JP3532670B2 - 表示パネル基板の検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、テーブルに載せ
た表示パネル基板の電極にプローブ針を接触させてこの
表示パネルを検査する検査装置に関し、特に、そのテー
ブルの構成に特徴がある。表示パネル基板の例としては
液晶基板が代表的であるが、プラズマ・ディスプレイ・
パネルなどのその他の表示パネル基板であってもよい。

【０００２】

【従来の技術】図１１は、１枚の液晶基板（ガラス基
板）から複数の液晶表示ユニットを製造するようにした
多面取りの大型の液晶基板を示した平面図である。この
液晶基板１０は、例えばＬＸ＝６５０ｍｍ、ＬＹ＝５５
０ｍｍの外形寸法を備え、ＤＸ＝１７２ｍｍ、ＤＹ＝２
２６ｍｍの寸法（１０．４インチの表示パネルに相当す
る）の６枚の液晶表示ユニット１２を一括して製造する
ことができる。それぞれの液晶表示ユニット１２を検査
するには、液晶表示ユニットの電極配列に合わせて配列
した多数のプローブ針を、液晶表示ユニットの電極に接
触させることになるが、各液晶表示ユニット１２を検査
するのに必要なプローブ針の本数は５０００ピン近くに
なり、その合計の針圧は５０ｋｇ近くになる。

【０００３】図１２は、図１１に示す液晶基板を検査す
るための従来の検査装置の正面図である。ＸＹＺθステ
ージの上には大型のワークテーブル１４があり、このワ
ークテーブル１４の上に大型の液晶基板１０が載ってい
る。そして、ＸＹＺθステージを駆動することにより、
その上のワークテーブル１４を移動して、検査したい液
晶表示ユニットがプローブユニット１６の下方に来るよ
うに液晶基板１０を位置決めし、アライメントを実行す
る。その後、プローブユニット１６のプローブ針を液晶
表示ユニットの電極に押し付けて検査を実施する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述の従来の検査装置
では、Ｚθステージから突き出したワークテーブル部分
に位置する液晶表示ユニットを検査するときに、次のよ
うな問題が生じる。図１２において、液晶基板１０の左
端の近くにある液晶表示ユニットを検査するときは、Ｚ
θステージで支持されていないワークテーブル部分にプ
ローブユニット１６からの荷重がかかることになる。す
なわち、プローブユニット１６のプローブ針を液晶表示
ユニットの電極に押し付けたときに、例えば５０ｋｇの
荷重が矢印１８に示すようにワークテーブル１４の突き
出した部分に作用する。すると、ワークテーブル１４の
左端付近が矢印２０に示すように下方に変位して、ワー
クテーブル１４がわずかに傾斜する。ところで、液晶表
示ユニットの電極とプローブ針とのアライメントは、オ
ーバードライブがゼロの状態（このとき、多数の針先が
構成する平面と基板表面とは平行である）で実施され
る。したがって、オーバードライブをかけてワークテー
ブル１４が傾斜すると、針先位置と電極位置との対応関
係がずれて来る。

【０００５】図１３はプローブ針の針先と液晶表示ユニ
ットの電極との接触状態を示した拡大正面図である。図
１３（Ａ）はオーバードライブがゼロの状態で針先２２
が電極２４に接触している状態である。図１３（Ｂ）は
オーバードライブをかけた状態を示す。ワークテーブル
が傾斜するのでその上の液晶基板１０が傾斜している。
このとき、針先２２は、電極２４との摩擦力により引っ
張られて矢印２５に示すように右側に振られる。しか
し、弾性により元の状態に（すなわち矢印２６の方向
へ）戻ろうとする。図１３（Ｃ）は針先２２が元に戻っ
て電極２４の間で滑りを起こした状態を示す。このと
き、針先位置と電極位置の関係がずれてしまう。極端な
場合には、針先２２は電極２４から外れてしまう。

【０００６】また、ワークテーブルが傾斜すると、極端
な場合には、ワークテーブルを支持するステージのＺ軸
のボールネジ軸とガイドがたわんでしまい、その場合、
プローブ針がコンタクト位置から完全に外れてしまう。

【０００７】このような問題点を回避するために、図１
４に示すように、ワークテーブル１４を支持するＸＹＺ
θステージも大型化して、ワークテーブル１４の突き出
し部分をなくすようにすることが考えられる。しかし、
このようにするとステージ全体が大型化してしまう。ま
た、このように大型化しても、ワークステージ１４やＺ
θステージにおいて、その中心から偏った位置に荷重が
作用することには変わりがない。この偏荷重による変位
を避けるためには、ＸＹＺθステージの剛性を高める必
要があり、ステージはますます大型化してしまう。偏荷
重に対しては、特にＺステージについては剛性を高める
必要性が大きい。

