JPH11251253A - 窒化物半導体基板の製造方法および窒化物半導体基板 - Google Patents
窒化物半導体基板の製造方法および窒化物半導体基板Info
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- JPH11251253A JPH11251253A JP5257398A JP5257398A JPH11251253A JP H11251253 A JPH11251253 A JP H11251253A JP 5257398 A JP5257398 A JP 5257398A JP 5257398 A JP5257398 A JP 5257398A JP H11251253 A JPH11251253 A JP H11251253A
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Abstract
と、窒化物半導体基板を提供する。 【構成】 窒化物半導体と異なる材料よりなる異種基板
上に、まず第1の窒化物半導体よりなる下地層を成長さ
せ、その下地層の上に表面に窒化物半導体が成長しない
か、若しくは成長しにくい性質を有する保護膜を部分的
に形成する第1の工程と、第1の工程後、有機金属気相
成長法により、下地層から前記保護膜上部に至るまで、
第2の窒化物半導体を成長させる第2の工程と、第2の
工程後、ハイドライド気相成長法により、第2の窒化物
半導体層の上に、その第2の窒化物半導体層よりも厚い
膜厚で第3の窒化物半導体を成長させる第3の工程とを
具備することにより、窒化物半導体基板の結晶欠陥が成
長途中で止まる。
Description
(InXAlYGa1-X-YN、0≦X、0≦Y、X+Y≦1)
基板の製造方法と、窒化物半導体基板に関する。
成長させる半導体と格子整合した基板を用いると半導体
の結晶欠陥が少なくなって結晶性が向上することが知ら
れている。しかし、窒化物半導体は格子整合する基板が
現在世の中に存在しないことから、一般にサファイア、
スピネル、炭化ケイ素のような窒化物半導体と格子整合
しない異種基板の上に成長されている。
バルク結晶を作製する試みは、様々な研究機関において
成されているが、未だに数ミリ程度のものしか得られた
という報告しかされておらず、実用化には程遠い状態で
ある。
特開平7−202265号公報、特開平7−16549
8号に、サファイア基板の上にZnOよりなるバッファ
層を形成して、そのバッファ層の上に窒化物半導体を成
長させた後、バッファ層を溶解除去する技術が記載され
ている。しかしながらサファイア基板の上に成長される
ZnOバッファ層の結晶性は悪く、そのバッファ層の上
に厚膜で窒化物半導体を成長させても、結晶全体の結晶
欠陥が108個/cm2以上もあり、良質の窒化物半導体結
晶を得ることは難しい。さらに、薄膜のZnOよりなる
バッファ層の上に、基板となるような厚膜の窒化物半導
体を連続して成長させることも難しい。
子、受光素子等の数々の電子デバイスに使用される窒化
物半導体素子を作製する際、窒化物半導体よりなる基板
を作製することができれば、その基板の上に新たな窒化
物半導体を成長させて、格子欠陥が少ない窒化物半導体
が成長できるので、それら素子の結晶性が飛躍的に良く
なり、従来実現されていなかった素子が実現できるよう
になる。従って本発明の目的とするところは、結晶性の
良い窒化物半導体基板の製造方法と、窒化物半導体基板
を提供することにある。
板の製造方法は、窒化物半導体と異なる材料よりなる異
種基板上に、まず第1の窒化物半導体よりなる下地層を
成長させ、その下地層の上に表面に窒化物半導体が成長
しないか、若しくは成長しにくい性質を有する保護膜を
部分的に形成する第1の工程と、第1の工程後、有機金
属気相成長法(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy:以
下、MOVPEという。)により、下地層から前記保護
