JPH11237595A

JPH11237595A - 検査ステージ

Info

Publication number: JPH11237595A
Application number: JP5267298A
Authority: JP
Inventors: Katsumi Shiono; 勝美塩野
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1998-02-19
Filing date: 1998-02-19
Publication date: 1999-08-31

Abstract

(57)【要約】【目的】プローブによる偏荷重がＺスライダに作
用しても、被検査体の電極とプローブとの位置ずれを可
能な限り小さくすることにある。【解決手段】Ｚステージが、被検査体を受けるＺスラ
イダと、Ｚスライダを滑動可能に貫通してＺ方向へ伸び
る複数のガイドポストと、隣り合うガイドポストの間を
Ｚ方向へ伸びる複数の補助ポストとを含み、ガイドポス
ト及び補助ポストを連結体により相互に連結し、それに
よりＺスライダの傾きひいてはステージ全体の撓みを抑
えたことに特徴を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板のような
平板状被検査体の通電試験装置に用いられる検査ステー
ジに関する。

【０００２】

【従来の技術】長方形の形状を有する液晶表示パネルの
１つとして、長方形の隣り合う２つの辺に対応する２つ
の縁部のそれぞれに複数の電極を備えたいわゆる片タブ
方式のものがある。

【０００３】このような片タブ方式の液晶表示パネル
は、一般に、検査すべき液晶表示パネルのためのワーク
テーブルを直接的又は間接的に受けるＺスライダを備え
る検査ステージ（測定ステージ）と、パネルの隣り合う
２つの辺に対応する部位に支持された複数のプローブブ
ロックを備えるプローブユニットとを用いる検査装置
（測定装置）により行われる。

【０００４】検査ステージは、液晶表示パネルをプロー
ブユニットに対して位置決めるために、液晶表示パネル
を、これと平行の面内で直交する２方向（Ｘ，Ｙ方
向）、及び、パネルと直角のＺ方向に変位させるととも
に、Ｚ軸線の周りに変位させる。このため、検査ステー
ジは、Ｚスライダを三次元的に変位させるＸ・Ｙ・Ｚの
３つのステージと、ＺスライダをＺ軸線の周りに角度的
に変位させるθステージとを備える。

【０００５】液晶表示パネルは、プローブブロックに設
けられたプローブの先端（針先）から数ｍｍ程度離され
た状態で検査ステージによりＸ及びＹ方向に移動される
とともに、Ｚ軸線の周りに角度的に回転されることによ
り、プローブに対する位置決めをされ、次いでＺ軸線の
方向にさらに移動されることにより電極をプローブの針
先に押圧され、その状態で通電される。

【０００６】この種の検査装置においては、検査時に、
液晶表示パネルの隣り合う２つの縁部が多数のプローブ
の先端に同時に押圧されるから、１つのプローブが液晶
表示パネルに及ぼす押圧力は小さいが、全てのプローブ
により液晶パネルに及ぼす総押圧力は大きく、従ってプ
ローブによる押圧に起因する偏荷重がＺスライダに作用
する。

【０００７】しかし、従来の検査ステージでは、Ｚステ
ージがＺスライダをその回転中心の部分において、Ｚス
ライダをＺ軸線の方向へ移動させるＺ駆動機構により、
他のステージ（θ，Ｙ又はＸステージ）に連結し、支持
させているにすぎないから、上記のような偏荷重により
Ｚスライダが傾くことにより、ステージ全体の撓みとし
て液晶表示パネルに作用し、その結果、液晶表示パネル
の電極に対するプローブの押圧位置がずれて、電極とプ
ローブとが電気的に接触しなくなることが多かった。

