JP2003185355A - 熱処理炉の昇華物処理装置 - Google Patents
熱処理炉の昇華物処理装置Info
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- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
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- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 メンテンナンスの工数及びコストを削減する
ことができる熱処理炉の昇華物処理装置を提供する。 【解決手段】 熱処理炉Ｂの熱処理槽Ｂ１から排出され
た昇華物を含む排気ガスを、散水用チャンバ２の内部に
導いて散水装置３により散水し、これを急冷して排気ガ
スに含まれる昇華物を凝固させる。凝固させた昇華物を
回収フィルタ７により濾過して昇華物を回収する。
ことができる熱処理炉の昇華物処理装置を提供する。 【解決手段】 熱処理炉Ｂの熱処理槽Ｂ１から排出され
た昇華物を含む排気ガスを、散水用チャンバ２の内部に
導いて散水装置３により散水し、これを急冷して排気ガ
スに含まれる昇華物を凝固させる。凝固させた昇華物を
回収フィルタ７により濾過して昇華物を回収する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、熱処理槽から排
出された排気ガスに含まれる昇華物を処理する昇華物処
理装置に関する。
出された排気ガスに含まれる昇華物を処理する昇華物処
理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶パネル（カラーフィルタ）等
の加熱処理には、熱風循環式の熱処理炉が多用されてい
る。この熱風循環式の熱処理炉は、加熱器で加熱した空
気を当該加熱器と熱処理槽との間で循環させて、熱処理
槽内に配置した液晶パネル等を加熱処理するものであ
る。
の加熱処理には、熱風循環式の熱処理炉が多用されてい
る。この熱風循環式の熱処理炉は、加熱器で加熱した空
気を当該加熱器と熱処理槽との間で循環させて、熱処理
槽内に配置した液晶パネル等を加熱処理するものであ
る。
【０００３】ところが、この液晶パネルの加熱処理にお
いては、パネル面に塗布された顔料（レジスト）が高温
に加熱されることにより、当該顔料に含まれる昇華性成
分が気化して、処理雰囲気が昇華物により汚染される。
このような処理雰囲気中では、液晶パネル等も汚染され
てその品質が低下することになる。そこで、処理雰囲気
の一部を排出して熱処理槽内の清浄度を確保することが
行われている。前記熱処理槽から排出された昇華物を含
む排気ガスは、昇華物処理装置に供給されて昇華物が除
去された状態で大気中に放出される。この昇華物処理装
置は、排気ガスをフィン付きの冷却コイルを備える冷却
器に通して冷却するものであり、その冷却に伴って昇華
物を凝固させて排気ガスから除去する。
いては、パネル面に塗布された顔料（レジスト）が高温
に加熱されることにより、当該顔料に含まれる昇華性成
分が気化して、処理雰囲気が昇華物により汚染される。
このような処理雰囲気中では、液晶パネル等も汚染され
てその品質が低下することになる。そこで、処理雰囲気
の一部を排出して熱処理槽内の清浄度を確保することが
行われている。前記熱処理槽から排出された昇華物を含
む排気ガスは、昇華物処理装置に供給されて昇華物が除
去された状態で大気中に放出される。この昇華物処理装
置は、排気ガスをフィン付きの冷却コイルを備える冷却
器に通して冷却するものであり、その冷却に伴って昇華
物を凝固させて排気ガスから除去する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の昇華物処理
装置においては、その冷却コイル及びフィンが排気ガス
で加熱されることから、凝固させた昇華物が冷却コイル
及びフィンに固着し、これらの表面に漸次堆積する。こ
のため、排気ガスの冷却効率が漸次低下し、昇華物の回
収効率が経時的に低下するという問題が生じる。そこ
で、溶剤を用いて定期的に冷却コイル及びフィンを洗浄
する必要があり、その形状が複雑である点と相まって、
洗浄作業が非常に困難で、メンテンナンスに多大な工数
とコストを要するという問題があった。
装置においては、その冷却コイル及びフィンが排気ガス
で加熱されることから、凝固させた昇華物が冷却コイル
及びフィンに固着し、これらの表面に漸次堆積する。こ
のため、排気ガスの冷却効率が漸次低下し、昇華物の回
収効率が経時的に低下するという問題が生じる。そこ
