JPH11125399A - 薬液循環式基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薬液の循環と排液との２つの機能を兼ねたポ
ンプを用いた薬液循環式基板処理システムにおいて、ポ
ンプの交換時や排液系統の異常時にも処理槽内からすべ
ての薬液を速やかに排出できる装置を提供する。 【解決手段】 薬液を貯留する処理槽１０、処理槽内か
ら流出した薬液を再び処理槽内へ戻す循環経路１６、２
０、２２、２６、循環経路中に介設されたポンプ２４、
ポンプの吐出側において循環経路から分岐した排液路２
８、および、薬液の循環と排液との２つの状態を択一的
に切り替える流路切替え手段３０、３６を備え、アスピ
レータ３８を有し、その吸入口５０に連通接続された補
助排液管４８を循環経路中の所要個所に流路接続して、
処理槽内から流出した薬液を非常時に循環経路から補助
排液管内へ流入させる開閉弁５２を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハ、
液晶表示装置用ガラス基板、電子部品などの基板を、処
理槽内に貯留された薬液中に浸漬させて表面処理する基
板処理装置、特に、処理槽内に貯留された薬液を処理槽
外へ流出させて再び処理槽内へ戻すようにして薬液を循
環させながら、処理槽内へ搬入された基板の表面処理を
行う薬液循環式基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】処理槽内に貯留された薬液を処理槽外へ
流出させて再び処理槽内へ戻すようにして薬液を循環さ
せながら、処理槽内の薬液中に基板、例えば半導体ウエ
ハを浸漬させて表面処理する装置、例えば薬液循環式基
板洗浄装置は、図３に模式図で示すような概略構成を有
している。この洗浄装置は、洗浄用薬液が貯留される処
理槽（洗浄槽）１０、および、この処理槽１０に付設さ
れ処理槽１０の上部から溢れ出た洗浄用薬液を受け入れ
る溢流液受け部１２を有している。処理槽１０および溢
流液受け部１２のそれぞれの内底部には、開閉弁１４、
１８が介挿された流出管１６、２０が連通しており、両
流出管１６、２０は互いに連通して合流流出管２２とな
り、合流流出管２２にポンプ２４が介設されている。合
流流出管２２は、ポンプ２４の吐出側において戻り管２
６と排液管２８とに分岐している。戻り管２６には、開
閉弁３０、ヒータ３２およびフィルタ３４がそれぞれ介
挿されている。そして、戻り管２６は、処理槽１０の内
底部に連通していて、処理槽１０、溢流液受け部１２、
両流出管１６、２０、合流流出管２２および戻り管２６
により洗浄用薬液の循環経路が構成されている。また、
排液管２８には開閉弁３６が介挿されており、排液管２
８は、浄水場などへ流路連絡されている。なお、合流流
出管２２が戻り管２６と排液管２８とに分岐する管路部
分および２つの開閉弁３０、３６が１つの流路切替弁で
構成されていてもよい。

【０００３】図３に示したような構成の洗浄装置におい
て、定常運転時には、開閉弁１４、１８、３０を開いて
開閉弁３６を閉じ、循環経路を通して洗浄用薬液を循環
させながら、洗浄用薬液を所定温度に保ち清浄な状態に
維持して、処理槽１０内の洗浄用薬液中へ半導体ウエハ
を浸漬させて洗浄処理する。このとき、ポンプ２４は循
環ポンプとして機能する。一方、洗浄用薬液の入れ替え
やメンテナンスなどに際して処理槽１０内から洗浄用薬
液を排出する時には、開閉弁１４、１８、３６を開いて
開閉弁３０を閉じ、処理槽１０内および溢流液受け部１
２から流出した洗浄用薬液を、両流出管１６、２０、合
流流出管２２および排液管２８を通って排出する。この
とき、ポンプ２４は排液ポンプとして機能することにな
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ポンプ（通
常はベローズポンプ）は、循環と排液との２つの機能を
兼ねており、その稼働率が高いため、破損や故障などを
起こし易い。しかしながら、ポンプの破損などによって
ポンプを交換しようとしたときに、従来の装置では、処
理槽１０内からすべての薬液を速やかに排出することが
できず、ポンプの交換作業に長時間を要していた。ま
た、排液系統に異常が発生したときには、処理槽１０内
から薬液を排出することができなくなる、といった問題
点があった。