膜上部に至るまで、第2の窒化物半導体を成長させる第
2の工程と、第2の工程後、ハイドライド気相成長法
(Hydride Vapor Phase Epitaxy:以下、HVPEとい
う。)により、第2の窒化物半導体層の上に、その第2
の窒化物半導体層よりも厚い膜厚で第3の窒化物半導体
を成長させる第3の工程とを具備することを特徴とす
る。
くとも一方の工程において、窒化物半導体にn型不純物
をドープすることを特徴とする。ドープするn型不純物
としてはSi、Ge、Sn、S等のIV族元素を用い、好
ましくはSi、Snをドープする。
工程の内の少なくとも一方の工程において、窒化物半導
体層中のn型不純物に濃度勾配を設けることを特徴とす
る。濃度勾配とはn型不純物濃度に傾斜があることであ
り、連続的に傾斜が設けられていても良いし、またステ
ップ状に傾斜が設けられていても良い。
るに従ってn型不純物濃度が小さくなるように調整され
ていることを特徴とする。これは主面に接近するに従っ
てn型不純物濃度が小さくなるようにしてあれば、後に
n電極を設ける際に、どこの窒化物半導体基板を露出さ
せても、高濃度にn型不純物をドープした第2、第3の
窒化物半導体層側をコンタクト層とすることできるた
め、素子のVfを低下させ、出力を向上させる上で望ま
しいからである。また、窒化物半導体基板上に成長させ
た半導体層側からエッチングして、エッチング面に電極
を設けても、n型不純物を高濃度にドープした第2の窒
化物半導体層または、第3の窒化物半導体層を電極形成
層とすることが同理由において望ましい。
後、少なくとも異種基板、下地層、および保護膜を除去
する第4の工程を具備することを特徴とする。この工程
を行うことにより、窒化物半導体基板単体、つまり半導
体層を積層するためのウェーハとできる。なお、この基
板を用いて半導体を基板の表面に成長させる場合、第3
の窒化物半導体層面側を成長面とする方が、結晶欠陥が
少ないので、結晶性の良い半導体層が積層成長できる。
ライド気相成長法により成長され、第1の主面と第2の
主面とを有する窒化物半導体基板であって、前記第1の
主面、若しくは第2の主面近傍の結晶欠陥が1×105
個/cm2以下であることを特徴とする。主面上に次に成
長させる半導体層の結晶欠陥を少なくするには、望まし
くは5×104個/cm2以下、さらに望ましくは1×10
4個/cm2以下、最も望ましくは1×103個/cm2以下の
主面近傍の結晶欠陥を有する窒化物半導体基板を選択す
る。なお主面近傍は主面表面から5μm以内とし、その
5μm以内の結晶欠陥の数はTEM(透過型電子顕微
鏡)により計測できる。結晶欠陥はTEMにより平面観
察(plan-view)を行い、その欠陥密度の平均を指すも
のとする。
不純物がドープされていることを特徴とする。好ましく
はそのn型不純物は窒化物半導体基板内で濃度勾配を有
し、さらに好ましくは窒化物半導体基板の第1の主面若
しくは第2の主面のいずれか一方の面に接近するに従っ
て、n型不純物濃度が小さくなるようにされていること
が望ましい。
法の各工程を順を追って説明するための、窒化物半導体
基板の構造を示す模式断面図である。なお、図において
窒化物半導体層内部に示す細線は結晶欠陥の方向、およ
び数を模式的に示している。図1に示すように第1の工
程では、異種基板1上に、まず第1の窒化物半導体より
なる下地層2を成長させ、その下地層2の上に、表面に
窒化物半導体が成長しないか、若しくは成長しにくい性
質を有する保護膜を部分的に形成する。
りなる基板であればどのようなものでも良く、例えば、
サファイアC面の他、R面、A面を主面とするサファイ
ア、スピネル(MgA12O4)のような絶縁性基板、S
iC(6H、4H、3Cを含む)、ZnS、ZnO、G
aAs、Si、及び窒化物半導体と格子整合する酸化物
基板等、従来知られている窒化物半導体と異なる基板材
料を用いることができる。さらに前記基板材料の主面を
オフアングルさせた基板も用いることもできる。
