JPH11153386A - 多室式マルチ冷却真空炉 - Google Patents
多室式マルチ冷却真空炉Info
- Publication number
- JPH11153386A JPH11153386A JP32325497A JP32325497A JPH11153386A JP H11153386 A JPH11153386 A JP H11153386A JP 32325497 A JP32325497 A JP 32325497A JP 32325497 A JP32325497 A JP 32325497A JP H11153386 A JPH11153386 A JP H11153386A
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- JP
- Japan
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- cooling
- liquid
- gas
- chamber
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- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空冷却、ガス冷却、及びガスファン冷却の
他に、油等の冷却液を用いた液スプレー冷却を内部で行
うことができ、冷却液を内部で洗浄でき、これにより、
液スプレー冷却後にガスファン冷却等ができ、更に、冷
却室においてガスファン冷却の吹出方向が制限されず、
全周吹き出し冷却と、上下切替え吹き出し冷却を併用で
きるマルチ冷却真空炉を提供する。 【解決手段】 冷却室４を有する多室真空加熱炉であっ
て、冷却室内には、被熱処理品１を囲んで液用ノズル１
２とガス用ノズル１４が配置されている。液用ノズル１
２には冷却液Ａと冷却液を洗浄する洗浄液Ｂとを切替え
て供給でき、ガス用ノズル１４には冷却ガスを供給でき
るようになっている。
他に、油等の冷却液を用いた液スプレー冷却を内部で行
うことができ、冷却液を内部で洗浄でき、これにより、
液スプレー冷却後にガスファン冷却等ができ、更に、冷
却室においてガスファン冷却の吹出方向が制限されず、
全周吹き出し冷却と、上下切替え吹き出し冷却を併用で
きるマルチ冷却真空炉を提供する。 【解決手段】 冷却室４を有する多室真空加熱炉であっ
て、冷却室内には、被熱処理品１を囲んで液用ノズル１
２とガス用ノズル１４が配置されている。液用ノズル１
２には冷却液Ａと冷却液を洗浄する洗浄液Ｂとを切替え
て供給でき、ガス用ノズル１４には冷却ガスを供給でき
るようになっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液スプレー冷却機
能を備えた多室式マルチ冷却真空炉に関する。
能を備えた多室式マルチ冷却真空炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空加熱炉は、金属部品やセラミック部
品の熱処理用に広く用いられている。かかる従来の真空
加熱炉における冷却手段としては、真空冷却、ガス冷
却、ガスファン冷却等が主であり、特に、ガスファン冷
却が可能な炉では、真空冷却及びガス冷却を併用するこ
ともできる。しかし、これらの冷却手段は、冷却速度が
遅い問題点があった。
品の熱処理用に広く用いられている。かかる従来の真空
加熱炉における冷却手段としては、真空冷却、ガス冷
却、ガスファン冷却等が主であり、特に、ガスファン冷
却が可能な炉では、真空冷却及びガス冷却を併用するこ
ともできる。しかし、これらの冷却手段は、冷却速度が
遅い問題点があった。
【０００３】更に、特殊な真空加熱炉として、加熱室以
外に冷却室を備え、冷却室の下部に油槽を設けて、油槽
内へ被熱処理部品（以下製品という）を直漬けするよう
になっているものもある。
外に冷却室を備え、冷却室の下部に油槽を設けて、油槽
内へ被熱処理部品（以下製品という）を直漬けするよう
になっているものもある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる油槽へ
直漬け可能な真空加熱炉の場合には、油冷前にガスフ
ァン冷却は可能であるが、油冷後には製品に油が付着し
ているためガスファン冷却を行うことはできない、油