【０００８】電極とプローブとの電気的非接触状態は、
液晶表示パネルの電極自体が微少であるから、Ｚスライ
ダがわずかに傾いて検査ステージ全体がわずかに撓むだ
けでも生じる。このため、Ｚスライダをその外周部の複
数箇所においてリニアガイドのようなガイド手段により
他のステージにＺ方向に滑動可能に組み付けても、電極
とプローブとの非接触状態を招くようなＺスライダの傾
き、ひいては、検査ステージ全体の撓み、並びに、電極
とプローブとの位置ずれは、リニアガイドに存在するわ
ずかな遊びによっても生じてしまう。

【０００９】上記のような課題は、液晶表示パネル、液
晶封入前のガラス基板等、液晶基板の検査装置（試験装
置）のみならず、半導体ウエーハのような他の平板状被
検査体の通電試験装置においても生じる。

【００１０】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、プローブに
よる偏荷重がＺスライダに作用しても、そのときのＺス
ライダの傾きを抑えて、被検査体の電極とプローブとの
位置ずれを可能な限り小さくすることにある。

【００１１】

【解決手段、作用、効果】本発明の検査ステージは、平
板状被検査体をこれと直交するＺ軸線の方向へ変位させ
るＺステージと、該Ｚステージを支持する支持手段とを
含む。Ｚステージは、被検査体を直接的又は間接的に受
ける受け面を支持手段の側と反対の側に有するＺスライ
ダと、該Ｚスライダを滑動可能に貫通してＺ軸線の方向
へ伸びる複数のガイドポストであって一端部の側におい
て支持手段に組み付けられた複数のガイドポストと、Ｚ
軸線の方向へ伸びる状態に一端部の側において支持手段
に組み付けられた複数の補助ポストであってそれぞれが
隣り合うガイドポストの間に配置された複数の補助ポス
トと、ガイドポスト及び補助ポストの他端側を相互に連
結する連結体とを備える。

【００１２】被検査体は、Ｚスライダの受け面に直接的
又は間接的に配置されて、その電極をプローブに押圧さ
れる。Ｚスライダの電極がプローブに押圧されると、偏
荷重がＺスライダに作用する。この偏荷重は、Ｚスライ
ダを傾けるようにＺスライダに作用し、ガイドポストを
傾けるようにＺスライダからガイドポストに伝達され
る。

【００１３】しかし、Ｚステージを滑動可能に貫通する
ガイドポストが、隣り合うガイドポストの間に配置され
ており、しかもそれらのガイドポストが連結体により互
いに連結されているとともに補助ポストに連結されてい
るから、偏荷重が連結体により複数のガイドポスト及び
複数の補助ポストに分散されてＺステージ全体の剛性が
向上し、その結果Ｚスライダの傾きが阻止される。

【００１４】このため、たとえ偏荷重がＺスライダに作
用しても、その偏荷重に起因するＺスライダの傾きは小
さく抑えられる。このようにＺスライダの傾きが小さく
抑えられると、Ｚステージひいては検査ステージの撓み
が小さくなるから、電極とプローブとの相対的な位置ず
れが小さくなり、電極とプローブとの接触状態が安定に
維持される。

【００１５】Ｚスライダはガイドポストが滑動可能に貫
通するブッシュを有し、補助ポストはＺスライダに対し
遊びをもってＺ方向へ伸びることができる。これによ
り、Ｚスライダがガイドポストに対して円滑に滑動する
にもかかわらず、ガイドポストの傾きがより確実に阻止
され、Ｚスライダの傾きがより確実に抑えられる。

【００１６】支持手段の側に開放する第１の凹所と、該
第１の凹所の周りにあって支持手段の側と反対の側に開
放する第２の凹所とをＺスライダに形成し、ガイドポス
ト及び補助ポストを第２の凹所の底部を貫通させことが
できる。

【００１７】連結体を第２の凹所内を伸びる四角形の形
状にすることができる。これにより、連結体がワークテ
ーブルのような手段をＺスライダに配置するとき又は組
み付けるときに妨げにならない。

