WO2006030504A1 - 真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置 - Google Patents

真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置 Download PDF

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WO2006030504A1
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gas
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heat treatment
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Kazuhiko Katsumata
Takuhiro Nakahara
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Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd.
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    • F27B5/16Arrangements of air or gas supply devices

Definitions

  • the present invention relates to a cooling gas air path switching device for a vacuum heat treatment furnace.
  • a vacuum heat treatment furnace is a heat treatment furnace that heats a product to be treated by reducing the inside and then refilling with an inert gas or the like.
  • the moisture in the furnace and the processed product after gasification is gasified and then decompressed again, and refilled with inert gas, etc., so that the moisture can be completely removed.
  • heat treatment (called “bright heat treatment”) can be performed.
  • the gas-cooled vacuum heat treatment furnace has many advantages such as (1) bright heat treatment, (2) no decarburization, (3) little deformation, (4) good working environment, etc. Have.
  • the initial gas-cooled vacuum heat treatment furnace has a disadvantage that the cooling rate is insufficient because it is of a reduced pressure cooling type. Therefore, in order to increase the cooling rate, a high-speed circulating gas cooling method has been put into practical use.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a high-speed circulating gas cooling furnace disclosed in Non-Patent Document 1.
  • 50 is a heat insulating material
  • 51 is a heater
  • 52 is an effective work area
  • 53 is a furnace body and a water cooling jacket
  • 54 is a heat exchanger
  • 55 is a turbo fan
  • 56 is a motor for a fan
  • 57 is a cooling door 58 is a hearth
  • 59 is a gas distributor
  • 60 is a damper for switching the cooling gas air path.
  • the "gas circulation cooling promotion method in a vacuum furnace" of Patent Document 1 includes a heating chamber 66 surrounded by a heat insulating wall 67 in an airtight vacuum vessel 61, as shown in FIG.
  • the heated object 64 is heated in a vacuum by a heater 72 disposed in the vacuum chamber 61, and a cooler 62 and a fan 63 are provided in the vacuum vessel 61, and the oxygen-free gas supplied to the vacuum vessel is cooled by the cooler 6 2 is cooled, and the non-oxidizing gas is circulated into the heating chamber 66 through the openings 68 and 69 provided on the opposite heat insulating wall 6 7 surface of the heating chamber 66 by the rotation of the fan 63.
  • a vacuum furnace for forced gas circulation cooling At least one end of the heat-resistant cylinder is widened toward the end.
  • the hood 65 is disposed so that it surrounds the object to be heated 64 placed in the heating chamber 66 with an appropriate space between them, and both ends of the hood 65 are opposed to the openings 68 and 69.
  • the gas is circulated in the heating chamber 66.
  • 70 is a damper for switching the cooling gas air path.
  • Non-patent document 1 Katsuhiro Yamazaki, Vacuum heat treatment of metal materials (2), Heat treatment No. 30-2, April 1990
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 5-230528
  • a damper device is usually used up and down as a mechanism for switching between the upward and downward air paths.
  • the upper and lower damper devices are air path switching mechanisms, the following problems have been identified.
  • the damper device has a large load fluctuation due to wind pressure passing at a high speed depending on its opening / closing position. Therefore, in the case of high-pressure gas, it is difficult to move smoothly due to the effect of wind pressure with the damper method.
  • the opening / closing angle and the opening area are not proportional. For this reason, when switching between a plurality of upper and lower drive devices, there is a difference in the opening area of the suction port and the discharge port, which makes it difficult to adjust the opening area, or the fluctuation increases, and the amount of cooling gas varies. Stable gas cooling is difficult.
  • the present invention has been created to solve the above-described problems. That is, the object of the present invention is to smoothly switch the air path under the influence of wind pressure, Stable gas cooling that is difficult to cause fluctuations in the area and difference between the opening area of the suction port and the discharge port is possible, the structure is simple, and switching is possible with a single drive unit, and a vacuum that can secure a large opening area An object of the present invention is to provide a cooling gas air path switching device for a heat treatment furnace.
  • a cooling chamber that surrounds a cooling region in which an object to be processed is allowed to stand, and a gas cooling circulation device that cools and circulates gas passing through the cooling chamber.
  • a cooling gas air path switching device for a vacuum heat treatment furnace that cools a product with a pressurized circulating gas, the stationary partition plate partitioning between the cooling chamber and the gas cooling circulation device, along the surface of the stationary partition plate
  • the fixed partition plate has a suction opening and a discharge opening that communicate independently with the suction port and the discharge port of the gas cooling circulation device, respectively.
  • a vacuum heat treatment furnace cooling gas characterized by having a shielding part that partially shields the suction opening and the discharge opening of the fixed partition plate, thereby alternately switching the direction of the gas passing through the cooling chamber An air path switching device is provided.
  • the gas passing through the cooling chamber can be obtained simply by sliding the sliding shielding plate along the surface of the fixed partition plate that partitions the cooling chamber and the gas cooling circulation device.
  • the direction can be switched alternately.
  • the sliding shielding plate moves in a direction perpendicular to the flow direction, the air path is smoothly switched without being affected by the wind pressure even with a high-pressure gas (a high-density gas body). be able to.
  • the fixed partition plate has a suction opening and a discharge opening that communicate independently with the suction port and the discharge port of the gas cooling circulation device, respectively, and the sliding shielding plate has a suction opening and a discharge port of the fixed partition plate. Since the shielding portion that partially shields the opening is provided, it is possible to perform stable gas cooling in which fluctuation of the opening area and difference in opening area between the suction port and the discharge port are unlikely to occur. In addition, the structure is simple and can be switched with a single drive unit, and a large opening area can be secured.
  • the cooling chamber has a gas flow path that passes vertically inside the cooling chamber, and when the gas flows downward in the cooling chamber, the suction opening is the cooling chamber. Communicates only with the lower part and the discharge opening communicates only with the upper part of the cooling chamber, and when the gas flows upward in the cooling chamber, the suction opening communicates only with the upper part of the cooling chamber and the discharge opening only with the lower part of the cooling chamber The opening position is set so as to communicate with. [0017] With this configuration, out of the furnace body area A partitioning between the cooling chamber and the gas cooling circulation device, 1 Z2 is used as the suction port and the discharge port of the gas cooling circulation device, and further, out of the suction port and the discharge port. By setting 1Z2 downward and upward, the suction opening and discharge opening can be set to approximately 1Z4 of the furnace body area A. Therefore, the air passage area can be made larger than before, the flow velocity of gas can be reduced, and the pressure loss can be reduced.
