１０Ｖ＋１０Ｖ）のデータ電圧に対応した電圧イメ
ージとなり、短絡欠陥Ｘ1，Ｘ2が存在しない正常な場合
（１０Ｖ＝１０Ｖ＋０Ｖ）と比較して明らかに異なった
電圧イメージとなる。

【００６４】したがって、列方向に互いに隣り合う画素
電極において、一方の画素電極にデータ電圧を書き込
み、かつもう一方の画素電極にはデータ電圧を書き込ま
ないようにすると共に、当該データ電圧を上記一方の画
素電極に予め書き込まれている電圧とは異なる電圧値に
設定することにより、列方向に互いに隣り合う画素電極
の短絡欠陥Ｘ2を検出することができる。

【００６５】このように第１〜第４の電圧印加パターン
に基づいて得られたサブイメージ１〜４は、画像処理装
置８によって加算されて合成イメージとされる。画像処
理装置８は、該合成イメージあるいは合成イメージから
抽出した画素単位の電圧マップを一定の検査しきい値と
比較することによって２値化して２値化画像データに変
換し、異常輝度（異常電圧）の部位を欠陥画素として検
出する。そして、画像処理装置８は、欠陥画素の個数や
その分布状態に応じて当該検査対象の液晶駆動基板Ａの
合否を判定し、その判定結果をモニタ９に表示させて検
査を終了する。

【００６６】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、以下のような変形も本発明の範囲に含
まれる。 （１）例えば，図５（ａ）に示すように、上記データ信
号ｄb2に代えてデータ信号ｄb3をＴＦＴａ32，ａ34に供
給する。すなわち、電圧印加期間Ｔ2においてデータ信
号ｄa1によって電圧Ｅd2を奇数列の画素電極ａ21，ａ23
に書き込むと同時に偶数列の画素電極ａ22，ａ24にはデ
ータ信号ｄa3によって電圧Ｅd1（例えば「０Ｖ」）を一
旦書き込む。そして、その後、電圧イメージの撮影まで
の間に一定期間Ｔ4に亘って電圧Ｅd4を偶数列データ配
線ａ52に供給することによって（このとき、ゲート信号
ｇa1，ｇb1は電位Ｅg1を維持する）、ＴＦＴａ32，ａ34
をＯＮ状態とする。

【００６７】ここで、上記電圧Ｅd4は、ゲート信号ｇa
1，ｇb1の電圧Ｅg1からＴＦＴａ32，ａ34のＯＮ／ＯＦ
Ｆ動作のしきい値Ｖtを差し引いた電圧よりも低い電圧
に設定する（Ｅg1−Ｖt＞Ｅd4）。この結果、偶数列に
位置する画素電極ａ22，ａ24には、電圧（Ｅg1−Ｖt）
が書き込まれることになる。例えば、電圧Ｅg1を上記Ｅ
d1と同様に「０Ｖ」とした場合、画素電極ａ22，ａ24に
対向するモジュレータ１の表面部位は、奇数列の画素電
極と比較して低い印加電圧に対応した輝度の画像とな
る。

【００６８】また、行方向に隣り合う画素電極の短絡欠
陥を検出するために、図５（ｂ）に示すように上記ゲー
ト信号ｇb2に代えてゲート信号ｇb3をＴＦＴａ33，ａ34
に供給する。すなわち、ゲート信号ｇa1が電圧Ｅg2を維
持する期間Ｔ2においてはゲート信号ｇb3を電圧Ｅg1と
してＴＦＴａ33，ａ34をＯＦＦ状態に維持し、その後、
電圧イメージの撮影までの間に一定期間Ｔ5に亘ってゲ
ート信号ｇb3を電圧Ｅg3とする。この電圧Ｅg3は、デー
タ信号ｄa1，ｄb1の電圧Ｅd1にＴＦＴａ33，ａ34のＯＮ
／ＯＦＦ動作のしきい値Ｖtを加算した値よりも高い電
圧に設定する（Ｅg3＞Ｅd1＋Ｖt）。この結果、偶数行
に位置する画素電極ａ23，ａ24に対向するモジュレータ
１の表面部位は、奇数行の画素電極と比較して低い印加
電圧に対応した輝度の画像となる。

