JPH04281808A - フィルタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は洗浄装置におけるフィル
タ装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルの製造工程や半導体製造工程
において、ガラス基板やウエハの洗浄やエッチングを行
うため使用される一般的な洗浄装置は図５の平面図およ
び図６の縦断面図に示される。これらの図によると、た
とえば液晶パネル用のガラス基板を洗浄するにあたり、
ガラス基板は、１０〜４０枚を１ロットとして、収容容
器であるカセット内にセットされた状態で処理される。

【０００３】これらの図に示す洗浄装置は、上流側（図
の左側）から下流側（図の右側）へ順に、ガラス基板が
収容されたカセット（図示せず）を待機させておくロー
ダ１と、このローダ１に隣接する洗浄室２と、さらに洗
浄室２に隣接し、洗浄処理を終えたガラス基板を、洗浄
装置の外に取り出す前にカセットに収容したままで待機
させておくアンローダ３とが配置されている。

【０００４】洗浄室２には、上流側から下流側に沿って
、薬液槽４、一次水洗槽５、最終水洗槽６および乾燥槽
７が並設されている。また洗浄室２の上部には搬送ロボ
ット８が搬送レール９上を移動可能に設置される。

【０００５】これらローダ１、アンローダ３の設置空間
の上部および洗浄室２の上部には、これらの空間を高い
清浄度に保つためのクリーンベンチ１０がそれぞれ設け
られている。

【０００６】上記洗浄装置では、ガラス基板が収容され
てローダ１に待機するカセットは、搬送ロボット８のチ
ヤッキングアーム８ａによって持ち上げられ、まず薬液
槽４中に浸漬してガラス基板の薬液処理が行われる。薬
液処理後、カセット入りのガラス基板はさらに搬送ロボ
ット８によって次の１次水洗槽５中に浸漬されて水洗処
理される。次に最終水洗槽６中に浸漬されて再度水洗処
理が行われ、さらに乾燥槽７で乾かされ、最後はアンロ
ーダ３に移送されて待機状態に保有される。

【０００７】上記洗浄装置の薬液槽４は、通常、図７の
配管系統図に示すように、オーバフロー槽１２からの洗
浄用薬液を循環管路１７に設けられた循環ポンプ１３の
作動によって循環バルブ１５およびフィルタ１４を経て
内槽１１に導入し、該内槽１１内において前記ガラス基
板がカセット内にセットされた状態で洗浄する、いわゆ
るバッチ処理方式によって薬液処理され、内槽１１から
オーバフローした薬液はオーバフロー槽１２へ導出され
るよう構成される。このように薬液槽４では、ガラス基
板やウエハの洗浄またはエッチング効率を上げるために
薬液が常時循環される。この循環において、前記循環バ
ルブ１５は循環ポンプ１３が作動している場合は開の状
態とされ、内槽ドレン路２４の途中に設けられる内槽ド
レンバルブ２６とオーバフロー槽ドレン路２５の途中に
設けられるオーバフロー槽ドレンバルブ２７は閉となっ
ている。また、管内排液路１８に設けられる管内排液バ
ルブ２８や、フィルタ排液第１路１９ａおよび同第２路
１９ｂに設けられるフィルタ排液第１バルブ２９ａおよ
び同第２バルブ２９ｂも閉とされる。

【０００８】薬液交換時には循環ポンプ１３は停止され
、これにともなって内槽ドレンバルブ２６およびオーバ
フロー槽ドレンバルブ２７が開放され、排液路１６を経
て槽１１，１２内の薬液がすべて図示しない工場内タン
クに回収され、工場内薬液ラインより新しい薬液が供給
される。これら薬液交換は通常、ガラス基板などの処理
枚数およびライフタイムによって定期的に行われる。

【０００９】フィルタ１４についても同様に定期的な交
換が行われるが、このフィルタ交換には、循環ポンプ１
３を停止して薬液の循環を断ち、図７におけるフィルタ
１４の内部およびその上流側循環管路１７ａ内に滞留す
る薬液を除去する必要がある。この薬液除去には管内排
液バルブ２８とフィルタ排液第１バルブ２９ａおよびフ
ィルタ排液第２バルブ２９ｂを開放して行う。フィルタ
交換はフィルタ１４内のカートリッジを新品のものと交
換する。しかし、このフィルタ交換方式によると、フィ
ルタ１４および循環管路１７内に滞留する薬液除去や、
フィルタ１４のカートリッジ交換のため、循環ポンプ１
３を長時間停めなければならず、運転効率が大幅に低下
する。