槽があるため、冷却室においてガスファン冷却の吹出方
向が制限される、油槽内の油が冷却室内を汚染するた
め、再使用のための洗浄に時間がかかる、油冷した製
品から、付着した油を洗浄するために、別の洗浄装置が
必要となる、等の問題点があった。
直漬け可能な真空加熱炉の場合には、油冷前にガスフ
ァン冷却は可能であるが、油冷後には製品に油が付着し
ているためガスファン冷却を行うことはできない、油
槽があるため、冷却室においてガスファン冷却の吹出方
向が制限される、油槽内の油が冷却室内を汚染するた
め、再使用のための洗浄に時間がかかる、油冷した製
品から、付着した油を洗浄するために、別の洗浄装置が
必要となる、等の問題点があった。
【０００５】また、油槽のない２室以上を有する多室炉
でも、全周吹き出し冷却と、上下切替え吹き出し冷却
を併用できる炉はなく、このため、金型等の大型製品で
は、冷却速度のアンバランスを十分には解消できなかっ
た。
でも、全周吹き出し冷却と、上下切替え吹き出し冷却
を併用できる炉はなく、このため、金型等の大型製品で
は、冷却速度のアンバランスを十分には解消できなかっ
た。
【０００６】本発明は、上述した種々の問題点を解決す
るために創案されたものである。すなわち、本発明の目
的は、真空冷却、ガス冷却、及びガスファン冷却の他
に、油等の冷却液を用いた液スプレー冷却を内部で行う
ことができる多室式マルチ冷却真空炉を提供することに
ある。また、別の目的は、冷却液を内部で洗浄でき、こ
れにより、液スプレー冷却後にガスファン冷却等ができ
る多室式マルチ冷却真空炉を提供することにある。更
に、別の目的は、冷却室においてガスファン冷却の吹出
方向が制限されず、全周吹き出し冷却と、上下切替え吹
き出し冷却を併用できる多室式マルチ冷却真空炉を提供
することにある。
るために創案されたものである。すなわち、本発明の目
的は、真空冷却、ガス冷却、及びガスファン冷却の他
に、油等の冷却液を用いた液スプレー冷却を内部で行う
ことができる多室式マルチ冷却真空炉を提供することに
ある。また、別の目的は、冷却液を内部で洗浄でき、こ
れにより、液スプレー冷却後にガスファン冷却等ができ
る多室式マルチ冷却真空炉を提供することにある。更
に、別の目的は、冷却室においてガスファン冷却の吹出
方向が制限されず、全周吹き出し冷却と、上下切替え吹
き出し冷却を併用できる多室式マルチ冷却真空炉を提供
することにある。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本発明によれば、冷却
室を有する多室真空加熱炉であって、冷却室内には、被
熱処理品を囲んで液用ノズルとガス用ノズルが配置され
ており、液用ノズルには、冷却液と冷却液を洗浄する洗
浄液とを切替えて供給でき、ガス用ノズルには冷却ガス
を供給できるようになっている、ことを特徴とする多室
式マルチ冷却真空炉が提供される。
室を有する多室真空加熱炉であって、冷却室内には、被
熱処理品を囲んで液用ノズルとガス用ノズルが配置され
ており、液用ノズルには、冷却液と冷却液を洗浄する洗
浄液とを切替えて供給でき、ガス用ノズルには冷却ガス
を供給できるようになっている、ことを特徴とする多室
式マルチ冷却真空炉が提供される。
【０００８】上記本発明の構成によれば、冷却室内にガ
ス用ノズルの他に液用ノズルを備えており、液用ノズル
には、冷却液と洗浄液とを切替えて供給できるので、
冷却液としてホットクエンチ用の油やソルトを用いて液
用ノズルから被熱処理品（製品）にスプレーすることに
より、従来の油冷に相当する冷却をスプレー方式で行う
ことができる。更に、このスプレー冷却後、同じ液用ノ
ズルに洗浄液を切り替えて供給することにより、製品に
付着した冷却液（油やソルト）を洗浄できるだけでな
く、同時に炉内及び配管内を洗浄することができる。
ス用ノズルの他に液用ノズルを備えており、液用ノズル
には、冷却液と洗浄液とを切替えて供給できるので、
冷却液としてホットクエンチ用の油やソルトを用いて液
用ノズルから被熱処理品（製品）にスプレーすることに
より、従来の油冷に相当する冷却をスプレー方式で行う
ことができる。更に、このスプレー冷却後、同じ液用ノ
ズルに洗浄液を切り替えて供給することにより、製品に
付着した冷却液（油やソルト）を洗浄できるだけでな
く、同時に炉内及び配管内を洗浄することができる。
【０００９】また、洗浄液を揮発性の高いものとするこ