【００６９】（２）上記実施形態では２Ｇ２Ｄタイプの
液晶駆動基板Ａの検査について説明したが、２Ｇ３Ｄタ
イプの液晶駆動基板にも本発明を適用することができ
る。この２Ｇ３Ｄタイプの液晶駆動基板の場合、図６の
模式図に示すように、ゲート電圧については奇数行と偶
数行とを独立に設定可能であり、かつ画像の三原色
（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する３つの画素電極ａ_R，ａ_G，ａ
_B（カラー画像の１画素を構成する画素電極）について
各々独立にデータ電圧を書き込めるので、合計５つのサ
ブイメージ１’〜５’を加算して合成イメージを得るこ
とになる。この場合にも、上記実施形態と同様に、「０
Ｖ」のデータ電圧を書き込む方の画素電極のＴＦＴをＯ
ＦＦ状態に維持することによって、あるいは上記図５の
電圧印加パターンを採用することにより、互いに隣り合
う画素電極の短絡欠陥を検出することができる。

【００７０】（３）ドライバ付液晶駆動基板の場合に
は、図７に示すように、列方向に並ぶ各画素電極ａ2の
データ電圧を各々独立してコントロールするＸドライバ
と各行の各画素電極ａ2のゲート電圧を各々独立してコ
ントロールするＹドライバが備えられている。この場
合、データ電圧とゲート電圧の組み合わせによって列方
向及び行方向の各画素電極について、チェッカーフラグ
状に「１０Ｖ」と「０Ｖ」のデータ電圧を書き込むこと
ができる。サブイメージＳ1は、このようにして左上端
の画素電極に「１０Ｖ」のデータ電圧を書き込むように
した場合の電圧イメージ画像であり、サブイメージＳ2
はこれを反転させたものである。この２つのサブイメー
ジＳ1，Ｓ2を加算することによって合成イメージが生成
される。

【００７１】このようにドライバ付液晶駆動基板の場
合、上記図５の電圧印加方法を採用することにより、互
いに隣り合う画素電極の短絡欠陥を検出することができ
る。なお、この場合には、「０Ｖ」のデータ電圧を書込
んだ画素電極ａ2についてＸドライバの一括書込機能等
を用いてデータ電圧をマイナスの電圧値とすることによ
り、該マイナスの電圧値を当該画素電極ａ2に書込むこ
とができる。

【００７２】（４）上記実施形態では、保持容量を備え
た液晶駆動基板について本願発明を適用した場合につい
て説明した。これは、電圧印加パターンを切り替えてサ
ブイメージを取得するためには、各画素電極に書き込ま
れたデータ電圧をある程度の期間保持する必要があるか
らである。しかし、サブイメージをより高速に取得する
ことが可能な場合には、保持容量を備えていない液晶駆
動基板にも本願発明を適用することができる。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる液
晶駆動基板の検査装置及びその検査方法によれば、以下
のような効果を奏する。 （１）画素電極と該画素電極へのデータ電圧の書込みを
制御するスイッチング素子とが行列状に多数設けられた
液晶駆動基板の検査装置において、平板状に封止された
液晶または電気光学効果を有するシートと該シートまた
は液晶の一面に備えられた透明電極ともう一面に備えら
れた誘電体反射膜とからなり、前記シートまたは液晶を
透明電極との間で挟込むように液晶駆動基板に対向配置
される電気光学素子板と、前記スイッチング素子の遮断
／導通を操作するゲート電圧と前記データ電圧とを複数
の電圧印加パターンで液晶駆動基板に供給すると共に、
前記透明電極にも電圧を供給する電源装置と、前記各々
の電圧印加パターンにおける誘電体反射膜から反射して
くる画像を撮影する撮像手段と、前記各電圧印加パター
ンに対応する画像を加算して合成イメージを生成すると
共に、該合成イメージに基づいて欠陥画素電極を検出
し、該検出結果を液晶駆動基板の検査結果として出力す
る画像処理装置とからなり、電源装置は、ある電圧印加
パターンにおいて、互いに隣り合う画素電極の一方に所
定電圧値を書込むようにスイッチング素子にゲート電圧
とデータ電圧とを供給し、かつ、互いに隣り合うもう一
方の画素電極のスイッチング素子には遮断状態に維持す
るようにゲート電圧とデータ電圧とを供給し、他の電圧
印加パターンにおいては、前記もう一方の画素電極に所
定電圧値を書込むようにスイッチング素子にゲート電圧
とデータ電圧とを供給し、かつ、前記一方の画素電極の
スイッチング素子には遮断状態に維持するようにゲート
電圧とデータ電圧とを供給するので、互いに隣り合う画
素電極間の短絡欠陥を検出することができる。