【００１８】第１の凹所の底に対応する部位と、第２の
凹所の周りの部位とにより受け面を形成することができ
る。また、さらに、Ｚスライダを支持手段に対しＺ軸線
の方向へ変位させるＺ駆動機構を備え、該Ｚ駆動機構の
少なくとも一部を第１の凹所に配置することができる。
これにより、Ｚスライダを１つのＺ駆動機構により変位
させることができるし、第１の凹所に配置されたＺ駆動
機構の部位の寸法分だけ、Ｚステージひいては検査ステ
ージ全体の高さ寸法が小さくなる。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１〜図４を参照するに、検査ス
テージ１０は、四角形の液晶基板の点灯検査に用いられ
る。液晶基板は、図示の例では、四角形の隣り合う長短
２つの辺に対応する縁部のそれぞれに複数の電極を有す
る片タブ方式の液晶表示パネルであり、また、ワークテ
ーブル１２に載置される。検査用のプローブユニット
は、そのプローブがワークテーブル１２上の液晶基板の
電極と対向するように、ワークテーブル１２の上方に配
置される。

【００２０】以下、理解を容易にするために、検査ステ
ージ１０及び液晶基板のいずれにおいても、液晶基板の
長い端縁の方向（左右方向）をＸ方向というとともにそ
の軸線をＸ軸線といい、液晶基板の短い端縁の方向をＹ
方向というとともにその軸線をＹ軸線といい、液晶基板
に垂直の方向をＺ方向というとともにその軸線をＺ軸線
という。

【００２１】液晶基板は、ワークテーブル１２の上に載
置されており、また、ワークテーブル１２が検査ステー
ジ１０によりＸ，Ｙ及びＺの３方向に移動されるととも
にＺ軸線の周りに角度的に回転されることにより、プロ
ーブユニットに対し三次元的に移動されるとともに回転
される。

【００２２】ワークテーブル１２は、図示の例では、液
晶基板を解除可能に真空吸着するチャックトップである
が、バックライトユニットとチャックトップとを備えて
いてもよい。ワークテーブル１２の上面（チャックトッ
プの上面）は、液晶基板よりやや大きい長方形の載置面
とされている。

【００２３】検査ステージ１０は、ワークテーブル１２
をＸ方向に移動させるＸステージ２０と、ワークテーブ
ル１２をＹ方向へ移動させるＹステージ２２と、ワーク
テーブル１２をＺ軸線の周りに角度的に回転させるθス
テージ２４と、ワークテーブル１２をＺ方向へ移動させ
るＺステージ２６とを備える。

【００２４】Ｙステージ２２、θステージ２４及びＺス
テージ２６は、それぞれ、Ｘステージ２０、Ｙステージ
２２及びθステージ２４に移動可能に支持されており、
また対応するステージの移動にともなって移動される。
ワークテーブル１２は、Ｚステージ２６に支持されてい
る。

【００２５】Ｘステージ２０は、検査装置のフレーム２
８に取り付けられた矩形の平板状のＸ軸用ベース（Ｘベ
ース）３０とＹステージ２２を受ける矩形の平板状のＸ
軸用スライダ（Ｘスライダ）３２とを、Ｙ方向に間隔を
おいた一対のＸ軸用リニアガイドにより、Ｚ方向に間隔
をおいた状態に結合させている。Ｘ軸用の各リニアガイ
ドは、Ｘベース３０及びＸスライダ３２のＹ方向の端部
付近に設けられている。

【００２６】Ｘ軸用の各リニアガイドを構成する部材の
うち、長尺のガイドレール３４はＸベース３０の上側に
Ｘ方向へ伸びる状態に取り付けられており、ガイドレー
ル３４と滑動可能に嵌合するコ字状の溝を有する一対の
ガイド３６はＸスライダ３２の下側にＸ方向へ間隔をお
いて取り付けられている。