【０００５】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、薬液の循環と排液との２つの機能を
兼ねたポンプを使用した薬液循環式基板処理システムに
おいて、ポンプの破損などによるポンプの交換時に処理
槽内からすべての薬液を速やかに排出することができ、
また、排液系統の異常時にも処理槽内から薬液を排出す
ることができる薬液循環式基板処理装置を提供すること
を目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
薬液を貯留しその薬液中に基板が浸漬されて処理される
処理槽と、この処理槽内に貯留された薬液を処理槽外へ
流出させて、その流出した処理液を再び処理槽内へ戻す
循環経路と、この循環経路中に介設されたポンプと、こ
のポンプの吐出側において前記循環経路から分岐した排
液路と、前記ポンプにより前記循環経路を通して薬液を
循環させる状態と、前記ポンプにより前記処理槽内から
流出した薬液を、前記排液路を通って排出させる状態と
を、択一的に切り替える流路切替え手段とを備えた薬液
循環式基板処理装置において、水流によって液体を吸引
するアスピレータを有し、そのアスピレータの吸入口に
連通接続された補助排液管を前記循環経路中の少なくと
も１個所に流路接続して、前記処理槽内から流出した薬
液を非常時に前記循環経路から前記補助排液管内へ流入
させる非常時流路切替え手段を設けたことを特徴とす
る。

【０００７】請求項２に係る発明は、薬液を貯留しその
薬液中に基板が浸漬されて処理される処理槽と、この処
理槽内に貯留された薬液を処理槽外へ流出させて、その
流出した処理液を再び処理槽内へ戻す循環経路と、この
循環経路中に介設されたポンプと、このポンプの吐出側
において前記循環経路から分岐した排液路と、前記ポン
プにより前記循環経路を通して薬液を循環させる状態
と、前記ポンプにより前記処理槽内から流出した薬液
を、前記排液路を通って排出させる状態とを、択一的に
切り替える流路切替え手段とを備えた薬液循環式基板処
理装置において、水流によって流体を吸引するアスピレ
ータ、このアスピレータの吸入口に一端が連通接続され
他端が薬液流入口とされる排液管、前記アスピレータの
水流入口に連通接続された水導入管、および、前記アス
ピレータの水流出口に連通接続された水排出管からなる
非常時排液ユニットを有し、前記循環経路中の少なくと
も１個所に、前記非常時排液ユニットの排液管の薬液流
入口に接続される薬液流出口を形設して、前記非常時排
液ユニットの排液管の薬液流入口と前記循環経路中の薬
液流出口とを接続させる連接手段、および、前記循環経
路中の薬液流出口を開閉自在に閉塞する閉塞手段を備え
たことを特徴とする。

【０００８】請求項１に係る発明の薬液循環式基板処理
装置においては、ポンプの破損などによってポンプを交
換するときや、排液系統に異常が発生して処理槽内から
薬液を排出することができないときに、非常時流路切替
え手段により、循環経路と補助排液管とが連通した状態
に切り替え、アスピレータを作動させると、吸入口が補
助排液管に連通接続されたアスピレータの吸引力によっ
て、処理槽内から流出した薬液が循環経路から補助排液
管内へ導入され、その薬液は、補助排液管を通りアスピ
レータを経て排出される。したがって、ポンプが破損す
るなどしてポンプによる排液を行うことができないとき
でも、また、排液系統に異常が発生して排液路を通した
排液を行うことができないときでも、処理槽内からすべ
ての薬液が速やかに排出されることとなる。