く、MOVPE、MBE、HVPE等、窒化物半導体を
成長させるのに知られている従来の方法で成長できる。
この下地層2は異種基板1と材料が異なるために、結晶
欠陥が非常に多く、通常10 8個/cm2以上あり、窒化物
半導体基板とはならない。下地層にはアンドープのGa
Nを成長させることが最も好ましい。
面に窒化物半導体が成長しないか、若しくは成長しにく
い性質を有する材料を選択し、例えば酸化ケイ素(Si
OX)、窒化ケイ素(SiXNY)、酸化チタン(Ti
OX)、酸化ジルコニウム(ZrOX)等の酸化物、窒化
物、またこれらの多層膜の他、1200℃以上の融点を
有する金属等を用いることができる。これらの保護膜材
料は、窒化物半導体の成長温度600℃〜1100℃の
温度にも耐え、その表面に窒化物半導体が成長しない
か、成長しにくい性質を有している。保護膜を部分的
(=選択的)に形成するためには、例えばフォトリソグ
ラフィー技術を用いて、所定の形状を有するフォトマス
クを作製し、そのフォトマスクを介して、前記材料を気
相製膜することにより、所定の形状を有する保護膜を形
成できる。保護膜10の形状は特に問うものではなく、
例えばドット、ストライプ、碁盤面状の形状で形成で
き、好ましくはストライプ状の形状で形成することが望
ましい。図1では下地層2の上に例えばストライプ状の
保護膜を形成し、そのストライプに対して垂直な方向で
ウェーハを切断した際の部分的な断面図を示している。
特に図1に示すように部分的に形成した保護膜10の露
出部分(窓部)の面積を、保護膜の面積よりも小さくす
ると、下地層から転位する結晶欠陥の数が少なくなり、
さらに結晶欠陥の少ない窒化物半導体基板が成長できる
ため、特に望ましい。
合、窓部の幅は10μm以下、さらに好ましくは5μm
以下、最も好ましくは3μm以下に調整する。10μm
よりも広いと保護膜上部に成長させる結晶欠陥の数が多
くなる傾向にある。さらに、結晶欠陥の少ない窒化物半
導体基板を得るためには、窓部の幅(Ww)と保護膜の
幅(Ws)の比Ws/Wwは、1より大きく〜20以下
とすることが望ましく、好ましくは10以下とする。
を用い、図2に示すように下地層から前記保護膜上部に
至るまで、第2の窒化物半導体3を成長させる。第2の
窒化物半導体3は結晶欠陥の少ない窒化物半導体を得る
上で、アンドープのGaN若しくはn型不純物をドープ
したGaNを成長させることが最も好ましい。
下地層2の上に、第2の窒化物半導体3を成長させる
と、保護膜10の上には窒化物半導体が成長せず、窓部
の下地層の上に第2の窒化物半導体3が最初に選択成長
される。さらに成長を続けると、第2の窒化物半導体が
保護膜10の上で横方向に成長する。横方向に成長する
窒化物半導体は、下地層のように縦方向に成長する窒化
物半導体と異なり、結晶欠陥が保護膜10によって覆わ
れているため、結晶欠陥が転位しない。結晶欠陥は保護
膜の上部において、横方向に伸びてくるが途中で止まる
傾向にある。さらに窓部から転位する結晶欠陥も第2の
窒化物半導体層表面に現れてくるものもあるが、途中で
止まりやすい傾向にある。なお、この工程をHVPEで
行うと第2の窒化物半導体層の結晶欠陥が多くなる傾向
にあるため好ましくなく、本発明ではMOVPEで行
う。
保護膜10の表面において、保護膜の平面に対してほぼ
垂直に第2の窒化物半導体層を横方向に成長させる具体
的手段として、例えばMOVPEによると、窒化物半導
体を成長させる際に、3族源のガスに対する、窒素源の
ガスのモル比(窒素源/3族源)を2000以下に調整
することが望ましい。好ましいモル比としては1800
以下、さらに望ましくは1500以下に調整する。下限
は化学量論比以上であれば特に限定しないが、望ましく
は10以上、さらに好ましくは30以上、最も好ましく
は50以上に調整する。このモル比の値が2000より
も大きいと、窓部から三角形状の窒化物半導体が成長
し、それに従って結晶欠陥が伸びていくので、結晶欠陥
