JPH11220849A - クリーン用回転形電動機 - Google Patents
クリーン用回転形電動機Info
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- JPH11220849A JPH11220849A JP3405298A JP3405298A JPH11220849A JP H11220849 A JPH11220849 A JP H11220849A JP 3405298 A JP3405298 A JP 3405298A JP 3405298 A JP3405298 A JP 3405298A JP H11220849 A JPH11220849 A JP H11220849A
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- Japan
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- motor
- bracket
- rotating shaft
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 厳しいクリーン度が要求される環境下におい
ても十分対応できるクリーン用回転形電動機を提供す
る。 【解決手段】 筒状のフレーム２と、固定子コア４とこ
の固定子コア４に装着される固定子巻線５とからなる固
定子３と、ブラケット６、７と、ブラケット６、７に軸
受９、１０を介して回転自在に支承された回転軸８と、
回転軸８に取り付けられた回転子１１とを有するクリー
ン用回転形電動機において、フレーム２に、フレーム内
部とフレーム外部とを結ぶ貫通穴１４を形成するととも
に貫通穴１４に多孔質膜フィルタ１５を取り付けるよう
にする。多孔質膜フィルタ１５は、パーティクルを透過
しないので、パーティクルを電動機外部に放出すること
なく、電動機の内部と外部とで通気性を保って電動機内
部と外部の圧力差を小さくし、発塵源である軸受部を通
る空気を少なくして、電動機外部へ放出されるパーティ
クルを減少させる。
ても十分対応できるクリーン用回転形電動機を提供す
る。 【解決手段】 筒状のフレーム２と、固定子コア４とこ
の固定子コア４に装着される固定子巻線５とからなる固
定子３と、ブラケット６、７と、ブラケット６、７に軸
受９、１０を介して回転自在に支承された回転軸８と、
回転軸８に取り付けられた回転子１１とを有するクリー
ン用回転形電動機において、フレーム２に、フレーム内
部とフレーム外部とを結ぶ貫通穴１４を形成するととも
に貫通穴１４に多孔質膜フィルタ１５を取り付けるよう
にする。多孔質膜フィルタ１５は、パーティクルを透過
しないので、パーティクルを電動機外部に放出すること
なく、電動機の内部と外部とで通気性を保って電動機内
部と外部の圧力差を小さくし、発塵源である軸受部を通
る空気を少なくして、電動機外部へ放出されるパーティ
クルを減少させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム等
で使用される回転形電動機に係り、特に、半導体製造工
程において、ウェハの洗浄装置や、フォトレジストの塗
布装置、ウェハ搬送装置などに使用される回転形電動機
に関するものである。
で使用される回転形電動機に係り、特に、半導体製造工
程において、ウェハの洗浄装置や、フォトレジストの塗
布装置、ウェハ搬送装置などに使用される回転形電動機
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置の高集積化と高機能化
に伴って、半導体製造工程におけるクリーン化の要求も
ますます厳しくなっている。特に、ウェハ表面に対する
パーティクルによる汚染は、製品の歩留まりの悪化をも
たらすため、重要な問題となっている。そのため、半導
体製造装置は、一般に、クリーン度が厳しく管理された
クリーンルーム内に設置され、ウェハへのパーティクル
の付着を防止している。従来より、回転形電動機は、半
導体の製造工程において、例えば、ウェハの洗浄装置、
フォトレジストの塗布装置などのスピナ用や、ウェハ搬
送装置の駆動用などの用途に広く利用されている。しか
し、クリーン環境下では、必要とするクリーン度に応じ
た対策を行っていないと、電動機からのパーティクルの
発生を抑えることができず、周囲環境を汚染し、ウェハ