【００７４】（２）また、電圧の書き込み方の工夫によ
って互いに隣り合う画素電極間の短絡欠陥を検出するよ
うにしているので、取得すべき電気光学素子板の表面の
画像の枚数が多くならず、よって検査のスループットを
低下させることなく互いに隣り合う画素電極間の短絡欠
陥を検出することができる。

【００７５】（３）バイポーライメージングを使用する
必要がなく、ユニポーライメージングによって隣り合う
画素電極間の短絡欠陥を検出することができる。したが
って、２Ｇ３Ｄタイプの液晶駆動基板や高精細型液晶駆
動基板等に適用した場合にも、安定して隣り合う画素電
極間の短絡欠陥を検出することができる。

【００７６】（４）画素電極と該画素電極へのデータ電
圧の書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けら
れ、かつ、該ＴＦＴにデータ電圧を供給するデータ配線
が各列毎に設けられると共に、遮断／導通を操作するゲ
ート電圧をＴＦＴに供給するゲート配線が各行毎に設け
られた液晶駆動基板の検査装置において、平板状に封止
された液晶または電気光学効果を有するシートと該シー
トまたは液晶の一面に備えられた透明電極ともう一面に
備えられた誘電体反射膜とからなり、前記シートまたは
液晶を透明電極との間で挟込むように前記液晶駆動基板
に対向配置される電気光学素子板と、ゲート電圧とデー
タ電圧とを複数の電圧印加パターンで液晶駆動基板に供
給すると共に、前記透明電極に所定のバイアス電圧を供
給する電源装置と、各々の電圧印加パターンにおける誘
電体反射膜から反射してくる画像を撮影する撮像手段
と、各電圧印加パターンに対応する画像を加算して合成
イメージを生成すると共に、該合成イメージに基づいて
欠陥画素電極を検出し、該検出結果を液晶駆動基板の検
査結果として出力する画像処理装置とからなり、電源装
置は、ある電圧印加パターンにおいて、ある列において
隣り合う画素電極の一方に第１の電圧値Ｅd2を書込み、
その後、もう一方の画素電極に前記第１の電圧と異なる
第３の電圧を書き込むように、もう一方の画素電極のデ
ータ電圧を一定の期間Ｔ4に亘って変化させ、他の電圧
印加パターンにおいては、一方の画素電極ともう一方の
画素電極に印加する電圧を入れ替えて供給するので、同
一行において互いに隣り合うもう一方の画素電極にに書
き込まれる電圧の差を大きくすることができる。したが
って、撮像手段によって撮像される画像のコントラスト
が向上するので、同一行において互いに隣り合う短絡欠
陥をより容易に検出することができる。

【００７７】（５）画素電極と該画素電極へのデータ電
圧の書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けら
れ、かつ、該ＴＦＴにデータ電圧を供給するデータ配線
が各列毎に設けられると共に、遮断／導通を操作するゲ
ート電圧をＴＦＴに供給するゲート配線が各行毎に設け
られた液晶駆動基板の検査装置において、平板状に封止
された液晶または電気光学効果を有するシートと該シー
トまたは液晶の一面に備えられた透明電極ともう一面に
備えられた誘電体反射膜とからなり、シートまたは液晶
を透明電極との間で挟込むように液晶駆動基板に対向配
置される電気光学素子板と、ゲート電圧とデータ電圧と
を複数の電圧印加パターンで液晶駆動基板に供給すると
共に、前記透明電極に所定のバイアス電圧を供給する電
源装置と、各々の電圧印加パターンにおける誘電体反射
膜から反射してくる画像を撮影する撮像手段と、各電圧
印加パターンに対応する画像を加算して合成イメージを
生成すると共に、該合成イメージに基づいて欠陥画素電
極を検出し、該検出結果を液晶駆動基板の検査結果とし
て出力する画像処理装置とからなり、ある電圧印加パタ
ーンにおいて、ある行において隣り合う画素電極の一方
に第１の電圧値Ｅd2を書込むようにゲート電圧とデータ
電圧とを供給し、その後、もう一方の画素電極に前記第
１の電圧Ｅd2よりも低い第２の電圧Ｅd1を書き込むよう
にゲート電圧を一定の期間Ｔ5に亘って供給し、他の電
圧印加パターンにおいては、前記一方の画素電極ともう
一方の画素電極に印加する電圧を入れ替えて供給するよ
うに電源装置を構成するので、同一列において互いに隣
り合うもう一方の画素電極にに書き込まれる電圧の差を
大きくすることができる。したがって、撮像手段によっ
て撮像される画像のコントラストが向上するので、同一
列において互いに隣り合う短絡欠陥をより容易に検出す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本願に係わる液晶駆動基板の検査装置及びそ
の検査方法の一実施形態において、液晶駆動基板の検査
装置の構成概要を示す平面図である。