が途中で止まることが少なく、結晶欠陥の数が多くな
る。しかし、このようにガス流量を調整すると、保護膜
水平面に対して垂直に窒化物半導体が成長して、その垂
直な面が壁のようになって保護膜上で繋がるため、保護
膜の上部において、結晶欠陥が成長途中で止まりやす
い。また、窓部から伸びる結晶欠陥も途中で止まりやす
い。従って、結晶欠陥の少ない第2の窒化物半導体層が
成長できる。図3、図4で示すように、保護膜のほぼ中
央部に三角形の空洞があるのは、横方向に対して垂直に
第2の窒化物半導体層が伸びてきて繋がった形跡であ
る。
スには、例えばアンモニア、ヒドラジン等の水素化物ガ
スを用い、3族源のガスには、TMG(トリメチルガリ
ウム)、TEG(トリエチルガリウム)等の有機Gaガ
ス、TMA、TMI等の有機Al、有機Inガスを用い
る。
記したSi、Sn等のn型不純物をドープすることもで
きる。n型不純物濃度は5×1016/cm3〜5×1021
/cm3の範囲でドープすることが望ましい。5×1016
/cm3よりも少ないと第2の窒化物半導体層のキャリア
濃度が不十分となるので、抵抗率が高くなる傾向にあ
る。5×1021/cm3よりも多いと、不純物濃度が大き
いために、結晶性が悪くなり、結晶欠陥が増大する傾向
にある。好ましい範囲としては、1×1017/cm3〜1
×1020/cm3である。
をドープする場合、n型不純物に濃度勾配を設けること
が望ましい。特に、濃度勾配は異種基板から離れるに従
ってn型不純物濃度が小さくなるように調整されている
ことが望ましい。これは異種基板、下地層、保護膜を除
去し、第2の窒化物半導体層にn電極を設ける際に、ど
のような面が露出していても、その面は他の部分と比較
して、n型不純物が高濃度にドープされた層となるの
で、n+、nの構造となり、窒化物半導体基板上に例え
ば発光素子構造を積層した場合、発光素子のVfを低下
させ、出力を向上させる。
導体層3の成長を続けると、保護膜の上で横方向に成長
する第2の窒化物半導体層が繋がり、一体となる。この
第2の窒化物半導体は結晶欠陥が前述の下地層に比べ
て、結晶欠陥の数が1桁以上少なく窒化物半導体基板と
なる。しかし下地層に比べて膜厚が薄いので異種基板を
つけた状態では基板となるが、異種基板を除去すると、
第2の窒化物半導体がバラバラに割れてしまい基板とは
なりにくい傾向にある。
膜10の形成幅にもよるが、1μm以上、好ましくは5
μm以上、最も好ましくは10μm以上で成長させる。
これは、保護膜の上部を第2の窒化物半導体層で覆うた
めの膜厚の範囲であり、1μmよりも少ないと、第2の
窒化物半導体層が保護膜の上を横方向に成長しにくい傾
向にあるので、第2の窒化物半導体層の上に成長させる
第3の窒化物半導体層の結晶欠陥が多くなる傾向にあ
る。横方向に成長しないと結晶欠陥を減らすことが難し
い。なお上限については特に限定しないが、70μm以
下とすることが望ましい。70μmより厚く成長させる
と、成長時間が長時間になって窒化物半導体層の表面が
荒れ、また保護膜が分解しやすい傾向にあるため、あま
り好ましいとは言えない。
体層3の上に、その第2の窒化物半導体層よりも厚い膜
厚で、HVPEにより、第3の窒化物半導体4を成長さ
せる。図4は成長後の状態を示している。MOVPEで
GaNを厚膜で成長させると、GaN表面が粗くなる傾
向にある。これは長時間成長していることにより、異種
基板との歪みにより面が荒れてくるものと思われる。さ
らに長時間成長していると保護膜(例えばSiO2)が
分解する傾向にあり、保護膜上部に成長する窒化物半導
体にピットが現れる傾向にある。一方HVPEでは、成
長速度がMOVPEに比較して数倍以上速いので、例え
ば300μmの成長が数時間でできる。このため異種基
板による歪みの影響を受けにくく、また保護膜の分解を
押さえることができるので、表面が均一な第3の窒化物
半導体を成長できる。なお、本発明の第3の工程は、図
3に示す第2の窒化物半導体層3を保護膜上部全てに成