【００２７】Ｙステージ２２をＸ方向へ移動させるＸ駆
動機構は、Ｘベース３０に配置されたＸ軸用電動機３８
と、Ｘスライダ３２の側部をＸ方向へ伸びる状態にＸベ
ース３０に回転可能に支持されたリードスクリュー４０
と、Ｘスライダ３２の側部に取り付けられてリードスク
リュー４０と螺合するリードナット４２とを備える。電
動機３８及びリードスクリュー４０は、台座部を含むブ
ラケット４４によりＸベース３０に取り付けられてい
る。

【００２８】このＸ駆動機構は、リードスクリュー４０
を電動機３８により回転させてリードナット４２をＸ方
向へ移動させることにより、Ｘスライダ３２ひいてはＹ
ステージ２２をＸ方向へ移動させる。このため、Ｘスラ
イダ３２は、Ｙステージ２２のＹ軸用ベース（Ｙベー
ス）を兼ねている。

【００２９】Ｙステージ２２は、Ｘ方向へ間隔をおいた
一対のＹ軸用リニアガイドにより、θステージ２４を受
ける矩形の平板状Ｙ軸用スライダ（Ｙスライダ）４６を
Ｘスライダ３２にＺ方向へ間隔をおいた状態に結合させ
ている。Ｙ軸用の各リニアガイドは、Ｘスライダ３２及
びＹスライダ４６のＸ方向の端部付近に設けられてい
る。

【００３０】Ｙ軸用の各リニアガイドを構成する部材の
うち、長尺のガイドレール４８はＹベース兼Ｘスライダ
３２の上側にＹ方向へ伸びる状態に取り付けられてお
り、ガイドレール４８と滑動可能に嵌合するコ字状の溝
を有する一対のガイド５０は矩形の平板状Ｙスライダ４
６の下側にＹ方向へ間隔をおいて取り付けられている。

【００３１】Ｙスライダ４６ひいてはθステージ２４を
Ｙ方向へ移動させるＹ駆動機構は、Ｘスライダ３２に配
置されたＹ軸用電動機５２と、Ｙスライダ４６の側部を
Ｙ方向へ伸びる状態にＹベース兼Ｘスライダ３２に回転
可能に配置されたリードスクリュー５４と、Ｙスライダ
４６の側部に取り付けられてリードスクリュー５４と螺
合するリードナット５６とを備える。電動機５２及びリ
ードスクリュー５４は、台座部を含むブラケット５８に
よりＸスライダ３２に取り付けられている。

【００３２】このＹ駆動機構は、リードスクリュー５４
を電動機５２により回転させてリードナット５６をＹ方
向へ移動させることにより、Ｙスライダ４６ひいてはθ
ステージ２４をＹ方向へ移動させる。このため、Ｙスラ
イダ４６は、θステージ２４のθ軸用ベース（θベー
ス）を兼ねている。

【００３３】θステージ２４は、シータ台（θ台）６０
をＹスライダ４６に、中央部に配置されたベアリング６
２と、その周りに周方向に間隔をおいて配置された複数
の曲線ガイド６４とにより、Ｚ軸線の周りに回転可能に
支持しており、受け台すなわちθ台６０にＺステージ２
６を受けている。θ台６０は、Ｚステージ２６のＺ軸用
ベース（Ｚベース）を兼ねている。

【００３４】θ台６０は、変位不能に結合された短い軸
部６０ａと長方形の平板部６０ｂとを有しており、平板
部６０ｂが上となる状態に、軸部６０ａにおいてベアリ
ング６２によりＹスライダ４６に組み付けられていると
ともに、平板部６０ｂにおいて複数の曲線ガイド６４に
よりＹスライダ４６に組み付けられている。

【００３５】図示の例では、ベアリング６２として、Ｚ
方向への荷重を受けるクロスローラリングを用いている
が、一般的なスラストベアリングを用いてもよい。各曲
線ガイド６４は、弧状に伸びるガイドレール６６と、ガ
イドレール６６と滑動可能に嵌合されるべく弧状に伸び
るコ字状の溝を有する１以上のガイド６８とを備える、
いわゆるＲガイドである。