【００１０】そのため、図８に示すように２つの並列管
路による方式が用いられる。図８は並列管路方式におけ
るフィルタ近傍の配管系統図を示す。すなわち、循環管
路１７は循環ポンプ１３の下流側において、第１並列管
路３１と第２並列管路３２とに分岐される。これら第１
並列管路３１および第２並列管路３２にはそれぞれ第１
フィルタ１４ａおよび第２フィルタ１４ｂが接続され、
各フィルタ１４ａ，１４ｂの上流側に上流側手動バルブ
２２ａ，２３ａが、また下流側に下流側手動バルブ２２
ｂ，２３ｂがそれぞれ設けられている。いま手動バルブ
２２ａ，２２ｂは開、手動バルブ２３ａ，２３ｂは閉の
状態で循環ポンプ１３から吐出された薬液は第１フィル
タ１４ａを経て内槽１１へ流れているとする。一定期間
第１フィルタ１４ａを使用すると、第１並列管路３１の
手動バルブ２２ａ，２２ｂを閉にし、手動バルブ２３ａ
，２３ｂを開いて第２並列管路３２に切り換える。そし
て、第１フィルタ１４ａ内およびその周辺に残っている
薬液を排出したのち該フィルタ１４ａ内のカートリッジ
を交換する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】従来のフィルタ装置に
よるとフィルタ交換は、ガラス基板などの処理数に関係
なく、一定期間使用すると定期的に行われるため、それ
程目づまりの起きていないフィルタでも廃棄してしまう
ことになり不経済である。

【００１２】また、フィルタ交換のため並列管路の切換
えをするにあたって、各並列管路３１，３２は何れも大
径管からなるので手動バルブ２２ａ，２２ｂ，２３ａ，
２３ｂを用いて完全に開または閉とするのに時間がかか
る。そのうえ、新しく導通されるフィルタ内に侵入し溜
っている空気が並列管路および循環管路内を通って外部
に排出するまで処理作業を待たなければならないので依
然として運転効率の低下はまぬがれない。

【００１３】本発明はこれらの問題を解決し、フィルタ
は使えるだけ使うことができ、しかも並列管路の切換え
が短時間ででき、従って運転効率の低下を起こすことが
少なく、稼動率の高いフィルタ装置を提供することを目
的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、複数の並列に接続された管路と、前記各管路
の途中に介在されるフィルタと、前記各管路に介在され
る弁手段と、各フィルタの上流側と下流側とにおける流
体の差圧を検出する差圧検出手段と、差圧検出手段の出
力に応答し、少なくとも１つの弁手段を開き、かつ残余
の弁手段を閉じた状態で前記検出差圧が予め定める値以
上になったとき、前記開いている弁手段を閉じ、閉じて
いる残余の弁手段のうち少なくとも１つを開く制御手段
とを含むことを特徴とするフィルタ装置である。

【００１５】

【作用】並列に接続された管路に介在される少なくとも
１つの弁手段を開き、残余の弁手段を閉じた状態で、そ
の管路の途中に介在されるフィルタの上流側と下流側と
における流体の差圧が予め定める値以上になったとき、
制御手段が作動し、前記開いている弁手段を閉じ、閉じ
ている残余の弁手段のうちの少なくとも１つを開く。

【００１６】

【実施例】図１は本発明の一実施例を示すフィルタの配
管系統図であり、図２は薬液槽付近の配管系統図である
。

【００１７】本発明は、従来の技術に類似する部分には
同一符号を符し、その作用についての説明を省略する。

【００１８】一実施例によると、図１，図２に示すよう
に、第１並列管路３１と第２並列管路３２とが洗浄装置
の循環管路１７に並列状態に接続される。各並列管路３
１，３２には、それぞれ途中に図示しないカートリッジ
に濾材をとりつけた第１フィルタ１４ａ、第２フィルタ
１４ｂが接続される。これら第１並列管路３１、第２並
列管路３２には、前記フィルタ１４ａおよび１４ｂの上
流側に、それぞれ接続される第１上流圧力計４１ａおよ
び第２上流圧力計４２ａと、また、下流側にそれぞれ接
続される第１下流圧力計４１ｂおよび第２下流圧力計４
２ｂとから成る流体差圧検出手段が設けられる。

