JPH11214242A - 導電性ペーストおよびそれを用いた積層セラミック電子部品 - Google Patents

導電性ペーストおよびそれを用いた積層セラミック電子部品

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JPH11214242A
JPH11214242A JP10012348A JP1234898A JPH11214242A JP H11214242 A JPH11214242 A JP H11214242A JP 10012348 A JP10012348 A JP 10012348A JP 1234898 A JP1234898 A JP 1234898A JP H11214242 A JPH11214242 A JP H11214242A
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powder
metal
conductive paste
multilayer ceramic
electronic component
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JP10012348A
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Takaharu Miyazaki
孝晴 宮崎
Takeshi Yamana
毅 山名
Norihiko Sakamoto
憲彦 坂本
Harunobu Sano
晴信 佐野
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 脱脂過程においてデラミネーションが発生せ
ず、耐熱衝撃特性と耐湿負荷特性とに優れる、積層セラ
ミックコンデンサ等の積層セラミック電子部品を実現し
得る、内部導体形成のための導電性ペーストを提供す
る。 【解決手段】 Niのような導電性金属からなる第1の
粉末と、Ti、Zr、Ta、Hf、Nbおよび希土類元
素からなる群から選ばれた少なくとも1つの元素の、金
属、炭化物、窒化物、ホウ化物、ケイ化物および合金か
らなる群から選ばれた少なくとも1種からなる第2の粉
末と、有機ビヒクルとを含有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、導電性ペースト
に関するもので、特に、積層セラミック電子部品の内部
導体として有利に用いられる導電性ペーストおよびそれ
を用いた積層セラミック電子部品に関するものである。
【0002】
【従来の技術】積層セラミックコンデンサ等の積層セラ
ミック電子部品は、複数の積層されたセラミック層と、
これらセラミック層間の特定の界面に沿って形成された
内部導体とを含む、積層体を備えている。このような積
層セラミック電子部品において、内部導体は、通常、導
電性金属からなる粉末および有機ビヒクル等を溶剤中に
分散させた導電性ペーストを焼成することによって形成
される。より詳細には、積層セラミック電子部品を製造
するに当たり、焼成によりセラミック層となるセラミッ
クグリーンシートの特定のものの上に、内部導体となる
べき導電性ペーストを印刷により付与した後、これら複
数のセラミックグリーンシートを積層し、プレスし、次
いで焼成する、各工程が実施され、焼成工程において、
セラミック層の焼結と同時に内部導体の焼結が達成され
る。
【0003】したがって、内部導体となる導電性ペース
トに含まれる導電性金属は、セラミックの焼成温度より
高い融点を有していなければならず、この要望を満たす
とともに、低コスト化を可能とするため、たとえば、ニ
ッケルが当該導電性金属として使用されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ニッケ
ルのような卑金属を内部導体として用いる積層セラミッ
ク電子部品において、セラミック層の薄層化および多層
化が進むと、焼成時の内部導体とセラミック層との収縮