で、溶剤を用いて定期的に冷却コイル及びフィンを洗浄
する必要があり、その形状が複雑である点と相まって、
洗浄作業が非常に困難で、メンテンナンスに多大な工数
とコストを要するという問題があった。
【０００５】前記のような従来の問題点に鑑み、この発
明は、メンテンナンスの工数及びコストを削減すること
ができる熱処理炉の昇華物処理装置を提供することを目
的とする。
明は、メンテンナンスの工数及びコストを削減すること
ができる熱処理炉の昇華物処理装置を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
のこの発明の熱処理炉の昇華物処理装置は、熱処理槽か
ら排出された昇華物を含む排気ガスを冷却して当該昇華
物を除去する熱処理炉の昇華物処理装置において、前記
排気ガスの排出経路の途中部に介在した散水用チャンバ
と、この散水用チャンバに導入した排気ガスに散水して
排気ガスに含まれる昇華物を凝固させる散水装置と、凝
固させた昇華物を回収する回収フィルタと、散水用の水
を溜めるタンクと、タンクに溜めた水を冷却する冷却装
置と、散水した水を散水用チャンバから前記タンクに還
流させる還流路とを備えることを特徴としている。この
ような構成の熱処理炉の昇華物処理装置によれば、前記
散水装置によって散水用チャンバに導入した排気ガスに
散水し、これを急冷して排気ガス中の昇華物を凝固させ
ることができ、この凝固させた昇華物を回収フィルタに
よって回収することができる。
のこの発明の熱処理炉の昇華物処理装置は、熱処理槽か
ら排出された昇華物を含む排気ガスを冷却して当該昇華
物を除去する熱処理炉の昇華物処理装置において、前記
排気ガスの排出経路の途中部に介在した散水用チャンバ
と、この散水用チャンバに導入した排気ガスに散水して
排気ガスに含まれる昇華物を凝固させる散水装置と、凝
固させた昇華物を回収する回収フィルタと、散水用の水
を溜めるタンクと、タンクに溜めた水を冷却する冷却装
置と、散水した水を散水用チャンバから前記タンクに還
流させる還流路とを備えることを特徴としている。この
ような構成の熱処理炉の昇華物処理装置によれば、前記
散水装置によって散水用チャンバに導入した排気ガスに
散水し、これを急冷して排気ガス中の昇華物を凝固させ
ることができ、この凝固させた昇華物を回収フィルタに
よって回収することができる。
【０００７】前記昇華物処理装置は、前記散水用チャン
バの内部に、凝固した昇華物を一時的に捕集する捕集フ
ィルタを配置しているのが好ましく（請求項２）、この
場合には凝固させた昇華物が排気ガスとともに散水用チ
ャンバから流出するのを効果的に防止することができ
る。
バの内部に、凝固した昇華物を一時的に捕集する捕集フ
ィルタを配置しているのが好ましく（請求項２）、この
場合には凝固させた昇華物が排気ガスとともに散水用チ
ャンバから流出するのを効果的に防止することができ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態につい
て、添付図面を参照しながら詳述する。図１はこの発明
の一実施形態に係る熱処理炉の昇華物処理装置Ａを示す
概略図である。この昇華物処理装置は、熱風循環式の熱
処理炉Ｂから排出される昇華物を含む排気ガスから昇華
物を除去するものであり、排気ダクト（排出経路）１の
途中部に介在した散水用チャンバ２と、この散水用チャ
ンバ２内で排気ガスに散水してこれを冷却させる散水装
置３と、散水用の水を溜めるタンク４と、タンク４に溜
めた水を冷却する冷却装置５と、散水した水を散水用チ
ャンバ２からタンク４に還流する還流管（還流路）６
と、この還流管６の下方に配置され、凝固した昇華物を
回収する回収フィルタ７とにより主要部が構成されてい
る。
て、添付図面を参照しながら詳述する。図１はこの発明
の一実施形態に係る熱処理炉の昇華物処理装置Ａを示す
概略図である。この昇華物処理装置は、熱風循環式の熱
処理炉Ｂから排出される昇華物を含む排気ガスから昇華
物を除去するものであり、排気ダクト（排出経路）１の
途中部に介在した散水用チャンバ２と、この散水用チャ
ンバ２内で排気ガスに散水してこれを冷却させる散水装
置３と、散水用の水を溜めるタンク４と、タンク４に溜
めた水を冷却する冷却装置５と、散水した水を散水用チ
ャンバ２からタンク４に還流する還流管（還流路）６
と、この還流管６の下方に配置され、凝固した昇華物を
回収する回収フィルタ７とにより主要部が構成されてい
る。
【０００９】前記排気ダクト１は、熱処理炉Ｂの熱処理
槽Ｂ１から取り出した排気ガスを散水用チャンバ２に導
く一次側ダクト１１と、散水用チャンバ２に導いた排気
ガスを排気用ブロアーＢ２に導く二次側ダクト１２と、