を汚染する。回転形電動機の場合、パーティクルの発生
原因としては、構成部品からの錆や、外被の汚れ、塗装
の剥離などもあるが、回転部と静止部の摩擦に起因する
ものが主であり、特に、軸受部からの摩耗粉や飛散した
グリースなどがパーティクルとなり、周囲環境を汚染し
ていた。そこで、クリーン環境下で使用する従来の回転
形電動機は、軸受のグリースを飛散が少ないクリーン用
グリースに交換した回転形電動機が用いられていた。
に伴って、半導体製造工程におけるクリーン化の要求も
ますます厳しくなっている。特に、ウェハ表面に対する
パーティクルによる汚染は、製品の歩留まりの悪化をも
たらすため、重要な問題となっている。そのため、半導
体製造装置は、一般に、クリーン度が厳しく管理された
クリーンルーム内に設置され、ウェハへのパーティクル
の付着を防止している。従来より、回転形電動機は、半
導体の製造工程において、例えば、ウェハの洗浄装置、
フォトレジストの塗布装置などのスピナ用や、ウェハ搬
送装置の駆動用などの用途に広く利用されている。しか
し、クリーン環境下では、必要とするクリーン度に応じ
た対策を行っていないと、電動機からのパーティクルの
発生を抑えることができず、周囲環境を汚染し、ウェハ
を汚染する。回転形電動機の場合、パーティクルの発生
原因としては、構成部品からの錆や、外被の汚れ、塗装
の剥離などもあるが、回転部と静止部の摩擦に起因する
ものが主であり、特に、軸受部からの摩耗粉や飛散した
グリースなどがパーティクルとなり、周囲環境を汚染し
ていた。そこで、クリーン環境下で使用する従来の回転
形電動機は、軸受のグリースを飛散が少ないクリーン用
グリースに交換した回転形電動機が用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、クリーン用
グリースを用いた電動機の場合でも、パーティクルの飛
散がないわけではなく、電動機の回転速度や軸受サイズ
の増加に伴ってパーティクルは増加し、より厳しいクリ
ーン度が要求される場合には、十分対応ができないこと
があった。そこで本発明は、このような問題点を解決
し、より厳しいクリーン度が要求される環境下において
も十分対応できるクリーン用回転形電動機を提供するこ
とを目的とするものである。
グリースを用いた電動機の場合でも、パーティクルの飛
散がないわけではなく、電動機の回転速度や軸受サイズ
の増加に伴ってパーティクルは増加し、より厳しいクリ
ーン度が要求される場合には、十分対応ができないこと
があった。そこで本発明は、このような問題点を解決
し、より厳しいクリーン度が要求される環境下において
も十分対応できるクリーン用回転形電動機を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、本発明は、筒状のフレームと、前記フレームの内面
に嵌合される固定子コアとこの固定子コアに装着される
固定子巻線とからなる固定子と、前記フレームの軸方向
端部に取り付けたブラケットと、前記ブラケットに軸受
を介して回転自在に支承された回転軸と、前記回転軸の
外周面に、前記固定子コアの内周面と空隙を介して対向
するように取り付けられた回転子とを有するクリーン用
回転形電動機において、前記フレームに、フレーム内部
とフレーム外部とを結ぶ貫通穴を形成するとともに前記
貫通穴に多孔質膜フィルタを取り付けるようにしたもの
である。
め、本発明は、筒状のフレームと、前記フレームの内面
に嵌合される固定子コアとこの固定子コアに装着される
固定子巻線とからなる固定子と、前記フレームの軸方向
端部に取り付けたブラケットと、前記ブラケットに軸受
を介して回転自在に支承された回転軸と、前記回転軸の
外周面に、前記固定子コアの内周面と空隙を介して対向
するように取り付けられた回転子とを有するクリーン用
回転形電動機において、前記フレームに、フレーム内部
とフレーム外部とを結ぶ貫通穴を形成するとともに前記
貫通穴に多孔質膜フィルタを取り付けるようにしたもの
である。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１に基
づいて説明する。図１は、本発明の実施例を示す側断面
図であり、例として、永久磁石形同期電動機の場合を示
す。図において、１はクリーン用回転形電動機、２は前
記クリーン用回転形電動機のフレームで、筒状をしてい