とにより、高温真空乾燥が可能になり、油冷（液冷
却）、洗浄、及び乾燥した後にガスファン冷却を行うこ
ともできる。更に、ガス用ノズルと液用ノズルの両方を
同時に使用して冷却することにより、冷却液と冷却ガス
が混合したミスト冷却が可能であり、液とガスの中間の
冷却速度で製品を冷却することもできる。
とにより、高温真空乾燥が可能になり、油冷（液冷
却）、洗浄、及び乾燥した後にガスファン冷却を行うこ
ともできる。更に、ガス用ノズルと液用ノズルの両方を
同時に使用して冷却することにより、冷却液と冷却ガス
が混合したミスト冷却が可能であり、液とガスの中間の
冷却速度で製品を冷却することもできる。
【００１０】本発明の好ましい実施形態によれば、内面
に複数のガス用ノズルが取り付けられ被熱処理品を囲む
中空リング状ガスチャンバーを有し、該ガスチャンバー
は、上下左右に少なくとも４室に仕切られており、それ
ぞれ独立にガスが供給される。この構成により、ガスチ
ャンバーの独立した室に、別々に冷却ガスを供給するこ
とにより、冷却ガスの全周吹き、上向き、下向き、及び
上下切替え吹きが自由にできる。
に複数のガス用ノズルが取り付けられ被熱処理品を囲む
中空リング状ガスチャンバーを有し、該ガスチャンバー
は、上下左右に少なくとも４室に仕切られており、それ
ぞれ独立にガスが供給される。この構成により、ガスチ
ャンバーの独立した室に、別々に冷却ガスを供給するこ
とにより、冷却ガスの全周吹き、上向き、下向き、及び
上下切替え吹きが自由にできる。
【００１１】また、冷却室の外部に、液用ノズルに冷却
液と洗浄液を切替えて供給する液供給装置と、洗浄によ
り汚染した洗浄液を再生する再生装置とを備える。この
構成により、上述した冷却液による冷却と洗浄液による
洗浄が自由に切り替えでき、かつ再生装置を備えること
により洗浄液の再利用ができる。
液と洗浄液を切替えて供給する液供給装置と、洗浄によ
り汚染した洗浄液を再生する再生装置とを備える。この
構成により、上述した冷却液による冷却と洗浄液による
洗浄が自由に切り替えでき、かつ再生装置を備えること
により洗浄液の再利用ができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付して重複した説明を省略す
る。図１は、本発明による多室式マルチ冷却真空炉の横
断面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線における断面図
である。図１及び図２に示すように、本発明の多室式マ
ルチ冷却真空炉１０は、加熱室２と冷却室４を有する多
室真空加熱炉である。加熱室２と冷却室４の間には隔壁
６が設けられ、隔壁６を開き、炉内ローダ８で被熱処理
品１（製品）を加熱室２から冷却室４に移動させて、冷
却室内で製品を冷却できるようになっている。
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付して重複した説明を省略す
る。図１は、本発明による多室式マルチ冷却真空炉の横
断面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線における断面図
である。図１及び図２に示すように、本発明の多室式マ
ルチ冷却真空炉１０は、加熱室２と冷却室４を有する多
室真空加熱炉である。加熱室２と冷却室４の間には隔壁
６が設けられ、隔壁６を開き、炉内ローダ８で被熱処理
品１（製品）を加熱室２から冷却室４に移動させて、冷
却室内で製品を冷却できるようになっている。
【００１３】本発明の冷却室４内には、被熱処理品１を
囲んで液用ノズル１２とガス用ノズル１４が配置されて
おり、液用ノズル１２には、冷却液Ａと冷却液を洗浄す
る洗浄液Ｂとを切替えて供給でき、ガス用ノズル１４に
は冷却ガスを供給できるようになっている。
囲んで液用ノズル１２とガス用ノズル１４が配置されて
おり、液用ノズル１２には、冷却液Ａと冷却液を洗浄す
る洗浄液Ｂとを切替えて供給でき、ガス用ノズル１４に
は冷却ガスを供給できるようになっている。
【００１４】図３は、液供給装置と再生装置の構成図で
ある。この図に示すように、本発明の多室式マルチ冷却
真空炉１０は、炉の外部に液供給装置１８と再生装置２
２を備えている。液供給装置１８は、冷却液タンク１８
ａ、洗浄液タンク１８ｂ、回収タンク１８ｃ、吐出ポン