【図２】 本願に係わる液晶駆動基板の検査装置及びそ
の検査方法の一実施形態において、２Ｇ２Ｄタイプの液
晶駆動基板における画素電極への電圧印加パターンの一
例を示す模式図である。

【図３】 本願に係わる液晶駆動基板の検査装置及びそ
の検査方法の一実施形態において、互いに隣り合う画素
電極の電気的構成を示す等価回路である。

【図４】 本願に係わる液晶駆動基板の検査装置及びそ
の検査方法の一実施形態において、ゲート電圧とデータ
電圧の印加パターンの詳細を示す第１のタイミングチャ
ートである。

【図５】 本願に係わる液晶駆動基板の検査装置及びそ
の検査方法の一実施形態において、ゲート電圧とデータ
電圧の印加パターンの詳細を示す第２のタイミングチャ
ートである。

【図６】 本願に係わる液晶駆動基板の検査装置及びそ
の検査方法の一実施形態において、２Ｇ３Ｄタイプの液
晶駆動基板における画素電極への電圧印加パターンの一
例を示す模式図である。

【図７】 本願に係わる液晶駆動基板の検査装置及びそ
の検査方法の一実施形態において、ドライバを具備した
液晶駆動基板における画素電極への電圧印加パターンの
一例を示す模式図である。

【図８】 従来の液晶駆動基板の構成の一例を示す平面
図である。

【図９】 従来の液晶駆動基板の検査装置の構成を示す
概要図である。

【図１０】 従来の液晶駆動基板の検査方法の一例を示
す説明図である。

【符号の説明】

１……モジュレータ １ａ……液晶シート １ｂ……薄膜透明電極（透明電極） １ｃ……誘電体反射膜 ２……Ｘ−Ｙステージ ３……ビームスプリッタ ４……光源 ５……フィルタ ６……レンズ ７……ＣＣＤカメラ（撮像手段） ８……画像処理装置 ９……モニタ １０……電源装置 Ａ……液晶駆動基板 ａ1……ガラス板 ａ21，ａ22，ａ23，ａ24……画素電極 ａ31，ａ32，ａ33，ａ34……ＴＦＴ（薄膜トランジス
タ） ａ41……奇数行ゲート配線 ａ42……偶数行ゲート配線 ａ51……奇数列データ配線 ａ52……偶数列データ配線 ｙ1〜ｙ4……コンデンサ Ｘ1，Ｘ2……短絡欠陥