【００３６】各Ｒガイド６４は、図示の例では、ベアリ
ング６２の周りにあって液晶基板と相似の仮想的な長方
形の隅角部に配置されているが、極率半径の中心が一致
するようにＺ軸線の周りに同軸的に配置されていてもよ
い。Ｒガイド６４のガイドレール６６及びガイド６８
は、それぞれ、Ｙスライダ４６の上側及びθ台６０の下
側に、同じ仮想線上に位置するように同軸的に取り付け
られている。これにより、Ｒガイド６４は、θ台６０の
回転を妨げない。

【００３７】θ台６０ひいてはＺステージ２６をＺ軸線
の周りに角度的に回転させるθ駆動機構は、Ｙスライダ
４６に配置されたθ軸用電動機７０と、電動機７０によ
り回転されるリードスクリュー７２と、リードスクリュ
ー７２に螺合するリードナット７４と、リードナット７
４をθ台６０に連結するリンク７６とを備える。電動機
７０及びリードスクリュー７２は、リードスクリュー７
２がＺ軸線の周りの仮想的な円の接線方向へ伸びかつ回
転可能であるように、台座部を含むブラケット７８によ
りＹスライダ４６に取り付けられている。

【００３８】リードナット７４は、板状部８０を有して
おり、また、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りの枢軸運動可能
に板状部８０においてピン８２によりリンク７６の一端
部に連結されている。リンク７６の他端部は、Ｚ方向へ
伸びる軸線の周りの枢軸運動可能にピン８４により平板
部６０ｂの下側に連結されている。

【００３９】θ駆動機構は、電動機７０の回転運動をリ
ードスクリュー７２とリードナット７４とによりリード
ナット７４の直線運動に変換し、この直線運動をリンク
７６によりθ台６０に伝達してθ台６０の角度的回転運
動に変換する。これにより、θ台を偏心カムとばね力と
により回転させる機構に比べ、θ台６０の角度的回転運
動の制御（θ制御）の精度が著しく向上する。

【００４０】例えば、θ台６０の平板部６０ｂの縁部が
リードスクリュー７２と平行の状態において、電動機７
０の正転によりリードナット７４が移動されると、θ台
６０はわずかに回転されてその縁部がリードスクリュー
７２に対して小さい角度を有する状態になる。電動機７
０が逆転されたときは、θ台６０は逆方向へ角度的に回
転される。

【００４１】上記のように、θ駆動機構の大部分をθ台
の回転領域の外側に配置すると、保守管理が容易にな
る。また、リンク７６をその長手方向の２箇所の一方及
び他方においてそれぞれθ台６０及びリードナット７４
にＺ軸線と平行の軸線の周りに枢軸運動可能に連結する
と、リンク７６の近傍を除いて、θ駆動機構の全ての部
分をθ台６０の回転領域の外側に配置することができる
から、保守管理がより容易になり、また回転角度制御す
なわちθ制御の精度が著しく向上する。

【００４２】Ｚステージ２６は、θ台６０の上側に配置
されたＺスライダ（受け台）８６と、Ｚスライダ８６を
滑動可能に貫通してＺ方向へ伸びる複数のガイドポスト
８８と、Ｚスライダ８６を貫通してＺ方向へ平行に伸び
る複数の補助ポスト９０と、ガイドポスト８８及び補助
ポスト９０を相互に連結する連結体９２とを備える。

【００４３】Ｚスライダ８６は、θ台６０の側に開放す
る第１の凹所９４と、第１の凹所９４の周りを連続して
伸びてθ台６０の側と反対の側に開放する第２の凹所９
６とを有する。Ｚスライダ８６のうち、θ台６０と反対
の側の面は、液晶基板を載置したワークテーブル１２を
受ける受け面とされている。この受け面は、第１の凹所
９４の底に対応する部位の上面と、第２の凹所９６の周
りの部位の上面とにより形成される。