プ１８ｄ、回収ポンプ１８ｅ、複数の電磁開閉弁１９ａ
〜１９ｆ、及び吐出ライン２０ａと戻りライン２０ｂと
からなる。
ある。この図に示すように、本発明の多室式マルチ冷却
真空炉１０は、炉の外部に液供給装置１８と再生装置２
２を備えている。液供給装置１８は、冷却液タンク１８
ａ、洗浄液タンク１８ｂ、回収タンク１８ｃ、吐出ポン
プ１８ｄ、回収ポンプ１８ｅ、複数の電磁開閉弁１９ａ
〜１９ｆ、及び吐出ライン２０ａと戻りライン２０ｂと
からなる。
【００１５】この構成により、冷却工程において、冷却
液タンク１８ａ内に保有された冷却液Ａを弁１９ａ，１
９ｃ、及び吐出ポンプ１８ｄを介して液用ノズル１２に
供給し、冷却室４内の製品１にスプレーして、従来の油
冷に相当する冷却をスプレー方式（液スプレー冷却）で
行うことができる。なお、冷却液Ａとしては、通常の油
冷油の他、ホットクエンチ用の油やソルトを用いること
ができる。
液タンク１８ａ内に保有された冷却液Ａを弁１９ａ，１
９ｃ、及び吐出ポンプ１８ｄを介して液用ノズル１２に
供給し、冷却室４内の製品１にスプレーして、従来の油
冷に相当する冷却をスプレー方式（液スプレー冷却）で
行うことができる。なお、冷却液Ａとしては、通常の油
冷油の他、ホットクエンチ用の油やソルトを用いること
ができる。
【００１６】液スプレー冷却により炉内に溜まった冷却
液Ａは、弁１９ｄを介して回収タンク１８ｃに一旦回収
され、更に回収ポンプ１８ｅ、弁１９ｅを介して冷却液
タンク１８ａに回収される。
液Ａは、弁１９ｄを介して回収タンク１８ｃに一旦回収
され、更に回収ポンプ１８ｅ、弁１９ｅを介して冷却液
タンク１８ａに回収される。
【００１７】次に、洗浄工程において、洗浄液タンク１
８ｂ内に保有された洗浄液Ｂを弁１９ｂ，１９ｃ、及び
吐出ポンプ１８ｄを介して液用ノズル１２に供給し、冷
却室４内の製品１にスプレーして、製品に付着した冷却
液Ａ（油やソルト）を洗浄できるだけでなく、同時に炉
内及び配管内を洗浄することができる。この洗浄液Ｂと
しては、ケロシン等の揮発性の高い洗浄液を用いるのが
よい。
８ｂ内に保有された洗浄液Ｂを弁１９ｂ，１９ｃ、及び
吐出ポンプ１８ｄを介して液用ノズル１２に供給し、冷
却室４内の製品１にスプレーして、製品に付着した冷却
液Ａ（油やソルト）を洗浄できるだけでなく、同時に炉
内及び配管内を洗浄することができる。この洗浄液Ｂと
しては、ケロシン等の揮発性の高い洗浄液を用いるのが
よい。
【００１８】この洗浄工程で炉内に溜まった洗浄液Ｂ
は、弁１９ｄを介して回収タンク１８ｃに一旦回収さ
れ、更に回収ポンプ１８ｅ、弁１９ｆを介して洗浄液タ
ンク１８ｂに回収される。なお、上述した冷却工程及び
洗浄工程において、炉内ローダ８等により製品１を前後
に移動させることにより、冷却や洗浄用のスプレーを均
一にし、同時に冷却ガスの吹き出しを製品全面に均一に
吹き付けることができる。
は、弁１９ｄを介して回収タンク１８ｃに一旦回収さ
れ、更に回収ポンプ１８ｅ、弁１９ｆを介して洗浄液タ
ンク１８ｂに回収される。なお、上述した冷却工程及び
洗浄工程において、炉内ローダ８等により製品１を前後
に移動させることにより、冷却や洗浄用のスプレーを均
一にし、同時に冷却ガスの吹き出しを製品全面に均一に
吹き付けることができる。
【００１９】図３において、再生装置２２は、再生ユニ
ット２２ａ、循環ポンプ２２ｂ、複数の電磁開閉弁２３
ａ，２３ｂ、及び循環ライン２４からなる。再生ユニッ
ト２２ａは、冷却液Ａが混入した洗浄液Ｂを加熱・蒸留
して、凝縮した洗浄液Ｂを循環ライン２４、弁２３ｂを
介して洗浄液タンク１８ｂに戻し、分離した冷却液Ａを
ドレンとして排出するようになっている。この再生装置
２２を備えることにより、洗浄液Ｂの再利用ができる。
ット２２ａ、循環ポンプ２２ｂ、複数の電磁開閉弁２３
ａ，２３ｂ、及び循環ライン２４からなる。再生ユニッ
ト２２ａは、冷却液Ａが混入した洗浄液Ｂを加熱・蒸留
して、凝縮した洗浄液Ｂを循環ライン２４、弁２３ｂを
介して洗浄液タンク１８ｂに戻し、分離した冷却液Ａを
ドレンとして排出するようになっている。この再生装置
２２を備えることにより、洗浄液Ｂの再利用ができる。
【００２０】図４は、本発明の装置によるガス冷却を模
式的に示す図である。図２に示すように、本発明の多室
式マルチ冷却真空炉１０は、内面に複数のガス用ノズル