  • the fixed partition plate has a pair of upper and lower suction openings and discharge openings, and the shield portion of the sliding shield plate simultaneously opens the upper suction opening and the lower discharge opening of the fixed partition plate. It is preferable to shield and slide to simultaneously shield the lower suction opening and the upper discharge opening.
  • the cooling chamber is positioned so that a processed product can be directly loaded / unloaded from the outside via a loading / unloading door, and the gas cooling circulation device is installed on a side surface that does not directly affect the loading / unloading of the processed product. .
  • the product to be processed can be directly carried into and out of the cooling chamber from the outside via the carry-in / carry-out door without being affected by the gas cooling / circulating device.
  • the gas cooling circulation device is installed adjacent to the cooling chamber and sucks and pressurizes the gas that has passed through the cooling chamber, and a gas fan installed between the fixed partition plate and the cooling chamber. It consists of upper and lower heat exchangers that indirectly cool the gas.
  • the gas cooling circulation device is installed adjacent to the cooling chamber and sucks and pressurizes the gas that has passed through the cooling chamber, and is installed between the discharge port of the cooling fan and the fixed partition plate for cooling.
  • Fan power It may be configured with heat exchange ⁇ for indirectly cooling the discharged gas
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a high-speed circulating gas cooling furnace disclosed in Non-Patent Document 1.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a high-speed circulating gas cooling furnace disclosed in Non-Patent Document 1.
  • FIG. 2 is a configuration diagram of “a method of promoting gas circulation cooling in a vacuum furnace” in Patent Document 1.
  • FIG. 3 is an overall configuration diagram of a vacuum heat treatment furnace equipped with a cooling gas air path switching device of the present invention.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
  • FIG. 6 A and B are explanatory views of the operation of the present invention.
  • FIG. 3 is an overall configuration diagram of a vacuum heat treatment furnace provided with the cooling gas air path switching device of the present invention.
  • this vacuum heat treatment furnace is a multi-chamber heat treatment furnace provided with a vacuum heating furnace 10, a gas cooling furnace 20, and a moving device 30.
  • the vacuum heating furnace 10 is a sealable furnace that includes a heating chamber 12 that is adjacent to the cooling chamber and that heats the workpiece 1 at approximately the same height as the cooling chamber 22 of the gas cooling furnace 20. After depressurizing treated product 1, it has the function of refilling with inert gas and heating it.
  • the gas-cooled furnace 20 is a sealable pressure vessel containing a cooling chamber 22 for gas-cooling the heated article 1 to be cooled, and the heated article 1 is cooled by a pressurized circulating gas 2. It has a function to
  • the moving device 30 has a function of horizontally conveying the article 1 to be processed between the heating chamber 12 and the cooling chamber 22.
  • the vacuum heating furnace 10 includes a vacuum vessel 11 in which the inside is evacuated, a heating chamber 12 in which the article 1 to be processed is housed, and before the article 1 to be taken in and out of the heating chamber.
  • Door 13, heating It consists of a rear door 14 that closes the opening for moving the workpiece 1 in the room, a mounting table 15 on which the workpiece 1 can be moved horizontally back and forth, a heater 16 for heating the workpiece 1, etc.
  • the inside of the vacuum vessel 11 can be decompressed to a vacuum, and the article 1 to be processed can be heated to a predetermined temperature by the heater 16.
  • the gas cooling furnace 20 includes a carry-in / out door 21, a cooling chamber 22, a rectifier 23, and a vacuum vessel 24.
  • the cooling chamber 22 positions the workpiece 1 so that an external force can be directly loaded / unloaded via the loading / unloading door 21, and allows the workpiece to be loaded from the outside without being affected by the gas cooling / circulation device described later. It is now possible to carry in and out of the cooling room directly via the carry-out door!
  • the carry-in / out door 21 is provided on the opposite side (right side in the figure) of the heating chamber 12 and is used to carry the workpiece 1 into or out of the cooling chamber 22.
  • This carry-in Z carry-out is performed by transport means (for example, a fixed loader Z unloader device, a forklift, a crane, etc.) provided outside the furnace.
  • transport means for example, a fixed loader Z unloader device, a forklift, a crane, etc.
  • the cooling chamber 22 surrounds a cooling region in which the article to be processed 1 is allowed to stand, and forms a gas flow path having a constant cross section in the vertical direction inside thereof.
  • the loading / unloading door side of the cooling chamber 22 can be opened and closed by an opening / closing door 22a. In some cases, the opening / closing door 22a can be replaced by the loading / unloading door 21.
  • the rectifier 23 is provided above and below the upper and lower ends of the cooling chamber 22, and has a function of rectifying the flow in the vertical direction and uniformizing the velocity distribution of the gas passing through the cooling chamber 22.
  • the vacuum container 24 includes an intermediate heat insulating door 24a provided facing the front door 13 of the vacuum heating furnace 10, a cylindrical container body 24b that accommodates the workpiece 1 therein, and a container body 24b. It consists of a clutch ring 24c that can open and close the loading / unloading door 21 in an airtight manner.
  • the carry-in / out door 21 is hermetically connected to the container body 24b by the clutch ring 24c and pressurized by supplying a pressurized cooling gas (argon, helium, nitrogen, etc.) from a pipe (not shown). Gas Can be used for cooling.
  • a pressurized cooling gas argon, helium, nitrogen, etc.
  • the moving device 30 includes a plurality of free rollers 32, a push-pull member 34, and a driving device 36.
  • the plurality of free rollers 32 are installed in the heating chamber 12 and the cooling chamber 22, and support only the both ends in the width direction of the workpiece 1 so as to be movable in the horizontal conveyance direction.
  • the free roller 32 is a short cylindrical roller that can freely rotate about its axis, and hardly disturbs the smooth flow of gas in the cooling chamber 22.
  • the free roller has only a function of supporting the workpiece 1 so as to be movable in the horizontal conveyance direction, and is a simple bearing (for example, a large gap!) So that the function is not impaired even when heated in the heating chamber 12. It has a simple structure that requires almost no heat countermeasures by periodically inspecting or replacing it.