る。３は固定子で、前記フレーム２の内面に嵌合された
固定子コア４とこの固定子コア４に装着される固定子巻
線５とからなっている。６、７はブラケットで、前記フ
レーム２の軸方向端部に取り付けられている。８は中空
状の回転軸で、前記ブラケット６、７を貫通するととも
に、前記ブラケット６、７に軸受９、１０を介して回転
自在に支承されている。１１は回転子で、前記回転軸８
の外周面に、前記固定子コア４の内周面と空隙を介して
対向するように取り付けられた回転子鉄心１２と永久磁
石１３とからなっている。１４は貫通穴で、前記フレー
ム２に、フレーム２の内部と外部とを連通している。１
５は多孔質膜フィルタで、前記貫通穴１４を覆うように
前記フレーム２に取り付けられている。多孔質膜フィル
タ１５は、四ふっ化エチレン樹脂製で、１cm2 あたり数
億個の微細孔をもつため、防水・防塵性を有しつつ、通
気性がある。１６は保護カバーで、前記貫通穴１４と連
通する通気口１７を有し、前記多孔質膜フィルタ１５を
フレーム２との間に挟むようにして、前記フレーム２に
取り付けられている。なお、前記保護カバー１６の通気
口１７は、前記多孔質膜フィルタ１５にものが当たって
損傷することがないように、回転軸方向に向いている。
１８は検出器部で、前記回転軸８に固定された回転ディ
スク１９と、前記ブラケット７に固定されたセンサ部２
０とで構成されている。２１は検出器カバーで、前記ブ
ラケット７に取り付けられている。２２は前記回転軸８
とブラケット６との間に設けた非接触のラビリンスシー
ル部、２３は前記回転軸８と検出器カバー２１との間に
設けた非接触のラビリンスシール部、２４は前記回転デ
ィスク１９と前記ブラケット７との間隙に設けた非接触
のラビリンスシール部である。２５は前記クリーン用回
転形電動機１の内部空間である。このような構成におけ
る多孔質膜フィルタ１５とラビリンスシール部２１、２
２、２３の働きについて以下に説明する。クリーン用回
転形電動機１の運転を開始すると、主に、前記固定子巻
線５が発熱源となって、電動機の内部空間２４の温度が
上昇し、内圧が上昇する。しかし、内圧が上昇しても、
前記多孔質膜フィルタ１５を取り付けた前記貫通穴１４
を通して、内気を電動機外部に逃がすことができる。し
たがって、発塵源である軸受９、１０を通って外部へ放
出される空気が少なくなり、電動機外部へ放出されるパ
ーティクルが減少する。前記多孔質膜フィルタ１５の微
細孔の孔径は、小さすぎると通気量が減少し、大きすぎ
るとパーティクルが透過してしまうので、電動機の内部
空間２５の容積や、前記多孔質膜フィルタ１５の有効面
積、あるいは、必要なクリーン度に応じて、０．１μｍ
〜１μｍの範囲で選択するのが好ましい。例えば、厳し
いクリーン度が要求される場合には、０．１μｍ程度の
細かい孔径の多孔質膜フィルタ１５を用いて、フィルタ
部の有効面積を大きくとって通気量を確保するとよい。
なお、多孔質膜フィルタ１５は、通気性を有しつつ、防
水性、防塵性を兼ね備えているため、電動機外部から水
や塵挨が進入することがなく、電動機の性能を損なうこ
とはない。また、前記回転軸８とブラケット６との間に
非接触のラビリンスシール部２２を設けるとともに、前
記回転軸８と検出器カバー２１との間に非接触のラビリ
ンスシール部２３を設け、さらに前記回転ディスク１９
と前記ブラケット７との間隙に非接触のラビリンスシー
ル部２４を設けることにより、軸受９、１０を通る空気
がさらに少なくなり、より効果的にパーティクルの抑制
が行われる。さらに、ラビリンスシール部２４を設ける
ことにより、回転ディスク１９の回転による電動機の内
部空間２５の空気の吸い出しが抑制され、回転軸８と検
出器カバー２１との間隙から放出されるパーティクルが
抑制される。なお、前記実施例では、前記ブラケット７
と回転軸８との間には、ラビリンスシール部は設けてい
ないが、前記ブラケット７と回転軸８との間にも、ラビ
リンスシール部を設けるようにしてもよい。また、前記
実施例では、永久磁石形同期電動機の場合を例として示
したが、本発明は、誘導電動機など、他の形式の回転形
電動機にも適用することができる。
づいて説明する。図１は、本発明の実施例を示す側断面
図であり、例として、永久磁石形同期電動機の場合を示
す。図において、１はクリーン用回転形電動機、２は前
記クリーン用回転形電動機のフレームで、筒状をしてい