の差や熱膨張率の差によって、内部導体とセラミック層
との界面に残留応力が大きく生じ、この影響により耐熱
衝撃特性が悪くなるという問題がある。また、高温・高
湿下における信頼性(いわゆる耐湿負荷特性)について
も、セラミック層の薄層化および多層化が進むと、同様
に悪くなるという問題に遭遇する。
【0005】また、セラミック層の厚みを薄くするのに
伴い、内部導体の薄層化を図る必要があるが、そのため
には内部導体を形成するための導電性ペースト中のニッ
ケル粉末の粒径をより微細にする必要がある。しかしな
がら、ニッケル粉末の粒径をより微細にした場合には、
焼成工程の前段で実施される脱脂過程の途中において、
ニッケル粉末が酸化されやすくなり、そのため、デラミ
ネーションを引き起こしやすいという問題に遭遇する。
【0006】このような問題を解決するため、たとえば
特公平7−56850号公報には、アルミノシリケート
層によってニッケル内部導体とセラミック層とを接合し
たセラミック積層コンデンサが開示されている。しか
し、このセラミック積層コンデンサは、耐熱衝撃特性を
考慮したものではない。また、特開平6−290985
号公報には、マグネシウム、ジルコニウム、タンタルお
よび希土類元素より選ばれる少なくとも1つの元素の酸
化物を添加した、内部電極用ニッケル導電ペーストが開
示されている。しかし、この内部電極用ペーストでは、
0.5μm以下の粒径のNi粉末を使用した場合には、
酸化によるデラミネーションの防止には効果がないこと
が確認された。
【0007】そこで、この発明の目的は、脱脂過程にお
いてデラミネーションが発生せず、耐熱衝撃特性と耐湿
負荷特性とに優れる、積層セラミックコンデンサ等の積
層セラミック電子部品を実現しようとすることで、より
特定的には、このような積層セラミック電子部品におけ
る内部導体を形成するために有利に用いることができる
導電性ペーストおよびそれを用いた積層セラミック電子
部品を提供しようとすることである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に鋭意研究した結果、たとえばNiを主成分とする導電
性ペーストに、特定の活性金属化合物等を添加すること
によって、脱脂時のデラミネーションの発生を防止し、
かつ耐熱衝撃特性および耐湿負荷特性も改善できること
を見い出し、この発明をなすに至ったものである。
【0009】すなわち、この発明に係る導電性ペースト
は、導電性金属からなる第1の粉末と、Ti、Zr、T
a、Hf、Nbおよび希土類元素からなる群から選ばれ
た少なくとも1つの元素の、金属、炭化物、窒化物、ホ
ウ化物、ケイ化物および合金からなる群から選ばれた少
なくとも1種からなる第2の粉末と、有機ビヒクルとを
含有することを特徴としている。
【0010】この発明に係る導電性ペーストにおいて、
好ましくは、第2の粉末の含有重量が、第1の粉末およ
び当該第2の粉末の合計含有重量に対して、金属換算で
0.1〜5wt%である。この発明の他の局面によれば、
導電性ペーストは、導電性金属からなる粉末と有機ビヒ
クルとを含有し、導電性金属の粉末の表面が、Ti、Z
r、Ta、Hf、Nbおよび希土類元素からなる群から
選ばれた少なくとも1つの元素の、金属、炭化物、窒化
物、ホウ化物、ケイ化物および合金からなる群から選ば
れた少なくとも1種からなるコーティング材によってコ
ーティングされていることを特徴としている。
【0011】上述の導電性ペーストにおいて、好ましく
は、コーティング材の含有重量が、導電性金属からなる
粉末および当該コーティング材の合計含有重量に対し
て、金属換算で0.1〜5wt%である。この発明は、ま
た、複数の積層されたセラミック層と、これらセラミッ
ク層間の特定の界面に沿って形成された内部導体とを含
む、積層体を備える、積層セラミック電子部品にも向け
られ、内部導体が、Ti、Zr、Ta、Hf、Nbおよ
び希土類元素からなる群から選ばれた少なくとも1つの
元素を含むことを特徴としている。