長させた後、その第2の窒化物半導体層の上に成長させ
ることが望ましいが、図2に示すように、第2の窒化物
半導体層で保護膜の上が一部覆われた状態でも、第3の
工程を行うこともでき、本発明の請求項の範囲内であ
る。
流し、一方別のガス配管でアンモニアガスを流して、基
板上でそれらのガスを混合して、 GaCl+NH3→GaN+HCl+H2 なる反応が行われる。このように結晶欠陥の少ない第2
の窒化物半導体の上に、HVPEにより厚膜で第3の窒
化物半導体を成長させると、縦方向に伸びる結晶欠陥が
ほとんどなくなり、全体に結晶欠陥が非常に少ない窒化
物半導体が成長できる。その第3の窒化物半導体層の結
晶欠陥は、第2の窒化物半導体よりもさらに少なくな
り、例えば最終的な表面近傍が1×105/cm2以下の結
晶欠陥を有する基板が得られる。
たSi、Sn等のn型不純物をドープすることもでき
る。n型不純物濃度は第2の窒化物半導体層の場合と同
様に5×1016/cm3〜5×1021/cm3の範囲、好まし
くは1×1017/cm3〜1×1020/cm3とする。
半導体にn型不純物をドープする場合、n型不純物に濃
度勾配を設けることが望ましい。特に、濃度勾配は異種
基板から離れるに従ってn型不純物濃度が小さくなるよ
うに調整されていることが望ましい。作用は第2の窒化
物半導体層と同じであるので省略する。
上、好ましくは50μm以上、さらに好ましくは100
μm以上成長させることが望ましい。10μmよりも少
ないと、結晶欠陥の数が少なくなりにくい傾向にある。
上限は特に限定しないが、1mm以下とすることが望ま
しい。1mmより厚く成長させると、窒化物半導体と異
種基板との熱膨張係数差により、ウェーハ全体が反って
しまい、均一な膜厚で第3の窒化物半導体層が成長しに
くい傾向にあるからである。
化物半導体3成長後、少なくとも異種基板1、下地層
2、保護膜10を除去する。図5では第2の窒化物半導
体層3も除去した後の構造を示しているが、例えば第2
の窒化物半導体層2を20μm以上の膜厚で成長させた
場合、異種基板、下地層、保護膜を除去して、第2の窒
化物半導体3も残すこともできる。このように異種基板
側を除去して、窒化物半導体のみよりなる基板の2つの
主面を露出させた場合、元あった異種基板側には、若干
の縦方向に伸びる結晶欠陥が残る場合があるが、第3の
窒化物半導体層側には、縦方向に伸びる結晶欠陥はほと
んどなく、全体の結晶欠陥も、例えば1×105/cm2以
下と非常に少なくなっている。その第3の窒化物半導体
層4の上に他の半導体層を積層しても縦方向の結晶欠陥
がないため、結晶欠陥の貫通転位がなく、非常に良好な
半導体を積層できる。従って窒化物半導体を基板とする
場合、異種基板側を除去した面と反対側の面を成長面と
することが望ましい。異種基板等を除去するには研磨、
エッチング等の手法があるが、異なる材料を積層してい
るため、研磨で除去することが最も好ましい。
Eにより成長され、第1の主面と第2の主面とを有する
窒化物半導体基板であって、第1の主面、若しくは第2
の主面近傍の結晶欠陥が1×105個/cm2以下であるこ
とを特徴とするものであるが、成長方法は特に問うもの
ではなく、前述した方法によって得られた基板であるこ
とが望ましい。このように、表面近傍の結晶欠陥が1×
105個/cm2以下の窒化物半導体基板の上に他の窒化物
半導体を積層して素子構造とすると、内部に結晶欠陥が
ない信頼性に優れた長寿命な素子ができる。特にレーザ
素子を作製した場合、窒化物半導体基板は従来のサファ
イアに比べて熱伝導性が非常に優れているため、基板と
ヒートシンクとを接すると、放熱性が良くなり、長寿命
なレーザが実現できる。
板にn型不純物がドープされており、さらに好ましく
は、そのn型不純物は窒化物半導体基板内で濃度勾配を
有しており、最も好ましくはその窒化物半導体基板の第
1の主面若しくは第2の主面のいずれか一方の面に接近
するに従って、n型不純物濃度が小さくなるようにされ
ていることが望ましい。