る。３は固定子で、前記フレーム２の内面に嵌合された
固定子コア４とこの固定子コア４に装着される固定子巻
線５とからなっている。６、７はブラケットで、前記フ
レーム２の軸方向端部に取り付けられている。８は中空
状の回転軸で、前記ブラケット６、７を貫通するととも
に、前記ブラケット６、７に軸受９、１０を介して回転
自在に支承されている。１１は回転子で、前記回転軸８
の外周面に、前記固定子コア４の内周面と空隙を介して
対向するように取り付けられた回転子鉄心１２と永久磁
石１３とからなっている。１４は貫通穴で、前記フレー
ム２に、フレーム２の内部と外部とを連通している。１
５は多孔質膜フィルタで、前記貫通穴１４を覆うように
前記フレーム２に取り付けられている。多孔質膜フィル
タ１５は、四ふっ化エチレン樹脂製で、１cm2 あたり数
億個の微細孔をもつため、防水・防塵性を有しつつ、通
気性がある。１６は保護カバーで、前記貫通穴１４と連
通する通気口１７を有し、前記多孔質膜フィルタ１５を
フレーム２との間に挟むようにして、前記フレーム２に
取り付けられている。なお、前記保護カバー１６の通気
口１７は、前記多孔質膜フィルタ１５にものが当たって
損傷することがないように、回転軸方向に向いている。
１８は検出器部で、前記回転軸８に固定された回転ディ
スク１９と、前記ブラケット７に固定されたセンサ部２
０とで構成されている。２１は検出器カバーで、前記ブ
ラケット７に取り付けられている。２２は前記回転軸８
とブラケット６との間に設けた非接触のラビリンスシー
ル部、２３は前記回転軸８と検出器カバー２１との間に
設けた非接触のラビリンスシール部、２４は前記回転デ
ィスク１９と前記ブラケット７との間隙に設けた非接触
のラビリンスシール部である。２５は前記クリーン用回
転形電動機１の内部空間である。このような構成におけ
る多孔質膜フィルタ１５とラビリンスシール部２１、２
２、２３の働きについて以下に説明する。クリーン用回
転形電動機１の運転を開始すると、主に、前記固定子巻
線５が発熱源となって、電動機の内部空間２４の温度が
上昇し、内圧が上昇する。しかし、内圧が上昇しても、
前記多孔質膜フィルタ１５を取り付けた前記貫通穴１４
を通して、内気を電動機外部に逃がすことができる。し
たがって、発塵源である軸受９、１０を通って外部へ放
出される空気が少なくなり、電動機外部へ放出されるパ
ーティクルが減少する。前記多孔質膜フィルタ１５の微
細孔の孔径は、小さすぎると通気量が減少し、大きすぎ
るとパーティクルが透過してしまうので、電動機の内部
空間２５の容積や、前記多孔質膜フィルタ１５の有効面
積、あるいは、必要なクリーン度に応じて、０．１μｍ
〜１μｍの範囲で選択するのが好ましい。例えば、厳し
いクリーン度が要求される場合には、０．１μｍ程度の
細かい孔径の多孔質膜フィルタ１５を用いて、フィルタ
部の有効面積を大きくとって通気量を確保するとよい。
なお、多孔質膜フィルタ１５は、通気性を有しつつ、防
水性、防塵性を兼ね備えているため、電動機外部から水
や塵挨が進入することがなく、電動機の性能を損なうこ
とはない。また、前記回転軸８とブラケット６との間に
非接触のラビリンスシール部２２を設けるとともに、前
記回転軸８と検出器カバー２１との間に非接触のラビリ
ンスシール部２３を設け、さらに前記回転ディスク１９
と前記ブラケット７との間隙に非接触のラビリンスシー
ル部２４を設けることにより、軸受９、１０を通る空気
がさらに少なくなり、より効果的にパーティクルの抑制
が行われる。さらに、ラビリンスシール部２４を設ける
ことにより、回転ディスク１９の回転による電動機の内
部空間２５の空気の吸い出しが抑制され、回転軸８と検
出器カバー２１との間隙から放出されるパーティクルが
抑制される。なお、前記実施例では、前記ブラケット７
と回転軸８との間には、ラビリンスシール部は設けてい
ないが、前記ブラケット７と回転軸８との間にも、ラビ
リンスシール部を設けるようにしてもよい。また、前記
実施例では、永久磁石形同期電動機の場合を例として示
したが、本発明は、誘導電動機など、他の形式の回転形
電動機にも適用することができる。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によればつぎ
のような効果がある。 (1) 多孔質膜フィルタは、空気のような気体は透過する