【０００９】請求項２に係る発明の薬液循環式基板処理
装置においては、ポンプの破損などによってポンプを交
換するときや、排液系統に異常が発生して処理槽内から
薬液を排出することができないときに、閉塞手段によっ
て常時は閉塞されている循環経路中の薬液流出口を開放
するとともに、連接手段により非常時排液ユニットの排
液管の薬液流入口と循環経路中の薬液流出口とを接続さ
せ、非常時排液ユニットの水導入管からアスピレータを
経て水排出管へ水道水等の水を流すと、吸入口が排液管
に連通接続されたアスピレータの吸引力によって、処理
槽内から流出した薬液が循環経路からその薬液流出口を
通り非常時排液ユニットの排液管内へその薬液流入口を
通って導入され、その薬液は、非常時排液ユニットの排
液管を通りアスピレータを経て排出される。したがっ
て、ポンプが破損するなどしてポンプによる排液を行う
ことができないときでも、また、排液系統に異常が発生
して排液路を通した排液を行うことができないときで
も、処理槽内からすべての薬液が速やかに排出されるこ
ととなる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図１および図２を参照しながら説明する。

【００１１】図１は、この発明の１実施形態を示し、薬
液循環式基板洗浄装置の概略構成を示す模式図である。
この洗浄装置の基本構成自体は、図３に示した従来の洗
浄装置と特に変わるところはないので、それぞれの構成
要素に図３で使用した符号と同一符号を付して、それら
の説明を省略し、以下では、この発明に係る洗浄装置に
特有の構成についてのみ説明する。

【００１２】この洗浄装置では、水流によって流体を吸
引するアスピレータ３８を付設し、そのアスピレータ３
８の水流入口４０を、水導入管４２を介して加圧水供給
口、例えば水道管の給水口に流路接続し、アスピレータ
３８の水流出口４４を水排出管４６に連通接続して、水
排出管４６が排液管２８に連通接続されあるいは排液管
２８とは別々に浄水場などへ流路連絡されている。そし
て、循環経路中の、例えば合流流出管２２を分岐させて
補助排液管４８を設け、補助排液管４８がアスピレータ
３８の吸入口５０に連通接続されている。補助排液管４
８には、常時は閉塞され非常時に開放されて処理槽１０
および溢流液受け部１２から流出した洗浄用薬液を循環
経路から補助排液管４８内の方へ流す開閉弁５２が介挿
されている。なお、補助排液管４８を循環経路に連通接
続させる個所は、循環経路中のどこでもよく、合流流出
管２２のほか、例えば二点鎖線でそれぞれ示すように、
戻り管２６、処理槽１０の内底部または溢流液受け部１
２の内底部に、開閉弁５２ａ、５２ｂ、５２ｃが介挿さ
れた補助排液管４８ａ、４８ｂ、４８ｃを接続するよう
にすればよい。また、補助排液管は、循環経路中の２個
所以上に接続するようにしてもよい。

【００１３】図１に示した構成の洗浄装置において、定
常運転時や通常の薬液排出時には、図３に示した洗浄装
置と同様に上述したような操作が行われる。これらの際
には、補助排液管４８に介挿された開閉弁５２は閉塞さ
れている。そして、ポンプ２４の破損などによってポン
プ２４を交換するときや、排液系統に異常が発生したこ
とにより排液管２８を通して処理槽１０内および溢流液
受け部１２内の洗浄用薬液を排出することができないと
きには、補助排液管４８に介挿された開閉弁５２を開
き、水導入管４２からアスピレータ３８を通して水排出
管４６へ水を流す。これにより、アスピレータ３８によ
って補助排液管４８を通し循環経路内の洗浄用薬液が補
助排液管４８の方へ吸引される。そして、処理槽１０内
および溢流液受け部１２内から流出した洗浄用薬液が、
流出管１６、２０および合流流出管２２を通って補助排
液管４８内へ流入し、補助排液管４８内を流れて、吸入
口５０からアスピレータ３８内へ流入し、水導入管４２
内からアスピレータ３８内を通って水排出管４６内へ流
れる水と共に水排出管４６内へ流れ込んで、装置外へ排
出される。このようにして、ポンプ２４による排液を行
うことができないときでも、また、排液管２８を通して
排液することができないときでも、処理槽１０内および
溢流液受け部１２内からすべての洗浄用薬液を速やかに
排出することができる。