  • the push-pull member 34 moves horizontally while engaging the article 1 to be processed, and pushes and pulls the article to be processed horizontally. Further, the push-pull member 34 has an engaging member 35 that can be raised and lowered at the tip, so that the push-pull member 34 can be raised and lowered at any time by an actuator (not shown) built in the end (left end) of the push-pull member 34. It is summer. With this up-and-down movement, the engagement member 35 can be changed at any time between the high position and the low position, and can engage with the workpiece 1 (or its mounting table) in the high position to push and pull the workpiece 1 horizontally. In the low position, it is configured to move horizontally without engaging the workpiece (or its mounting table)! RU
  • this hoisting mechanism is not limited to a structure that is hoisted directly by the actuator, and may be a rack pion, chain drive, or other mechanism as long as the external force of the heating chamber 12 and the cooling chamber 22 can be raised and lowered. .
  • the drive device 36 is provided adjacent to the opposite side of the heating chamber to the cooling chamber (left side in the figure) and has a function of moving the push-pull member 34 horizontally.
  • the transport device 30 is a chain pusher puller type.
  • the driving device 36 is connected to the end of the push-pull member 34 and horizontally moves, a horizontally moving chain 37a, a sprocket 37b that meshes with the horizontally moving chain, and a rotary motor that rotates the sprocket 37b (see FIG. Not shown).
  • the free roller 33 for the push-pull member is installed in the cooling chamber 2. Provide for areas other than 2 as appropriate.
  • the sprocket 37b is rotationally driven by the rotary motor, the horizontal movement chain 37a is moved horizontally, the push-pull member 34 is moved horizontally, and the engagement member 35 at the tip thereof is moved horizontally. Can do.
  • the free roller 32 has only a function of supporting the article 1 to be moved so as to be movable in the horizontal conveyance direction, and almost no heat countermeasure is required, and the structure can be simplified.
  • the transfer device 30 is used to move from the cooling chamber 22 to the heating chamber 12, and after the heating process, the heating chamber 12 moves from the heating chamber 12 to the cooling chamber 22. Can be taken out after cooling.
  • the push-pull member 34 can be made to stand by to the left side of the heating chamber 12, so that each chamber can be kept airtight.
  • the transport device 30 other than the free roller 32 is located in the non-heated area, so that overheating can be prevented without taking any special measures against heat.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. As shown in this figure, the gas cooling furnace 20 further includes a gas cooling circulation device 40 and a cooling gas air path switching device 50.
  • the cooling chamber 22 is provided in the container body 24b adjacent to the vacuum heating furnace 10 at a position close to the left side in this figure. Also, the gas cooling circulation device side (right side in the figure) of the cooling chamber 22 is divided by an intermediate rectifying plate 25a, and the opposite side (left side in the figure) is partitioned by a vertical rectifying plate 25b. A gas flow path having a substantially constant cross section is formed in the vertical direction.
  • the inside of the cooling chamber 22 is a cooling region, and the article to be processed 1 is a small metal part such as a moving blade, a stationary blade, or a bolt of a jet engine, and is accommodated in a tray or a basket. In the center of 22 is placed on a mounting table 26 with air permeability and allowed to stand.
  • the mounting table 26 is installed at the same height as the mounting table 15 of the vacuum heating furnace 10 and can freely move on the built-in roller.
  • the gas cooling / circulation device 40 is attached to the side surface of the body portion of the container 24 in a direction orthogonal to the loading / unloading direction of the processed product 1 so as not to directly affect the loading / unloading of the processed product 1.
  • a gas cooling / circulation device 40 is installed in the body of the container 24 adjacent to the cooling chamber 22 and sucks and pressurizes the gas that has passed through the cooling chamber 22, and a fixed partition plate.
  • the cooling fan 42 is rotationally driven by a cooling fan motor 46 attached to the cylindrical container body 24b, and sucks the gas at the center thereof and discharges it from the outer periphery.
  • Heat exchanger 44
  • cooling fin tube 45 is, for example, a cooling fin tube whose interior is water-cooled.
  • a hollow cylindrical cutting duct 47 that partitions the central portion (suction side) and the outer peripheral portion (discharge side) of the cooling fan 42 is provided, and the inside thereof is formed in a suction opening 52a of a fixed partition plate 52 described later. The outside communicates with the discharge opening 52b.
  • the cooling gas air path switching device 50 includes a fixed partition plate 52, a sliding shielding plate 54, and a sliding drive device 56.
  • the fixed partition plate 52 and the sliding shielding plate 54 partition the cooling chamber 22 and the gas cooling circulation device 40 vertically, and partially block between them.
  • the sliding shielding plate 54 is driven to slide up and down by a sliding drive device 56 along the surface of the fixed partition plate 52.
  • a sliding material (not shown) (for example, bearing, lead brass, graphite) force is attached between the fixed partition plate 52 and the sliding shielding plate 54 to at least one of them, reducing gas leakage therebetween and reducing sliding resistance. Reduce and smooth the movement.
  • the sliding drive device 56 is a force rack and a pion which are pneumatic or hydraulic cylinders, and the present invention is not limited to this configuration, and other known drive devices (rack and pin) are used. Use -on).
  • both ends are fixed to the central partition plate 55 for vertically partitioning between the fixed partition plate 52 and the cooling chamber 22 to the central portion of the fixed partition plate 52 and the intermediate rectifying plate 25a of the cooling chamber 22. Is provided.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 6A and 6B are operation explanatory views of the present invention.
  • FIG. 6A shows the case where the sliding shielding plate 54 is located below
  • FIG. 6B shows the case where the sliding shielding plate 54 is located above, with the plates 52 and 54 separated.
  • the fixed partition plate 52 has a pair of upper and lower suction openings 52a and discharge openings 52b that communicate independently with the suction port and the discharge port of the gas cooling and circulation device, respectively.
  • the size of each opening should be approximately the same.
  • the outer periphery of the fixed partition plate 52 is airtightly fixed to the cylindrical container body 24b in FIG.
  • the sliding shielding plate 54 includes shielding portions 54a and 54b that partially shield the suction opening 52a and the discharge opening 52b of the fixed partition plate.
  • the shielding portions 54a and 54b simultaneously shield the upper suction opening 52a and the lower discharge opening 52b of the fixed partition plate.