排気用ブロアーＢ２から排出される排気ガスを大気中に
放出する放出ダクト１３とを備えている。前記一次側ダ
クト１１は、排気ガスの温度が低下しないように断熱材
で覆われており、これにより排気ガスに含まれる昇華物
が一次側ダクト１１の内部で凝固するのが防止されてい
る。また、二次側ダクト１２の内部には、散水用チャン
バ２を通過した湿度の高い排気ガスから水分を除去する
ための冷却コイル（図示せず）が内蔵されている。
槽Ｂ１から取り出した排気ガスを散水用チャンバ２に導
く一次側ダクト１１と、散水用チャンバ２に導いた排気
ガスを排気用ブロアーＢ２に導く二次側ダクト１２と、
排気用ブロアーＢ２から排出される排気ガスを大気中に
放出する放出ダクト１３とを備えている。前記一次側ダ
クト１１は、排気ガスの温度が低下しないように断熱材
で覆われており、これにより排気ガスに含まれる昇華物
が一次側ダクト１１の内部で凝固するのが防止されてい
る。また、二次側ダクト１２の内部には、散水用チャン
バ２を通過した湿度の高い排気ガスから水分を除去する
ための冷却コイル（図示せず）が内蔵されている。
【００１０】散水用チャンバ２は円筒形又は矩形の容器
からなり、その一側端から他側端に向かって排気ガスを
通過させる。この散水用チャンバ２の内部には、凝固し
た昇華物を一時的に捕集する複数の捕集フィルタ８が、
排気ガスの通過方向に沿って所定間隔毎に配置されてい
る。この捕集フィルタ８は、排気ガスが通過可能な無数
の透孔を形成したステンレス板からなり、排気ガスの通
過方向に正対させた状態で配置されている。なお、前記
散水用チャンバ２は熱処理炉Ｂに隣設されている。
からなり、その一側端から他側端に向かって排気ガスを
通過させる。この散水用チャンバ２の内部には、凝固し
た昇華物を一時的に捕集する複数の捕集フィルタ８が、
排気ガスの通過方向に沿って所定間隔毎に配置されてい
る。この捕集フィルタ８は、排気ガスが通過可能な無数
の透孔を形成したステンレス板からなり、排気ガスの通
過方向に正対させた状態で配置されている。なお、前記
散水用チャンバ２は熱処理炉Ｂに隣設されている。
【００１１】散水装置３は散水用チャンバ２の天井付近
に設けられた複数の散水ノズル３１と、タンク４の内底
部付近と散水ノズル３１とを連通させる散水供給管３２
と、この散水供給管３２の途中部に介在した散水用ポン
プ３３と、散水用ポンプ３３の下流側において散水供給
管３２の途中部に介在した開閉弁３４とを備えている。
前記散水ノズル３１は散水用チャンバ２内の排気ガスに
対して、高圧の水をシャワー状又は噴霧状にて均一に吹
付けるものであり、これにより当該排気ガスを急冷し
て、昇華物を凝固させることができる。
に設けられた複数の散水ノズル３１と、タンク４の内底
部付近と散水ノズル３１とを連通させる散水供給管３２
と、この散水供給管３２の途中部に介在した散水用ポン
プ３３と、散水用ポンプ３３の下流側において散水供給
管３２の途中部に介在した開閉弁３４とを備えている。
前記散水ノズル３１は散水用チャンバ２内の排気ガスに
対して、高圧の水をシャワー状又は噴霧状にて均一に吹
付けるものであり、これにより当該排気ガスを急冷し
て、昇華物を凝固させることができる。
【００１２】タンク４には散水に必要な所定量の水が貯
留されており、その水位は給水管４１ａとボールタップ
４１ｂとからなる自動給水装置４１によって常に一定レ
ベルに保持されている。また、タンク４の底部にはドレ
ンバルブ４２が設けられている。回収フィルタ７は、前
記タンク４の上部に設けられており、散水用チャンバ２
から還流管６を通してタンク４に向かう水を濾過して、
当該水に含まれる昇華物を回収する。この回収フィルタ
７の濾過度は、凝固した昇華物の種類や大きさ等によっ
て適宜選択される。
留されており、その水位は給水管４１ａとボールタップ
４１ｂとからなる自動給水装置４１によって常に一定レ
ベルに保持されている。また、タンク４の底部にはドレ
ンバルブ４２が設けられている。回収フィルタ７は、前
記タンク４の上部に設けられており、散水用チャンバ２
から還流管６を通してタンク４に向かう水を濾過して、
当該水に含まれる昇華物を回収する。この回収フィルタ
７の濾過度は、凝固した昇華物の種類や大きさ等によっ
て適宜選択される。
【００１３】冷却装置５は冷却コイル５１をタンク４の
内部に配置したものであり、この冷却コイル５１の内部
には、冷却水供給管５２及び冷却水排出管５３を通して
冷却水が循環している。なお、前記冷却水供給管５２の
途中部は給水管４１ａに接続されており、この冷却水供
給管５２を通る冷却水の一部を、給水管４１ａを通して
タンク４に補給するようになっている。