【0012】上述の積層セラミック電子部品に向けられ
る発明は、好ましくは、積層セラミックコンデンサに適
用される。この場合には、積層体の端面上の互いに異な
る位置に設けられる複数の外部電極をさらに備え、複数
の内部導体は、いずれかの外部電極に電気的に接続され
るように、それぞれの端縁を端面に露出させた状態でそ
れぞれ形成されている。
【0013】このような積層セラミック電子部品におい
て、好ましくは、セラミック層は、チタン酸バリウムを
主成分とする誘電体セラミックからなる。また、内部導
体は、導電性金属からなる第1の粉末と、Ti、Zr、
Ta、Hf、Nbおよび希土類元素からなる群から選ば
れた少なくとも1つの元素の、金属、炭化物、窒化物、
ホウ化物、ケイ化物および合金からなる群から選ばれた
少なくとも1種からなる第2の粉末と、有機ビヒクルと
を含有する、導電性ペーストを焼成して形成されたもの
であっても、導電性金属からなる粉末と有機ビヒクルと
を含有し、導電性金属の粉末の表面が、Ti、Zr、T
a、Hf、Nbおよび希土類元素からなる群から選ばれ
た少なくとも1つの元素の、金属、炭化物、窒化物、ホ
ウ化物、ケイ化物および合金からなる群から選ばれた少
なくとも1種からなるコーティング材によってコーティ
ングされている、導電性ペーストを焼成して形成された
ものであってもよい。
【0014】また、上述したような導電性ペーストまた
は積層セラミック電子部品において、導電性金属として
は、好ましくは、ニッケルのような卑金属を主成分とす
るものが用いられる。
【0015】
【発明の実施の形態】この発明に係る導電性ペースト
は、図1に示すような積層セラミックコンデンサ1にお
いて用いられる。図1を参照して、積層セラミックコン
デンサ1は、複数の積層された誘電体セラミック層2を
有する積層体3と、この積層体3の第1および第2の端
面4および5上にそれぞれ設けられる第1および第2の
外部電極6および7とを備える。積層セラミックコンデ
ンサ1は、全体として直方体形状のチップタイプの電子
部品を構成する。
【0016】積層体3の内部には、内部導体としての第
1の内部電極8と第2の内部電極9とが交互に配置され
る。第1の内部電極8は、第1の外部電極6に電気的に
接続されるように、各端縁を第1の端面4に露出させた
状態で誘電体セラミック層2間の特定の複数の界面に沿
ってそれぞれ形成され、第2の内部電極9は、第2の外
部電極7に電気的に接続されるように、各端縁を第2の
端面5に露出させた状態で誘電体セラミック層2間の特
定の複数の界面に沿ってそれぞれ形成される。
【0017】この積層セラミックコンデンサ1を製造す
るため、焼成によって、たとえばチタン酸バリウムを主
成分とする誘電体セラミックが得られるように、所定の
セラミック成分を含むスラリーが調製され、このスラリ
ーを用いて、誘電体セラミック層2となるセラミックグ
リーンシートが作製される。次いで、特定のセラミック
グリーンシート上に、内部電極8および9となるべき膜
が、たとえばスクリーン印刷によって導電性ペーストを
もって形成される。この導電性ペーストとしては、導電
性金属からなる第1の粉末と、Ti、Zr、Ta、H
f、Nbおよび希土類元素からなる群から選ばれた少な
くとも1つの元素の、金属、炭化物、窒化物、ホウ化
物、ケイ化物および合金からなる群から選ばれた少なく
とも1種からなる第2の粉末と、有機ビヒクルとを含有
するもの、あるいは、導電性金属からなる粉末と有機ビ
ヒクルとを含有し、導電性金属の粉末の表面が、Ti、
Zr、Ta、Hf、Nbおよび希土類元素からなる群か
ら選ばれた少なくとも1つの元素の、金属、炭化物、窒
化物、ホウ化物、ケイ化物および合金からなる群から選
ばれた少なくとも1種からなるコーティング材によって
コーティングされているものが用いられる。
【0018】上述した導電性ペーストにおいて、第2の
粉末またはコーティング材の含有重量が、第1の粉末す
なわち導電性金属からなる粉末および当該第2の粉末ま
たはコーティング材の合計含有重量に対して、金属換算