  • the shielding portions 54a and 54b slide to simultaneously shield the lower suction opening 52a and the upper discharge opening 52b.
  • the sliding shielding plate 52 is simply slid up and down.
  • the pair of suction openings 52a and discharge openings 52b can be switched, and the direction of gas passing through the cooling chamber can be switched alternately.
  • FIG. 4, FIG. 5, and FIG. 6A show a state in which the sliding shielding plate 52 is slid downward.
  • the gas 2 that has passed downward through the cooling chamber is subjected to heat exchange on the lower side.
  • the air is cooled by the vessel 45, and sucked into the central portion (suction side) of the cooling fan 42 through the lower suction opening 52a.
  • the gas 2 discharged from the outer peripheral portion (discharge side) of the cooling fan 42 passes through the upper discharge opening 52b, is cooled by the upper heat exchanger 44, flows downward into the cooling chamber, and circulates the gas. Is performed.
  • FIG. 6B shows a state in which the sliding shielding plate 52 is slid upward.
  • the gas 2 that has passed upward in the cooling chamber is cooled by the upper heat exchanger 44, and the upper side The air is sucked into the central portion (suction side) of the cooling fan 42 through the suction opening 52a. Further, the gas 2 discharged from the outer peripheral portion (discharge side) of the cooling fan 42 passes through the lower discharge opening 52b, is cooled by the lower heat exchange 45, flows into the cooling chamber upward, Gas circulation takes place.
  • the sliding shield 54 is a sliding drive that moves vertically with respect to the flow direction (in this example, the horizontal direction), even the high pressure gas (gas body having a high density) is affected by the wind pressure.
  • the air path can be switched smoothly and easily.
  • the fixed partition plate 52 has a suction opening 52a and a discharge opening 52b that communicate independently with the suction port and the discharge port of the gas cooling circulation device 40, respectively. Since the shielding portions 54a and 54b that partially shield the suction opening and the discharge opening are provided, it is possible to perform stable gas cooling in which variation in the opening area and difference in the opening area between the suction port and the discharge port are unlikely to occur. In addition, the structure is simple and can be switched with a single driving device, and a large opening area can be secured.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be freely changed without departing from the gist of the present invention.
  • it can be used not only in a device in which a heating chamber and a cooling chamber are separated but also in a single-chamber furnace in which heating and cooling can be performed in one room.

Abstract

被処理品を静置する冷却領域を囲む冷却室と、冷却室内を通過するガスを冷却して循環させるガス冷却循環装置とを備え、加熱した被処理品を加圧した循環ガスで冷却する真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置。冷却室とガス冷却循環装置との間を仕切る固定仕切板と、固定仕切板の表面に沿って摺動駆動される摺動遮蔽板とを有する。固定仕切板は、ガス冷却循環装置の吸込口と吐出口にそれぞれ独立に連通する吸引開口と吐出開口を有し、摺動遮蔽板は、固定仕切板の吸引開口と吐出開口を部分的に遮蔽する遮蔽部を有し、これにより冷却室内を通過するガスの方向を交互に切り替える。  