【００４４】Ｚスライダ８６は、第２の凹所９６の底部
を貫通するスライドブッシュ１００を液晶基板と相似の
仮想的な四角形の各隅角部に対応する箇所のそれぞれに
備えるとともに、第２の凹所９６の底部を貫通する貫通
穴１０２を隣り合うブッシュ１００の間（図示の例で
は、前記四角形の辺の中間）に対応する箇所のそれぞれ
に備える。各スライドブッシュ１００は、Ｚスライダ８
６にねじ止めされている。

【００４５】各ガイドポスト８８は、スライドブッシュ
１００を滑動可能に貫通しており、一端部の側において
θ台６０に組み付けられている。ガイドポスト８８とス
ライドブッシュ１００との間には、ボールケージ１０４
が配置されている。このため、Ｚスライダ８６とガイド
ポスト８８とが隙間なく嵌合されていても、ガイドポス
ト８８に対するＺスライダ８６の移動が円滑になる。各
ボールケージ１０４は、対応するガイドポスト８８の周
りに配置された圧縮コイルばね９８によりブッシュ１１
０からの脱落を防止されている。

【００４６】図示の例では、各補助ポスト９０は、一端
部の側においてθ台６０に組み付けられて、貫通穴１０
２を遊びを有した状態で貫通している。これにより、補
助ポスト９０はＺスライダ８６に接触しない。しかし、
貫通穴１０２の代わりに切欠部をＺスライダ８６に形成
し、補助ポスト９０をその切欠部に通すことにより、補
助ポスト９０をＺスライダ８６に接触させることなく遊
びをもってＺ方向へ延在させてもよい。

【００４７】連結体９２は、第２の凹所９６内を伸びる
四角形の形状を有しており、また、ねじ部材１０６によ
り、ガイドポスト８８及び補助ポスト９０に連結されて
いる。Ｚ方向における連結体９２の位置は、同方向にお
けるＺスライダ８６のワークテーブル受け面の位置より
θ台６０の側とされている。

【００４８】Ｚスライダ８６をθ台６０に対してＺ方向
へ変位させる駆動機構は、第１の凹所９４内に配置され
ている。Ｚ駆動機構は、受け台６０の上に組み付けられ
た電動機１１０と、リードスクリュー１１２と、電動機
１１０により回転されかつリードスクリュー１１２と螺
合するリードナット１１４とを備える。

【００４９】電動機１１０は、中空のロータを備えたい
わゆる中空サーボモータであり、ブラケット１１６によ
りθ台６０に組み付けられている。リードスクリュー１
１２は、Ｚ方向へ伸びるように、一端部において中空サ
ーボモータのロータの中空部にＺ方向へ移動可能に挿入
され、他端部においてＺスライダ８６の第１の凹所９４
の底部の下面に連結されている。リードナット１１４
は、電動機１１０の回転子に同軸的に取り付けられてい
る。

【００５０】上記のように、Ｚ駆動機構がリードスクリ
ュー１１２の一端部を中空モータの中空部に受け入れさ
せるならば、その分Ｚステージ２６ひいては検査ステー
ジ１０全体の高さ寸法が小さくなる。また、Ｚ駆動機構
を第１の凹所９４内に配置すると、その分Ｚステージ２
６ひいては検査ステージ１０全体の高さ寸法が小さくな
る。しかし、電動機１１０として中空モータ以外の電動
機を用いてもよいし、Ｚ駆動機構を第１の凹所９４内に
配置しなくてもよい。

【００５１】Ｚ駆動機構は、リードナット１１４が電動
機１１０により回転されることにより、リードスクリュ
ー１１２がＺ方向へ移動され、それによりＺスライダ８
６をＺ方向へ移動させる。