【００１９】さらに、前記第１並列管路３１における第
１上流圧力計４１ａの上流側には、第１上流弁手段３５
が設けられ、第１下流圧力計４１ｂの下流側に第１下流
弁手段３６が接続される。同様に第２並列管路３２にお
ける第２上流圧力計４２ａの上流側に第２上流弁手段３
７が設けられ、第２下流圧力計４２ｂの下流側には第２
下流弁手段３８が接続される。

【００２０】これら各弁手段３５，３６，３７，３８は
、それぞれ空気圧によって操作される開閉弁３５ａ，３
６ａ，３７ａ，３８ａと、磁力によって操作される電磁
弁３５ｂ，３６ｂ，３７ｂ，３８ｂとが組合わされて成
り、制御回路Ｃからの信号をうけた電磁弁３５ｂ，３６
ｂ，３７ｂ，３８ｂが開閉されることによって、気送管
路２０からの高圧空気が開閉弁３５ａ，３６ａ，３７ａ
，３８ａに送給または遮断される。開閉弁に空気圧が加
わることで開閉弁は一気に開放され、並列管路３１また
は３２のいずれか一方に薬液が流れる。気送管路２０に
はエアフィルタ２１を経て工場内の高圧空気供給源４０
から高圧空気が供給される。

【００２１】前記流体差圧検出手段によって検出された
差圧は図３に示す制御回路Ｃによる制御手段を経て各弁
手段３５，３６，３７，３８の電磁弁３５ｂ，３６ｂ，
３７ｂ，３８ｂを個々に作動させる。図４は制御回路Ｃ
の作動状態を示すフローチャートである。

【００２２】このフローチャートに示すように、いまス
テップａ１で循環ポンプ１３が駆動されて循環管路１７
に薬液が送られ、ステップａ２に示すように第１上流弁
手段３５の電磁弁３５ｂおよび第１下流弁手段３６の電
磁弁３６ｂが開放され、第１並列管路３１に薬液が導通
されるとき、電磁弁３７ｂ，３８ｂは閉じられ、第２並
列管路３２は閉止状態とされる。

【００２３】第１並列管路３１に薬液が流れ、時間の経
過にともない第１フィルタ１４ａが徐々に目づまり状態
になると、第１上流圧力計４１ａの圧力と第１下流圧力
計４１ｂの圧力との差が次第に大きくなる。次に、ステ
ップａ３において両圧力計４１ａ，４１ｂの指針による
差圧ΔＰ１が予め定めた数値ΔＰ０を越えるとステップ
ａ４に移行する。このステップａ４では、第２上流弁手
段３７の電磁弁３７ｂおよび第２下流弁手段３８の電磁
弁３８ｂが開放されて第２並列管路３２に薬液が導通さ
れ、電磁弁３５ｂ，３６ｂは閉じられ、第１並列管路３
１は閉止状態とされる。

【００２４】また、第２フィルタ１４ｂが目づまり状態
になり、ステップａ５に示すように第２上流圧力計４２
ａと第２下流圧力計４２ｂとの差圧ΔＰ２が予め定めた
数値ΔＰ０を越えると、再び前記ステップａ２の状態に
戻り、このようにして順次第１並列管路３１と第２並列
管路３２とが切換え導通され、連続して薬液が送給され
る。

【００２５】第１並列管路３１の休止中に、目づまりし
た第１フィルタ１４ａのカートリッジを交換する。この
カートリッジ交換は従来技術で述べ、図２に示すように
、各排液路１８ａ，１９ａに設けた管内排液バルブ２８
ａおよびフィルタ排液バルブ２９ａを開いて管路３１内
およびフィルタ１４ａ内に残留している薬液を排出した
のち行う。第２フィルタ１４ｂのカートリッジ交換は、
管内排液路１８ｂに設けた管内排液バルブ２８ｂおよび
フィルタ排液路１９ｂに設けたフィルタ排液バルブ２９
ｂを開き薬液を排出した後に行う。