【０００８】また、全く別の観点として、静電気発生の
問題がある。大型のワークテーブルを用いると、液晶基
板（ガラス基板）とワークテーブル（金属）との接触面
積が大きくなるので、液晶基板をワークテーブルに載せ
換えるときに発生する静電気量が多くなる。この静電気
は、液晶基板内に形成されたトランジスタ回路を破壊す
る恐れがある。

【０００９】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、大型の表示パネル基
板を検査する場合でもワークテーブルに偏荷重が作用し
ないような検査装置を提供することにある。本発明の別
の目的は、大型の表示パネル基板に対しても静電気発生
量が少なくなるような検査装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明の検査装置は、
テーブルに載せた表示パネル基板の電極にプローブ針を
接触させて前記表示パネル基板を検査する検査装置にお
いて、次の（イ）〜（ホ）の構成を備えるものである。
（イ）表示パネル基板を載せることができる水平なワー
クテーブル。（ロ）前記ワークテーブルを取り囲むよう
に配置された枠状のガイドフレーム。（ハ）前記ワーク
テーブルに対して前記ガイドフレームを水平面内で２次
元方向に移動させるためのガイドフレーム駆動機構。
（ニ）表示パネル基板を載せることができて、前記ワー
クテーブルの外形寸法よりも大きな内形寸法を有してい
て、前記ガイドフレームに対して上下移動可能に結合さ
れた枠状の水平なガイドテーブル。（ホ）前記ワークテ
ーブルに対向して配置されたプローブ針。

【００１１】多面取りの大型の表示パネル基板を検査す
る場合に、この検査装置では、検査すべき表示パネルユ
ニットがワークテーブルの真上に来るように、表示パネ
ル基板を載せたガイドテーブルをワークテーブルに対し
て移動させることができる。したがって、プローブ針は
常にワークテーブルに対向していればよい。このワーク
テーブルは大型の表示パネル基板と比較して小さな寸法
で済み、ワークテーブル全体をその下の支持台で支持で
きる。これにより、プローブユニットからの荷重がワー
クテーブルに対して偏荷重となることがない。また、基
板とテーブル（ワークテーブルとガイドテーブルの合
計）との接触面積が小さくなるので、表示パネル基板が
テーブルから離れる瞬間に発生する静電気量も少なくな
る。

【００１２】なお、本発明で検査する表示パネル基板
は、完成した表示パネルであってもよく、製造途中のパ
ネル基板であってもよい。液晶基板を例にとると、液晶
を注入する前の、配線パターンやトランジスタが形成さ
れた状態のガラス基板の状態であってもよいし、液晶を
注入した後の液晶表示パネルの状態であってもよい。ま
た、表示パネル基板としては、液晶基板のほかに、プラ
ズマ・ディスプレイ・パネルなどのその他の表示パネル
基板であってもよい。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の検査装置のテ
ーブル部を示す平面図である。このテーブル部は、中央
の水平なワークテーブル３０と、これを取り囲む枠状の
水平なガイドテーブル３２を備えている。ガイドテーブ
ル３２の内縁３３は、ワークテーブル３０の外形よりも
大きな内部空間３４を形成している。すなわち、ガイド
テーブル３２の内形寸法はワークテーブル３０の外形寸
法よりも大きくされている。ガイドテーブル３２の外形
寸法は、検査する大型の液晶基板の外形寸法よりも若干
大きくされている。ワークテーブル３０の外形寸法は、
大型の液晶基板に複数個形成された各液晶表示ユニット
とほぼ同じ大きさにされている。このテーブル部に載せ
られる液晶基板は、枠状のガイドテーブル３２と、中央
の小さな面積を有するワークテーブルとに接触すること
になるので、液晶基板の全体がテーブルに接触する従来
の検査装置と比較して、その接触面積は相当小さくな
る。したがって、液晶基板とテーブルとの間で発生する
静電気量が小さくなる。