【００１４】なお、補助排液管４８に介挿された開閉弁
５２を自動化しておき、排液系統からのシステム異常信
号によって開閉弁５２が自動的に開かれるような構成と
してもよい。

【００１５】次に、図２は、非常時における排液を行う
非常時排液ユニットの概略構成を示す模式図である。こ
の非常時排液ユニット５４は、アスピレータ５６、この
アスピレータ５６の吸入口５８に一端が連通接続され薬
液流入口となる他端にコネクタ６２が設けられた排液管
６０、アスピレータ５６の水流入口６４に一端が連通接
続され他端にコネクタ６８が設けられた水導入管６６、
および、アスピレータ５６の水流出口７０に一端が連通
接続され他端にコネクタ７４が設けられた水排出管７４
から構成されている。排液管６０、水導入管６６および
水排出管７４は、それぞれ可撓性素材により形成されて
いる。この非常時排液ユニット５４は、携帯可能であ
り、必要により図３に示したような薬液循環式基板洗浄
装置の循環経路に排液管６０の薬液流入口が連通接続さ
れる。このために、洗浄装置には、図示していないが、
循環経路中の１個所もしくは複数個所に薬液流出口が形
設されている。洗浄装置の循環経路中に形設された薬液
流出口は、通常時にはプラグなどによって閉塞されてお
り、必要時にプラグなどを取り外して開放され、非常時
排液ユニット５４の排液管６０の薬液流入口にコネクタ
６２を介して連接される。また、この非常時排液ユニッ
ト５４を使用する際には、水導入管６６の末端を加圧水
供給源、例えば水道管７６の給水口７８にコネクタ６８
を介して接続するとともに、水排出管７２の末端を、浄
水場などに流路接続された排液管８０の連接口８２にコ
ネクタ７４を介して接続する。

【００１６】非常時排液ユニット５４の排液管６０を洗
浄装置の循環経路に連接し、水導入管６６を水道管７６
に連接するとともに水排出管７２を排液管８０に連接し
た後は、図１に示した洗浄装置と同様の動作により、処
理槽内および溢流液受け部内から流出した洗浄用薬液が
非常時排液ユニット５４を通して装置外へ排出される。
処理槽内および溢流受け部内からすべての洗浄用薬液を
排出し終わると、洗浄装置の循環経路から非常時排液ユ
ニット５４の排液管６０を外し、循環経路の薬液流出口
をプラグなどによって閉塞する。

【００１７】

【発明の効果】請求項１および請求項２に係る各発明の
薬液循環式基板処理装置を使用するとそれぞれ、薬液の
循環と排液との２つの機能を兼ねたポンプが破損するな
どしてそのポンプを交換するときに、処理槽内からすべ
ての薬液を速やかに排出することができて、ポンプの交
換作業に要する時間を短くすることができ、さらに、ポ
ンプの交換時に作業者に薬液がかかる心配が減って安全
性が向上し、また、排液系統に異常が発生したときで
も、処理槽内からの薬液の排出を行うことができる。

【００１８】そして、請求項１に係る発明の処理装置で
は、非常時流路切替え手段を操作するだけで、補助排液
管を通してアスピレータによる排液を簡単に行うことが
できる。また、請求項２に係る発明の処理装置では、必
要時にだけ洗浄装置の循環経路に非常時排液ユニットを
接続すればよく、配管系を簡略化し、また配管のための
設置スペースを抑えることができ、また、循環経路の複
数個所の薬液流出口に対しあるいは複数の洗浄装置に対
して１つの非常時排液ユニットを共用することが可能で
あり、非常時排液ユニットを効率良く使用することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の１実施形態を示し、薬液循環式基板
洗浄装置の概略構成を示す模式図である。