【００２６】また、カートリッジ交換により、フィルタ
内には空気が入ることになるので、次に該並列管路を使
用するとき、空気が管路内から完全に排出するまで薬液
処理を待たねばならぬが、各弁手段３５，３６，３７，
３８を開閉するに要する時間が従来に比べて極めて短時
間となるため、待ち時間全体としては大幅に短縮される
。

【００２７】並列管路は上記実施例に示す２本とは限ら
ず、多数であってもよく、その場合、フィルタの濾材を
交換する必要がなければ各並列管路の上流または下流弁
手段が省略されてもよい。

【００２８】上流圧力計４１ａ，４２ａおよび下流圧力
計４１ｂ，４２ｂは上記実施例における各並列管路毎に
設ける代わりに、共用として並列管路の上流側分岐点と
循環ポンプ１３との間の上流側循環管路１７ａ（図１参
照）および並列管路の下流側合流点より下流の下流側循
環管路１７ｂ（図１参照）に設置しても同様の作用をす
ることができる。ただし、循環ポンプ１３から並列管路
の分岐点までの距離が短いと、上流圧力計は正確な値を
示さないため、ある程度の距離を必要とし、シジアなフ
ィルタ管理をするためには適さない。

【００２９】本発明のフィルタ装置はフィルタ塞りの頻
度が高い場合に大きな効果が得られるが、洗浄装置の他
の槽にも利用できる。

【００３０】

【発明の効果】本発明の洗浄装置のフィルタ装置は以上
のように、複数が並列に接続され、途中にフィルタが介
在される管路を有し、各並列管路には弁手段が介在され
、各フィルタの上流側と下流側とにおける流体の差圧を
検出する差圧検出手段が設けられるとともに、差圧検出
手段に応答して各弁手段の少なくとも１つを開閉する制
御手段が設けられる。

【００３１】したがって本発明によると、並列管路のフ
ィルタは、被洗浄物の処理数や、処理時間に関係なく、
実際に目づまりしたことを自動的に感知して自動的に他
の並列管路に切換えることができる。

【００３２】このためフィルタ管理が適切に行われ、作
業性が向上する。またフィルタの濾材は使用可能な限界
まで使用されるので経済的である。

【００３３】並列管路相互間の切換えは、上記のように
差圧検出手段の出力に応答し、制御手段を介して弁手段
を開閉することによって行われるので切換え時間が短か
いか、全くなくなり、そのためフィルタのカートリッジ
交換のための薬液処理の中断による作業性の低下が大幅
に減り、洗浄装置の稼動率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す配管系統図である。

【図２】本発明にかかる薬液処理装置における薬液槽付
近の配管系統図である。

【図３】本発明の制御回路のブロック図である。

【図４】制御回路の作動態様を示すフローチャートであ
る。

【図５】薬液処理装置の平面図である。

【図６】薬液処理装置の縦断面図である。

【図７】従来技術の薬液槽付近の配管系統図である。

【図８】従来のフィルタ装置の配管系統図である。

【符号の説明】

１１　　内槽 １２　　オーバフロー槽 １４，１４ａ，１４ｂ　　フィルタ １７　　循環管路 ２０　　気送管路 ３１　　第１並列管路 ３２　　第２並列管路 ３５，３６，３７，３８　　弁手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　複数の並列に接続された管路と、前記
   各管路の途中に介在されるフィルタと、前記各管路に介
   在される弁手段と、各フィルタの上流側と下流側とにお
   ける流体の差圧を検出する差圧検出手段と、差圧検出手
   段の出力に応答し、少なくとも１つの弁手段を開き、か
   つ残余の弁手段を閉じた状態で前記検出差圧が予め定め
   る値以上になったとき、前記開いている弁手段を閉じ、
   閉じている残余の弁手段のうち少なくとも１つを開く制
   御手段とを含むことを特徴とするフィルタ装置。