の実施例について説明する。 (第1の工程)2インチφ、C面を主面とするサファイ
アよりなる異種基板1をMOVPE反応容器内にセット
し、温度を500℃にして、トリメチルガリウム(TM
G)、アンモニア(NH3)を用い、GaNよりなるバ
ッファ層(図示せず。)を200オングストロームの膜
厚で成長させる。バッファ層成長後、温度を1050℃
にして、同じくGaNよりなる下地層2を4μmの膜厚
で成長させる。
取り出し、この下地層の表面に、ストライプ状のフォト
マスクを形成し、CVD装置によりストライプ幅10μ
m、ストライプ間隔(窓部)2μmのSiO2よりなる
保護膜10を0.5μmの膜厚で形成する。保護膜形成
後のウェーハの構造を図1に示す。
ハを再度MOVPEの反応容器内にセットし、温度を1
050℃にして、アンモニアを0.27mol/min、TM
Gを225μmol/min(V/III比=1200)でアン
ドープGaNよりなる第2の窒化物半導体層3を30μ
mの膜厚で成長させる。このようなモル比で成長させる
と、図2に示すように端面が保護膜水平面に対してほぼ
垂直な形状で第2の窒化物半導体3が成長でき、結晶欠
陥が非常に少なくなる。成長後の第2の窒化物半導体層
は図3のように均一な膜厚で成長できており、表面近傍
をTEMで観察すると、窓部から伸びた結晶欠陥は第2
の窒化物半導体層の途中で止まっており、表面にまで現
れているものはほとんどなかった。
長後、ウェーハをHVPE装置に移送し、原料としてG
aメタル、HClガス、アンモニアを用い、アンドープ
GaNよりなる第3の窒化物半導体層4を200μmの
膜厚で成長させる。成長後のウェーハの構造を図4に示
す。成長後その第3の窒化物半導体層の表面近傍の結晶
欠陥の数をTEMにより観察すると1×104個/cm2以
下と、非常に良好な基板が得られていることが判明し
た。さらに極わずかな結晶欠陥でも平面に対しほぼ水平
な結晶欠陥しか残っていなかった。
に移送し、ダイヤモンド研磨剤を用いて、異種基板1、
下地層2、保護膜10、第2の窒化物半導体層3を除去
し、図5に示すように第3の窒化物半導体層4の裏面を
露出させ、総膜厚195μmの窒化物半導体基板とす
る。なお裏面側の結晶欠陥も1×105個/cm2以下と少
なかった。
て、HVPEの原料ガスにシランガスを加え、最初にS
iを1×1019/cm3ドープしながらGaNを成長さ
せ、成長させるに従って、シランガスの流量を少なくし
て、最後にSiを5×1016/cm3ドープしたGaNと
して、Si濃度勾配を設けたGaNを200μmの膜厚
で成長させる。その他は実施例1と同様にして、窒化物
半導体基板を得たところ、Si量の少ない面は実施例1
とほぼ同等の結晶欠陥数を有する窒化物半導体基板が得
られた。
て、MOVPEの原料ガスにシランガスを加え、最初に
Siを1×1019/cm3ドープしながらGaNを成長さ
せ、成長させるに従って、シランガスの流量を少なくし
て、最後にSiを1×1017/cm3ドープしたGaNと
して、Si濃度勾配を設けたGaNを20μmの膜厚で
成長させる。続いて第3の工程において、Siを1×1
017/cm3ドープしたGaNを200μmの膜厚で成長
させる。その後、第4の工程において、異種基板、下地
層、保護膜、および第1の窒化物半導体層を15μm除
去する。以上のようにして得られた窒化物半導体基板
は、第3の窒化物半導体層の主面は実施例1とほぼ同等
であったが、第2の窒化物半導体側の結晶欠陥は、第3
の窒化物半導体に比較して1桁ぐらい多かった。
の異種基板を除去していない側の主面を上にし、この面
に次のようにして窒化物半導体積層成長させて図6に示
すレーザ素子を得る。
上に (n側コンタクト層21)アンモニアとTMG、不純物
ガスとしてシランガスを用い、1050℃でSiを3×
1018/cm3ドープしたGaNよりなるn側コンタクト
層5を4μmの膜厚で成長させる。
MI(トリメチルインジウム)、アンモニアを用い、温