【００１４】ガイドテーブル３２は、Ｘ方向のボールネ
ジ軸３６と、Ｙ方向のボールネジ軸３８と、Ｘ方向の１
対のガイド棒４０と、Ｙ方向の１対のガイド棒４２とを
含む駆動機構の働きによって、ワークテーブル３０に対
して、水平面内でＸＹ方向に移動できる。ワークテーブ
ル３０の表面には吸着溝４４が形成されていて、この吸
着溝４４に負圧を導入することによりワークテーブル３
０の表面に液晶基板を吸着できる。また、ワークテーブ
ル３０には４本の突き上げピン４７が内蔵されていて、
この突き上げピン４７を突き上げることにより、ワーク
テーブル３０上の液晶基板を持ち上げることができる。
ガイドテーブル３２の表面にも吸着溝４６が形成されて
いて、この吸着溝４６に負圧を導入することにより、液
晶基板を同様に吸着できる。

【００１５】図２は、図１のガイドテーブル３２を取り
除いた状態のテーブル部の平面図である。ガイドテーブ
ルの下側にはガイドフレーム４８があり、このガイドフ
レーム４８の外形寸法はガイドテーブルと同じである。
ガイドテーブルの内縁３３の位置は一点鎖線で示してあ
る。ガイドテーブルは、後述するように、ガイドフレー
ム４８に対して上下移動可能に結合されている。ガイド
フレーム４８の各辺の内壁面にはガイドレール４９が設
けられ、このガイドレール４９に沿って移動可能にスラ
イドガイド５０、５１、５２、５３が取り付けられてい
る。そして、Ｘ方向に対向する１対のスライドガイド５
０、５１の間にはボールネジ軸３６と１対のガイド棒４
０が固定されており、Ｙ方向に対向する１対のスライド
ガイド５２、５３の間にはボールネジ軸３８と１対のガ
イド棒４２が固定されている。

【００１６】図３はガイドフレームの駆動機構を示す正
面断面図である。ワークテーブル３０の下面はテーブル
支持台５４に固定されている。テーブル支持台５４はＺ
θステージに載っている。このテーブル支持台５４には
ガイドフレーム駆動機構が組み込まれている。図２に示
す２対のガイド棒４０、４２は、リニアブッシュ５５を
介してテーブル支持台５４を貫通していて、テーブル支
持台５４に対してスライド可能である。また、図２に示
す２本のボールネジ軸３６、３８は、テーブル支持台５
４内の後述するナットに噛み合っており、ナットが回転
するとボールネジ軸３６、３８はテーブル支持台５４に
対して並進移動する。ガイドフレーム４８をＸ方向に移
動させるためのボールネジ軸３６とその両側のガイド棒
４０は、テーブル支持台５４の下部を貫通しており、ガ
イドフレーム４８をＹ方向に移動させるためのボールネ
ジ軸３８とその両側のガイド棒４２は、テーブル支持台
５４の上部を貫通している。すなわち、ガイドフレーム
４８をＸ方向に移動させるための駆動機構とＹ方向に移
動させるための駆動機構は上下に段違いに配置されてい
る。

【００１７】ガイドフレーム４８には、その４隅の近傍
に、４個のエアシリンダ５６が固定されていて、そのシ
リンダロッド５８の上端はガイドテーブル３２に固定さ
れている（シリンダロッド５８の平面位置は図２を参
照）。したがって、エアシリンダ５６の動作により、ガ
イドテーブル３２はガイドフレーム４８に対して上下方
向に移動できる。ガイドテーブル３２が最下端にあると
きは、ガイドテーブル３２の上面とワークテーブル３０
の上面とが同一平面上にある。ガイドテーブル３２が上
昇すると、図３に示すようにガイドテーブル３２の上面
はワークテーブル３０の上面よりも上になる。

【００１８】図２に戻って、ガイドフレーム駆動機構の
働きを説明する。Ｘ方向のボールネジ軸３６に噛み合う
ナットが回転すると、ワークテーブル３０に対してボー
ルネジ軸３６がＸ方向に移動する。これにより、ガイド
フレーム４８全体がＸ方向に移動する。ガイド棒４０は
テーブル支持台の内部をスライドする。テーブル支持台
に対してＹ方向のボールネジ軸３８とガイド棒４２はＸ
方向に移動できないから、ガイドフレーム４８がＸ方向
に移動するのに伴い、Ｙ方向のボールネジ軸３８とガイ
ド棒４２とに固定されているスライドガイド５２、５３
は、ガイドフレーム４８に対して相対的にＸ方向に移動
する。すなわち、静止しているスライドガイド５２、５
３に対してガイドフレーム４８の方がＸ方向に移動す
る。同様に、Ｙ方向のボールネジ軸３８に噛み合うナッ
トが回転すると、ガイドフレーム４８全体がＹ方向に移
動する。このようにして、ガイドフレーム４８とその上
のガイドテーブルは、ワークテーブル３０に対してＸＹ
方向に移動できる。