１４が取り付けられ、被熱処理品１を囲む中空リング状
ガスチャンバー１６を有する。このガスチャンバー１６
は、隔壁１６ａにより上下左右に少なくとも４室に仕切
られており、それぞれ独立にガスが供給できるようにな
っている。この構成により、図４に示すように、冷却ガ
スを全周吹き、上向き、下向き、及び上下切替え吹きが
できる。
式的に示す図である。図２に示すように、本発明の多室
式マルチ冷却真空炉１０は、内面に複数のガス用ノズル
１４が取り付けられ、被熱処理品１を囲む中空リング状
ガスチャンバー１６を有する。このガスチャンバー１６
は、隔壁１６ａにより上下左右に少なくとも４室に仕切
られており、それぞれ独立にガスが供給できるようにな
っている。この構成により、図４に示すように、冷却ガ
スを全周吹き、上向き、下向き、及び上下切替え吹きが
できる。
【００２１】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。
【００２２】
【発明の効果】上述したように、本発明の構成によれ
ば、冷却室４内にガス用ノズル１４の他に液用ノズル１
２を備えており、液用ノズル１２には、冷却液Ａと洗浄
液Ｂとを切替えて供給できるので、冷却液Ａとしてホッ
トクエンチ用の油やソルトを用いて液用ノズル１２から
被熱処理品１（製品）にスプレーすることにより、従来
の油冷に相当する冷却をスプレー方式で行うことができ
る。更に、このスプレー冷却後、同じ液用ノズル１２に
洗浄液Ｂを切り替えて供給することにより、製品１に付
着した冷却液Ａ（油やソルト）を洗浄できるだけでな
く、同時に炉内及び配管内を洗浄することができる。
ば、冷却室４内にガス用ノズル１４の他に液用ノズル１
２を備えており、液用ノズル１２には、冷却液Ａと洗浄
液Ｂとを切替えて供給できるので、冷却液Ａとしてホッ
トクエンチ用の油やソルトを用いて液用ノズル１２から
被熱処理品１（製品）にスプレーすることにより、従来
の油冷に相当する冷却をスプレー方式で行うことができ
る。更に、このスプレー冷却後、同じ液用ノズル１２に
洗浄液Ｂを切り替えて供給することにより、製品１に付
着した冷却液Ａ（油やソルト）を洗浄できるだけでな
く、同時に炉内及び配管内を洗浄することができる。
【００２３】また、洗浄液Ｂを揮発性の高いものとする
ことにより、高温真空乾燥が可能になり、油冷（液冷
却）、洗浄、及び乾燥した後にガスファン冷却を行うこ
ともできる。更に、ガス用ノズル１４と液用ノズル１２
の両方を同時に使用して冷却することにより、冷却液と
冷却ガスが混合したミスト冷却が可能であり、液とガス
の中間の冷却速度で製品を冷却することもできる。
ことにより、高温真空乾燥が可能になり、油冷（液冷
却）、洗浄、及び乾燥した後にガスファン冷却を行うこ
ともできる。更に、ガス用ノズル１４と液用ノズル１２
の両方を同時に使用して冷却することにより、冷却液と
冷却ガスが混合したミスト冷却が可能であり、液とガス
の中間の冷却速度で製品を冷却することもできる。
【００２４】従って、本発明の多室式マルチ冷却真空炉
は、真空冷却、ガス冷却、及びガスファン冷却の他に、
油等の冷却液を用いた液スプレー冷却を内部で行うこと
ができ、冷却液を内部で洗浄でき、これにより、液スプ
レー冷却後にガスファン冷却等ができ、更に、別の目的
は、冷却室においてガスファン冷却の吹出方向が制限さ
れず、全周吹き出し冷却と、上下切替え吹き出し冷却を
併用できる、等の優れた効果を有する。
は、真空冷却、ガス冷却、及びガスファン冷却の他に、
油等の冷却液を用いた液スプレー冷却を内部で行うこと
ができ、冷却液を内部で洗浄でき、これにより、液スプ
レー冷却後にガスファン冷却等ができ、更に、別の目的
は、冷却室においてガスファン冷却の吹出方向が制限さ
れず、全周吹き出し冷却と、上下切替え吹き出し冷却を
併用できる、等の優れた効果を有する。
【図１】本発明による多室式マルチ冷却真空炉の横断面
図である。
図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図である。
【図３】液供給装置と再生装置の構成図である。
【図４】本発明の装置によるガス冷却を模式的に示す図
である。
である。
１ 被熱処理品（製品） ２ 加熱室 ４ 冷却室 ６ 隔壁 ８ 炉内ローダ １０ 多室式マルチ冷却真空炉 １２ 液用ノズル １４ ガス用ノズル １６ ガスチャンバー １８ 液供給装置 ２２ 再生装置 Ａ 冷却液 Ｂ 洗浄液