Description

明 細 書
真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置
発明の背景
[0001] 発明の技術分野
[0002] 本発明は、真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置に関する。
関連技術の説明
[0003] 真空熱処理炉は、内部を減圧した後、不活性ガス等を再充填して被処理品を熱処 理する熱処理炉である。真空熱処理炉は、加熱後に炉内及び処理品についた水分 等がガス化した後に再度減圧し、不活性ガス等を再充填することで、水分を完全に 除去できるため、水分による色付きのな 、熱処理(「光輝熱処理」と呼ぶ)ができる利 点がある。
[0004] また、ガス冷却式真空熱処理炉は、(1)光輝熱処理ができる、(2)脱炭浸炭がない 、(3)変形が少ない、(4)作業環境が良い、など多くの利点を有する。しかし、初期の ガス冷却式真空熱処理炉は、減圧冷却式であるため、冷却速度が不十分な欠点が あった。そこで、冷却速度を高めるために、高速循環ガス冷却方式が実用化されてい る。
[0005] 図 1は、非特許文献 1に開示された高速循環ガス冷却炉の構成図である。この図に おいて、 50は断熱材、 51はヒータ、 52は有効作業域、 53は炉体及び水冷ジャケット 、 54は熱交換器、 55はターボファン、 56はファン用モータ、 57は冷却扉、 58は炉床 、 59はガスディストリビュータ、 60は冷却ガスの風路を切替えるダンパーである。
[0006] また、特許文献 1の「真空炉におけるガス循環冷却促進法」は、図 2に示すように、 気密性の真空容器 61内に断熱壁 67によって囲った加熱室 66を設け、加熱室内に 配置されたヒータ 72により被熱物 64を真空中で加熱すると共に、真空容器 61内にク ーラ 62およびファン 63が設けられ真空容器内に供給された無酸ィ匕性ガスをクーラ 6 2により冷却し、無酸ィ匕性ガスをファン 63の回転により加熱室 66の相対する断熱壁 6 7面に設けられた開口 68, 69より加熱室 66内に循環させて被熱物 64を強制ガス循 環冷却する真空炉において、少なくとも一端が末広がり状に形成された耐熱性の筒 状フード 65を加熱室 66内に置かれた被熱物 64の周囲を適宜間隔を離して囲うよう に、かつその両端が前記開口 68, 69に相対するように配置して無酸ィ匕性ガスを加熱 室 66内に循環させるようにしたものである。なお、この図において 70は冷却ガスの風 路を切替えるダンパーである。
[0007] 非特許文献 1 :山崎勝弘,金属材料の真空熱処理 (2) ,熱処理 30卷 2号,平成 2年 4 月
特許文献 1:特開平 5— 230528号公報
[0008] 上述したように、ガス冷却式真空熱処理炉のもつ多くの利点を生かし、かつ冷却速 度を高めるために高速循環ガス冷却方式を採用した場合、被処理品の冷却速度を 均等化するために、風路切替えが極めて重要となる。
[0009] そのため上述した非特許文献 1及び特許文献 1に記載の高速循環ガス冷却炉にお
V、て、上向きと下向きの風路を切り替える機構として上下にダンパー装置が通常用い られている。しかし、上下のダンパー装置を風路切替え機構とした場合、以下の問題 点がめった。
[0010] (1)ダンパー装置は、その開閉位置により高速で通過する風圧による負荷変動が大 きい。そのため、高圧ガスの場合にダンパー方式では風圧の影響でスムースに動か すことが困難である。
(2)ダンパー装置は、開閉角度と開口面積が比例しない。そのため、上下の複数の 駆動装置を切り替える際に、開口面積のノ ランスを整えることが難しぐ吸込口及び 吐出口の開口面積に差が生じたり、その変動が大きくなり、冷却ガス量が変動し、安 定したガス冷却が困難である。
(3)上下に複数のダンパー装置が存在し、複数の駆動装置が必要であり、構造が複 雑となる。
(4)開口面積が上下にダンパー装置で限定され、炉体内面積に比べて小さい。 発明の要約
[0011] 本発明は、上述した問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本 発明の目的は、風圧の影響を受けに《スムースに風路を切替えることができ、開口 面積の変動や吸込口と吐出口の開口面積差が生じにくぐ安定したガス冷却が可能 であり、構造が簡潔であり単一の駆動装置で切替えが可能であり、大きな開口面積を 確保できる真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置を提供することにある。
[0012] 本発明によれば、被処理品を静置する冷却領域を囲む冷却室と、該冷却室内を通 過するガスを冷却して循環させるガス冷却循環装置とを備え、加熱した被処理品を 加圧した循環ガスで冷却する真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置であって、 冷却室とガス冷却循環装置との間を仕切る固定仕切板と、該固定仕切板の表面に 沿って摺動駆動される摺動遮蔽板とを有し、固定仕切板は、ガス冷却循環装置の吸 込口と吐出口にそれぞれ独立に連通する吸引開口と吐出開口を有し、摺動遮蔽板 は、固定仕切板の吸引開口と吐出開口を部分的に遮蔽する遮蔽部を有し、これによ り冷却室内を通過するガスの方向を交互に切り替える、ことを特徴とする真空熱処理 炉の冷却ガス風路切替え装置が提供される。
[0013] 上記本発明の構成によれば、冷却室とガス冷却循環装置との間を仕切る固定仕切 板の表面に沿って摺動遮蔽板を摺動するだけで、冷却室内を通過するガスの方向 を交互に切り替えることができる。
[0014] また、流れ方向に対して摺動遮蔽板が垂直に動く摺動駆動であるため、高圧ガス( 密度が高いガス体)であっても風圧の影響を受けにくくスムースに風路を切替えること ができる。
[0015] さらに、固定仕切板は、ガス冷却循環装置の吸込口と吐出口にそれぞれ独立に連 通する吸引開口と吐出開口を有し、摺動遮蔽板は、固定仕切板の吸引開口と吐出 開口を部分的に遮蔽する遮蔽部を有するので、開口面積の変動や吸込口と吐出口 の開口面積差が生じにくぐ安定したガス冷却が可能である。また、構造が簡潔であ り単一の駆動装置で切替えが可能であり、大きな開口面積を確保できる。
[0016] 本発明の好ましい実施形態によれば、前記冷却室は、その内側を上下方向に通過 するガス流路を有し、冷却室内をガスが下方に流れるときに、吸引開口が冷却室の 下方のみと連通しかつ吐出開口が冷却室の上方のみと連通し、冷却室内をガスが上 方に流れるときに、吸引開口が冷却室の上方のみと連通しかつ吐出開口が冷却室 の下方のみと連通するように開口位置が設定されている。 [0017] この構成により、冷却室とガス冷却循環装置との間を仕切る炉体内面積 Aのうち、 1 Z2づっをガス冷却循環装置の吸込口と吐出口とし、更に吸込口と吐出口のうち、 1 Z2づっを下方、上方とすることで、吸引開口と吐出開口を炉体内面積 Aの約 1Z4 づつに設定することができる。従って、従来に比較して風路面積を大きくとれ、ガスの 通過流速を低減でき、圧損を小さくできる。