【００１９】図４はワークテーブル３０に対してガイド
テーブル３２を、Ｘ方向においては一番右側にＹ方向に
おいては一番手前に移動させた状態を示す。ガイドテー
ブル３２の内縁はワークテーブル３０の外縁に接触して
いる。

【００２０】図５はテーブル支持台に組み込まれたボー
ルネジ駆動機構の平面断面図である。テーブル支持台に
はステッピングモータ６０が固定されており、その出力
軸は歯付きプーリ６４と歯付きベルト６２と歯付きプー
リ６６とを介して、ボールネジ用のナット６８に伝達さ
れる。このナット６８は、テーブル支持台に固定された
ハウジング７０の内部で回転可能に支持されている。こ
のナット６８にＸ方向のボールネジ軸３６が噛み合って
いる。ナット６８はハウジング７０に支持されていて軸
方向に移動不能であるから、ナット６８が回転すると、
これに噛み合うボールネジ軸３６がＸ方向に移動する。
ステッピングモータ６０の回転角度を制御することによ
り、ボールネジ軸３６の移動量を制御でき、これによっ
て、ガイドフレームのＸ方向の位置を制御できる。Ｙ方
向のボールネジ駆動機構についても同じ構造である。

【００２１】次に、図６〜図８を参照して、この検査装
置の動作を説明する。図６（Ａ）において、搬送アーム
７２で送られてきた液晶基板７４は、ワークテーブルか
ら上昇した４本の突き上げピン４７で支持される。この
とき、ワークテーブルはガイドテーブル３２のほぼ中央
に位置しているものとする。ガイドテーブル３２は最下
端位置にあり、ガイドテーブル３２の上面とワークテー
ブルの上面は同一高さにある。突き上げピン４７が下が
ると、液晶基板７４はガイドテーブル３２とワークテー
ブルの上に載る。それから、ガイドテーブル３２の吸着
溝に負圧を供給して、ガイドテーブル３２で液晶基板７
４の周辺部を吸着支持する。なお、このとき、ワークテ
ーブルでは液晶基板７４を吸着しない。

【００２２】図６（Ｂ）に示すように、液晶基板７４を
搭載した状態のステージは、まず、プローブユニット７
６の真下にワークテーブルが位置するようにＸＹ方向に
位置調整される。次の段階では、検査すべき液晶表示ユ
ニットがプローブユニット７６の真下に来るように（す
なわち、検査すべき液晶表示ユニットがワークテーブル
の真上に来るように）、液晶基板７４を搭載しているガ
イドテーブル３２をＸＹ方向に移動させる必要がある。

【００２３】まず、図７（Ａ）に示すように、エアシリ
ンダ５６のシリンダロッド５８を上昇させて、液晶基板
７４を吸着した状態のガイドテーブル３２を数ｍｍ上昇
させる。次に、図７（Ｂ）に示すように、ガイドテーブ
ル３２をＸＹ方向に移動させて、液晶基板７４内の検査
すべき液晶表示ユニットがプローブユニット７６の真下
に来るようにする。この位置決め精度は粗いものでよ
く、液晶基板７４の各液晶表示ユニットに対応して設け
られたアライメントマークが、プローブユニット７６の
上方に配置したＣＣＤカメラ７８で観測可能な状態にな
ればよい。その後、ガイドテーブル３２を下降して、こ
のガイドテーブル３２の表面の高さをワークテーブル３
０と同じにする。そして、ガイドテーブル３２による液
晶基板７４の吸着を解除し、ワークテーブル３０による
吸着に切り換える。

【００２４】次に、図８に示すように、ＣＣＤカメラ７
８で液晶基板７４上のアライメントマークを認識するこ
とにより、ワークテーブル３０の下方のＸＹθステージ
を移動させて、検査すべき液晶表示ユニットとプローブ
ユニット７６とのアライメントを実行する。それから、
ワークテーブル３０の下方のＺステージを用いてテーブ
ル全体を上昇させることにより、液晶表示ユニットの電
極をプローブユニット７６のプローブ針に接触させる。
プローブユニット７６の真下には常にワークテーブル３
０があって、このワークテーブル３０の下面全体がその
下のテーブル支持台とＸＹＺθステージとによって支持
されているので、プローブユニット７６からワークテー
ブル３０に大きな荷重が作用しても、ワークテーブル３
０に偏荷重が作用することがなく、ワークテーブル３０
が傾斜することもない。この実施態様では、プローブユ
ニット７６の中心とＺステージの中心とを一致させてい
るので、全てのプローブ針に均一なオーバードライブが
かかり、安定したコンタクトが可能である。しかも、ワ
ークテーブル３０の外形寸法は、検査すべき液晶表示ユ
ニットの外形寸法と同程度でよいので、大型の液晶基板
７４の寸法よりも相当小さくできる。