Claims (3)
- 【請求項１】 冷却室を有する多室真空加熱炉であっ
て、冷却室内には、被熱処理品を囲んで液用ノズルとガ
ス用ノズルが配置されており、液用ノズルには冷却液と
冷却液を洗浄する洗浄液とを切替えて供給でき、ガス用
ノズルには冷却ガスを供給できるようになっている、こ
とを特徴とする多室式マルチ冷却真空炉。 - 【請求項２】 内面に複数のガス用ノズルが取り付けら
れ被熱処理品を囲む中空リング状ガスチャンバーを有
し、該ガスチャンバーは、上下左右に少なくとも４室に
仕切られており、それぞれ独立にガスが供給され、これ
により、冷却ガスを全周吹き、上向き、下向き、及び上
下切替え吹きができる、ことを特徴とする請求項１に記
載の多室式マルチ冷却真空炉。 - 【請求項３】 冷却室の外部に、液用ノズルに冷却液と
洗浄液を切替えて供給する液供給装置と、洗浄により汚
染した洗浄液を再生する再生装置とを備えた、ことを特
徴とする請求項１に記載の多室式マルチ冷却真空炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32325497A JPH11153386A (ja) | 1997-11-25 | 1997-11-25 | 多室式マルチ冷却真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32325497A JPH11153386A (ja) | 1997-11-25 | 1997-11-25 | 多室式マルチ冷却真空炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11153386A true JPH11153386A (ja) | 1999-06-08 |
Family
ID=18152744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32325497A Pending JPH11153386A (ja) | 1997-11-25 | 1997-11-25 | 多室式マルチ冷却真空炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11153386A (ja) |
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2006030504A1 (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-23 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | 真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置 |
| EP1754944A2 (en) | 2005-08-18 | 2007-02-21 | G-M Enterprises | Method and Apparatus for Directional and Controlled Cooling in Vacuum Furnaces |
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| US7771193B2 (en) | 2004-03-18 | 2010-08-10 | Ihi Corporation | Double-chamber type heat-treating furnace |
| WO2010116738A1 (ja) | 2009-04-10 | 2010-10-14 | 株式会社Ihi | 熱処理装置及び熱処理方法 |
| WO2011071153A1 (ja) | 2009-12-11 | 2011-06-16 | 株式会社Ihi | ミスト冷却装置、熱処理装置及びミスト冷却方法 |
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| WO2012002532A1 (ja) | 2010-07-02 | 2012-01-05 | 株式会社Ihi | 多室型熱処理装置 |
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