[0018] 前記固定仕切板は、上下 1対の吸引開口と吐出開口を有し、前記摺動遮蔽板の前 記遮蔽部は、固定仕切板の上側の吸引開口と下側の吐出開口を同時に遮蔽し、摺 動して下側の吸引開口と上側の吐出開口を同時に遮蔽する、ことが好ましい。
[0019] この構成により、摺動遮蔽板を単に上下に摺動するだけで、上下 1対の吸引開口と 吐出開口を切り替え、冷却室内を通過するガスの方向を交互に切り替えることができ る。
[0020] 前記冷却室は、被処理品を外部から搬入搬出扉を介して直接搬入搬出可能に位置 し、前記ガス冷却循環装置は、被処理品の搬入搬出に直接影響しない側面に設置 される。
[0021] この構成により、ガス冷却循環装置に影響されずに、被処理品を外部から搬入搬 出扉を介して直接冷却室に搬入し搬出することができる。
[0022] 前記ガス冷却循環装置は、冷却室に隣接して設置され冷却室を通過したガスを吸 引して加圧する冷却ファンと、前記固定仕切板と冷却室の間に設置され通過するガ スを間接冷却する上下の熱交換器とからなる。
[0023] この構成により、冷却室内を通過するガスの方向を交互に切り替えても、冷却室から 流出し、冷却室に流入するガスを上下の熱交^^で効率よく冷却することができる。
[0024] 前記ガス冷却循環装置は、冷却室に隣接して設置され冷却室を通過したガスを吸 引して加圧する冷却ファンと、該冷却ファンの吐出口と前記固定仕切板の間に設置 され冷却ファン力 吐出されるガスを間接冷却する熱交^^とからなる構成でもよい
[0025] この構成により、固定仕切板と冷却ファンの間は、内側全面が冷却ファンの吸込口に 連通し、外側全面が冷却ファンの吐出口に連通して 、るので、吐出口 Z吸込み口の 隙間を十分取ることで半面しか開口していなくても反対面への回り込みが可能となり 、熱交換器全体を有効利用できる。
[0026] 本発明のその他の目的及び有利な特徴は、添付図面を参照した以下の説明から 明らかになろう。 図面の簡単な説明
[0027] [図 1]非特許文献 1に開示された高速循環ガス冷却炉の構成図である。
[図 2]特許文献 1の「真空炉におけるガス循環冷却促進法」の構成図である。
[図 3]本発明の冷却ガス風路切替え装置を備えた真空熱処理炉の全体構成図であ る。
[図 4]図 3の A-A線における断面図である。
[図 5]図 4の B-B線における断面図である。
[図 6]Aと Bは、本発明の作動説明図である。
好ましい実施例の説明
[0028] 以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお、各図において
、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
[0029] 図 3は、本発明の冷却ガス風路切替え装置を備えた真空熱処理炉の全体構成図 である。この図において、この真空熱処理炉は、真空加熱炉 10、ガス冷却炉 20、及 び移動装置 30を備えた多室型熱処理炉である。
[0030] 真空加熱炉 10は、ガス冷却炉 20の冷却室 22とほぼ同じ高さで冷却室に隣接し被処 理品 1を加熱する加熱室 12を内蔵する密閉可能な炉であり、被処理品 1を減圧した 後、不活性ガス等を再充填して加熱する機能を有する。
[0031] ガス冷却炉 20は、加熱された被処理品 1をガス冷却する冷却室 22を内蔵する密閉 可能な加圧容器であり、加熱した被処理品 1を加圧した循環ガス 2で冷却する機能を 有する。
[0032] 移動装置 30は、被処理品 1を加熱室 12と冷却室 22との間で水平に搬送する機能 を有する。
[0033] 真空加熱炉 10は、内部が真空排気されるようになった真空容器 11、被処理品 1を内 部に収容する加熱室 12、加熱室に被処理品 1を出し入れするための前扉 13、加熱 室内の被処理品 1を移動させるための開口を閉じる後扉 14、被処理品 1を前後に水 平移動可能に載せる載置台 15、被処理品 1を加熱するためのヒータ 16、等からなる
[0034] この構成により、真空容器 11の内部を真空に減圧し、ヒータ 16により被処理品 1を所 定の温度まで加熱することができる。
[0035] ガス冷却炉 20は、搬入搬出扉 21、冷却室 22、整流器 23および真空容器 24を備え る。
[0036] 冷却室 22は、被処理品 1を外部力も搬入搬出扉 21を介して直接搬入搬出可能に位 置し、後述するガス冷却循環装置に影響されずに、被処理品を外部から搬入搬出扉 を介して直接冷却室に搬入し搬出できるようになって!/、る。
[0037] この例において、搬入搬出扉 21は、加熱室 12の反対側(図で右側)に設けられ、被 処理品 1を冷却室 22に搬入し又は搬出するために用いられる。この搬入 Z搬出は、 炉外に設けられた搬送手段 (例えば、固定のローダ Zアンローダ装置、フォークリフト 、クレーン等)で行われる。なおこの図において、搬入搬出扉 21を閉じた状態で示し ている。
[0038] 冷却室 22は、被処理品 1を静置する冷却領域を囲み、その内側に上下方向に断面 一定のガス流路を形成する。冷却室 22の搬入搬出扉側は開閉扉 22aで開閉可能に なっている。なお場合により、開閉扉 22aは搬入搬出扉 21でその役目を代用すること ちでさる。
[0039] 整流器 23は、冷却室 22の上端及び下端を塞いで上下に設けられ、上下方向の流 れを整流し、冷却室 22を通過するガスの速度分布を均一化させる機能を有する。
[0040] 真空容器 24は、真空加熱炉 10の前扉 13に対向して設けられた中間断熱扉 24a、被 処理品 1を内部に収容する円筒形の容器胴部 24b、容器胴部 24bに搬入搬出扉 21 を気密に開閉可能なクラッチリング 24cからなる。
[0041] この構成により、クラッチリング 24cを開放し、搬入搬出扉 21を開放することにより、被 処理品 1を容器胴部 24bの内部に直接収納することができる。また、クラッチリング 24 cにより搬入搬出扉 21を容器胴部 24bに気密に連結し、図示しない配管から加圧し た冷却用ガス (アルゴン、ヘリウム、窒素等)を内部に供給することにより、加圧ガスを 冷却に用いることができる。
[0042] 移動装置 30は、複数のフリーローラ 32、プッシュプル部材 34、及び駆動装置 36を 備える。
[0043] 複数のフリーローラ 32は、加熱室 12及び冷却室 22内に設置され、被処理品 1の幅 方向両端部のみを水平搬送方向に移動可能に支持する。このフリーローラ 32は、軸 心を中心に自由に回転可能な円筒形の短いローラであり、冷却室 22内のガスのスム ースな流れをほとんど阻害しないようになっている。またフリーローラは、被処理品 1を 水平搬送方向に移動可能に支持するだけの機能であり、加熱室 12内で加熱されて も機能を損なわな 、ように簡単な軸受 (例えば隙間の大き!、ジャーナル軸受)で構成 され、定期的に点検又は交換することにより、熱対策がほとんど不要なシンプルな構 造になっている。