で0.1〜5wt%であることが好ましい。0.1wt%未
満の場合には、耐熱衝撃試験および耐湿負荷試験におい
て不良が発生しやすくなる傾向があり、他方、5wt%を
超える場合には、静電容量の低下や等価直列抵抗の増大
といった問題が発生しやすくなる傾向があるからであ
る。
【0019】上述した導電性金属としては、好ましく
は、ニッケルのような卑金属を主成分とするものが用い
られるが、ニッケルの他、銀、金、白金、パラジウム、
銅などを用いてもよい。次いで、上述のように導電性ペ
ースト膜を形成したセラミックグリーンシートを含む複
数のセラミックグリーンシートが積層され、プレスされ
た後、必要に応じてカットされる。このようにして、複
数のセラミックグリーンシート、およびセラミックグリ
ーンシート間の特定の界面に沿ってそれぞれ形成された
複数の内部電極8および9を積層したものであって、内
部電極8および9の各端縁を端面4または5に露出させ
ている、生の状態の積層体3が作製される。
【0020】次いで、この積層体3は還元性雰囲気下で
焼成される。これによって、セラミックグリーンシート
は焼結されて誘電体セラミック層2となると同時に、内
部電極8および9も焼結される。次いで、焼成された積
層体3における第1および第2の内部電極8および9の
露出した各端縁にそれぞれ電気的に接続されるように、
積層体3の第1および第2の端面4および5上に、それ
ぞれ、第1および第2の外部電極6および7が形成され
る。
【0021】なお、外部電極6および7は、通常、その
材料となる金属粉末を含む導電性ペーストを焼成後の積
層体3上に塗布して焼き付けることによって形成される
が、焼成前の積層体3上に塗布して、積層体3の焼成と
同時に焼き付けることによって形成されるようにしても
よい。その後、必要に応じて、外部電極6および7は、
Ni、Cu、Ni−Cu合金等からなるめっき層10お
よび11によってそれぞれ被覆される。また、さらに、
これらめっき層10および11上に、半田、錫等からな
る第2のめっき層12および13が形成されてもよい。
【0022】次に、この発明をより具体的な実施例に基
づき説明する。なお、言うまでもないが、この発明の範
囲内における実施可能な形態は、このような実施例のみ
に限定されるものではない。
【0023】
【実施例1】この実施例において作製しようとする積層
セラミックコンデンサは、図1に示すような構造の積層
セラミックコンデンサ1である。誘電体セラミック層の
ための非還元性誘電体セラミックとして、たとえば特公
昭56−46641号公報に記載されたセラミック、す
なわち、組成式{(Ba 1-x Cax )O}m (Ti1-y
Zry )O2 で表され、m、xおよびyが、それぞれ、 1.005≦ m ≦1.03 0.02 ≦ x ≦0.22 0 < y ≦0.20 となるセラミックが得られるように、セラミック原料粉
末を、秤量、混合および仮焼したものを用意し、これに
ポリビニルブチラール系バインダおよびエタノール等の
有機溶剤を加えて、ボールミルにより湿式混合し、セラ
ミックスラリーを調製した。しかる後、セラミックスラ
リーをドクターブレード法によりシート成形し、厚み1
1μmの矩形のグリーンシートを得た。
【0024】他方、平均粒径0.5μmのNiを主成分
とする導電性金属粉末と、平均粒径0.5μmのTi、
Zr、Y、Ta、Hf、およびNbの各炭化物からなる
添加物粉末とを、金属換算で以下の表1に示した混合比
率をもって混合するとともに、これらの混合粉末100
重量部に対して、エチルセルロース樹脂3重量部とブチ
ルセロソルブ溶剤とをさらに添加し、これらを、ロール
ミルを用いて混練し、導電性ペーストを得た。
【0025】また、比較例として、いずれの炭化物粉末
も添加しない導電性ペーストも同様の方法により作製し
た。
【0026】
【表1】 次に、セラミックグリーンシート上に、導電性ペースト
を印刷することによって、内部電極となる導電性ペース
ト膜を形成し、150℃で10分間乾燥した。