【００５２】検査時、液晶基板は、先ず、ワークテーブ
ル１２に載置された後、Ｘステージ２０、Ｙステージ２
２及びＺステージ２６によりＸ，Ｙ及びＺの３方向に移
動されるとともにθステージ２４によりＺ軸線の周りに
角度的に回転される。これにより、液晶基板は、プロー
ブユニットに対し三次元的に移動されるとともに角度的
に回転されて、位置決めをされる。

【００５３】次いで、液晶基板は、Ｚステージ２６によ
り上昇されて、各電極部をその上方のプローブに押圧さ
れる。片タブ方式の液晶基板の電極がプローブに押圧さ
れると、押圧力が液晶基板の隣り合う２つの縁部に作用
するから、Ｚスライダ８６に偏荷重が作用する。

【００５４】これにより、Ｚスライダ８６は、これに作
用する荷重を液晶基板と相似の仮想的な四角形の隅角部
に配置されたガイドポスト８８によりθ台６０に伝達す
る。しかし、偏荷重に起因するＺスライダ８６の傾き
は、複数のガイドポスト８８、補助ポスト９０及び連結
体９２の共同作用により阻止される。

【００５５】すなわち、Ｚスライダ８６に偏荷重が作用
すると、ガイドポスト８８を倒す力がガイドポスト８８
に作用する。しかし、ガイドポスト８８を倒そうとする
力（偏荷重）は、ガイドポスト８８が、Ｘ，Ｙ方向に間
隔をおいて配置されていること、及び、連結体９２によ
り互いに連結されているとともに補助ポスト９０に連結
されていることから、連結体９２によりガイドポスト８
８及び補助ポスト９０に分散されて、θ台６０に伝達さ
れる。その結果、Ｚステージ２６全体の剛性が向上し、
Ｚスライダ８６の傾きは防止される。

【００５６】また、θ台６０はこれに作用する荷重を、
中央側のベアリング６２とその周りの複数の曲線ガイド
６４とにより、θベース兼Ｙスライダ４６に伝達する。
しかし、θ台６０に作用する荷重は中央側のベアリング
６２とその周りの複数の曲線ガイド６４とによりθベー
ス兼Ｙスライダ４６に伝達されるから、θ台６０の傾き
も阻止される。

【００５７】このように、検査ステージ１０において
は、たとえ偏荷重がＺスライダ８６及びθ台６０に作用
しても、その偏荷重に起因するＺスライダ８６及びθ台
６０の傾きは小さく抑えられる。その結果、検査ステー
ジ１０全体の撓みが小さくなるから、電極とプローブと
の相対的な位置ずれが小さくなり、電極とプローブとの
接触状態が安定に維持される。

【００５８】検査ステージ１０によれば、連結体９２が
第２の凹所９６内に配置されているから、連結体９２が
ワークテーブル１２のような手段をＺスライダ８６に配
置するとき又は組み付けるときの妨げにならない。

【００５９】また、ガイドポスト８８がスライドブッシ
ュ１００を滑動可能に貫通しているのに対し、補助ポス
ト９０が貫通穴１０２を遊びをもって貫通しているか
ら、Ｚスライダ８６がガイドポスト８８に対して円滑に
滑動するにもかかわらず、ガイドポスト８８の傾きがよ
り確実に阻止され、Ｚスライダ８６の傾きがより確実に
抑えられる。

【００６０】すなわち、補助ポスト９０がＺスライダ８
６に接触していないと、Ｚスライダ８６に作用する偏荷
重はＺスライダ８６から補助ポスト９０に直接的に作用
することはない。このため、Ｚスライダ８６に作用する
偏荷重は連結体９２によりガイドポスト８８及び補助ポ
スト９０により等しく分散されて、θ台６０に伝達され
る。その結果、Ｚステージ２６全体の剛性がより向上
し、Ｚスライダ８６の傾きはより確実に防止される。