[0044] プッシュプル部材 34は、被処理品 1に係合しながら水平に移動して被処理品を水平 に押し引きする。またこのプッシュプル部材 34は、起伏可能な係合部材 35を先端部 に有し、プッシュプル部材 34の末端部 (左端部)に内蔵された図示しないァクチユエ ータで起伏動作を随時できるようになつている。この起伏動作で、係合部材 35は、高 位置と低位置に随時変更でき、高位置において被処理品 1 (またはその載置台)に 係合して被処理品 1を水平に押し引きでき、低位置では被処理品(またはその載置 台)に係合することなく水平に移動できるように構成されて!、る。
[0045] なおこの起伏機構は、ァクチユエータで直接起伏する構造に限定されず、加熱室 12 及び冷却室 22の外部力も起伏できる限りで、ラックピ-オン、チェーン駆動、その他 の機構であってもよい。
[0046] 駆動装置 36は、加熱室の冷却室と反対側(図で左側)に隣接して設けられ、プッシュ プル部材 34を水平に移動させる機能を有する。
[0047] この例にぉ 、て、搬送装置 30は、チェーンプッシャプラー型である。また駆動装置 36は、プッシュプル部材 34の末端部に連結され水平移動する水平移動チェーン 37 aと、水平移動チ ーンと歯合するスプロケット 37bと、スプロケット 37bを回転駆動す る回転モータ(図示せず)とからなる。更に、プッシュプル部材 34と水平移動チェーン 37aを常に水平に保持するために、プッシュプル部材用のフリーローラ 33を冷却室 2 2以外の領域に適宜備える。
[0048] この構成により、回転モータでスプロケット 37bを回転駆動し、水平移動チェーン 37a を水平移動させてプッシュプル部材 34を水平に移動し、その先端部の係合部材 35 を水平に移動することができる。
[0049] 上述した構成によれば、搬送装置 30を構成するフリーローラ 32のみ力 加熱室 12 内及び冷却室 22内に設置され、これにより被処理品 1の幅方向両端部のみを支持 するので、冷却室 22内のガスのスムースな流れをほとんど阻害しない。
[0050] また、フリーローラ 32は、被処理品 1を水平搬送方向に移動可能に支持するだけの 機能であり、熱対策がほとんど不要であり、構造をシンプルにできる。
[0051] 従って、冷却室内にフリーローラ 32以外の搬送機構がないため、ガス流れを妨げず
、加熱室 12内にもフリーローラ以外の搬送機構がないため、搬送のための複雑な手 段を必要としない。
[0052] また、係合部材 35を高位置にして、プッシュプル部材 34を水平に移動することによ り、被処理品 1を水平に押し引きすることができ、係合部材 35を低位置にして、被処 理品 1に係合することなくプッシュプル部材 34を水平に移動することができる。従って 、冷却室 22に外部力も被処理品 1を装入した後、搬送装置 30を用いて、冷却室 22 から加熱室 12に移動し、加熱処理後に、加熱室 12から冷却室 22に移動することが でき、冷却後に外部に搬出することができる。更に、加熱室内での加熱中、及び冷却 室内での冷却中には、プッシュプル部材 34を加熱室 12の左側まで待機させることが できるので、それぞれの室を気密に保持することができる。また待機中は、フリーロー ラ 32以外の搬送装置 30が、非加熱領域に位置するので、その過熱を特別な熱対策 なしに防ぐことができる。
[0053] 図 4は、図 3の A— A線における断面図である。この図に示すように、ガス冷却炉 20 は、更にガス冷却循環装置 40、及び冷却ガス風路切替え装置 50を備える。
[0054] 冷却室 22は、真空加熱炉 10に隣接して容器胴部 24b内にこの図では左側に寄つ た位置に設けられる。また、冷却室 22のガス冷却循環装置側(図で右側)は中間整 流板 25aで、その反対側(図で左側)は、鉛直整流板 25bで仕切られ、冷却室 22内 に上下方向にほぼ断面一定のガス流路を形成して 、る。
[0055] この冷却室 22の内側が冷却領域であり、被処理品 1は、例えばジェットエンジンの動 翼、静翼、ボルト等の小型金属部品であり、トレーやバスケット内に収容し、冷却室 22 の中央に通気性のある載置台 26に載せて静置される。
[0056] 載置台 26は真空加熱炉 10の載置台 15と同一高さに設置され、内蔵するローラ上を 自由に移動できるようになつている。
[0057] ガス冷却循環装置 40は、被処理品 1の搬入搬出に直接影響しないように、容器 24 の胴部側面に、被処理品 1の搬入搬出方向に直交する向きに取り付けられている。
[0058] この図において、ガス冷却循環装置 40は、冷却室 22に隣接して容器 24の胴部内に 設置され冷却室 22を通過したガスを吸引して加圧する冷却ファン 42と、固定仕切板
52 (後述する)と冷却室 22の間に設置され通過するガス 2を間接冷却する上下の熱 交 44、 45と力らなる。
[0059] 冷却ファン 42は、円筒形の容器胴部 24bに取付けられた冷却ファンモータ 46によ り回転駆動され、その中央部力 ガスを吸引し、外周部から吐出する。熱交換器 44、
45は、例えば内部を水冷された冷却フィンチューブである。
[0060] また、冷却ファン 42の中央部(吸込側)と外周部(吐出側)を仕切る中空円筒形の仕 切ダクト 47が設けられ、その内側は後述する固定仕切板 52の吸引開口 52aに連通 し、外側は吐出開口 52bに連通している。
[0061] この構成により、冷却室 22内を通過するガス 2の方向を上下に交互に切り替えても、 冷却室力 流出し、冷却室に流入するガスを上下の熱交^^ 44、 45で効率よく冷却 することができる。
[0062] なおこの構成と相違し、冷却ファン 42の吐出口(外側)と固定仕切板 52の間に熱交 を設置し、冷却ファン 42から吐出されるガスを熱交^^で間接冷却してもよ ヽ。
[0063] この構成により、固定仕切板 52と冷却ファン 42の間は、内側全面が冷却ファン 42の 吸込口に連通し、外側全面が冷却ファン 42の吐出口に連通しているので、吐出口 Z 吸込み口の隙間を十分取ることで半面しか開口していなくても反対面への回り込み が可能となり、熱交翻全体を有効利用できる。 [0064] 図 4において、冷却ガス風路切替え装置 50は、固定仕切板 52、摺動遮蔽板 54及 び摺動駆動装置 56からなる。
[0065] 固定仕切板 52と摺動遮蔽板 54は、冷却室 22とガス冷却循環装置 40との間を鉛直 に仕切り、その間を部分的に遮断している。摺動遮蔽板 54は、固定仕切板 52の表 面に沿って摺動駆動装置 56により上下に摺動駆動される。また、固定仕切板 52と摺 動遮蔽板 54の間には、図示しない滑り材 (例えば、ベアリング、鉛黄銅、グラフアイト) 力 少なくとも一方に取り付けられ、その間のガスリークを低減しかつ摺動抵抗を低減 して動きを滑らかにして 、る。
[0066] 摺動駆動装置 56はこの例では、空圧又は液圧シリンダである力 ラックとピ-オンで あり、本発明はこの構成に限定されず、周知の他の駆動装置 (ラックとピ-オン)を用 いることちでさる。