【００２５】検査終了後は、Ｚステージを下降してプロ
ーブ針との接触を解除し、ワークテーブル３０による液
晶基板７４の吸着を解除して、ガイドテーブル３２によ
る吸着に切り換える。それから、ガイドテーブル３２を
上昇させてから、別の液晶表示ユニットがプローブユニ
ット７６の真下に来るように、ガイドテーブル３２をＸ
Ｙ方向に移動させる。このようにして、同一の液晶基板
７４内の複数の液晶表示ユニットを順に検査する。同一
の液晶基板７４内の全ての液晶表示ユニットを検査した
ら、図６（Ａ）に示すように液晶基板７４を突き上げピ
ン４７で持ち上げて、搬送アーム７２で搬出し、次の液
晶基板７４を突き上げピン４７に載せる。

【００２６】図９と図１０は、図１１に示す６枚取りの
液晶基板を検査する場合のガイドテーブルの動きを示す
平面図である。図９（Ａ）は、上から見た液晶基板のう
ち、左奥に位置する液晶表示ユニットを検査する状態で
あり、ワークテーブル３０に対して、ガイドテーブル３
２はＸ方向において一番右側にあり、Ｙ方向において一
番手前にある。図９（Ｂ）は中央奥の液晶表示ユニット
を検査する状態であり、図９（Ａ）の状態からガイドテ
ーブル３２を、液晶表示ユニット一つ分だけ左に移動し
た状態である。図９（Ｃ）は右奥の液晶表示ユニットを
検査する状態であり、図９（Ｂ）の状態からさらに、ガ
イドテーブル３２を、液晶表示ユニット一つ分だけ左に
移動した状態である。図１０（Ａ）は右手前の液晶表示
ユニットを検査する状態であり、図９（Ｃ）の状態から
ガイドテーブル３２を、液晶表示ユニット一つ分だけ奥
に移動した状態である。図１０（Ｂ）は中央手前の液晶
表示ユニットを検査する状態であり、図１０（Ｂ）の状
態からガイドテーブル３２を、液晶表示ユニット一つ分
だけ右に移動した状態である。図１０（Ｃ）は左手前の
液晶表示ユニットを検査する状態であり、図１０（Ｂ）
の状態からさらに、ガイドテーブル３２を、液晶表示ユ
ニット一つ分だけ右に移動した状態である。このような
ガイドテーブル３２の移動により、６枚の液晶表示ユニ
ットを順に検査できる。

【００２７】なお、これまで説明してきた実施態様で
は、ワークテーブルとガイドテーブルが同一の高さにあ
るときでも、これらのテーブルで同時に液晶基板７４を
吸着することはしていない。その必要性に乏しいことも
あるが、主たる理由は、ワークテーブルとガイドテーブ
ルの平面度が必ずしも完全になっているとは限らないの
で、両方のテーブルで同時に完全に吸着を行うことが困
難なためである。

【００２８】

【発明の効果】この発明の検査装置は、比較的小さな面
積のワークテーブルに対して、これを取り囲む枠状のガ
イドテーブルを２次元方向に移動可能に組み合わせたこ
とにより、大型の表示パネル基板の中の任意の表示パネ
ルユニットを検査する場合に、その表示パネルユニット
をワークテーブルの真上に持ってきて検査することが可
能となる。したがって、プローブユニットからの荷重が
ワークテーブルに対して偏荷重になることがない。これ
により、テーブルを支持するステージのＺ駆動のガイド
機構を大幅に小型化・軽量化できるし、ＸＹステージも
軽量化できる。また、ワークステージが偏荷重で傾斜す
ることがないので、全てのプローブ針に均一なオーバー
ドライブがかかり、安定したコンタクトが可能になる。
さらに、大型の表示パネル基板に対しても、基板とテー
ブルとの接触面積が小さくなるので、表示パネル基板が
テーブルから離れる瞬間に発生する静電気量も少なくな
る。したがって、表示パネルに形成されたトランジスタ
などの回路が破壊される恐れがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の検査装置のテーブル部を示す平面図
である。