【0027】次いで、セラミックグリーンシートを、導
電性ペースト膜の引き出されている側が互い違いとなる
ように複数枚積層し、積層体を得た。得られた積層体
を、空気中にて300℃の温度に加熱し、バインダを燃
焼させた後、H2 −N2 −H2Oガスからなる還元性雰
囲気中において焼成した。なお、焼成工程において、1
300℃で2時間保持し、昇温速度と冷却速度とは、と
もに200℃/hrとした。
【0028】次いで、焼成後の積層体の両端面に銀を含
む導電性ペーストを塗布し、窒素雰囲気中において80
0℃の温度で焼き付け、内部電極と電気的に接続された
外部電極を形成した。その後、外部電極上にNiめっき
層を形成し、さらに、このNiめっき層上に半田めっき
層を形成した。
【0029】このようにして得られた試料となる積層セ
ラミックコンデンサの外形寸法は、幅が1.6mm、長さ
が3.2mm、厚さが1.2mmであり、内部電極間に介在
する誘電体セラミック層の厚みは6μmで、有効誘電体
セラミック層の総数は150であった。これらの試料に
ついて、耐熱衝撃試験および耐湿負荷試験を実施した。
【0030】耐熱衝撃試験については、各試料を、50
個ずつ、325℃に設定した半田槽に2〜3秒浸漬し、
取り出した後、樹脂で固めた状態として研磨し、研磨面
を顕微鏡で観察することによって、クラックの有無を検
査した。また、耐湿負荷試験については、各試料72個
ずつに対して、2気圧、相対湿度95%以上および温度
121℃の下で、直流電圧を16V印加した状態とし
て、250時間経過するまでに絶縁抵抗値(R)が10
6 Ω以下になった試料を不良と判定した。
【0031】その結果、Niを主体とし、これに、Ti
C、ZrC、YC2 、TaC、HfC、およびNbCの
いずれかの粉末を添加した導電性ペーストを用いて作製
した試料1−1ないし1−12のすべてについて、耐熱
衝撃試験および耐湿負荷試験のいずれにおいても、全く
不良は発生しなかった。これに対して、比較のために、
いずれの炭化物粉末も添加しなかった導電性ペーストを
用いて作製した比較例については、耐熱衝撃試験で3個
/50個、耐湿負荷試験で5個/72個の不良が発生し
た。
【0032】
【実施例2】実施例1において添加した炭化物粉末の代
わりに、以下の表2に示す各窒化物粉末を添加物粉末と
して添加した導電性ペーストを用いたこと以外は、実施
例1と実質的に同一条件、同一方法により、試料となる
積層セラミックコンデンサを作製し、耐熱衝撃試験およ
び耐湿負荷試験を実施した。
【0033】
【表2】 その結果、Niを主体とし、これに、TiN、ZrN、
YN、TaN、HfN、NbN、およびLaNのいずれ
かの粉末を添加した導電性ペーストを用いて作製した試
料2−1ないし2−14のすべてについて、耐熱衝撃試
験および耐湿負荷試験のいずれにおいても、全く不良は
発生しなかった。
【0034】
【実施例3】実施例1において添加した炭化物粉末の代
わりに、以下の表3に示す各ホウ化物粉末を添加物粉末
として添加した導電性ペーストを用いたこと以外は、実
施例1と実質的に同一条件、同一方法により、試料とな
る積層セラミックコンデンサを作製し、耐熱衝撃試験お
よび耐湿負荷試験を実施した。
【0035】
【表3】 その結果、Niを主体とし、これに、TiB2 、ZrB
2 、YB6 、TaB2、HfB2 、NbB2 、およびL
aB6 のいずれかの粉末を添加した導電性ペーストを用
いて作製した試料3−1ないし3−14のすべてについ
て、耐熱衝撃試験および耐湿負荷試験のいずれにおいて
も、全く不良は発生しなかった。
【0036】
【実施例4】実施例1において添加した炭化物粉末の代
わりに、以下の表4に示す各ケイ化物粉末を添加物粉末
として添加した導電性ペーストを用いたこと以外は、実
施例1と実質的に同一条件、同一方法により、試料とな
る積層セラミックコンデンサを作製し、耐熱衝撃試験お
よび耐湿負荷試験を実施した。
【0037】
【表4】 その結果、Niを主体とし、これに、TiSi2 、Zr