度を800℃にしてIn0.06Ga0.94Nよりなるクラッ
ク防止層22を0.15μmの膜厚で成長させる。な
お、このクラック防止層は省略可能である。
℃でTMA、TMG、アンモニアを用い、アンドープA
l0. 16Ga0.84Nよりなる層を25オングストロームの
膜厚で成長させ、続いてTMAを止めて、シランガスを
流し、Siを1×1019/cm3ドープしたn型GaNよ
りなる層を25オングストロームの膜厚で成長させる。
それらの層を交互に積層して超格子層を構成し、総膜厚
1.2μmの超格子よりなるn側クラッド層23を成長
させる。
スを止め、1050℃でアンドープGaNよりなるn側
光ガイド層8を0.1μmの膜厚で成長させる。このn
側光ガイド層24にはn型不純物をドープしても良い。
て、アンドープIn0.01Ga0.95Nよりなる障壁層を1
00オングストロームの膜厚で成長させ、続いて同一温
度で、アンドープIn0.2Ga0.8Nよりなる井戸層を4
0オングストロームの膜厚で成長させる。障壁層と井戸
層とを3回交互に積層し、最後に障壁層で終わり、総膜
厚520オングストロームの多重量子井戸構造(MQ
W)の活性層を成長させる。活性層は本実施例のように
アンドープでもよいし、またn型不純物及び/又はp型
不純物をドープしても良い。不純物は井戸層、障壁層両
方にドープしても良く、いずれか一方にドープしてもよ
い。さらに積層順としては、井戸層から積層して井戸層
で終わっても、井戸層から積層して障壁層で終わって
も、あるいは障壁層から積層して井戸層で終わっても良
い。
50℃に上げ、TMG、TMA、アンモニア、Cp2M
g(シクロペンタジエニルマグネシウム)を用い、Mg
を1×1020/cm3ドープしたp型Al0.3Ga0.7Nよ
りなるp側キャップ層26を300オングストロームの
膜厚で成長させる。
Aを止め、Mgを5×1016/cm3ドープしたGaNよ
りなるp側光ガイド層27を0.1μmの膜厚で成長さ
せる。
プAl0.16Ga0.84Nよりなる層を25オングストロー
ムの膜厚で成長させ、続いてMgを1×1019/cm3ド
ープしたGaNよりなる層を25オングストロームの膜
厚で成長させ、それらを交互に積層し、総膜厚0.6μ
mの超格子層よりなるp側クラッド層28を成長させ
る。
1×1020/cm3ドープしたp型GaNよりなるp側コ
ンタクト層29を150オングストロームの膜厚で成長
させる。
たウェーハを反応容器から取り出し、最上層のp側コン
タクト層29の表面にSiO2よりなる保護膜を形成し
て、RIE(反応性イオンエッチング)を用いSiCl
4ガスによりエッチングし、図6に示すように、n電極
を形成すべきn側コンタクト層21の表面を露出させ
る。
定の形状のマスクをかけ、p側コンタクト層29、およ
びp側クラッド層28をエッチングして、1μmの幅を
有するリッジストライプを形成後、リッジの側面にZr
O2よりなる絶縁膜30を形成し、その絶縁膜30を介
して、p側コンタクト層と電気的に接続したp電極31
を形成する。一方先ほど露出させたn側コンタクト層の
表面はn電極32を形成する。
成したウェーハの窒化物半導体基板を研磨して薄くした
後、窒化物半導体基板を劈開してその劈開面にレーザ素
子の共振面を形成する。劈開後、チップ状にに分離し
て、窒化物半導体基板側をヒートシンクに設置し、レー
ザ素子としたところ、室温でレーザ発振を示し、閾値電
流密度1.5kA/cm2において室温連続発振を示し、
20mWの出力において1000時間以上の寿命を示し
た。
板を用いてレーザ素子を作製したが、同一面側からn、
p両方の電極を取り出す構造とする場合でも、実施例
2、および実施例3で得られたn型不純物に濃度勾配を
設けた窒化物半導体基板を用いることができる。この場
合、n側コンタクト層21は不要となり、エッチングに
より濃度勾配を設けた第2の窒化物半導体層3、若しく
は第3の窒化物半導体層を露出させ、その露出面にn電
極32を形成すればよい。