が、パーティクルは透過しないので、パーティクルを電
動機外部に放出することなく、電動機の内部と外部とで
通気性を保つことができ、電動機内部と外部の圧力差を
小さくすることができる。このため、発塵源である軸受
部を通る空気を少なくすることができ、電動機外部へ放
出されるパーティクルを減少させることができる。 (2) また、外枠に貫通部を設けているので、軸受部を通
る空気を減少させることができ、その結果、クリーン用
グリースを使うことなく、一般のグリースでパーティク
ルの少ない電動機を提供することできる。 (3) さらに、回転軸とブラケットの間に非接触のラビリ
ンスシール部を設けることにより、軸受部を通る空気を
さらに少なくすることができ、よりパーティクルの少な
いクリーン用回転形電動機を提供することができる。 (4) さらにまた、前記回転ディスクと前記ブラケットと
の間隙に、非接触のラビリンスシール部を設けることに
より、回転ディスクの回転による電動機の内部空間の空
気の吸い出しを抑制し、電動機から放出されるパーティ
クルを抑制することができる。
のような効果がある。 (1) 多孔質膜フィルタは、空気のような気体は透過する
が、パーティクルは透過しないので、パーティクルを電
動機外部に放出することなく、電動機の内部と外部とで
通気性を保つことができ、電動機内部と外部の圧力差を
小さくすることができる。このため、発塵源である軸受
部を通る空気を少なくすることができ、電動機外部へ放
出されるパーティクルを減少させることができる。 (2) また、外枠に貫通部を設けているので、軸受部を通
る空気を減少させることができ、その結果、クリーン用
グリースを使うことなく、一般のグリースでパーティク
ルの少ない電動機を提供することできる。 (3) さらに、回転軸とブラケットの間に非接触のラビリ
ンスシール部を設けることにより、軸受部を通る空気を
さらに少なくすることができ、よりパーティクルの少な
いクリーン用回転形電動機を提供することができる。 (4) さらにまた、前記回転ディスクと前記ブラケットと
の間隙に、非接触のラビリンスシール部を設けることに
より、回転ディスクの回転による電動機の内部空間の空
気の吸い出しを抑制し、電動機から放出されるパーティ
クルを抑制することができる。
【図１】本発明の実施例を示すクリーン用回転形電動機
の側断面図である。
の側断面図である。
１：クリーン用回転形電動機 ２：フレーム ３：固定子 ４：固定子コア ５：固定子巻線 ６：ブラケット ７：ブラケット ８：回転軸 ９：軸受 １０：軸受 １１：回転子 １２：回転子鉄心 １３：永久磁石 １４：貫通穴 １５：多孔質膜フィルタ １６：保護カバ １７：通気口 １８：検出器部 １９：回転ディスク ２０：センサ部 ２１：検出器カバー ２２：ラビリンスシール部 ２３：ラビリンスシール部 ２４：ラビリンスシール部 ２５：内部空間
Claims (4)
- 【請求項１】 筒状のフレームと、前記フレームの内面
に嵌合される固定子コアとこの固定子コアに装着される
固定子巻線とからなる固定子と、前記フレームの軸方向
両端部に取り付けたブラケットと、前記ブラケットに軸
受を介して回転自在に支承された回転軸と、前記回転軸
の外周面に、前記固定子コアの内周面と空隙を介して対
向するように取り付けられた回転子とを有するクリーン
用回転形電動機において、 前記フレームに、フレーム内部とフレーム外部とを結ぶ
貫通穴を形成するとともに前記貫通穴に多孔質膜フィル
タを取り付けたことを特徴とするクリーン用回転形電動
機。 - 【請求項２】 前記回転軸と、ブラケットの間に非接触
のラビリンスシール部を設けたことを特徴とする請求項
１記載のクリーン用回転形電動機。 - 【請求項３】 前記回転軸が前記ブラケットに対して回
転軸方向に貫通し、前記回転軸に固定された回転ディス
クと、前記ブラケットに固定されたセンサ部とで構成さ
れた検出器部を備え、前記回転ディスクと前記ブラケッ
トとの間隙に、非接触のラビリンスシール部を設けたこ
とを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかの項
に記載のクリーン用回転形電動機。 - 【請求項４】 前記ブラケットに検出器カバーを取り付
けるとともに、前記検出器カバーと前記回転軸との間隙
に、非接触のラビリンスシール部を設けたことを特徴と