Si2 、TaSi2 、HfSi2 、およびNbSi2
いずれかの粉末を添加した導電性ペーストを用いて作製
した試料4−1ないし4−12のすべてについて、耐熱
衝撃試験および耐湿負荷試験のいずれにおいても、全く
不良は発生しなかった。
【0038】
【実施例5】実施例1において添加した炭化物粉末の代
わりに、以下の表5に示す各元素を含むNi合金粉末を
添加物粉末として添加した導電性ペーストを用いたこと
以外は、実施例1と実質的に同一条件、同一方法によ
り、試料となる積層セラミックコンデンサを作製し、耐
熱衝撃試験および耐湿負荷試験を実施した。
【0039】
【表5】 その結果、Niを主体とし、これに、Ti、Zr、Y、
Ta、Hf、Nb、Dy、Sm、Ce、およびLaのい
ずれかを含むNi合金粉末を添加した導電性ペーストを
用いて作製した試料5−1ないし5−20のすべてにつ
いて、耐熱衝撃試験および耐湿負荷試験のいずれにおい
ても、全く不良は発生しなかった。
【0040】
【実施例6】実施例1において添加した炭化物粉末の代
わりに、以下の表6に示す各元素の金属粉末を添加物粉
末として添加した導電性ペーストを用いたこと以外は、
実施例1と実質的に同一条件、同一方法により、試料と
なる積層セラミックコンデンサを作製し、耐熱衝撃試験
および耐湿負荷試験を実施した。
【0041】
【表6】 その結果、Niを主体とし、これに、Ti、Zr、Y、
Ta、Hf、Nb、Dy、Sm、Ce、およびLaのい
ずれかの金属粉末を添加した導電性ペーストを用いて作
製した試料6−1ないし6−20のすべてについて、耐
熱衝撃試験および耐湿負荷試験のいずれにおいても、全
く不良は発生しなかった。
【0042】
【実施例7】実施例1において表1に示した炭化物を粉
末状態で添加した代わりに、同様の炭化物をコーティン
グ材として表面にコーティングした平均粒径0.5μm
のNi粉末を含有する導電性ペーストを用いたこと以外
は、実施例1と実質的に同一条件、同一方法により、試
料となる積層セラミックコンデンサを作製し、耐熱衝撃
試験および耐湿負荷試験を実施した。
【0043】なお、炭化物のNi粉末へのコーティング
は、Ni粉末をバレルしながら、真空度0.1〜0.0
5Pa、アルゴンガス気流下の各条件で、スパッタリン
グすることによって行なった。また、各炭化物につい
て、コーティング厚みが0.1nmのものと、1.5n
mのものとを作製した。コーティング厚みは、炭化物の
添加重量%とNi粉末の比表面積とによって算出したも
ので、コーティング厚み0.1nmおよび1.5nm
は、それぞれ、金属換算で、炭化物の添加重量の0.1
wt%および1.5wt%に相当している。
【0044】その結果、Ni粉末に、TiC、ZrC、
YC2 、TaC、HfC、およびNbCのいずれかを、
0.1nmおよび1.5nmの各厚みでコーティングし
たものを含有する導電性ペーストを用いて作製した試料
のすべてについて、耐熱衝撃試験および耐湿負荷試験の
いずれにおいても、全く不良は発生しなかった。
【0045】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、T
i、Zr、Ta、Hf、Nbおよび希土類元素からなる
群から選ばれた少なくとも1つの元素の、金属、炭化
物、窒化物、ホウ化物、ケイ化物および合金からなる群
から選ばれた少なくとも1種からなる粉末またはコーテ
ィング材が、導電性金属からなる粉末に添加されたりコ
ーティングされたりして導電性ペーストを構成している
ので、この導電性ペーストを、たとえば積層セラミック
コンデンサのような積層セラミック電子部品の内部導体
を形成するために用いられると、積層セラミック電子部
品を得るための脱脂および焼成工程における、デラミネ
ーションの発生ならびに耐熱衝撃特性および耐湿負荷特
性の低下を防ぐことができる。
【0046】また、一般に、積層セラミック電子部品の
内部導体を形成するために用いられる導電性ペーストに
おいて、導電性金属としてニッケルのような卑金属を主