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 画素電極と該画素電極へのデータ電圧の
   書込みを制御するスイッチング素子とが行列状に多数設
   けられた液晶駆動基板の検査装置であって、 平板状に封止された液晶または電気光学効果を有するシ
   ートと該シートまたは液晶の一面に備えられた透明電極
   ともう一面に備えられた誘電体反射膜とからなり、前記
   シートまたは液晶を透明電極との間で挟込むように液晶
   駆動基板に対向配置される電気光学素子板と、 前記スイッチング素子の遮断／導通を操作するゲート電
   圧と前記データ電圧とを複数の電圧印加パターンで液晶
   駆動基板に供給すると共に、前記透明電極にも電圧を供
   給する電源装置と、 前記各々の電圧印加パターンにおける誘電体反射膜から
   反射してくる画像を撮影する撮像手段と、 前記各電圧印加パターンに対応する画像を加算して合成
   イメージを生成すると共に、該合成イメージに基づいて
   欠陥画素電極を検出し、該検出結果を液晶駆動基板の検
   査結果として出力する画像処理装置とからなり、 前記電源装置は、ある電圧印加パターンにおいて、互い
   に隣り合う画素電極の一方に所定電圧値を書込むように
   スイッチング素子にゲート電圧とデータ電圧とを供給
   し、かつ、互いに隣り合うもう一方の画素電極のスイッ
   チング素子には遮断状態に維持するようにゲート電圧と
   データ電圧とを供給し、他の電圧印加パターンにおいて
   は、前記もう一方の画素電極に所定電圧値を書込むよう
   にスイッチング素子にゲート電圧とデータ電圧とを供給
   し、かつ、前記一方の画素電極のスイッチング素子には
   遮断状態に維持するようにゲート電圧とデータ電圧とを
   供給する、 ことを特徴とする液晶駆動基板の検査装置。
2. 【請求項２】 画素電極と該画素電極へのデータ電圧の
   書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けられ、か
   つ、該ＴＦＴにデータ電圧を供給するデータ配線が各列
   毎に設けられると共に、遮断／導通を操作するゲート電
   圧をＴＦＴに供給するゲート配線が各行毎に設けられた
   液晶駆動基板の検査装置であって、 平板状に封止された液晶または電気光学効果を有するシ
   ートと該シートまたは液晶の一面に備えられた透明電極
   ともう一面に備えられた誘電体反射膜とからなり、前記
   シートまたは液晶を透明電極との間で挟込むように前記
   液晶駆動基板に対向配置される電気光学素子板と、 前記ゲート電圧とデータ電圧とを複数の電圧印加パター
   ンで液晶駆動基板に供給すると共に、前記透明電極に所
   定のバイアス電圧を供給する電源装置と、 前記各々の電圧印加パターンにおける誘電体反射膜から
   反射してくる画像を撮影する撮像手段と、 前記各電圧印加パターンに対応する画像を加算して合成
   イメージを生成すると共に、該合成イメージに基づいて
   欠陥画素電極を検出し、該検出結果を液晶駆動基板の検
   査結果として出力する画像処理装置とからなり、 前記電源装置は、ある電圧印加パターンにおいて、ある
   列において隣り合う画素電極の一方に第１の電圧値Ｅd2
   を書込み、その後、もう一方の画素電極に前記第１の電
   圧と異なる第３の電圧を書き込むように、もう一方の画
   素電極のデータ電圧を一定の期間Ｔ4に亘って変化さ
   せ、他の電圧印加パターンにおいては、前記一方の画素
   電極ともう一方の画素電極に印加する電圧を入れ替えて
   供給する、 ことを特徴とする液晶駆動基板の検査装置。
3. 【請求項３】 画素電極と該画素電極へのデータ電圧の
   書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けられ、か
   つ、該ＴＦＴにデータ電圧を供給するデータ配線が各列
   毎に設けられると共に、遮断／導通を操作するゲート電
   圧をＴＦＴに供給するゲート配線が各行毎に設けられた
   液晶駆動基板の検査装置であって、 平板状に封止された液晶または電気光学効果を有するシ
   ートと該シートまたは液晶の一面に備えられた透明電極
   ともう一面に備えられた誘電体反射膜とからなり、前記
   シートまたは液晶を透明電極との間で挟込むように前記
   液晶駆動基板に対向配置される電気光学素子板と、 前記ゲート電圧とデータ電圧とを複数の電圧印加パター
   ンで液晶駆動基板に供給すると共に、前記透明電極に所
   定のバイアス電圧を供給する電源装置と、 前記各々の電圧印加パターンにおける誘電体反射膜から
   反射してくる画像を撮影する撮像手段と、 前記各電圧印加パターンに対応する画像を加算して合成
   イメージを生成すると共に、該合成イメージに基づいて
   欠陥画素電極を検出し、該検出結果を液晶駆動基板の検
   査結果として出力する画像処理装置とからなり、 前記電源装置は、ある電圧印加パターンにおいて、ある
   行において隣り合う画素電極の一方に第１の電圧値Ｅd2
   を書込むようにゲート電圧とデータ電圧とを供給し、そ
   の後、もう一方の画素電極に前記第１の電圧Ｅd2よりも