【００６１】なお、ガイドポスト８８を四角形の隅角部
に配置する代わりに、ガイドポスト８８を四角形の辺に
対応する箇所のようにＺ軸線の周りに角度的間隔をおい
て配置するだけであってもよく、また例えば、図示のガ
イドポスト８８の間に類似のガイドポストをさらに配置
してもよい。さらに、補助ポスト９０を貫通穴１０２又
は切欠部に通すことにより、補助ポスト９０をＺステー
ジ８６に接触させることなく遊びを有する状態でＺ方向
に伸張させる代わりに、補助ポスト９０をこれがＺステ
ージの外側を通るように配置することにより補助ポスト
９０をＺステージ８６に接触させることなく遊びを有す
る状態でＺ方向に延在させてもよい。

【００６２】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、θステージ２４をＺステージ２６の上に配置し
てもよい。本発明は、液晶表示パネル又はそれ用の透明
基板（ガラス基板）のような液晶基板のみならず、他の
表示パネル用のガラス基板のような表示基板、半導体ウ
エーハような基板の検査ステージにも適用することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査ステージの一実施例を示す正
面図である。

【図２】図１に示す検査ステージの平面図である。

【図３】図１の３−３線に沿って得た断面図である。

【図４】Ｚステージ部分の分解斜視図である。

【符号の説明】

１０検査ステージ１２ワークテーブル２０Ｘステージ２２Ｙステージ２４ θステージ２６Ｚステージ２８フレーム３０Ｘベース３２Ｙベース兼Ｘスライダ４６ θベース兼Ｙスライダ６０ θ台６４曲線ガイド７０ θ軸用の電動機８６Ｚスライダ８８ガイドポスト９０補助ポスト９２連結体９４，９６第１及び第２の凹所９８圧縮コイルばね１００スライドブッシュ１０２貫通穴１０４ボールケージ１１０Ｚ軸用の電動機１１２Ｚ軸用のリードスクリュー１１４Ｚ軸用のリードナット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平板状被検査体をこれと直交するＺ軸線
の方向へ変位させるＺステージと、該Ｚステージを支持
する支持手段とを含み、前記Ｚステージは、前記被検査
体を直接的又は間接的に受ける受け面を前記支持手段の
側と反対の側に有するＺスライダと、該Ｚスライダを滑
動可能に貫通してＺ軸線の方向へ伸びる複数のガイドポ
ストであって一端部の側において前記支持手段に組み付
けられた複数のガイドポストと、Ｚ軸線の方向へ伸びる
状態に一端部の側において前記支持手段に組み付けられ
た複数の補助ポストであってそれぞれが隣り合う前記ガ
イドポストの間に配置された複数の補助ポストと、前記
ガイドポスト及び前記補助ポストの他端側を相互に連結
する連結体とを備える、検査ステージ。
【請求項２】前記Ｚスライダは各ガイドポストが滑動
可能に貫通するブッシュを有し、前記補助ポストは前記
Ｚスライダに対し遊びをもってＺ方向へ伸びる、請求項
１に記載の検査ステージ。
【請求項３】前記Ｚスライダは、前記支持手段の側に
開放する第１の凹所と、該第１の凹所の周りにあって前
記支持手段の側と反対の側に開放する第２の凹所とを有
し、前記ガイドポスト及び前記補助ポストは前記第２の
凹所の底部を貫通している、請求項１又は２に記載の検
査ステージ。
【請求項４】前記連結体は、前記第２の凹所内を伸び
る四角形の形状を有する、請求項３に記載の検査ステー
ジ。
【請求項５】前記受け面は、前記第１の凹所の底に対
応する部位と、前記第２の凹所の周りの部位とにより形
成される、請求項３又は４に記載の検査ステージ。
【請求項６】さらに、前記Ｚスライダを前記支持手段
に対しＺ軸線の方向へ変位させるＺ駆動機構を備え、該
Ｚ駆動機構の少なくとも一部は前記第１の凹所に配置さ
れている、請求項３，４又は５に記載の検査ステージ。