成分とするものが用いられると、セラミック層の薄層化
および多層化が進むに従い、焼成時の内部導体とセラミ
ック層との収縮の差や熱膨張率の差によって、内部導体
とセラミック層との界面に残留応力がより大きく生じ、
この影響により耐熱衝撃特性および耐湿負荷特性が悪く
なるという問題があるが、この発明によれば、上述のよ
うに、耐熱衝撃特性および耐湿負荷特性の低下を防ぐこ
とができるので、導電性金属としてニッケルのような卑
金属を主成分とするものを問題なく用いることができる
ようになる。したがって、積層セラミック電子部品の低
コスト化ならびにセラミック層の薄層化および多層化に
寄与し得る。
【0047】また、一般に、積層セラミック電子部品の
セラミック層の厚みを薄くするのに伴い、内部導体の薄
層化を図る必要があり、そのためには内部導体を形成す
るための導電性ペースト中の導電性金属からなる粉末の
粒径をより微細にする必要があるが、導電性金属として
ニッケルのような卑金属を主成分とするものが用いられ
ると、脱脂過程の途中において、卑金属粉末が酸化され
やすく、そのため、デラミネーションを引き起こしやす
いという問題に遭遇する。しかしながら、この発明によ
れば、前述のように、デラミネーションを防ぐことがで
きるので、導電性金属としてニッケルのような卑金属を
主成分とするものを問題なく用いることができるように
なる。したがって、この点においても、積層セラミック
電子部品の低コスト化ならびにセラミック層の薄層化お
よび多層化に寄与し得る。
【0048】この発明に係る導電性ペーストにおいて、
上述した特定元素の、金属、炭化物、窒化物、ホウ化
物、ケイ化物および合金からなる群から選ばれた少なく
とも1種からなる粉末またはコーティング材の含有重量
が、導電性金属からなる粉末および当該特定元素を含む
粉末またはコーティング材の合計含有重量に対して、金
属換算で0.1〜5wt%であるとき、耐熱衝撃特性およ
び耐湿負荷特性の低下や、たとえば積層セラミックコン
デンサにおける静電容量の低下や、等価直列抵抗の増大
を防ぐのにより効果的である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態による積層セラミックコ
ンデンサ1を示す断面図である。
【符号の説明】
1 積層セラミックコンデンサ 2 誘電体セラミック層 3 積層体 4 第1の端面 5 第2の端面 6 第1の外部電極 7 第2の外部電極 8 第1の内部電極(内部導体) 9 第2の内部電極(内部導体)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐野 晴信 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 導電性金属からなる第1の粉末と、T
    i、Zr、Ta、Hf、Nbおよび希土類元素からなる
    群から選ばれた少なくとも1つの元素の、金属、炭化
    物、窒化物、ホウ化物、ケイ化物および合金からなる群
    から選ばれた少なくとも1種からなる第2の粉末と、有
    機ビヒクルとを含有する、導電性ペースト。
  2. 【請求項2】 前記導電性金属は、卑金属を主成分とす
    るものである、請求項1に記載の導電性ペースト。
  3. 【請求項3】 前記卑金属は、ニッケルである、請求項
    2に記載の導電性ペースト。
  4. 【請求項4】 前記第2の粉末の含有重量が、前記第1
    の粉末および当該第2の粉末の合計含有重量に対して、
    金属換算で0.1〜5wt%である、請求項1ないし3の
    いずれかに記載の導電性ペースト。
  5. 【請求項5】 導電性金属からなる粉末と有機ビヒクル
    とを含有し、前記粉末の表面が、Ti、Zr、Ta、H
    f、Nbおよび希土類元素からなる群から選ばれた少な
    くとも1つの元素の、金属、炭化物、窒化物、ホウ化
    物、ケイ化物および合金からなる群から選ばれた少なく
    とも1種からなるコーティング材によってコーティング