【図２】この発明の別の実施形態を示し、薬液循環式基
板洗浄装置の構成要素である非常時排液ユニットの概略
構成を示す模式図である。

【図３】従来の薬液循環式基板洗浄装置の概略構成の１
例を示す模式図である。

【符号の説明】 【符号の説明】

１０ 処理槽（洗浄槽） １２ 溢流液受け部 １４、１８、３０、３６、５２ 開閉弁 １６、２０ 流出管 ２２ 合流流出管 ２４ ポンプ ２６ 戻り管 ２８ 排液管 ３２ ヒータ ３４ フィルタ ３８、５６ アスピレータ ４０、６４ アスピレータの水流入口 ４２、６６ 水導入管 ４４、７０ アスピレータの水流出口 ４６、７２ 水排出管 ４８ 補助排液管 ５０、５８ アスピレータの吸入口 ５４ 非常時排液ユニット ６０ 非常時排液ユニットの排液管 ６２、６８、７４ コネクタ ７６ 水道管 ７８ 水道管の給水口 ８０ 排液管 ８２ 排液管の連接口

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薬液を貯留しその薬液中に基板が浸漬さ
   れて処理される処理槽と、 この処理槽内に貯留された薬液を処理槽外へ流出させ
   て、その流出した処理液を再び処理槽内へ戻す循環経路
   と、 この循環経路中に介設されたポンプと、 このポンプの吐出側において前記循環経路から分岐した
   排液路と、 前記ポンプにより前記循環経路を通して薬液を循環させ
   る状態と、前記ポンプにより前記処理槽内から流出した
   薬液を、前記排液路を通って排出させる状態とを、択一
   的に切り替える流路切替え手段とを備えた薬液循環式基
   板処理装置において、 水流によって液体を吸引するアスピレータを有し、その
   アスピレータの吸入口に連通接続された補助排液管を前
   記循環経路中の少なくとも１個所に流路接続して、前記
   処理槽内から流出した薬液を非常時に前記循環経路から
   前記補助排液管内へ流入させる非常時流路切替え手段を
   設けたことを特徴とする薬液循環式基板処理装置。
2. 【請求項２】 薬液を貯留しその薬液中に基板が浸漬さ
   れて処理される処理槽と、 この処理槽内に貯留された薬液を処理槽外へ流出させ
   て、その流出した処理液を再び処理槽内へ戻す循環経路
   と、 この循環経路中に介設されたポンプと、 このポンプの吐出側において前記循環経路から分岐した
   排液路と、 前記ポンプにより前記循環経路を通して薬液を循環させ
   る状態と、前記ポンプにより前記処理槽内から流出した
   薬液を、前記排液路を通って排出させる状態とを、択一
   的に切り替える流路切替え手段とを備えた薬液循環式基
   板処理装置において、 水流によって流体を吸引するアスピレータ、このアスピ
   レータの吸入口に一端が連通接続され他端が薬液流入口
   とされる排液管、前記アスピレータの水流入口に連通接
   続された水導入管、および、前記アスピレータの水流出
   口に連通接続された水排出管からなる非常時排液ユニッ
   トを有し、 前記循環経路中の少なくとも１個所に、前記非常時排液
   ユニットの排液管の薬液流入口に接続される薬液流出口
   を形設して、前記非常時排液ユニットの排液管の薬液流
   入口と前記循環経路中の薬液流出口とを接続させる連接
   手段、および、前記循環経路中の薬液流出口を開閉自在
   に閉塞する閉塞手段を備えたことを特徴とする薬液循環
   式基板処理装置。