する請求項３に記載のクリーン用回転形電動機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3405298A JPH11220849A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | クリーン用回転形電動機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3405298A JPH11220849A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | クリーン用回転形電動機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11220849A true JPH11220849A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12403529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3405298A Pending JPH11220849A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | クリーン用回転形電動機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11220849A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011217592A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-10-27 | Yaskawa Electric Corp | 回転電機 |
| JP2014003886A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Lg Innotek Co Ltd | モーター |
| CN105990939A (zh) * | 2015-02-09 | 2016-10-05 | 建准电机工业股份有限公司 | 内转子马达 |
| CN108825762A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-16 | 广安北新建材有限公司 | 一种新型防水蒸气装置 |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP3405298A patent/JPH11220849A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011217592A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-10-27 | Yaskawa Electric Corp | 回転電機 |
| JP2014003886A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Lg Innotek Co Ltd | モーター |
| CN103516104A (zh) * | 2012-06-15 | 2014-01-15 | Lg伊诺特有限公司 | 马达 |
| CN103516104B (zh) * | 2012-06-15 | 2018-05-11 | Lg伊诺特有限公司 | 马达 |
| US9973054B2 (en) | 2012-06-15 | 2018-05-15 | Lg Innotek Co., Ltd. | Motor with damper member on bearing |
| CN105990939A (zh) * | 2015-02-09 | 2016-10-05 | 建准电机工业股份有限公司 | 内转子马达 |
| CN108825762A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-16 | 广安北新建材有限公司 | 一种新型防水蒸气装置 |
| CN108825762B (zh) * | 2018-06-25 | 2021-03-16 | 广安北新建材有限公司 | 一种防水蒸气装置 |
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