内部に配置したものであり、この冷却コイル５１の内部
には、冷却水供給管５２及び冷却水排出管５３を通して
冷却水が循環している。なお、前記冷却水供給管５２の
途中部は給水管４１ａに接続されており、この冷却水供
給管５２を通る冷却水の一部を、給水管４１ａを通して
タンク４に補給するようになっている。
【００１４】以上の構成の昇華物処理装置Ａの動作は以
下の通りである。まず、熱処理炉Ｂの熱処理槽Ｂ１から
排出された昇華物を含む排気ガスは、一次側ダクト１１
を通して散水用チャンバ２の内部に導かれて散水により
急冷される。この際、散水用チャンバ２の内部は、前記
散水によって各捕集フィルタ８とともに温度が低下して
いるとともに、各捕集フィルタ８に水分が供給されてい
るので、散水用チャンバ２に導かれた排気ガスは、より
効果的に急冷されて、当該排気ガスに含まれる昇華物が
瞬時に凝固する。
下の通りである。まず、熱処理炉Ｂの熱処理槽Ｂ１から
排出された昇華物を含む排気ガスは、一次側ダクト１１
を通して散水用チャンバ２の内部に導かれて散水により
急冷される。この際、散水用チャンバ２の内部は、前記
散水によって各捕集フィルタ８とともに温度が低下して
いるとともに、各捕集フィルタ８に水分が供給されてい
るので、散水用チャンバ２に導かれた排気ガスは、より
効果的に急冷されて、当該排気ガスに含まれる昇華物が
瞬時に凝固する。
【００１５】凝固した昇華物は、散水した水とともに散
水用チャンバ２の底部に落下するほか、捕集フィルタ８
により一時的に捕集される。このように凝固した昇華物
を捕集フィルタ８により一時的に捕集することにより、
当該昇華物が排気ガスとともに二次側ダクト１２に流出
するのを効果的に防止することができる。また、捕集フ
ィルタ８により捕集した昇華物は、散水により洗い流さ
れて散水用チャンバ２の底部に導かれる。このため、捕
集フィルタ８に昇華物が堆積するおそれがなく、その清
浄等のメンテンナンスが不要である。
水用チャンバ２の底部に落下するほか、捕集フィルタ８
により一時的に捕集される。このように凝固した昇華物
を捕集フィルタ８により一時的に捕集することにより、
当該昇華物が排気ガスとともに二次側ダクト１２に流出
するのを効果的に防止することができる。また、捕集フ
ィルタ８により捕集した昇華物は、散水により洗い流さ
れて散水用チャンバ２の底部に導かれる。このため、捕
集フィルタ８に昇華物が堆積するおそれがなく、その清
浄等のメンテンナンスが不要である。
【００１６】散水用チャンバ２で散水された水は、還流
管６を通してタンク４に還流されるが、その途中におい
て回収フィルタ７により濾過されて、当該水に含まれる
昇華物が回収される。したがって、メンテンナンスとし
て回収フィルタ７を定期的に交換するだけでよく、その
工数及びコストが少なくて済む。タンク４に還流された
散水用の水は、冷却装置５によって冷却されて循環使用
される。また、前記散水用チャンバ２で昇華物が除去さ
れた排気ガスは、二次側ダクト１２を通して大気中に放
出される。
管６を通してタンク４に還流されるが、その途中におい
て回収フィルタ７により濾過されて、当該水に含まれる
昇華物が回収される。したがって、メンテンナンスとし
て回収フィルタ７を定期的に交換するだけでよく、その
工数及びコストが少なくて済む。タンク４に還流された
散水用の水は、冷却装置５によって冷却されて循環使用
される。また、前記散水用チャンバ２で昇華物が除去さ
れた排気ガスは、二次側ダクト１２を通して大気中に放
出される。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、請求項１に係る熱処理炉
の昇華物処理装置によれば、散水用チャンバに導入した
排気ガスに散水することにより、当該排気ガスを急冷し
て昇華物を凝固させ、この凝固させた昇華物を回収フィ
ルタによって回収するものであるので、メンテンナンス
として前記回収フィルタを交換するだけでよく、従来の
冷却コイルにより回収するものに比べてメンテンナンス
の工数及びコストを削減することができる。
の昇華物処理装置によれば、散水用チャンバに導入した
排気ガスに散水することにより、当該排気ガスを急冷し
て昇華物を凝固させ、この凝固させた昇華物を回収フィ
ルタによって回収するものであるので、メンテンナンス
として前記回収フィルタを交換するだけでよく、従来の
冷却コイルにより回収するものに比べてメンテンナンス
の工数及びコストを削減することができる。
【０００１８】請求項２記載の昇華物処理装置によれ
ば、凝固した昇華物を散水用チャンバ内において捕集フ
ィルタによって一時的に捕集するので、当該昇華物が排
気ガスとともに散水用チャンバから流失するのを防止す