[0067] さらにこの図において、固定仕切板 52と冷却室 22の間を上下に仕切る中央仕切板 55力 固定仕切板 52の中央部と冷却室 22の中間整流板 25aとに両端が固定されて 設けられている。
[0068] 図 5は、図 4の B— B線における断面図である。また、図 6Aと図 6Bは、本発明の作動 説明図である。図 6Aは、摺動遮蔽板 54が下方に位置する場合、図 6Bは摺動遮蔽 板 54が上方に位置する場合を板 52、 54を分離して示して 、る。
[0069] 図 6Aと図 6Bに示すように、固定仕切板 52は、ガス冷却循環装置の吸込口と吐出口 にそれぞれ独立に連通する上下 1対の吸引開口 52aと吐出開口 52bを有する。各開 口の大きさはほぼ同一であるのがよい。また、固定仕切板 52の外周は図 5において、 円筒形の容器胴部 24bに気密に固定されている。
[0070] 一方、摺動遮蔽板 54は、固定仕切板の吸引開口 52aと吐出開口 52bを部分的に遮 蔽する遮蔽部 54a, 54bを有する。下方に位置する図 6Aにおいて、遮蔽部 54a, 54 bは、固定仕切板の上側の吸引開口 52aと下側の吐出開口 52bを同時に遮蔽する。 また上方に位置する図 6Bにおいて、遮蔽部 54a, 54bは、摺動して下側の吸引開口 52aと上側の吐出開口 52bを同時に遮蔽するようになっている。
[0071] この構成により、図 5において、摺動遮蔽板 52を単に上下に摺動するだけで、上下 1対の吸引開口 52aと吐出開口 52bを切り替え、冷却室内を通過するガスの方向を 交互に切り替えることができる。
[0072] 図 4、図 5及び図 6Aは、摺動遮蔽板 52を下方に摺動させた状態を示しており、この 場合、冷却室内を下向きに通過したガス 2は、下側の熱交換器 45で冷却され、下側 の吸引開口 52aを通って、冷却ファン 42の中央部(吸込側)に吸引される。また、冷 却ファン 42の外周部(吐出側)から吐出したガス 2は、上側の吐出開口 52bを通り、 上側の熱交換器 44で冷却され、冷却室内を下向きに流入して、ガスの循環が行わ れる。
[0073] 図 6Bは、摺動遮蔽板 52を上方に摺動させた状態を示しており、この場合、冷却室内 を上向きに通過したガス 2は、上側の熱交換器 44で冷却され、上側の吸引開口 52a を通って、冷却ファン 42の中央部(吸込側)に吸引される。また、冷却ファン 42の外 周部(吐出側)から吐出したガス 2は、下側の吐出開口 52bを通り、下側の熱交翻4 5で冷却され、冷却室内を上向きに流入して、ガスの循環が行われる。
[0074] 上述したように本発明の構成によれば、冷却室 22とガス冷却循環装置 40との間を仕 切る固定仕切板 52の表面に沿って摺動遮蔽板 54を摺動するだけで、冷却室内を通 過するガス 2の方向を交互に切り替えることができる。
[0075] また、流れ方向(この例では水平方向)に対して摺動遮蔽板 54が垂直に動く摺動駆 動であるため、高圧ガス (密度が高いガス体)であっても風圧の影響を受けにくくスム ースに風路を切替えることができる。
[0076] さらに、固定仕切板 52は、ガス冷却循環装置 40の吸込口と吐出口にそれぞれ独立 に連通する吸引開口 52aと吐出開口 52bを有し、摺動遮蔽板 54は、固定仕切板の 吸引開口と吐出開口を部分的に遮蔽する遮蔽部 54a, 54bを有するので、開口面積 の変動や吸込口と吐出口の開口面積差が生じにくぐ安定したガス冷却が可能であ る。また、構造が簡潔であり単一の駆動装置で切替えが可能であり、大きな開口面積 を確保できる。
[0077] なお、本発明は上述した実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない限りで自 由に変更することができることは勿論である。例えば、加熱室と冷却室が分離した装 置に限らず、加熱と冷却を 1室で行える単室炉でも使用は可能である。

Claims

請求の範囲
[1] 被処理品を静置する冷却領域を囲む冷却室と、該冷却室内を通過するガスを冷却し て循環させるガス冷却循環装置とを備え、加熱した被処理品を加圧した循環ガスで 冷却する真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置であって、
冷却室とガス冷却循環装置との間を仕切る固定仕切板と、該固定仕切板の表面に 沿って摺動駆動される摺動遮蔽板とを有し、
固定仕切板は、ガス冷却循環装置の吸込口と吐出口にそれぞれ独立に連通する 吸引開口と吐出開口を有し、摺動遮蔽板は、固定仕切板の吸引開口と吐出開口を 部分的に遮蔽する遮蔽部を有し、これにより冷却室内を通過するガスの方向を交互 に切り替える、ことを特徴とする真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置。
[2] 前記冷却室は、その内側を上下方向に通過するガス流路を有し、
冷却室内をガスが下方に流れるときに、吸引開口が冷却室の下方のみと連通しか つ吐出開口が冷却室の上方のみと連通し、
冷却室内をガスが上方に流れるときに、吸引開口が冷却室の上方のみと連通しか つ吐出開口が冷却室の下方のみと連通するように開口位置が設定されている、こと を特徴とする請求項 1に記載の真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置。
[3] 前記固定仕切板は、上下 1対の吸引開口と吐出開口を有し、
前記摺動遮蔽板の前記遮蔽部は、固定仕切板の上側の吸引開口と下側の吐出開 口を同時に遮蔽し、摺動して下側の吸引開口と上側の吐出開口を同時に遮蔽する、 ことを特徴とする請求項 1に記載の真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置。
[4] 前記冷却室は、被処理品を外部力 搬入搬出扉を介して直接搬入搬出可能に位置 し、
前記ガス冷却循環装置は、被処理品の搬入搬出に直接影響しない側面に設置さ れる、ことを特徴とする請求項 1に記載の真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置
[5] 前記ガス冷却循環装置は、冷却室に隣接して設置され冷却室を通過したガスを吸引 して加圧する冷却ファンと、前記固定仕切板と冷却室の間に設置され通過するガス を間接冷却する上下の熱交換器とからなる、ことを特徴とする請求項 1に記載の真空 熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置。
前記ガス冷却循環装置は、冷却室に隣接して設置され冷却室を通過したガスを吸引 して加圧する冷却ファンと、該冷却ファンの吐出口と前記固定仕切板の間に設置さ れ冷却ファン力も吐出されるガスを間接冷却する熱交^^とからなる、ことを特徴とす る請求項 1に記載の真空熱処理炉の冷却ガス風路切替え装置。
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