   低い第２の電圧Ｅd1を書き込むようにゲート電圧を一定
   の期間Ｔ5に亘って供給し、他の電圧印加パターンにお
   いては、前記一方の画素電極ともう一方の画素電極に印
   加する電圧を入れ替えて供給する、 ことを特徴とする液晶駆動基板の検査装置。
4. 【請求項４】 画素電極と該画素電極へのデータ電圧の
   書込みを制御するスイッチング素子とが行列状に多数設
   けられた液晶駆動基板に平板状に封止された液晶または
   電気光学効果を有するシートと該シートまたは液晶の一
   面に備えられた透明電極ともう一面に備えられた誘電体
   反射膜とからなる電気光学素子板をシートまたは液晶を
   透明電極との間に挟込むように対向配置し、前記スイッ
   チング素子の遮断／導通を操作するゲート電圧と前記デ
   ータ電圧とを供給すると共に前記透明電極にも電圧を供
   給し、この際の電気光学素子板の表面の画像に基づいて
   液晶駆動基板を検査する方法であって、 互いに隣り合う画素電極の一方に所定電圧値を書込むよ
   うにスイッチング素子にゲート電圧とデータ電圧とを供
   給すると共に、互いに隣り合うもう一方の画素電極のス
   イッチング素子には遮断状態に維持するようにゲート電
   圧とデータ電圧とを供給して電気光学素子板の表面の画
   像を取得する第１の工程と、 前記もう一方の画素電極に所定電圧値を書込むようにス
   イッチング素子にゲート電圧とデータ電圧とを供給する
   と共に、前記一方の画素電極のスイッチング素子には遮
   断状態に維持するようにゲート電圧とデータ電圧とを供
   給して電気光学素子板の表面の画像を取得する第２の工
   程と、 前記第１及び第２の工程で得られた画像を加算して合成
   イメージを生成する第３の工程と、 該合成イメージに基づいて欠陥画素電極を検出する第４
   の工程と、 該第４の工程における検出結果を液晶駆動基板の検査結
   果として出力する第５の工程と、 からなることを特徴とする液晶駆動基板の検査方法。
5. 【請求項５】 画素電極と該画素電極へのデータ電圧の
   書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けられた液
   晶駆動基板に平板状に封止された液晶または電気光学効
   果を有するシートと該シートまたは液晶の一面に備えら
   れた透明電極ともう一面に備えられた誘電体反射膜とか
   らなる電気光学素子板をシートまたは液晶を透明電極と
   の間に挟込むように対向配置し、前記ＴＦＴの遮断／導
   通を操作するゲート電圧と前記データ電圧とを供給する
   と共に前記透明電極にも電圧を供給し、この際の電気光
   学素子板の表面の画像に基づいて液晶駆動基板を検査す
   る方法であって、 ある列において隣り合う画素電極の一方に第１の電圧値
   Ｅd2を書込み、その後、もう一方の画素電極に前記第１
   の電圧と異なる第３の電圧を書き込むように、もう一方
   の画素電極のデータ電圧を一定の期間Ｔ4に亘って変化
   させた場合の電気光学素子板の表面の画像を取得する第
   １の工程と、 前記一方の画素電極ともう一方の画素電極に印加する電
   圧を入れ替えて供給した場合の電気光学素子板の表面の
   画像を取得する第２の工程と、 前記第１及び第２の工程で得られた画像を加算して合成
   イメージを生成する第３の工程と、 該合成イメージに基づいてデータ電圧が正常に印加され
   ない欠陥画素電極を検出する第４の工程と、 該第４の工程における検出結果を液晶駆動基板の検査結
   果として出力する第５の工程と、 からなることを特徴とする液晶駆動基板の検査方法。
6. 【請求項６】 画素電極と該画素電極へのデータ電圧の
   書込みを制御するＴＦＴとが行列状に多数設けられた液
   晶駆動基板に平板状に封止された液晶または電気光学効
   果を有するシートと該シートまたは液晶の一面に備えら
   れた透明電極ともう一面に備えられた誘電体反射膜とか
   らなる電気光学素子板をシートまたは液晶を透明電極と
   の間に挟込むように対向配置し、前記ＴＦＴの遮断／導
   通を操作するゲート電圧と前記データ電圧とを供給する
   と共に前記透明電極にも電圧を供給し、この際の電気光
   学素子板の表面の画像に基づいて液晶駆動基板を検査す
   る方法であって、 ある行において隣り合う画素電極の一方に第１の電圧値
   Ｅd2を書込むようにゲート電圧とデータ電圧とを供給
   し、その後、もう一方の画素電極に前記第１の電圧Ｅd2
   よりも低い第２の電圧Ｅd1を書き込むようにゲート電圧
   を一定の期間Ｔ5に亘って供給した場合の電気光学素子
   板の表面の画像を取得する第１の工程と、 前記一方の画素電極ともう一方の画素電極に印加する電
   圧を入れ替えて供給した場合の電気光学素子板の表面の
   画像を取得する第２の工程と、 前記第１及び第２の工程で得られた画像を加算して合成
   イメージを生成する第３の工程と、 該合成イメージに基づいてデータ電圧が正常に印加され
   ない欠陥画素電極を検出する第４の工程と、 該第４の工程における検出結果を液晶駆動基板の検査結
   果として出力する第５の工程と、 からなることを特徴とする液晶駆動基板の検査方法。