    されている、導電性ペースト。
  6. 【請求項6】 前記導電性金属は、卑金属を主成分とす
    るものである、請求項5に記載の導電性ペースト。
  7. 【請求項7】 前記卑金属は、ニッケルである、請求項
    6に記載の導電性ペースト。
  8. 【請求項8】 前記コーティング材の含有重量が、前記
    導電性金属からなる粉末および当該コーティング材の合
    計含有重量に対して、金属換算で0.1〜5wt%であ
    る、請求項5ないし7のいずれかに記載の導電性ペース
    ト。
  9. 【請求項9】 複数の積層されたセラミック層と、前記
    セラミック層間の特定の界面に沿って形成された内部導
    体とを含む、積層体を備える、積層セラミック電子部品
    であって、 前記内部導体は、Ti、Zr、Ta、Hf、Nbおよび
    希土類元素からなる群から選ばれた少なくとも1つの元
    素を含む、積層セラミック電子部品。
  10. 【請求項10】 前記積層体の端面上の互いに異なる位
    置に設けられる複数の外部電極をさらに備え、複数の前
    記内部導体は、いずれかの前記外部電極に電気的に接続
    されるように、それぞれの端縁を前記端面に露出させた
    状態でそれぞれ形成されている、請求項9に記載の積層
    セラミック電子部品。
  11. 【請求項11】 前記セラミック層は、チタン酸バリウ
    ムを主成分とする誘電体セラミックからなる、請求項9
    または10に記載の積層セラミック電子部品。
  12. 【請求項12】 前記内部導体は、導電性金属からなる
    第1の粉末と、Ti、Zr、Ta、Hf、Nbおよび希
    土類元素からなる群から選ばれた少なくとも1つの元素
    の、金属、炭化物、窒化物、ホウ化物、ケイ化物および
    合金からなる群から選ばれた少なくとも1種からなる第
    2の粉末と、有機ビヒクルとを含有する、導電性ペース
    トを焼成して形成されたものである、請求項9ないし1
    1のいずれかに記載の積層セラミック電子部品。
  13. 【請求項13】 前記導電性金属は、卑金属を主成分と
    するものである、請求項12に記載の積層セラミック電
    子部品。
  14. 【請求項14】 前記卑金属は、ニッケルである、請求
    項13に記載の積層セラミック電子部品。
  15. 【請求項15】 前記第2の粉末の含有重量が、前記第
    1の粉末および当該第2の粉末の合計含有重量に対し
    て、金属換算で0.1〜5wt%である、請求項12ない
    し14のいずれかに記載の積層セラミック電子部品。
  16. 【請求項16】 前記内部導体は、導電性金属からなる
    粉末と有機ビヒクルとを含有し、前記粉末の表面が、T
    i、Zr、Ta、Hf、Nbおよび希土類元素からなる
    群から選ばれた少なくとも1つの元素の、金属、炭化
    物、窒化物、ホウ化物、ケイ化物および合金からなる群
    から選ばれた少なくとも1種からなるコーティング材に
    よってコーティングされている、導電性ペーストを焼成
    して形成されたものである、請求項9ないし11のいず
    れかに記載の積層セラミック電子部品。
  17. 【請求項17】 前記導電性金属は、卑金属を主成分と
    するものである、請求項16に記載の積層セラミック電
    子部品。
  18. 【請求項18】 前記卑金属は、ニッケルである、請求
    項17に記載の積層セラミック電子部品。
  19. 【請求項19】 前記コーティング材の含有重量が、前
    記導電性金属からなる粉末および当該コーティング材の
    合計含有重量に対して、金属換算で0.1〜5wt%であ
    る、請求項16ないし18のいずれかに記載の積層セラ
    ミック電子部品。
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