【図２】図１のガイドテーブルを取り除いた状態の平面
図である。

【図３】ガイドフレームの駆動機構を示す正面断面図で
ある。

【図４】テーブル部の一つの状態を示す平面図である。

【図５】ボールネジ駆動機構の平面断面図である。

【図６】この発明の検査装置の動作を説明する正面図で
ある。

【図７】この発明の検査装置の動作の別の状態を示す正
面図である。

【図８】この発明の検査装置の動作のさらに別の状態を
示す正面図である。

【図９】この発明の検査装置の動作を説明する平面図で
ある。

【図１０】この発明の検査装置の動作の別の状態を示す
平面図である。

【図１１】多面取りの大型の液晶基板を示した平面図で
ある。

【図１２】従来の検査装置の正面図である。

【図１３】図１２の検査装置において、プローブ針の針
先と液晶表示ユニットの電極との接触状態を示した拡大
正面図である。

【図１４】従来の別の検査装置の正面図である。

【符号の説明】

３０ ワークテーブル ３２ ガイドテーブル ３６、３８ ボールネジ軸 ４０、４２ ガイド棒 ４４、４６ 吸着溝 ４７ 突き上げピン ４８ ガイドフレーム ４９ ガイドレール ５０、５１、５２、５３ スライドガイド ５４ テーブル支持台 ５５ リニアブッシュ ５６ エアシリンダ ５８ シリンダロッド

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−98349（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−161947（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−146883（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−229934（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−300818（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−307066（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−28039（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−115627（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−26156（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/28 - 31/3193 G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/00 G01R 31/02 - 31/06 G09F 9/00 352

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 テーブルに載せた表示パネル基板の電極
   にプローブ針を接触させて前記表示パネル基板を検査す
   る検査装置において、次の構成を備える検査装置。 （イ）表示パネル基板を載せることができる水平なワー
   クテーブル。 （ロ）前記ワークテーブルを取り囲むように配置されて
   いるガイドフレーム。 （ハ）前記ワークテーブルに対して前記ガイドフレーム
   を水平面内で２次元方向に移動させるためのガイドフレ
   ーム駆動機構。 （ニ）表示パネル基板を載せることができて、前記ワー
   クテーブルの外形寸法よりも大きな内形寸法を有してい
   て、前記ガイドフレームに対して上下移動可能に結合さ
   れた枠状の水平なガイドテーブル。 （ホ）前記ワークテーブルに対向して配置されたプロー
   ブ針。
2. 【請求項２】 テーブルに載せた表示パネル基板の電極
   にプローブ針を接触させて前記表示パネル基板を検査す
   る検査装置において、次の構成を備える検査装置。 （イ）表示パネル基板を載せることができるワークテー
   ブル。 （ロ）表示パネル基板を載せることができて、前記ワー
   クテーブルを取り囲むように配置されていて、前記ワー
   クテーブルの外形寸法よりも大きな内形寸法を有してい
   て、前記ワークテーブルの表面に平行な表面を有する枠
   状のガイドテーブル。 （ハ）前記ワークテーブルに対して前記ガイドテーブル
   を、前記ワークテーブルの表面に平行な平面内で２次元
   方向に移動させるためのガイドテーブル駆動機構。 （ニ）前記ワークテーブルに対して前記ガイドテーブル
   を、前記ワークテーブルの表面に垂直な方向に移動させ
   るための垂直駆動機構 （ホ）前記ワークテーブルに対向して配置されたプロー
   ブ針。
3. 【請求項３】 テーブルに載せた表示パネル基板の電極
   にプローブ針を接触させて前記表示パネル基板を検査す
   る検査装置において、次の構成を備える検査装置。 （イ）表示パネル基板を載せることができるワークテー
   ブル。 （ロ）前記ワークテーブルを取り囲むように配置されて
   いる枠状のガイドフレーム。 （ハ）前記ワークテーブルに対して前記ガイドフレーム
   を、前記ワークテーブルの表面に平行な平面内で２次元
   方向に移動させるためのガイドフレーム駆動機構。 （ニ）表示パネル基板を載せることができて、前記ワー
   クテーブルの外形寸法よりも大きな内形寸法を有してい
   て、前記ワークテーブルの表面に平行な表面を有してい
   て、前記ワークテーブルの表面に垂直な方向に移動でき
   るように前記ガイドフレームに結合された枠状のガイド
   テーブル。 （ホ）前記ワークテーブルに対向して配置されたプロー
   ブ針。