ることができる。このため、昇華物をより効果的に回収
することができる。
ば、凝固した昇華物を散水用チャンバ内において捕集フ
ィルタによって一時的に捕集するので、当該昇華物が排
気ガスとともに散水用チャンバから流失するのを防止す
ることができる。このため、昇華物をより効果的に回収
することができる。
【図１】この発明の熱処理炉の昇華物処理装置の一つの
実施の形態を示す概略図である。
実施の形態を示す概略図である。
１ 排気ダクト（排気経路）
２ 散水用チャンバ
３ 散水装置
４ タンク
５ 冷却装置
６ 還流管（還流路）
７ 回収フィルタ
８ 捕集フィルタ
Claims (2)
- 【請求項１】熱処理槽から排出された昇華物を含む排気
ガスを冷却して当該昇華物を除去する熱処理炉の昇華物
処理装置において、 前記排気ガスの排出経路の途中部に介在した散水用チャ
ンバと、 この散水用チャンバに導入した排気ガスに散水して排気
ガスに含まれる昇華物を凝固させる散水装置と、 凝固させた昇華物を回収する回収フィルタと、 散水用の水を溜めるタンクと、 タンクに溜めた水を冷却する冷却装置と、 散水した水を散水用チャンバから前記タンクに還流させ
る還流路とを備えることを特徴とする熱処理炉の昇華物
処理装置。 - 【請求項２】前記散水用チャンバの内部に、凝固した昇
華物を一時的に捕集する捕集フィルタを配置している請
求項１記載の熱処理炉の昇華物処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001386381A JP2003185355A (ja) | 2001-12-19 | 2001-12-19 | 熱処理炉の昇華物処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001386381A JP2003185355A (ja) | 2001-12-19 | 2001-12-19 | 熱処理炉の昇華物処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003185355A true JP2003185355A (ja) | 2003-07-03 |
Family
ID=27595546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001386381A Pending JP2003185355A (ja) | 2001-12-19 | 2001-12-19 | 熱処理炉の昇華物処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003185355A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009299958A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理炉の排気ガス処理装置 |
| CN103017557A (zh) * | 2013-01-15 | 2013-04-03 | 机械工业第六设计研究院有限公司 | 无结垢余热利用系统 |
| CN106894864A (zh) * | 2017-01-22 | 2017-06-27 | 宋焕冉 | 气流洁净器 |
| CN107433083A (zh) * | 2016-04-22 | 2017-12-05 | 杭州云蜂工业设计有限公司 | 水帘净化式空气净化机 |
-
2001
- 2001-12-19 JP JP2001386381A patent/JP2003185355A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009299958A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理炉の排気ガス処理装置 |
| CN103017557A (zh) * | 2013-01-15 | 2013-04-03 | 机械工业第六设计研究院有限公司 | 无结垢余热利用系统 |
| CN107433083A (zh) * | 2016-04-22 | 2017-12-05 | 杭州云蜂工业设计有限公司 | 水帘净化式空气净化机 |
| CN106894864A (zh) * | 2017-01-22 | 2017-06-27 | 宋焕冉 | 气流洁净器 |
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Legal Events
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