導体基板の上(異種基板除去面と反対側の面)に、実施
例4と同様にして、クラック防止層22、n側クラッド
層23、n側光ガイド層24、活性層25、p側キャッ
プ層26、p側光ガイド層27、p側クラッド層28、
p側コンタクト層29を積層する。
タクト層29、p側クラッド層に、1μm幅のリッジス
トライプを作製して、絶縁膜30を形成する。絶縁膜形
成後濃度勾配の設けられた窒化物半導体基板を劈開でき
る厚さまで研磨した後、実施例4と同様にして劈開し、
レーザ素子とした。実施例5では窒化物半導体基板を研
磨しても濃度勾配が設けられているため、露出する面は
常に窒化物半導体基板の中で高濃度にn型不純物がドー
プされた層となる。そして、図7に示すように基板側に
n電極、リッジ側にp電極を形成してレーザ素子とした
ところ、実施例4とほぼ同等の特性を有するレーザ素子
が得られた。
と、従来では得られなかった結晶性の非常に良い窒化物
半導体基板が得られる。この窒化物半導体基板に上に窒
化物半導体を成長させると、完全に格子整合するので、
結晶欠陥の非常に少ない素子ができる。そのため、その
素子は貫通転位が活性層にまで及ばす、例えば最も過酷
な条件で使用されるレーザ素子を実現しても、長寿命で
信頼性の高い素子が実現できる。
基板の構造を示す模式断面図。
基板の構造を示す模式断面図。
基板の構造を示す模式断面図。
基板の構造を示す模式断面図。
基板の構造を示す模式断面図。
素子の構造を示す模式断面図。
ザ素子の構造を示す模式断面図。
Claims (9)
- 【請求項1】 窒化物半導体と異なる材料よりなる異種
基板上に、まず第1の窒化物半導体よりなる下地層を成
長させ、その下地層の上に表面に窒化物半導体が成長し
ないか、若しくは成長しにくい性質を有する保護膜を部
分的に形成する第1の工程と、 第1の工程後、有機金属気相成長法により、下地層から
前記保護膜上部に至るまで、第2の窒化物半導体を成長
させる第2の工程と、 第2の工程後、ハイドライド気相成長法により、第2の
窒化物半導体層の上に、その第2の窒化物半導体層より
も厚い膜厚で第3の窒化物半導体を成長させる第3の工
程とを具備することを特徴とする窒化物半導体基板の製
造方法。 - 【請求項2】 前記第2の工程、または第3の工程の少
なくとも一方の工程において、窒化物半導体にn型不純
物をドープすることを特徴とする請求項1に記載の窒化
物半導体基板の製造方法。 - 【請求項3】 前記第2の工程、または前記第3の工程
の内の少なくとも一方の工程において、窒化物半導体層
中のn型不純物に濃度勾配を設けることを特徴とする請
求項2に記載の窒化物半導体基板の製造方法。 - 【請求項4】 前記濃度勾配は異種基板から離れるに従
ってn型不純物濃度が小さくなるように調整されている
ことを特徴とする請求項3に記載の窒化物半導体基板の
製造方法。 - 【請求項5】 前記第3の窒化物半導体成長後、少なく
とも異種基板、下地層、および保護膜を除去する第4の
工程を具備することを特徴とする請求項1乃至4の内の
いずれか1項に記載の窒化物半導体基板の製造方法。 - 【請求項6】 ハイドライド気相成長法により成長さ
れ、第1の主面と第2の主面とを有する窒化物半導体基
板であって、前記第1の主面、若しくは第2の主面近傍
の結晶欠陥が1×105個/cm2以下であることを特徴と
する窒化物半導体基板。 - 【請求項7】 前記窒化物半導体基板にn型不純物がド
ープされていることを特徴とする請求項6に記載の窒化
物半導体基板。 - 【請求項8】 前記n型不純物は窒化物半導体基板内で
濃度勾配を有することを特徴とする請求項7に記載の窒
化物半導体基板。 - 【請求項9】 前記窒化物半導体基板の第1の主面若し
くは第2の主面のいずれか一方の面に接近するに従っ
て、n型不純物濃度が小さくなるようにされていること
を特徴とする請求項8に記載の窒化物半導体基板。
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